CN112996612A - 压铸装置的抽气装置及抽气方法 - Google Patents

Abstract

抽气装置(14)从压铸用的模具(13)抽取气体，所述压铸用的模具(13)具有将熔融金属向模腔(9)注入的第一路径、从所述模腔(9)抽取气体的第二路径、及计量所述模腔(9)的真空度的第三路径，其中，所述抽气装置(14)具有：第一路径开闭装置，将所述第一路径和真空装置连接；及第二路径开闭装置，将所述第二路径和真空装置连接，所述抽气装置(14)具有控制部，该控制部能够对所述第一路径开闭装置和所述第二路径开闭装置的工作定时设置工作定时时间差。

Description

压铸装置的抽气装置及抽气方法

技术领域

本发明涉及压铸装置的抽气装置及抽气方法。

背景技术

在对压铸的制品进行铸造时，为了使制品容易从模具分离而对模具涂布脱模剂。而且，为了使模具移动而对模具涂布润滑剂。当该脱模剂及润滑剂与高温的熔融金属接触时，燃烧而产生气体。已知由于该气体而在压铸制品产生缩孔等使压铸制品的品质劣化的情况。因此，采取从模具内部吸出空气，使压铸制品的品质提高的方法。该用于从模具抽取气体的装置是压铸装置的抽气装置。

例如，专利文献1公开了防止向压铸装置的模具的模腔供给的熔融金属的气体卷入的装置及抽取气体的方法。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-91159号公报

发明内容

发明要解决的课题

专利文献1公开的方法是从向模具的内部供给之前的熔融金属附近抽取气体的方法。因此，难以抽取处于模腔的内部的空气。因此，难以想到能充分地提高压铸制品的品质。

本发明是鉴于上述实际状况而作出的发明，其目的在于提供一种通过从模腔可靠地抽取空气而提高压铸制品的品质的压铸装置的抽气装置及抽取压铸装置的气体的方法。

用于解决课题的方案

为了实现上述目的，本发明涉及的抽气装置从压铸用的模具抽取气体，所述压铸用的模具具有将熔融金属向模腔注入的第一路径、从所述模腔抽取气体的第二路径、及计量所述模腔的真空度的第三路径，其中，所述抽气装置具有：第一路径开闭装置，将所述第一路径和真空装置连接；及第二路径开闭装置，将所述第二路径和真空装置连接，所述抽气装置具有控制部，该控制部能够对所述第一路径开闭装置和所述第二路径开闭装置的工作定时设置工作定时时间差。

例如，本发明的抽气装置中，所述控制部将第一真空到达时间与第二真空到达时间的差值作为所述工作定时时间差，所述第一真空到达时间通过在使所述第一路径开闭装置工作时从所述第三路径测定所述模腔的真空度而得到，所述第二真空到达时间通过在使所述第二开闭装置工作时从所述第三路径测定所述模腔的真空度而得到。

例如，本发明涉及的抽气装置中，在所述第一路径中的从将熔融金属向所述模具注入的套筒内部抽取气体的套筒真空吸引口的所述套筒内部设置真空吸引槽，所述真空吸引槽的长度比压入所述套筒内部的熔融金属的端头的滑动面的长度短，所述真空吸引槽的宽度为所述套筒的内径的1/3以下。

例如，在所述模腔与所述第二路径开闭装置之间还具有真空吸引路径封闭装置，所述套筒真空吸引口的截面积为所述真空吸引路径封闭装置的路径的最小截面积的1.5～2.0倍，所述真空吸引槽的截面积为所述套筒真空吸引口的截面积的1.1～1.2倍。

为了实现上述目的，本发明涉及的抽气方法从压铸用的模具抽取气体，所述压铸用的模具具有将熔融金属向模腔注入的第一路径、从所述模腔抽取气体的第二路径、及计量所述模腔的真空度的第三路径，其中，所述抽气方法包括：前工序，将第一真空到达时间与第二真空到达时间进行比较，将所述第一真空到达时间与所述第二真空到达时间的差值作为工作定时时间差，所述第一真空到达时间通过在使抽气装置的连接所述第一路径和真空装置的第一路径开闭装置工作时测定所述模腔的真空度而得到，所述第二真空到达时间通过在使抽气装置的连接所述第二路径和真空装置的第二路径开闭装置工作时测定所述模腔的真空度而得到；及抽气工序，使所述第一真空到达时间和所述第二真空到达时间中的真空到达时间长的所述第一路径开闭装置或第二路径开闭装置先工作，在经过所述工作定时时间差之后使真空到达时间短的所述第二路径开闭装置或第一路径开闭装置工作。

发明效果

根据本发明，通过从模腔可靠地抽取空气，能够提高压铸制品的品质。

附图说明

图1是本发明的实施方式1的抽气装置、模具、套筒的剖视图。

图2是表示实施方式1的抽气装置中使用的固定模具的模腔面的主视图。

图3是表示实施方式1的抽气装置中使用的可动模具的模腔面的主视图。

图4是实施方式1的抽气装置中使用的套筒的剖视图。

图5是实施方式1的抽气装置中使用的套筒的A-A剖面(参照图4)。

图6是实施方式1的抽气装置中使用的套筒的剖视图。

图7是实施方式1的抽气装置中使用的套筒所使用的端头的侧视图。

图8是实施方式1的抽气装置的真空吸引路径封闭装置的剖视图。

图9是实施方式1的抽气装置的真空控制装置的概略图。

图10是表示实施方式1的抽气装置的真空度测定结果的图。

具体实施方式

以下，说明本发明的实施方式的压铸装置的抽气装置和抽取压铸装置的气体的方法。

(实施方式1)本发明的实施方式1的压铸装置的抽气装置14如图1所示。抽气装置14是从模具13的模腔9及套筒3的内部抽取气体的结构。抽气装置14与模具13及套筒3连接。而且，图9所示的真空度测定装置18是测定模腔9的真空度的结构。真空度测定装置18与模具13连接。

模具13将固定模具13A和可动模具13B组合使用。固定模具13A的形成模腔9的面如图2所示。可动模具13B的形成模腔9的面如图3所示。通过将固定模具13A与可动模具13B组合而将形成于各个模具的表面上的槽等凹部组合，在模具13的内部形成图1所示的模腔9和作为第一路径的例子的浇道7及浇注浇口8。此外，作为第二路径的例子，形成有抽气浇口10、抽气槽11。此外，作为图9所示的第三路径的例子，形成有真空度测定槽16。

如图1所示，真空吸引路径封闭装置12与抽气槽11相连地配置在模具13的内部。如图9所示，真空度测定路径封闭装置17与真空度测定槽16连结地配置在模具13的内部。

如图8所示，真空吸引路径封闭装置12具有配置于固定模具13A的固定真空吸引路径封闭装置12A、配置于可动模具13B的可动真空吸引路径封闭装置12B、及真空吸引路径封闭阀12C。真空吸引路径封闭阀12C配置在固定真空吸引路径封闭装置12A的内部，自身通过空气压力而沿轴向移动，从而对抽气槽11与模腔真空吸引配管之间的路径进行开闭。

如图9所示，真空度测定路径封闭装置17具有配置于固定模具13A的固定真空度测定路径封闭装置17A、配置于可动模具13B的可动真空度测定路径封闭装置17B、及真空度测定路径封闭阀17C。真空度测定路径封闭阀17C配置在固定真空度测定路径封闭装置17A的内部，自身通过空气压力而沿轴向移动，由此对真空度测定槽16与负压用压力计18A之间的路径进行开闭。

如图1所示，套筒3是附带突缘的圆筒形状。以套筒3的突缘为基准，较短的圆筒部的外周以轴向成为水平的方式嵌合于在固定模具13A上开设的孔。套筒3的内部通过从该孔连结的浇道7及浇注浇口8而与模腔9连结。套筒3的较长的圆筒部从模具13突出。在套筒3的从模具13突出的圆筒部的端部附近开设有用于将熔融金属4A向套筒3的内部投入的熔融金属供液口2。从套筒3的突出部侧向套筒3的内部插入用于将投入到套筒3的熔融金属4A向模具13压入的端头1。当端头1被压铸装置压入到套筒3的圆筒内部时，圆筒内部的熔融金属4A向模具13的模腔9移动。在套筒3的上部且比熔融金属供液口2靠模具13侧的附近，为了从套筒3的内部抽取气体而开设有套筒真空吸引口5。在套筒真空吸引口5的、圆筒内部的开口部附近形成有槽。该槽的宽度方向长度如图5所示为套筒真空吸引槽宽度L3，套筒3的轴向的长度如图6所示为套筒真空吸引槽长度L1。端头1的滑动面的长度如图7所示为端头滑动面长度L2。

在本实施方式中，套筒真空吸引槽长度L1比图7所示的端头1的端头滑动面1A部分的长度L2小。套筒真空吸引槽宽度L3为图4所示的端头1的端头径D的1/3以下。

在本实施方式中，套筒真空吸引口5的截面积是真空吸引路径封闭装置12的路径的最小截面积的1.5～2倍。由此，通过实验来确认从模腔9抽取气体的时间稳定的情况。而且，套筒真空吸引槽6的截面积是套筒真空吸引口5的截面积的1.1～1.2倍。由此，从套筒真空吸引口5和从套筒真空吸引槽6的气体吸引水平成为同等，通过实验确认抽取气体的效率良好的情况。

如图1所示，抽气装置14具有：作为真空装置的例子的真空罐14A；与第一路径连接并配置在真空罐14A的紧附近的作为第一路径开闭装置的例子的套筒真空吸引电磁元件14B；在套筒真空吸引电磁元件14B的紧后方配置的套筒真空吸引配管14C；在套筒真空吸引配管14C的紧后方配置的套筒真空吸引过滤器14D；在从套筒真空吸引过滤器14D向套筒3的套筒真空吸引口5的路径上配置的套筒真空吸引配管14E。此外，抽气装置14具有：与第二路径连接并在作为第二路径开闭装置的例子的真空罐14A的紧附近配置的模腔真空吸引电磁元件14F；在模腔真空吸引电磁元件14F的紧后方配置的模腔真空吸引配管14G；在模腔真空吸引配管14G的紧后方配置的模腔真空吸引过滤器14H；在从模腔真空吸引过滤器14H向真空吸引路径封闭装置12的路径上配置的模腔真空吸引配管14I。

此外，抽气装置14具有：为了对套筒真空吸引过滤器14D及套筒真空吸引配管14E进行清扫而工作的套筒真空配管清扫电磁元件14J；为了对模腔真空吸引过滤器14H及模腔真空吸引配管14I进行清扫而工作的模腔真空配管清扫电磁元件14M。

此外，抽气装置14具有真空吸引关闭电磁元件12D，该真空吸引关闭电磁元件12D为了使真空吸引路径封闭装置12工作而使真空吸引路径封闭阀12C向关闭从抽气槽11的路径的方向工作。此外，具有真空吸引打开电磁元件12E，该真空吸引打开电磁元件12E使真空吸引路径封闭阀12C向打开从抽气槽11的路径的方向工作。

如图9所示，真空度测定装置18具有：与第三路径连接的负压用压力计18A；从负压用压力计18A接收信号的作为控制部的真空控制装置18B；为了进行真空度测定路径的清扫而工作的真空度测定路径清扫电磁元件18C。

此外，真空度测定装置18具有真空度测定路径关闭电磁元件17D，该真空度测定路径关闭电磁元件17D为了使真空度测定路径封闭装置17工作而使真空度测定路径封闭阀17C向关闭从真空度测定槽16的路径的方向工作。此外，具有真空度测定路径打开电磁元件17E，该真空度测定路径打开电磁元件17E使真空度测定路径封闭阀17C向打开从真空度测定槽16的路径的方向工作。

接下来，使用本发明的实施方式的抽气装置14，说明从模具13的模腔9及套筒3抽取气体的方法。首先是作为准备阶段而计量模具13的特性的前工序的说明。

抽气装置14具有从模具13的抽气槽11侧抽取气体的路径和从套筒3侧抽取气体的路径这两条路径。此时，从真空罐14A向模腔9的各个路径的配管容量、流路阻力不同。因此，即使将套筒真空吸引电磁元件14B和模腔真空吸引电磁元件14F同时打开，实际上从模腔9开始抽取气体的时间也不同。在本实施方式中，从套筒3侧抽取气体的路径的配管容量大，因此从模腔9抽取气体的定时比从抽气槽11侧抽取气体的定时晚。即，从模腔9来说，首先从抽气槽11抽取气体，然后经过规定的时间之后，从浇道7抽取气体。因此，存在于模腔9的气体进行暂时从抽气浇口10向抽气槽11的方向的移动之后，再次返回模腔9而从浇注浇口8向浇道7的方向移动这样的动作。其结果是，从模腔9抽取气体的时间晚。并且，从模腔9抽取气体的速度跟不上压铸的铸造循环，从而在抽气不充分的状态下进行铸造。由此，引起缩孔等铸造不良，压铸制品的品质未提高。

因此，从模腔9来说，从两条路径抽取气体的定时变得相同。由此，从模腔9充分地抽取气体，防止缩孔等铸造不良，提高压铸制品的品质。

因此，在使套筒真空吸引电磁元件14B和模腔真空吸引电磁元件14F同时工作的情况下，测定在从抽气槽11抽取气体的路径与从套筒3抽取气体的路径之间在从模腔9开始抽取气体的定时上产生何种程度时间差。通过根据该时间差而对套筒真空吸引电磁元件14B和模腔真空吸引电磁元件14F的工作定时设置差别，从而使从模腔9抽取气体的定时相同。

另外，说明在将套筒真空吸引电磁元件14B和模腔真空吸引电磁元件14F同时打开的情况下，测定在从抽气槽11抽取气体的路径与从套筒3抽取气体的路径之间产生何种程度时间差的方法。

通过未图示的压铸装置，将插入到套筒3的内部的端头1压入，端头1到达发出位置信号A的位置，即端头1到达闭塞熔融金属供液口2的位置。因此，使套筒真空吸引电磁元件14B工作。其结果是，真空罐14A与模腔9的路径相连，从套筒3的内部、浇道7及模腔9抽取气体。在模腔9连结真空度测定装置18。真空度测定路径打开电磁元件17E工作，使模腔9与负压用压力计18A连结。以使套筒真空吸引电磁元件14B成为接通的定时为起动，计量至负压用压力计18A开始工作为止的第一真空到达时间。并且，将该时间设为T1。

接下来，计量从抽气槽11侧抽取气体的时间。在端头1为发出位置信号A的位置的状态下使模腔真空吸引电磁元件14F工作。此外，使真空吸引打开电磁元件12E工作，使真空吸引路径封闭阀12C移动。其结果是，真空罐14A与模腔9的路径相连，从抽气槽11及模腔9抽取气体。在模腔9连结有真空度测定装置18。真空度测定路径打开电磁元件17E工作，使模腔9与负压用压力计18A连结。以使模腔真空吸引电磁元件14F成为接通的定时为起动，计量至负压用压力计18A开始工作为止的第二真空到达时间。并且，将该时间设为T2。

在本实施方式中，如前所述，T1比T2大。因此，将其差值即T1-T2的值设定作为工作定时时间差T。即，使套筒真空吸引电磁元件14B工作后，在工作定时时间差T时间之后，使模腔真空吸引电磁元件14F工作。这样的话，从模腔9抽取气体的定时在从抽气槽11侧抽取气体的路径和从套筒3侧抽取气体的路径中变得相同。其结果是，模腔9的气体进行多余的移动的情况消失，从模腔9充分地抽取气体，模腔9的真空度提高。

图10示出关于从模腔9抽取气体的定时存在时间差的情况与没有时间差的情况下，模腔9的真空度如何变化。横轴的时间表示时间经过，纵轴表示真空度。从模腔9抽取气体的定时存在时间差的情况是真空管路不适当，从模腔9抽取气体的定时没有时间差的情况是真空管路适当。从模腔9抽取气体的定时之差是作为真空延迟的延迟。在压铸装置的铸造工序循环中，从作为高速注塑的高速喷射开始至作为填充完成的完成喷射为止的时间不变化，因此在存在作为真空延迟的延迟的情况下，如真空管路不适当表示那样，达到的真空度不充分。其结果是，模腔9的抽气不充分，引起缩孔等铸造不良，压铸制品的品质未提高。

接下来，说明使用在前述的准备阶段得到的工作定时时间差T，通过压铸装置进行铸造的工序。

(初始位置)

图1是表示压铸装置的初始位置的状态的图。此时，将适合于铸造的量的熔融金属4A从熔融金属供液口2向套筒3的内部投入。

(第一位置)

接下来，将端头1向套筒3的内部压入，到达图4所示的发出位置信号A的位置。此时，熔融金属供液口2由端头1闭塞，成为空气不从熔融金属供液口2泄漏的状态。熔融金属4A被端头1按压而水位上升。此时，将套筒3的内部的不存在熔融金属4A的空间设为套筒空间3A。当发出位置信号A时，真空控制装置18B使套筒真空吸引电磁元件14B工作，从套筒3的内部抽取气体。在经过工作定时时间差T时间之后，真空控制装置18B使模腔真空吸引电磁元件14F和真空吸引打开电磁元件12E工作，从抽气槽11侧抽取气体。然后，端头1以比较低的速度被压入到套筒3的内部。

(第二位置)

端头1被进一步压入到套筒3的内部，到达图6所示的发出位置信号B的位置。此时，套筒真空吸引口5被端头1闭塞，成为空气不会从套筒真空吸引口5泄漏的状态。熔融金属4A被端头1进一步按压，水位上升而成为熔融金属4B的状态。此时，将套筒3的内部的不存在熔融金属4B的空间设为套筒空间3B。当发出位置信号B时，真空控制装置18B使套筒真空吸引电磁元件14B工作，停止从套筒3抽取气体。进而，真空控制装置18B使模腔真空吸引电磁元件14F和真空吸引打开电磁元件12E工作，停止从抽气槽11侧抽取气体。此时，在熔融金属4B到达浇道7之前，停止抽取气体。模腔9从内部被抽取气体而成为真空。然后，端头1以比较高的速度被进一步压入到套筒3的内部。

(第三位置)

当端头1被压入到套筒3的深处时，处于套筒3的内部的熔融金属4B被送入成为真空的模腔9，然后在模具13的内部被冷却而凝固。以上是由压铸装置进行的铸造的一个循环。

在本实施方式中，关于从抽气槽11侧抽取模腔9的气体的定时和从套筒3侧抽取模腔9的气体的定时，对于将各自的路径连接于真空罐14A的套筒真空吸引电磁元件14B和模腔真空吸引电磁元件14F的工作定时设置工作定时时间差T，由此从模腔9同时抽取气体，在熔融金属到达模腔9之前，提高模腔9的真空度，防止缩孔等铸造不良，提高压铸制品的品质。实验的结果是，与如专利文献1公开的发明那样仅从套筒抽取气体的方法相比，确认到模腔9的真空度提高两倍以上。其结果是，确认到铸造不良的发现率下降到1/2以下。

本发明不脱离本发明的广义的主旨和范围而能够设为各种实施方式及变形。而且，上述的实施方式是用于说明本发明的内容，没有限定本发明的范围。即，本发明的范围不是由实施方式而是由权利要求书公开。并且，在权利要求书内及与之等同的发明的意义的范围内实施的各种变形可看作为本发明的范围内。

标号说明

1 端头

1A 端头滑动面

1B 端头背面

2 熔融金属供液口

3 套筒

3A、3B、3C 套筒空间

4A、4B 熔融金属

5 套筒真空吸引口

6 套筒真空吸引槽

7 浇道

8 浇注浇口

9 模腔

10 抽气浇口

11 抽气槽

12 真空吸引路径封闭装置

12A 固定真空吸引路径封闭装置

12B 可动真空吸引路径封闭装置

12C 真空吸引路径封闭阀

12D 真空吸引关闭电磁元件

12E 真空吸引打开电磁元件

13 模具

13A 固定模具

13B 可动模具

14 抽气装置

14A 真空罐

14B 套筒真空吸引电磁元件

14C 套筒真空吸引电磁元件

14D 套筒真空吸引过滤器

14E 套筒真空吸引配管

14F 模腔真空吸引电磁元件

14G 模腔真空吸引配管

14H 模腔真空吸引过滤器

14I 模腔真空吸引配管

14J 套筒真空配管清扫电磁元件

16 真空度测定槽

17 真空度测定路径封闭装置

17A 固定真空度测定路径封闭装置

17B 可动真空度测定路径封闭装置

17C 真空度测定路径封闭阀

17D 真空度测定路径关闭电磁元件

17E 真空度测定路径打开电磁元件

18 真空度测定装置

18A 负压用压力计

18B 真空控制装置

18C 真空度测定路径清扫电磁元件。

权利要求书(按照条约第19条的修改)

1.一种抽气装置，从压铸用的模具抽取气体，所述压铸用的模具具有将熔融金属向模腔注入的第一路径、从所述模腔抽取气体的第二路径、及计量所述模腔的真空度的第三路径，其中，

所述抽气装置具有：第一路径开闭装置，将所述第一路径和真空装置连接；及第二路径开闭装置，将所述第二路径和真空装置连接，

所述抽气装置具有控制部，该控制部能够对所述第一路径开闭装置和所述第二路径开闭装置的工作定时设置工作定时时间差，

所述控制部将第一真空到达时间与第二真空到达时间的差值作为所述工作定时时间差，所述第一真空到达时间通过在使所述第一路径开闭装置工作时从所述第三路径测定所述模腔的真空度而得到，所述第二真空到达时间通过在使所述第二开闭装置工作时从所述第三路径测定所述模腔的真空度而得到。

2.一种抽气方法，从压铸用的模具抽取气体，所述压铸用的模具具有将熔融金属向模腔注入的第一路径、从所述模腔抽取气体的第二路径、及计量所述模腔的真空度的第三路径，其中，

所述抽气方法包括：

前工序，将第一真空到达时间与第二真空到达时间进行比较，将所述第一真空到达时间与所述第二真空到达时间的差值作为工作定时时间差，所述第一真空到达时间通过在使抽气装置的连接所述第一路径和真空装置的第一路径开闭装置工作时测定所述模腔的真空度而得到，所述第二真空到达时间通过在使抽气装置的连接所述第二路径和真空装置的第二路径开闭装置工作时测定所述模腔的真空度而得到；及

抽气工序，使所述第一真空到达时间和所述第二真空到达时间中的真空到达时间长的所述第一路径开闭装置或第二路径开闭装置先工作，在经过所述工作定时时间差之后使真空到达时间短的所述第二路径开闭装置或第一路径开闭装置工作。

Claims (5)

1.一种抽气装置，从压铸用的模具抽取气体，所述压铸用的模具具有将熔融金属向模腔注入的第一路径、从所述模腔抽取气体的第二路径、及计量所述模腔的真空度的第三路径，其中，

所述抽气装置具有：第一路径开闭装置，将所述第一路径和真空装置连接；及第二路径开闭装置，将所述第二路径和真空装置连接，

所述抽气装置具有控制部，该控制部能够对所述第一路径开闭装置和所述第二路径开闭装置的工作定时设置工作定时时间差。

2.根据权利要求1所述的抽气装置，其中，

所述控制部将第一真空到达时间与第二真空到达时间的差值作为所述工作定时时间差，所述第一真空到达时间通过在使所述第一路径开闭装置工作时从所述第三路径测定所述模腔的真空度而得到，所述第二真空到达时间通过在使所述第二开闭装置工作时从所述第三路径测定所述模腔的真空度而得到。

3.根据权利要求1或2所述的抽气装置，其中，

在所述第一路径中的从将熔融金属向所述模具注入的套筒内部抽取气体的套筒真空吸引口的所述套筒内部设置真空吸引槽，所述真空吸引槽的长度比压入所述套筒内部的熔融金属的端头的滑动面的长度短，所述真空吸引槽的宽度为所述套筒的内径的1/3以下。

4.根据权利要求3所述的抽气装置，其中，

在所述模腔与所述第二路径开闭装置之间还具有真空吸引路径封闭装置，

所述套筒真空吸引口的截面积为所述真空吸引路径封闭装置的路径的最小截面积的1.5～2.0倍，所述真空吸引槽的截面积为所述套筒真空吸引口的截面积的1.1～1.2倍。

5.一种抽气方法，从压铸用的模具抽取气体，所述压铸用的模具具有将熔融金属向模腔注入的第一路径、从所述模腔抽取气体的第二路径、及计量所述模腔的真空度的第三路径，其中，

所述抽气方法包括：

前工序，将第一真空到达时间与第二真空到达时间进行比较，将所述第一真空到达时间与所述第二真空到达时间的差值作为工作定时时间差，所述第一真空到达时间通过在使抽气装置的连接所述第一路径和真空装置的第一路径开闭装置工作时测定所述模腔的真空度而得到，所述第二真空到达时间通过在使抽气装置的连接所述第二路径和真空装置的第二路径开闭装置工作时测定所述模腔的真空度而得到；及

抽气工序，使所述第一真空到达时间和所述第二真空到达时间中的真空到达时间长的所述第一路径开闭装置或第二路径开闭装置先工作，在经过所述工作定时时间差之后使真空到达时间短的所述第二路径开闭装置或第一路径开闭装置工作。

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