CN112955387B - 输送系统 - Google Patents

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Abstract

输送系统(1)具备：沿第一方向输送物品(F)的第一输送线(11)；与第一输送线(11)平行地设置，并且沿与第一方向相反的方向的第二方向输送物品(F)的第二输送线(13)；与第一输送线(11)以及第二输送线(13)平行地设置，并且设置为能够在沿第一方向输送物品(F)的状态与沿第二方向输送物品(F)的状态之间切换的备用线(15)；在第一输送线(11)与备用线(15)之间输送物品(F)的多个第一连接线(17)；以及在第二输送线(13)与备用线(15)之间输送物品(F)的多个第二连接线(19)。

Description

输送系统
技术领域
本发明涉及输送系统。
背景技术
作为输送物品的输送装置公知有传送带装置。例如，在专利文献1公开了沿着带输送机的宽度方向并列配置沿一个方向相互反向输送物品的两个输送线的输送系统。在这样的输送系统中，例如在输送线的故障时或者维护时(以后，将这些统称为“输送线异常时”。)，往往希望设置能够代替物品的输送的备用线。在该情况下，例如考虑了在相互反向输送物品的输送线分别设置备用线的情况。
专利文献1：日本特开昭61-7133号公报
然而，为了与两个输送线各自对应地设置备用线，需要广大的设置空间。在供输送系统设置的工厂等中，只有有限的空间，往往无法设置两个备用线。
发明内容
因此，本发明的一个方面的目的在于提供一种能够紧凑地构建在输送线产生异常时代替物品的输送的备用线的输送系统。
本发明的一个方面的输送系统构成为包含支承并输送物品的底部的输送装置，其具备：第一输送线，其沿第一方向输送物品；第二输送线，其与第一输送线平行地设置，并且沿与第一方向相反的方向的第二方向输送物品；备用线，其与第一输送线以及第二输送线平行地设置，并且设置为能够在沿第一方向输送物品的状态与沿第二方向输送物品的状态之间进行切换；多个第一连接线，其在第一输送线与备用线之间输送物品；以及多个第二连接线，其在第二输送线与备用线之间输送物品。
在该结构的输送系统中，不设置与第一输送线以及第二输送线各自对应的备用线，而仅设置有一个在第一输送线以及第二输送线中兼用的备用线。而且，该一个备用线构成为能够沿第一方向以及第二方向这两个方向输送物品，并且设置有能够在该一个备用线与第一输送线以及第二输送线双方之间能够进行物品的搬入以及搬出的第一连接线以及第二连接线。由此，能够通过一个备用线构成与将备用线设置于第一输送线以及第二输送线的各个的结构相同的功能。其结果是，能够紧凑地构建在输送线产生了异常时代替物品的输送的备用线。
本发明的一个方面的输送系统也可以还具备：控制部，其控制构成第一输送线、第二输送线、备用线、第一连接线以及第二连接线的各个的输送装置；以及异常状态取得部，其取得构成第一输送线以及第二输送线各自的输送装置中的至少一个存在异常的情况，控制部若在异常状态取得部中取得存在异常的情况，则使构成备用线的至少一部分的输送装置从停止状态起动，并且利用第一连接线、第二连接线以及备用线，以避开存在异常的输送装置的方式执行输送物品的备用控制。在该结构中，利用在异常时起动的、备用线、第一连接线以及第二连接线以避开异常位置的方式输送物品。其结果是，即使第一输送线以及第二输送线的至少一方产生异常，也能够继续输送而不停止物品的输送。
在在本发明的一个方面的输送系统中，也可以在第一输送线与第一连接线的连接部、备用线与第一连接线的连接部、第二输送线与第二连接线的连接部以及备用线与第二连接线的连接部的各个作为输送装置，配置支承物品的底部进行输送并且以铅垂方向为旋转轴使物品旋转的旋转输送装置。根据该结构，在输送前后的朝向被决定的物品的情况下，能够在维持该朝向的状态下进行输送。
在本发明的一个方面的输送系统中，控制部也可以在物品位于配置于相互相邻的两个连接部之间的输送装置的情况下，禁止配置于该两个连接部的各个的旋转输送机的旋转。根据该结构，在备用控制时，能够避免物品彼此的碰撞。
在本发明的一个方面的输送系统中，控制部也可以检索用于避开存在异常的输送装置的最短路径，仅使构成备用线的输送装置中的、相当于最短路径的输送装置起动。根据该结构，能够将作为备用线起动的输送装置的数量限制在最小限度。另外，能够缩短用于避开一个异常位置的备用线的输送方向的距离，所以能够将用于避开其它异常位置的备用线的输送方向的距离保留得更长。由此，即使在多个位置产生了异常的情况下，也能够提高同时可避开的可能性。其结果是，能够避免或减少第一输送线以及第二输送线的至少一方产生异常时的运转率的降低。
在本发明的一个方面的输送系统中，备用线也可以在与第一方向正交的宽度方向上，设置于第一输送线与第二输送线之间。根据该结构，能够简单地构建第一连接线以及第二连接线的结构。
在本发明的一个方面的输送系统中，第一连接线以及第二连接线也可以设置为能够沿向备用线搬入物品的搬入方向或者从备用线搬出物品的搬出方向这两个方向进行输送。根据该结构，在执行备用控制时，能够选择更多的回避路径。其结果是，例如能够以更短的路径避开异常位置。
在本发明的一个方面的输送系统中，第一输送线以及第二输送线也可以面向在铅垂方向上输送物品的层间输送装置而配置，并且与层间输送装置的出入库输送机连接。若欲设置层间输送装置则需要空间，设置输送装置的空间受限制的情况较多。根据该结构，能够紧凑地构建备用线，所以即使在设置层间输送装置的情况下，也能够构建备用线。
本发明的一个方面的输送系统也可以配置于相互不同的建筑物的相互间，连接分别配置于相互不同的建筑物的内部的处理系统彼此。若在相互不同的建筑物之间配置输送系统，则其铺设距离变得较长，成本增大。根据该结构，铺设一根备用线即可，所以能够抑制成本的增大。
根据本发明的一个方面，能够紧凑地构建在输送线产生了异常时代替物品的输送的备用线。
附图说明
图1是表示供一实施方式的输送系统配置的第一房屋、第二房屋以及房屋间廊下的简要俯视图。
图2是表示配置于第一房屋的输送系统的一部分的俯视图。
图3(A)是第一输送单元的俯视图，图3(B)是从图3(A)的IIIB-IIIB线观察的剖视图。
图4(A)是第二输送单元的俯视图，图4(B)是从图4(A)的IVB-IVB线观察的剖视图。
图5(A)是旋转输送单元的俯视图，图5(B)是从图5(A)的VB-VB线观察的剖视图。
图6(A)～图6(D)的各个是说明在第一输送线或者第二输送线产生了异常时的备用控制的一个例子的图。
图7(A)～图7(D)的各个是说明在第一输送线以及第二输送线双方产生异常时的备用控制的一个例子的图。
图8是表示配置于第二房屋的输送系统的一部分的俯视图。
图9是表示配置于房屋间建筑物的输送系统的一部分的俯视图。
图10是表示变形例1的输送系统的一部分的俯视图。
图11是表示变形例2的输送系统的一部分的俯视图。
具体实施方式
以下，参照附图详细说明本发明的一个方面的优选的一实施方式。此外，在附图的说明中，对同一要素标注相同的附图标记，省略重复的说明。
如图1所示，本实施方式的输送系统1分别配置于第一房屋B1、第二房屋B2以及房屋间建筑物C。在第一房屋B1构建有具备保管储存有被输送物的容器(以下称为“物品F”。参照图2)的多个储料器6；以及将物品F搬入储料器6，或从储料器6搬出物品F的输送系统1A的处理系统。物品F例如包含收纳由半导体制造装置或者液晶制造装置等处理的晶片的FOUP(Front-Opening Unified Pod：前开式联合吊舱)、以及收纳在半导体制造装置或者液晶制造装置等中使用的标线片的标线片盒。在本实施方式中，以FOUP为例进行说明。
在第二房屋B2构建有具备对收纳于物品F的晶片进行某种处理的处理装置7；沿铅垂方向移动，将物品F向其它楼层输送的层间输送装置8；以及将物品F向处理装置7或者层间输送装置8搬入，或从处理装置7或者层间输送装置8搬出物品F的输送系统1B的处理系统。处理装置7的例子包含对晶片实施清洗、离子注入、热处理、光刻、蚀刻、成膜以及平坦化等各种工序的处理的装置。
房屋间建筑物C配置于第一房屋B1与第二房屋B2之间。在房屋间建筑物C配置有输送系统1C。输送系统1C配置于相互不同的第一房屋B1与第二房屋B2的相互间，连接分别配置于相互不同的第一房屋B1与第二房屋B2的内部的处理系统彼此。
详细说明配置于第一房屋B1的输送系统1A。输送系统1A构成为包含作为支承物品F的底部进行输送的输送单元(输送装置)3的第一输送单元30(参照图3(A)以及图3(B))、第二输送单元40(参照图4(A)以及图4(B))、以及旋转输送单元(旋转输送装置)50(参照图5(A)以及图5(B))。如图2所示，输送系统1A具备第一输送线11、第二输送线13、备用线15、多个第一连接线17、多个第二连接线19、物品搬入搬出线21、异常状态取得部80(参照图1)以及控制部90(参照图1)。
第一输送线11是将物品F沿第一方向输送的部分。第一输送线11构成为包含第一输送单元30、和旋转输送单元50。
如图3(A)以及图3(B)所示，第一输送单元30具有支承物品F的底部的宽度方向的两端部进行输送的一对带31、31。一对带31、31是轮状的无端带，带31、31的各个被卷绕在沿输送方向排列的一对输送辊35、35。输送辊35具有供带31卷绕的辊部32、和连结辊部32、32彼此的连结轴34。各个带31、31通过至少一方的输送辊35、35被驱动部36驱动而旋转，将支承的物品F沿第一方向输送。一对输送辊35、35被引导部33支承。引导部33具有支承一对输送辊35、35并且引导物品F的侧面的功能。引导部33被基座部39支承。
如图5(A)以及图5(B)所示，旋转输送单元50具有支承物品F的底部的宽度方向的两端部进行输送的一对带51、51。一对带51、51是轮状的无端带，带51、51的各个被卷绕在沿输送方向排列的一对输送辊55、55。输送辊55具有供带51卷绕的辊部52、和连结辊部52、52彼此的连结轴54。各个带51、51通过至少一方的输送辊55、55被驱动部56驱动而旋转，将支承的物品F沿第一方向输送。
在一对输送辊55、55设置有引导部53。引导部53具有引导物品F的侧面的功能。一对输送辊55、55被旋转部57支承。旋转部57支承一对输送辊55、55，并且使一对输送辊55、55旋转而使物品F的行进方向变化。旋转部57通过驱动部58而旋转，使支承的一对输送辊55、55旋转。旋转部57被基座部59支承。即被旋转部57支承的一对输送辊55、55设置为能够相对于基座部59旋转。
此外，在本实施方式的输送系统1中，作为配置于第一输送线11与第一连接线17的连接部、备用线15与第一连接线17的连接部、第二输送线13与第二连接线19的连接部以及备用线15与第二连接线19的连接部的输送装置，设置有上述旋转输送单元50。在设置有这样的旋转输送单元50的输送系统1中，能够将决定了前后方向的FOUP那样的物品F以维持其前后方向的状态进行输送。
如图2所示，第二输送线13是在与第一方向正交的宽度方向上相互平行地设置、并且将物品F向与第一方向相反的第二方向输送的部分。第二输送线13与第一输送线11相同，构成为包含第一输送单元30、和旋转输送单元50。在第二输送线13中使用的第一输送单元30以及旋转输送单元50除了将物品F沿第二方向输送这一点之外，与在第一输送线11中使用的第一输送单元30以及旋转输送单元50的结构相同。因此，这里省略第一输送单元30以及旋转输送单元50的详细说明。
备用线15是作为第一输送线11以及第二输送线13的备用发挥功能的部分。备用线15在第一输送线11以及第二输送线13所含的第一输送单元30以及旋转输送单元50的全部没有异常的通常时处于停止状态，在第一输送线11以及第二输送线13所含的第一输送单元30以及旋转输送单元50中的至少一个处于异常的情况下(以下，简称为“异常时”。)，用作回避路径。
此外，这里所说的停止状态包含没有接通电源的情况以及虽接通了电源但没有进行动作的情况双方的状态。
备用线15相对于第一输送线11以及第二输送线13平行地设置，并且在第一输送线11以及第二输送线13的宽度方向上，设置于第一输送线11与第二输送线13之间。备用线15设置为能够在沿第一方向输送物品F的状态与沿第二方向输送物品F的状态之间进行切换。备用线15与第一输送线11相同，构成为包含第一输送单元30以及旋转输送单元50。在备用线15中使用的第一输送单元30以及旋转输送单元50除了设置为能够沿第一方向以及第二方向这两个方向输送物品F这点之外，与在第一输送线11中使用的第一输送单元30以及旋转输送单元50的结构相同。因此，这里省略第一输送单元30以及旋转输送单元50的详细说明。
第一连接线17是作为第一输送线11以及第二输送线13的备用发挥功能的部分。第一连接线17在第一输送线11与备用线15之间输送物品F。第一连接线17构成为包含构成第一输送线11的旋转输送单元50、构成备用线15的旋转输送单元50、以及夹在上述旋转输送单元50、50之间的第二输送单元40。
如图4(A)以及图4(B)所示，第二输送单元40具有支承物品F的底部的宽度方向的两端部进行输送的一对带41、41。一对带41、41是轮状的无端带，带41、41的各个被卷绕在沿输送方向排列的一对输送辊45、45。第二输送单元40中的一对输送辊45、45间的距离比第一输送单元30这种的一对输送辊35、35间的距离短。
输送辊45具有供带41卷绕的辊部42、和连结辊部42、42彼此的连结轴44。各个带41、41通过至少一方的输送辊45、45被驱动部46驱动而旋转，将支承的物品F向与第一方向(或者第二方向)正交的第三方向或者第四方向输送。即驱动部46设置为能够切换输送辊45、45的旋转方向。一对输送辊45、45被引导部43支承。引导部43具有支承一对输送辊45、45并且引导物品F的侧面的功能。引导部43被基座部49支承。
在第一连接线17中使用的旋转输送单元50除了设置为能够沿与第一方向(或者第二方向)正交的第三方向以及第四方向这两个方向输送物品F这点之外，与在第一输送线11中使用的旋转输送单元50的结构相同。因此，这里省略旋转输送单元50的详细说明。
第二连接线19是作为第一输送线11以及第二输送线13的备用发挥功能的部分。第二连接线19在第二输送线13与备用线15之间输送物品F。第二连接线19构成为包含构成第二输送线13的旋转输送单元50、构成备用线15的旋转输送单元50、以及夹在上述旋转输送单元50、50之间的第二输送单元40。在第二连接线19中使用的第二输送单元40以及旋转输送单元50与在第一连接线17中使用的第二输送单元40以及旋转输送单元50的结构相同。因此，这里省略第二输送单元40以及旋转输送单元50的详细说明。
如图2所示，物品搬入搬出线21是在第一输送线11以及第二输送线13与储料器6之间输送物品F的部分。物品搬入搬出线21构成为包含第一输送单元30、第二输送单元40以及旋转输送单元50。第一输送单元30、第二输送单元40以及旋转输送单元50的结构与上述第一输送单元30、第二输送单元40以及旋转输送单元50的结构相同，所以省略这里的说明。
储料器6具备搬入物品F的搬入端口61和搬出物品F的搬出端口62。在搬入端口61与旋转输送单元50之间配置有构成储料器6的入库输送机23的第二输送单元40。物品F通过旋转输送单元50的旋转而朝向第二输送单元40方向，被第二输送单元40送出。然后，物品F被设置于搬入端口61的未图示的机械手装置接受。
另外，在搬出端口62与旋转输送单元50之间配置有构成储料器6的出库输送机24的第二输送单元40。物品F通过设置于搬出端口62的未图示的机械手装置被从搬出端口62向第二输送单元40交接。然后，物品F被旋转输送单元50送出，通过旋转输送单元50的旋转而被向下游侧输送。
异常状态取得部80(参照图1)是取得第一输送线11以及第二输送线13所含的第一输送单元30以及旋转输送单元50中的至少一个处于异常的情况的装置。异常状态取得部80检测上述第一输送单元30以及旋转输送单元50中的至少一个处于异常，或者输入异常。例如，异常状态取得部80也可以是检测载置于各输送单元3上的物品F的传感器等检测部(未图示)。另外，这样的检测部也可以是与每个输送单元3对应地设置，在一个检测部中检测出物品F的状态持续了规定时间以上的情况下，检测出(检测出输送单元3停止)物品F没有从与一个检测部对应的输送单元上移动由此取得上述异常的装置。另外，例如异常状态取得部80也可以是通过管理输送系统1A的管理者等，例如经由触摸面板等接口，输入(指定)存在异常的输送装置的结构的装置。
控制部90控制配置于第一房屋B1的输送系统1A的动作。控制部90是由CPU(Central Processing Unit：中央处理器)、ROM(Read Only Memory：只读存储器)以及RAM(Random Access Memory：随机存取存储器)等构成的电子控制单元。控制部90例如能够构成为将存储于ROM的程序加载于RAM上并由CPU执行的软件。控制部90也可以构成为电子电路等的硬件。
例如，控制部90在异常状态取得部80中，检测出第一输送线11以及第二输送线13所含的第一输送单元30存在异常或者输入存在异常时，使构成通常时停止的备用线15的至少一部分的第一输送单元30以及旋转输送单元50从停止状态起动，并且利用第一连接线17、第二连接线19以及备用线15，以避开处于异常的第一输送单元30的方式执行输送物品F的备用控制。控制部90检索用于避开处于异常的第一输送单元30的最短路径，仅使构成备用线15、第一连接线17以及第二连接线19的第一输送单元30以及旋转输送单元50中的、相当于最短路径的第一输送单元30以及旋转输送单元50起动。以下，使用图6(A)～图6(D)以及图7(A)～图7(D)详细说明控制部90的备用控制。
如图6(A)以及图6(B)所示，若由异常状态取得部80检测出(或者输入)构成第一输送线11的第一输送单元30之一产生异常(图6(A)以及图6(B)所示的×的位置)，则控制部90检索能够避开存在异常的第一输送单元30的最短的路径。具体而言，控制部90抽出构成位于存在异常的第一输送单元30(在后段中说明的节点部)的两端的第一连接线17或者第二连接线19的输送单元3、3，即旋转输送单元50、50(在后段中说明的连接部)，检索将该旋转输送单元50、50作为起点以及终点的回避路径。
控制部90决定利用分别配置于存在异常的第一输送单元30的两端、构成第一输送线11以及第一连接线17的旋转输送单元50、50，与该旋转输送单元50、50的各个连接、构成第一连接线17的第二输送单元40、40，与上述第二输送单元40、40的各个连接、构成第一连接线17以及备用线15的旋转输送单元50、50，以及夹在上述旋转输送单元50、50之间、构成备用线15的第一输送单元30的回避路径。控制部90使处于停止状态，该回避路径所含的备用线15上的第一输送单元30，两个旋转输送单元50、50，两个第二输送单元40、40从停止状态起动。而且，控制部90利用所决定的回避路径，以避开存在异常的第一输送单元30的方式输送物品F。
如图6(C)以及图6(D)所示，若由异常状态取得部80检测出(或者输入)构成第二输送线13的第一输送单元30之一产生异常(图6(C)以及图6(D)所示的×的位置)，则控制部90检索能够避开存在异常的第一输送单元30的最短的路径。此外，回避路径的决定方法如上所述。
控制部90决定利用分别配置于存在异常的第一输送单元30的两端、构成第二输送线13以及第二连接线19的旋转输送单元50、50，与该旋转输送单元50、50的各个连接、构成第二连接线19的第二输送单元40、40，与上述第二输送单元40、40的各个连接、构成第二连接线19以及备用线15的旋转输送单元50、50，以及夹在上述旋转输送单元50、50之间、构成备用线15的第一输送单元30的回避路径。控制部90使处于停止状态，该回避路径所含的备用线15上的第一输送单元30，两个旋转输送单元50、50以及两个第二输送单元40、40从停止状态起动。而且，控制部90利用所决定的回避路径，以避开存在异常的第一输送单元30的方式输送物品F。
接下来，使用图7(A)～图7(D)对由异常状态取得部80检测出(或者输入)构成第一输送线11的第一输送单元30、和构成第二输送线13的第一输送单元30双方产生异常的情况进行说明。
如图7(A)～图7(D)所示，若由异常状态取得部80检测出(或者输入)构成第一输送线11的第一输送单元30之一产生异常(图7(A)～图7(D)所示的×的位置)，则控制部90检索能够避开存在异常的第一输送单元30的最短的路径。此外，回避路径的决定方法如上所述。
具体而言，控制部90决定利用分别配置于存在异常的第一输送单元30的两端、构成第一输送线11以及第一连接线17的旋转输送单元50、50，与该旋转输送单元50、50的各个邻接、构成第一连接线17的第二输送单元40、40，与上述第二输送单元40、40的各个连接、构成第一连接线17以及备用线15的旋转输送单元50、50，以及夹在上述旋转输送单元50、50之间、构成备用线15的第一输送单元30的回避路径。控制部90使处于停止状态，该回避路径所含的备用线15上的第一输送单元30，两个旋转输送单元50、50，以及两个第二输送单元40、40从停止状态起动。而且，控制部90利用所决定的回避路径，以避开存在异常的第一输送单元30的方式输送物品F。
同样，若由异常状态取得部80检测出构成第二输送线13的第一输送单元30之一产生异常，则控制部90检索能够避开存在异常的第一输送单元30的最短的路径。此外，回避路径的决定方法如上所述。
具体而言，控制部90决定利用分别配置于存在异常的第一输送单元30的两端、构成第二输送线13以及第二连接线19的旋转输送单元50、50，与该旋转输送单元50、50的各个连接、构成第二连接线19的第二输送单元40、40，与上述第二输送单元40、40的各个连接、构成第二连接线19以及备用线15的旋转输送单元50、50，以及夹在上述旋转输送单元50、50之间、构成备用线15的第一输送单元30的回避路径。控制部90使处于停止状态，该回避路径所含的备用线15上的第一输送单元30和两个旋转输送单元50、50从停止状态起动。而且，控制部90利用所决定的回避路径，以避开存在异常的第一输送单元30的方式输送物品F。
在图7(A)所示的例子中，第一输送线11的回避路径的一部分与第二输送线13的回避路径的一部分，在构成备用线15的一个第一输送单元30以及两个旋转输送单元50、50中重复(图7(A)所示的阴影部)。以下，将第一输送线11与第一连接线17的连接部、备用线15与第一连接线17的连接部、第二输送线13与第二连接线19的连接部以及备用线15与第二连接线19的连接部的各个作为连接部来进行说明，将相互相邻的连接部的部分作为节点部进行说明。
若第一输送线11以及第二输送线13的回避路径重复，则存在物品F彼此碰撞的情况。因此，控制部90在物品F位于节点部的情况下，禁止设置于该节点部的两端的连接部的旋转输送单元50、50的旋转。更详细而言，控制部90禁止作为能够从夹在旋转输送单元50、50之间的节点部进入旋转输送单元50、50的状态的旋转以外的旋转输送单元50、50的旋转。由此，不会向相同的节点部搬入两个以上的物品F。其结果是，即使通过控制部90执行备用控制，物品F、F彼此也不会发生碰撞。
在图7(B)以及图7(C)所示的例子中，第一输送线11的回避路径的一部分与第二输送线13的回避路径的一部分在构成备用线15的一个旋转输送单元50中重复(图7(B)以及图7(C)所示的阴影部)。在该情况下，控制部90在物品F位于节点部的情况下，禁止设置于该节点部的两端的连接部的旋转输送单元50、50的旋转。更详细而言，控制部90禁止作为能够从夹在旋转输送单元50、50之间的节点部进入旋转输送单元50、50的状态的旋转以外的旋转输送单元50、50的旋转。
在图7(D)所示的例子中，第一输送线11的回避路径的一部分与第二输送线13的回避路径的一部分在构成备用线15的第一输送单元30以及旋转输送单元50中不重复。即、即使通过控制部90执行备用控制，物品F、F彼此也不会碰撞。换言之，第一输送线11的避开动作与第二输送线13的避开动作能够并行地处理。此外，在该情况下，控制部90在物品F位于节点部的情况下，也可以禁止设置于该节点部的两端的连接部的旋转输送单元50、50的旋转。
接下来，详细说明配置于第二房屋B2的输送系统1B。输送系统1B与输送系统1A相同，也构成为包含作为支承物品F的底部进行输送的输送单元3的第一输送单元30(参照图3(A)以及图3(B))、第二输送单元40(参照图4(A)以及图4(B))以及旋转输送单元50(参照图5(A)以及图5(B))。如图8所示，输送系统1B具备第一输送线11、第二输送线13、备用线15、多个第一连接线17B、多个第二连接线19B、异常状态取得部80(参照图1)以及控制部90(参照图1)。
输送系统1B与输送系统1A不同的是以下方面，即在第一输送线11与备用线15之间输送物品F的第一连接线17B的结构、在第二输送线13与备用线15之间输送物品F的第二连接线19B的结构、以及设置于输送系统1A的物品搬入搬出线21。具体而言，如图8所示，没有在第一输送线11与备用线15之间以及第二输送线13与备用线15之间配置第二输送单元40。即第一连接线17B仅由构成第一输送线11的旋转输送单元50以及构成备用线15的旋转输送单元50构成，通过该旋转输送单元50彼此直接交换物品F。同样，第二连接线19B仅由构成第二输送线13的旋转输送单元50以及构成备用线15的旋转输送单元50构成。
另外，在输送系统1B中，第一输送线11以及第二输送线13的各个面向在铅垂方向上输送物品的层间输送装置8配置。详细而言，分别构成层间输送装置8的出入库输送机(入库输送机23以及出库输送机24)的第二输送单元40、40与构成第一输送线11的旋转输送单元50连接。另一方面，备用线15不面向层间输送装置8(没有直接连接)。上述以外的结构与输送系统1A相同，所以省略这里的详细说明。
由输送系统1B的控制部90进行的备用控制除了构成第一连接线17以及第二连接线19的第二输送单元40不参与之外，也与上段说明的由输送系统1A的控制部90进行的备用控制相同。即、在输送系统1B中即使在第一输送线11以及第二输送线13的一部分的第一输送单元30以及旋转输送单元50产生异常的情况下，也能够避开产生了该异常的第一输送单元30以及旋转输送单元50，同时输送物品F。
接下来，详细说明配置于房屋间建筑物C的输送系统1C。输送系统1C也与输送系统1A相同，构成为包含支承物品F的底部进行输送的输送单元3的第一输送单元30(参照图3(A)以及图3(B))、第二输送单元40(参照图4(A)以及图4(B))以及旋转输送单元50(参照图5(A)以及图5(B))。
如图9所示，输送系统1C具备第一输送线11、第二输送线13、备用线15、多个第一连接线17、多个第二连接线19、异常状态取得部80(参照图1)以及控制部90(参照图1)。输送系统1C配置于相互不同的建筑物(第一房屋B1与第二房屋B2)之间，连接分别配置于相互不同的建筑物(第一房屋B1与第二房屋B2)的内部的处理系统彼此。
如图8所示，输送系统1C与输送系统1A不同的点是输送方向(第一方向以及第二方向)的第一连接线17以及第二连接线19的设置间隔比输送系统1A长，以及没有设置设置于输送系统1A的物品搬入搬出线21。除了上述以外的结构与输送系统1A相同，所以省略这里的详细说明。
由输送系统1C的控制部90进行的备用控制也与上段说明的、由输送系统1A的控制部90进行的备用控制相同。即、在输送系统1C中即使在第一输送线11以及第二输送线13的一部分的第一输送单元30以及旋转输送单元50产生异常的情况下，也能够避开产生了该异常的第一输送单元30以及旋转输送单元50，同时输送物品F。
接下来，对上述实施方式的输送系统1的作用效果进行说明。在上述实施方式的输送系统1中，没有设置与第一输送线11以及第二输送线13各自对应的备用线，仅设置有一个在第一输送线11以及第二输送线13中兼用的备用线15。而且，该一个备用线15构成为能够沿第一方向以及第二方向这两个方向输送物品F，并且设置有在该一个备用线15与第一输送线11以及第二输送线13双方之间进行物品F的搬入以及搬出的第一连接线17以及第二连接线19。由此，能够通过一个备用线15构成与在第一输送线11以及第二输送线13的各个设置备用线的结构相同的功能。其结果是，紧凑地构建在第一输送线11以及第二输送线13产生异常时代替物品F的输送的备用线15。
在上述实施方式的输送系统1中，构成通常时处于停止状态的备用线15的第一输送单元30以及旋转输送单元50在异常时自动地起动。具体而言，在异常时备用线15、第一连接线17以及第二连接线19自动地起动。由此，能够利用备用线15、第一连接线17以及第二连接线19进行避开异常位置的物品输送。其结果是，即使第一输送线11以及第二输送线13的至少一方产生异常，也能够继续输送而不停止物品F的输送。
在上述实施方式的输送系统1中，配置于连接部的输送单元3是支承物品F的底部进行输送，并且以铅垂方向为旋转轴使物品F旋转的旋转输送单元50。由此，例如在输送FOUP等前后的朝向被决定的物品F的情况下，能够在维持该朝向的状态下进行输送。
在上述实施方式的输送系统1中，控制部90在物品F位于节点部的情况下，禁止设置于该节点部的两端的连接部的旋转输送单元50的旋转。由此，在由控制部90进行的备用控制时，能够避免物品F、F彼此的碰撞。
在上述实施方式的输送系统1中，控制部90检索用于避开在第一输送线11以及第二输送线13中存在异常的第一输送单元30的最短路径，仅使构成备用线15的输送单元3(第一输送单元30以及旋转输送单元50)中的、相当于最短路径的第一输送单元30以及旋转输送单元50起动。由此，能够将作为备用线15起动的第一输送单元30以及旋转输送单元50的数量限制在最小限度。另外，在上述实施方式中，用于避开一个异常位置的备用线15的输送方向上的距离短，所以减少在多个位置产生异常的情况下，也能够提高同时避开的可能性。其结果是，能够避免或减少第一输送线11以及第二输送线13中的至少一方产生异常时的运转率的降低。
在上述实施方式的输送系统1中，备用线15在宽度方向上，设置于第一输送线11与第二输送线13之间，所以能够简单地构建第一连接线17以及第二连接线19的结构。
在上述实施方式的输送系统1中，第一连接线17以及第二连接线19设置为能够沿第三方向以及第四方向这两个方向输送物品F，所以在执行由控制部90进行的备用控制时，能够选择更多的回避路径。其结果是，例如能够以更短的路径避开异常位置。
在上述实施方式的输送系统1中，能够紧凑地构建备用线15，所以即使在设置层间输送装置8、设置空间存在限制的地方，也能够构建备用线15。
在上述实施方式的输送系统1中，铺设一根备用线即可，所以即使在距离较长的房屋之间铺设输送系统的情况下，也能够抑制成本增大。
以上，虽对本发明的一个方面的一实施方式进行了说明，但本发明的一个方面并不限于上述实施方式，在不脱离发明的宗旨的范围内能够进行各种改变。
＜变形例1＞
举出了上述实施方式的第一连接线17以及第二连接线19中使用的旋转输送单元50设置为能够沿第三方向以及第四方向这两个方向输送物品F的例子进行了说明，但并不限于此。
例如，如图10所示，第一连接线17也可以构成为设置有一个以上能够仅沿向备用线15搬入物品F的搬入方向(第三方向)输送的第二输送单元40A，设置有一个以上能够仅沿从备用线15搬出物品F的搬出方向(第四方向)输送的第二输送单元40B的输送系统1D。
另外，例如第二连接线19也可以构成为设置有一个以上能够仅沿向备用线15搬入物品F的搬入方向(第四方向)输送的第二输送单元40A，设置有能够仅沿从备用线15搬出物品F的搬出方向(第三方向)输送的第二输送单元40B的输送系统1D。
即使是变形例1的结构，例如即使在第一输送线11(或者第二输送线13)中在第二输送单元40A与第二输送单元40B之间的第一输送单元30产生了异常的情况下，控制部90也能够执行避开产生了该异常的第一输送单元30的备用控制。而且，在执行该备用控制时，能够进行简单的控制。
＜变形例2＞
在上述实施方式的输送系统1(1A～1D)中，虽举出了构建为输送方向相对较长的例子进行了说明，但如图11所示，也可以构成为以网格状配置第一输送线11、第二输送线13、备用线15、第一连接线17以及第二连接线19的输送系统1E。另外，第一输送线11以及第二输送线13面向将物品F搬入输送系统1E的搬入端口71以及从输送系统1E搬出物品F的搬出端口72。
另外，在上述实施方式中，虽举出了构成第一输送线11和/或第二输送线13的第一输送单元30产生了异常的例子进行了说明，但并不限于此。例如，如图11所示，也可以在构成第一输送线11和/或第二输送线13的旋转输送单元50(连接部)产生了异常的情况下，利用在第一方向或者第二方向(输送方向)上与该旋转输送单元50邻接的两个旋转输送单元50、50(连接部)，将物品F向备用线15搬入或者从备用线15将其搬出。即使在该情况下，控制部90也能够将该旋转输送单元50、50作为起点以及终点来检索回避路径，决定能够避开存在异常的旋转输送单元50的最短路径。
＜其它的变形例＞
在上述实施方式或者变形例中，虽举出了为了沿第一方向或者第二方向输送物品F，排列多个第一输送单元30的例子进行了说明，但也可以在相当于节点部的部分配置沿输送方向延伸的一个输送单元3。
另外，在上述实施方式或者变形例中，虽举出了在输送系统1A～1C的各个设置有控制部90以及异常状态取得部80的例子进行了说明，但也可以设置有统一输送系统1A～1C的一个控制部以及异常状态取得部，也可以以输送单元为单位设置有控制部以及异常状态取得部。
在上述实施方式或者变形例中，虽以备用线15配置于第一输送线11与第二输送线13之间的例子为例进行了说明，但备用线15例如可以配置于第一输送线11的外侧，也可以配置于第二输送线13的外侧。
在上述实施方式或者变形例中，如图2、图8～图11所示，虽以在与输送方向正交的宽度方向上将第一连接线17与第二连接线19配置为一直线的例子为例进行了说明，但也可以以在第一连接线17以及第二连接线19的延伸方向上错开的状态(在宽度方向上不是一直线的状态)进行配置。
在上述实施方式或者变形例中，虽举出了通过在相当于连接部的位置设置旋转输送单元50来构成第一连接线17以及第二连接线19的例子进行了说明，但并不限定于此。例如，也可以设置沿第三方向或者第四方向推出物品F的推动器，构成第一连接线17以及第二连接线19。即、也可以通过推动器从第一输送线11或者第二输送线13将物品F搬入备用线15，或向第一输送线11或者第二输送线13搬出物品F。在该情况下，构成第一连接线17以及第二连接线19的一部分的、图2等所示的第二输送单元40也可以构成为不具有驱动部46的辊输送机。
附图标记的说明
1(1A、1B、1C、1D、1E)…输送系统，3…输送单元(输送装置)，6…储料器，7…处理装置，8…层间输送装置，11…第一输送线，13…第二输送线，15…备用线，17、17B…第一连接线，19、19B…第二连接线，23…入库输送机，24…出库输送机，30…第一输送单元，40、40A、40B…第二输送单元，50…旋转输送单元(旋转输送装置)，80…异常状态取得部，90…控制部，B1…第一房屋，B2…第二房屋，C…房屋间建筑物，F…物品。

Claims (9)

1.一种输送系统，构成为包含支承并输送物品的底部的输送装置，其特征在于，具备：
第一输送线，其沿第一方向输送上述物品；
第二输送线，其与上述第一输送线平行地设置，并且沿与上述第一方向相反的方向的第二方向输送上述物品；
备用线，其与上述第一输送线以及上述第二输送线平行地设置，并且设置为能够在沿上述第一方向输送上述物品的状态与沿上述第二方向输送上述物品的状态之间进行切换；
多个第一连接线，其在上述第一输送线与上述备用线之间输送上述物品；以及
多个第二连接线，其在上述第二输送线与上述备用线之间输送上述物品。
2.根据权利要求1所述的输送系统，其特征在于，还具备：
控制部，其控制构成上述第一输送线、上述第二输送线、上述备用线、上述第一连接线以及上述第二连接线的各个的上述输送装置；以及
异常状态取得部，其取得构成上述第一输送线以及上述第二输送线各自的上述输送装置中的至少一个存在异常的情况，
上述控制部若通过上述异常状态取得部取得上述输送装置中的至少一个存在上述异常，则使构成上述备用线的至少一部分的上述输送装置从停止状态起动，并且利用上述第一连接线、上述第二连接线以及备用线，以避开存在异常的上述输送装置的方式执行输送上述物品的备用控制。
3.根据权利要求2所述的输送系统，其特征在于，
在上述第一输送线与上述第一连接线的连接部、上述备用线与上述第一连接线的连接部、上述第二输送线与上述第二连接线的连接部以及上述备用线与上述第二连接线的连接部的各个，作为上述输送装置，配置支承上述物品的底部进行输送并且以铅垂方向为旋转轴使上述物品旋转的旋转输送装置。
4.根据权利要求3所述的输送系统，其特征在于，
上述控制部在上述物品位于配置于相互相邻的两个上述连接部之间的上述输送装置的情况下，禁止配置于该两个连接部的各个的上述旋转输送装置的旋转。
5.根据权利要求2～4中任一项所述的输送系统，其特征在于，
上述控制部检索用于避开存在异常的输送装置的最短路径，仅使构成上述备用线的上述输送装置中的、相当于上述最短路径的输送装置起动。
6.根据权利要求1～4中任一项所述的输送系统，其特征在于，
上述备用线在与上述第一方向正交的宽度方向上，设置于上述第一输送线与上述第二输送线之间。
7.根据权利要求1～4中任一项所述的输送系统，其特征在于，
上述第一连接线以及上述第二连接线设置为能够沿向上述备用线搬入上述物品的搬入方向或者从上述备用线搬出上述物品的搬出方向这两个方向输送上述物品。
8.根据权利要求1～4中任一项所述的输送系统，其特征在于，
上述第一输送线以及上述第二输送线面向在铅垂方向上输送物品的层间输送装置而配置，并且与上述层间输送装置的出入库输送机连接。
9.根据权利要求1～4中任一项所述的输送系统，其特征在于，
配置于相互不同的建筑物的相互间，连接分别配置于上述相互不同的建筑物的内部的处理系统彼此。
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