CN112913342B - 单元管理装置及单元管理方法 - Google Patents

Abstract

单元管理装置管理驱动单元，上述驱动单元设置于对基板进行预定的对基板作业而生产基板产品的对基板作业机并且具备步进马达和由步进马达驱动的被驱动部。单元管理装置具备间隔设定部和判断部。间隔设定部将动作间隔设定得比生产基板产品时短。动作间隔以对基板作业中反复执行的预定动作中的一个预定动作结束而供给到步进马达的脉冲信号停止的时刻作为起点，以为了开始接下来的预定动作而开始供给脉冲信号的时刻作为终点。判断部以由间隔设定部设定的动作间隔驱动步进马达来检测有无失步，并基于步进马达有无失步来判断被驱动部是否需要维护。

Description

单元管理装置及单元管理方法

技术领域

本说明书公开与单元管理装置及单元管理方法相关的技术。

背景技术

专利文献1所记载的状态判定装置具备检测单元和判定单元。检测单元检测马达有无失步。判定单元在判定元件供给装置的状态的判定条件成立的情况下，基于与预定的驱动条件相比从马达输出的转矩变小的低转矩驱动条件对马达进行驱动控制，并基于检测单元的检测结果判定元件供给装置的状态。具体而言，判定单元使驱动马达时的脉冲信号的基准电压成为比生产安装基板时低的低电压来对马达进行驱动控制。而且，判定单元在马达没有失步的情况下判定为不需要维护，在马达失步的情况下判定为需要维护。由此，专利文献1记载的状态判定装置欲在元件供给装置产生异常之前判定是否需要维护。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2016/207952号

发明内容

发明所要解决的课题

然而，专利文献1记载的状态判定装置使驱动马达时的脉冲信号的基准电压比生产安装基板时低，来检测马达有无失步，使用在对基板作业中反复执行的预定动作的动作间隔来检测马达有无失步。

鉴于这样的状况，本说明书公开单元管理装置及单元管理方法，能够使用在对基板作业中反复执行的预定动作的动作间隔检测步进马达有无失步，判断被驱动部是否需要维护。

用于解决课题的技术方案

本说明书公开一种单元管理装置，管理驱动单元，上述驱动单元设置于对基板进行预定的对基板作业而生产基板产品的对基板作业机并且具备步进马达和由上述步进马达驱动的被驱动部。上述单元管理装置具备间隔设定部和判断部。上述间隔设定部将动作间隔设定得比生产上述基板产品时短。上述动作间隔以上述对基板作业中反复执行的预定动作中的一个上述预定动作结束而供给到上述步进马达的脉冲信号停止的时刻作为起点，以为了开始接下来的上述预定动作而开始上述脉冲信号的供给的时刻作为终点。上述判断部以由上述间隔设定部设定的上述动作间隔驱动上述步进马达并检测有无失步，基于上述步进马达有无失来步判断上述被驱动部是否需要维护。

另外，本说明书公开一种单元管理方法，上述单元管理方法管理驱动单元，上述驱动单元设置于对基板进行预定的对基板作业而生产基板产品的对基板作业机并且具备步进马达和由上述步进马达驱动的被驱动部。上述单元管理方法具备间隔设定工序和判断工序。上述间隔设定工序将动作间隔设定得比生产上述基板产品时短。上述动作间隔以上述对基板作业中反复执行的预定动作中的一个上述预定动作结束而供给到上述步进马达的脉冲信号停止的时刻作为起点，以为了开始接下来的上述预定动作而开始供给上述脉冲信号的时刻作为终点。上述判断工序以由上述间隔设定工序设定的上述动作间隔驱动上述步进马达来检测有无失步，并基于上述步进马达有无失步来判断上述被驱动部是否需要维护。

发明效果

根据上述的单元管理装置，具备间隔设定部和判断部。由此，单元管理装置能够将对基板作业中反复执行的预定动作的动作间隔设定得比生产基板产品时短来检测步进马达有无失步，并判断被驱动部是否需要维护。针对单元管理装置的上述情况，可以说针对单元管理方法也相同。

附图说明

图1是表示对基板作业线WML的结构例的结构图。

图2是表示元件安装机WM3的结构例的俯视图。

图3是表示安装头20的结构例的侧视图。

图4是表示构成于安装头20的空气供给电路30的一个例子的电路图。

图5A是表示阀装置40的阀芯41定位于第一停止位置P1并能够对保持部件50供给负压空气的状态的一个例子的剖视图。

图5B是表示阀装置40的阀芯41定位于第二停止位置P2并能够对保持部件50供给正压空气的状态的一个例子的剖视图。

图5C是表示阀装置40的阀芯41定位第三停止位置P3并能够使保持部件50向大气开放的状态的一个例子的剖视图。

图6是表示驱动单元60及单元管理装置70的控制块的一个例子的框图。

图7是表示单元管理装置70的控制过程的一个例子的流程图。

图8是表示使阀芯41在滑动方向(箭头Z方向)上滑动的机构的结构例的示意图。

图9是表示阀芯41与工作轴43的位置关系的经时变化的一个例子的示意图。

图10是表示在脉冲信号的供给停止时步进马达61的动子所产生的衰减振动的一个例子的示意图。

具体实施方式

1.实施方式

1-1.对基板作业线WML的结构例

在对基板作业线WML中，对基板90进行预定的对基板作业。构成对基板作业线WML的对基板作业机WM的种类及数量没有被限定。如图1所示，本实施方式的对基板作业线WML具备印刷机WM1、印刷检查机WM2、元件安装机WM3、回流焊炉WM4及外观检查机WM5的多个(5个)对基板作业机WM，基板90由基板搬运装置(省略图示)依次搬运。

印刷机WM1在基板90中多个元件91各自的安装位置印刷焊料。印刷检查机WM2对由印刷机WM1印刷的焊料的印刷状态进行检查。元件安装机WM3在基板90(由印刷机WM1印刷的焊料上)安装多个元件91。元件安装机WM3可以是一个，也可以是多个。在设置有多个元件安装机WM3的情况下，多个元件安装机WM3能够分担地安装多个元件91。

回流焊炉WM4对通过元件安装机WM3安装有多个元件91的基板90进行加热，使焊料熔融，进行焊接。外观检查机WM5对通过元件安装机WM3安装的多个元件91的安装状态等进行检查。这样，对基板作业线WML能够使用多个(5个)对基板作业机WM依次搬运基板90，执行包括检查处理的生产处理，生成基板产品900。此外，对基板作业线WML例如根据需要还能够具备功能检查机、缓冲装置、基板供给装置、基板翻转装置、屏蔽件安装装置、粘合剂涂覆装置、紫外线照射装置等对基板作业机WM。

构成对基板作业线WML的多个(5个)对基板作业机WM及管理装置WMC通过通信部LC电连接。通信部LC可以是有线方式，也可以是无线方式。另外，通信方法可采用各种方法。在本实施方式中，通过多个(5个)对基板作业机WM及管理装置WMC，构成局域网(LAN：LocalArea Network)。由此，多个(5个)对基板作业机WM能够经由通信部LC彼此通信。另外，多个(5个)对基板作业机WM能够经由通信部LC与管理装置WMC进行通信。

管理装置WMC进行构成对基板作业线WML的多个(5个)对基板作业机WM的控制，监视对基板作业线WML的动作状况。在管理装置WMC存储有对多个(5个)对基板作业机WM进行控制的各种控制数据。管理装置WMC分别对多个(5个)对基板作业机WM发送控制数据。另外，多个(5个)对基板作业机WM分别对管理装置WMC发送动作状况及生产状况。

1-2.元件安装机WM3的结构例

元件安装机WM3在基板90安装多个元件91。如图2所示，元件安装机WM3具备基板搬运装置11、元件供给装置12、元件移载装置13、元件相机14、基板相机15及控制装置16。基板搬运装置11例如由传送带等构成，并将基板90在搬运方向(X轴方向)上搬运。基板90是电路基板，且形成有电子电路及电气电路中的至少一方。基板搬运装置11向元件安装机WM3的机内搬入基板90，并使基板90定位于机内的预定位置。基板搬运装置11在由元件安装机WM3进行的多个元件91的安装处理结束之后，将基板90向元件安装机WM3的机外搬出。

元件供给装置12供给向基板90安装的多个元件91。元件供给装置12具备沿着基板90的搬运方向(X轴方向)设置的多个供料器121。多个供料器121分别使收纳有多个元件91的载带(省略图示)间距输送，且在位于供料器121的前端侧的供给位置处以能够拾取的方式供给元件91。另外，元件供给装置12也能够将与芯片元件等相比比较大型的电子元件(例如引脚元件等)以配置在托盘上的状态供给。

元件移载装置13具备头驱动装置131及移动台132。头驱动装置131构成为通过直动机构使移动台132能够在X轴方向及Y轴方向上移动。在移动台132，通过夹紧部件(省略图示)以能够拆装(能够更换)的方式设置有安装头20。安装头20使用至少一个保持部件50，拾取并保持由元件供给装置12供给的元件91，并在通过基板搬运装置11而定位的基板90安装元件91。保持部件50例如能够使用吸嘴、夹头等。

元件相机14及基板相机15能够使用公知的拍摄装置。元件相机14以使光轴成为Z轴方向的向上方向(铅垂上方方向)的方式固定于元件安装机WM3的基台。元件相机14能够从下方拍摄由保持部件50保持的元件91。基板相机15以使光轴成为Z轴方向的向下方向(铅垂下方方向)的方式设置于元件移载装置13的移动台132。基板相机15能够从上方拍摄基板90。元件相机14及基板相机15基于从控制装置16送出的控制信号进行拍摄。将由元件相机14及基板相机15拍摄到的图像数据向控制装置16发送。

控制装置16具备公知的中央运算装置及存储装置，构成控制电路(均省略图示)。在控制装置16输入有从设置于元件安装机WM3的各种传感器输出的信息、图像数据等。控制装置16基于控制程序及预先设定的预定的安装条件等，对各装置送出控制信号。例如，控制装置16使基板相机15拍摄通过基板搬运装置11而定位的基板90。控制装置16对由基板相机15拍摄到的图像进行图像处理，并对基板90的定位状态进行识别。另外，控制装置16使保持部件50拾取并保持由元件供给装置12供给的元件91，使元件相机14拍摄被保持部件50保持的元件91。控制装置16对由元件相机14拍摄到的图像进行图像处理，并对元件91的保持姿势进行识别。

控制装置16使保持部件50朝向由控制程序等预先设定的安装预定位置的上方移动。另外，控制装置16基于基板90的定位状态、元件91的保持姿势等，修正安装预定位置，设定实际安装元件91的安装位置。安装预定位置及安装位置除了位置(X轴坐标及Y轴坐标)之外还包括旋转角度。控制装置16与安装位置匹配地修正保持部件50的目标位置(X轴坐标及Y轴坐标)及旋转角度。控制装置16在修正后的目标位置处以修正后的旋转角度使保持部件50下降，并在基板90安装元件91。控制装置16通过反复上述的拾取和放置周期，执行在基板90安装多个元件91的安装处理。

1-3.安装头20的结构例

如图3所示，安装头20具备夹紧于移动台132的头主体21。在头主体21设置有旋转头23，通过R轴马达22能够使上述旋转头23对应每个预定角度使旋转角度分度转位。旋转头23在与R轴同心的圆周上沿周向以等间隔具备多个(例如，12个)工具轴24。旋转头23能够在与Z轴及R轴平行的θ轴方向(图3的上下方向)上滑动且以能够绕θ轴旋转的方式保持工具轴24。

工具轴24通过弹簧(省略图示)的弹力对旋转头23向上方施力。由此，工具轴24在没有被给予外力的通常状态下，位于上升端。在工具轴24的下端部以能够拆装的方式安装有保持部件50。对保持部件50至少供给正压空气或者负压空气，来拾取元件91。保持部件50除了通过负压空气吸附元件91的吸嘴之外，还包括通过正压空气或者负压空气进行动作的夹头(省略图示)等。另外，工具轴24若安装有保持部件50，则通过轴内弹簧(省略图示)的弹力，将保持部件50向下方施力。

多个保持部件50分别在保持部件50的空气通路被供给空气来保持元件91。多个保持部件50通过伴随着R轴马达22的驱动使旋转头23旋转，从而依次分度转位至绕R轴的预定角度位置(例如，工具轴24的升降位置)。如图3所示，安装头20具备固定于头主体21的θ轴马达25。在θ轴马达25的输出轴，以能够经由多个齿轮传递转矩的方式连结有所有工具轴24。工具轴24及保持部件50通过θ轴马达25的动作绕θ轴一体旋转(自转)，且控制旋转角度、旋转速度。

另外，在头主体21，以能够在Z轴方向(铅垂上下方向)上移动的方式设置有工作部件26。工作部件26通过利用Z轴马达27的驱动进行动作的滚珠丝杠机构28在Z轴方向上升降。工作部件26具备杆29，上述杆29与多个工具轴24中的分度转位至升降位置的工具轴24的上端部接触。杆29伴随着工作部件26的向Z轴方向下方的移动而下降。杆29克服所接触的工具轴24的弹簧的弹力而将工具轴24向Z轴方向的下方按压，并使工具轴24下降。工具轴24及保持部件50通过Z轴马达27的驱动在Z轴方向上一体升降，控制Z轴方向位置、移动速度。

1-4.空气供给电路30的结构例

如图4所示，安装头20具备空气供给电路30。空气供给电路30能够对保持部件50供给正压空气或者负压空气，并且能够使保持部件50内向大气开放。空气供给电路30具备正压空气通路31、负压空气通路32、多个大气压空气通路33、多个空气通路34、正压阀35、调节阀36及多个阀装置40。

正压空气通路31是形成于作为阀体的旋转头23并供从正压空气供给源81供给的正压空气流通的空气通路。正压空气供给源81例如能够使用在安装头20的外部设置的鼓风机、压缩机等。本实施方式的正压空气通路31经由正压阀35及调节阀36与正压空气供给源81连接。正压阀35切换正压空气通路31与正压空气供给源81的连通状态或者切断状态。

本实施方式的正压阀35是二位电磁阀。若螺线管由于供电而被激磁则正压阀35打开状态。由此，正压阀35使正压空气通路31和正压空气供给源81成为连通状态，成为能够在正压空气通路31流通有正压空气的状态。在螺线管没有被供电的情况下正压阀35成为闭合状态。由此，正压阀35使正压空气通路31与正压空气供给源81成为切断状态，成为没有在正压空气通路31流通有正压空气的状态。

调节阀36配置于正压阀35与正压空气供给源81之间。调节阀36对从正压空气供给源81供给的空气压进行调整。本实施方式的调节阀36将从正压空气供给源81供给的正压空气的空气压减压至以一定程度减少了的预定压力，能够进行稳定的正压空气的供给。

负压空气通路32是形成于旋转头23并供从负压空气供给源82供给的负压空气流通的空气通路。负压空气供给源82例如能够使用在安装头20的内部设置的负压泵等。本实施方式的负压空气通路32构成为始终与负压空气供给源82连接。因此，负压空气通路32在负压空气供给源82驱动期间成为负压空气能够流通的状态。

多个大气压空气通路33分别是形成于旋转头23且向大气开放的空气通路。大气压空气通路33被维持为与配置有安装头20的元件安装机WM3的机内的气压相等。由此，在大气压空气通路33与保持部件50的保持部件内空气通路51连通的情况下，若保持部件内空气通路51为负压则被供气而成为大气压，若保持部件内空气通路51为正压则被排气而成为大气压。

多个空气通路34分别是在与对应的保持部件50之间连通并能够供向保持部件50供给的空气流通的空气通路。本实施方式的空气通路34具备主管341、第一分支管342及第二分支管343。空气通路34的主管341形成于工具轴24，并与保持部件50的保持部件内空气通路51连通。第一分支管342及第二分支管343形成于旋转头23，并分别从主管341分支。

第一分支管342通过阀装置40的切换可与正压空气通路31或者负压空气通路32连通。第二分支管343通过阀装置40的切换可与大气压空气通路33连通。空气通路34以设置于旋转头23的工具轴24的数量形成。另外，若保持部件50安装于工具轴24，则空气通路34以能够供给空气的方式始终连通于保持部件50。

阀装置40使正压空气通路31、负压空气通路32及大气压空气通路33中的任一方选择性地与空气通路34连通。阀装置40若具有上述功能，则能够由一个或者多个阀构成。另外，构成阀装置40的阀能够使用各种流体阀。如图5A所示，本实施方式的阀装置40具备作为阀体的旋转头23、阀芯41、步进马达61、工作轴43，是三位机械阀。旋转头23如已叙述的那样，形成有正压空气通路31、负压空气通路32、大气压空气通路33、空气通路34的第一分支管342及第二分支管343。

阀芯41设置为相对于形成于旋转头23的阀芯孔231能够滑动，并定位于不同的三个停止位置(第一停止位置P1、第二停止位置P2、第三停止位置P3)。阀芯41形成在空气通路34的第一分支管342或者第二分支管343连通了正压空气通路31、负压空气通路32及大气压空气通路33中的任一方的状态，并切换形成状态。在阀芯41，且在从旋转头23的上表面突出的上端形成有卡合部411。

步进马达61固定于头主体21。工作轴43通过步进马达61的驱动以预定量升降。阀芯41的卡合部411构成为，相对于工作轴43的工作爪431，能够绕R轴脱离且能够在Z轴方向上卡合。由此，通过旋转头23的绕R轴的旋转角度的分度转位，在工作轴43的工作爪431依次卡合多个阀装置40的阀芯41的卡合部411。

这样，对通过步进马达61的驱动而升降的工作轴43给予外力，阀芯41在旋转头23的阀芯孔231中滑动方向(箭头Z方向)的停止位置(第一停止位置P1、第二停止位置P2、第三停止位置P3)定位。此外，阀芯41以预定的摩擦力被阀芯孔231支承。由此，阀芯41因自重产生的滑动被限制。因此，阀芯41只要没有被给予超过上述摩擦力的外力，则被保持于所定位的停止位置(第一停止位置P1、第二停止位置P2、第三停止位置P3)。

此处，旋转头23的阀芯孔231的一端部构成大气压空气通路33的至少一部分。具体而言，如图5A所示，阀芯孔231形成为在滑动方向(箭头Z方向)上贯通旋转头23，下方的一端部向大气开放。换句话说，构成为，阀芯孔231的下方的一端部构成大气压空气通路33，并根据阀芯41的停止位置(第三停止位置P3)而与空气通路34的第二分支管343连通。

阀装置40根据阀芯41的三个停止位置(第一停止位置P1、第二停止位置P2、第三停止位置P3)，使正压空气通路31、负压空气通路32及大气压空气通路33中的任一方选择性地与空气通路34连通。具体而言，如图5A所示，阀装置40使阀芯41定位于第一停止位置P1，并使负压空气通路32连通于空气通路34的第一分支管342。由此，对保持部件50的保持部件内空气通路51供给负压空气，成为保持部件50能够吸附元件91的状态。

另外，如图5B所示，阀装置40使阀芯41定位于第二停止位置P2，并使正压空气通路31连通于空气通路34的第一分支管342。由此，对保持部件50的保持部件内空气通路51供给正压空气，通过真空破坏成为保持部件50释放元件91的状态。并且，如图5C所示，阀装置40使阀芯41定位于第三停止位置P3，并使大气压空气通路33连通于空气通路34的第二分支管343。由此，保持部件50的保持部件内空气通路51向大气开放。

这样，本实施方式的阀装置40使阀芯41相对于作为阀体的旋转头23向滑动方向(箭头Z方向)的一个方向(从下方朝向上方的方向)移动并依次定位于三个停止位置(第一停止位置P1、第二停止位置P2、第三停止位置P3)。而且，阀装置40使负压空气通路32、正压空气通路31及大气压空气通路33依次与空气通路34连通。

1-5.驱动单元60的结构例

驱动单元60设置于对基板90进行预定的对基板作业来生成基板产品900的对基板作业机WM。驱动单元60只要是设置于对基板作业机WM的驱动单元即可，没有被限定。在对基板作业机WM向基板90安装元件91的元件安装机WM3的情况下，驱动单元60优选为具备保持部件50和阀装置40的安装头20。如已叙述的那样，保持部件50对元件91进行拾取并保持而向所定位的基板90安装。阀装置40对至少正压空气及负压空气中的任一方的向保持部件50的选择性供给进行切换。

另外，优选阀装置40具备作为阀体的旋转头23和阀芯41，并根据阀芯41的停止位置，使正压空气通路31及负压空气通路32中的任一方选择性地与保持部件50的空气通路34连通。在这种情况下，在作为阀体的旋转头23，形成有供正压空气流通的正压空气通路31及供负压空气流通的负压空气通路32。阀芯41设置为能够相对于作为阀体的旋转头23滑动，并通过步进马达61至少在两个不同的停止位置(在本实施方式中，三个不同的停止位置(第一停止位置P1、第二停止位置P2、第三停止位置P3))定位。

如图6所示，驱动单元60具备步进马达61和被驱动部62。被驱动部62可采用各种形式，但在为驱动单元60具备上述的阀装置40的安装头20的情况下，优选被驱动部62至少包括阀芯41。如已叙述的那样，通过步进马达61的驱动使工作轴43升降。由此，阀芯41在作为阀体的旋转头23的阀芯孔231中，在滑动方向(箭头Z方向)上滑动并定位于停止位置(第一停止位置P1、第二停止位置P2、第三停止位置P3)。换句话说，本实施方式的被驱动部62包括阀芯41和工作轴43。

1-6.单元管理装置70的结构例

如图5A～图5C所示，在阀装置40的阀芯41设置有多个(例如，三个)O型环49。多个(三个)O型环49中的两个O型环49以夹着正压空气通路31的方式设置于滑动方向(箭头Z方向)的两侧。另外，多个(三个)O型环49中的两个O型环49以夹着负压空气通路32的方式设置于滑动方向(箭头Z方向)的两侧。根据上述内容，阀装置40能够抑制阀芯41的正压空气及负压空气的空气泄漏、回绕。

另外，在多个(三个)O型环49分别涂覆有润滑脂，可减少作为被驱动部62的阀芯41在滑动方向(箭头Z方向)上滑动时的滑动阻力。随着驱动单元60用于基板产品900的生产，存在涂覆于多个(三个)O型环49的润滑脂减少、滑动阻力增加的可能性。另外，存在由于润滑脂的消失而使阀芯41固定的可能性。例如，也可能由于多个(三个)O型环49中的至少一个断裂或者错位、阀芯孔231的异物(例如灰尘等)的混入等而产生滑动阻力的增加或者阀芯41的固定。

这样，若产生被驱动部62(阀芯41)的滑动阻力的增加或者被驱动部62的固定，则驱动被驱动部62的步进马达61容易产生失步。因此，单元管理装置70基于步进马达61有无失步，判断被驱动部62是否需要维护。

单元管理装置70若被视为控制块，则具备间隔设定部71和判断部72。单元管理装置70优选还具备确认部73及指引部74中的至少一方。如图6所示，本实施方式的单元管理装置70具备间隔设定部71、判断部72、确认部73、指引部74。另外，如图1所示，本实施方式的单元管理装置70与对基板作业机WM独立地设置，但也能够设置于对基板作业机WM。在这种情况下，单元管理装置70例如在驱动单元60的待机时间(例如，基板90的搬运期间等)，在对基板作业休止的休止时间等，能够判断被驱动部62是否需要维护。

另外，单元管理装置70根据图7所示的流程图，执行控制程序。间隔设定部71进行步骤S12所示的处理。判断部72进行步骤S13所示的处理，进行步骤S14所示的判断。另外，判断部72进行步骤S15及步骤S16所示的处理。确认部73进行步骤S11所示的处理。指引部74进行步骤S17所示的处理。

1-6-1.间隔设定部71

间隔设定部71将动作间隔Ti设定得比生产基板产品900时短(图7所示的步骤S12)。动作间隔Ti以对基板作业中反复执行的预定动作中的一个预定动作结束而供给到步进马达61的脉冲信号停止的时刻作为起点。另外，动作间隔Ti以为了开始接下来的预定动作而开始供给脉冲信号的时刻作为终点。

预定动作只要是对基板作业中反复执行的动作即可，没有被限定。例如，在安装头20具备旋转头23的情况下，旋转头23设置为能够绕与铅垂轴平行的R轴旋转。而且，旋转头23使与多个保持部件50对应的阀芯41依次分度转位至绕能够驱动的R轴的预定位置。优选这种情况下的动作间隔Ti以与分度转位后的一个保持部件50对应的阀芯41滑动预定量Z0且停止供给到步进马达61的脉冲信号的时刻作为起点。另外，优选动作间隔Ti以为了开始与接下来分度转位的保持部件50对应的阀芯41的滑动而开始供给脉冲信号的时刻作为终点。

图8示出使阀芯41在滑动方向(箭头Z方向)上滑动的机构的结构例。该图是从步进马达61的驱动轴61a侧观察的轴向视图，工作轴43具备转动部43a和直动部43b。在转动部43a经由减速机(省略图示)而连结有步进马达61的驱动轴61a，通过旋转驱动步进马达61，使转动部43a以驱动轴61a为中心转动。另外，在转动部43a形成有在与滑动方向(箭头Z方向)正交的方向上延伸的长孔部43a1。

直动部43b是包括工作爪431的部位，通过沿着滑动方向(箭头Z方向)延伸的引导件(省略图示)，能够沿着滑动方向(箭头Z方向)直动。在直动部43b形成有沿步进马达61的驱动轴61a的轴向突出的突起部43b1。转动部43a的长孔部43a1与直动部43b的突起部43b1卡合。因此，若转动部43a以驱动轴61a为中心转动，则直动部43b的突起部43b1沿着转动部43a的长孔部43a1移动，直动部43b在滑动方向(箭头Z方向)上直动。

图9示出阀芯41与工作轴43的位置关系的经时变化的一个例子。该图是图8的局部省略图，示出工作轴43从第一状态转移至第二状态、第三状态、并返回第一状态的情况。第三状态是动作间隔Ti的起点，第一状态是动作间隔Ti的终点。第一状态是与通过旋转头23而分度转位后的一个保持部件50对应的阀芯41在滑动方向(箭头Z方向)上开始滑动的紧前的状态。第二状态是该阀芯41向滑动方向(箭头Z方向)的一侧(例如，该图的纸面上方向侧)滑动了预定量Z0的紧后的状态。第三状态是阀芯41在第二状态的停止位置静止的状态且工作轴43转移至与第一状态相同的状态的状态。

在第一状态下，若对步进马达61供给脉冲信号，则步进马达61进行旋转驱动，工作轴43的转动部43a转动，工作轴43的直动部43b朝向滑动方向(箭头Z方向)的一侧直动。由此，工作轴43的工作爪431与阀芯41的卡合部411卡合，阀芯41开始向滑动方向(箭头Z方向)的一侧(例如，该图的纸面上方向侧)滑动。若转移至第二状态，则步进马达61向相反方向进行旋转驱动，工作轴43的转动部43a向相反方向转动，工作轴43的直动部43b朝向滑动方向(箭头Z方向)的另一侧(在这种情况下，该图的纸面下方向侧)直动。此时，阀芯41在第二状态的停止位置静止。

若成为第三状态，则供给到步进马达61的脉冲信号停止(动作间隔Ti的起点)。由此，步进马达61停止旋转驱动。另外，通过旋转头23，使与接下来的保持部件50对应的阀芯41分度转位，转移至第一状态。而且，为了开始与接下来进行了分度转位的保持部件50对应的阀芯41的滑动，开始对步进马达61供给脉冲信号(动作间隔Ti的终点)。此外，如图9所示，在第一状态及第三状态下，在工作轴43的工作爪431与阀芯41的卡合部411之间设置有间隙。由此，可抑制阀芯41分度转位时的阀芯41的卡合部411与工作轴43的工作爪431的干涉。另外，上述情况可以说使阀芯41向滑动方向(箭头Z方向)的一侧的相反侧(在这种情况下，该图的纸面下方向侧)滑动预定量Z0的情况下也相同。

步进马达61的控制是开环控制，因此，存在脉冲信号的供给停止时步进马达61的动子产生衰减振动的可能性。因此，在生产基板产品900时，为了不受到上述的影响而设定动作间隔Ti。在产生已叙述的被驱动部62(阀芯41)的滑动阻力的增加或者被驱动部62的固定的情况下，若将动作间隔Ti设定得比生产基板产品900时短，则步进马达61容易产生失步。因此，间隔设定部71将动作间隔Ti设定得比生产基板产品900时短。

优选间隔设定部71将动作间隔Ti设定得比从动子产生衰减振动起至成为预定的振动振幅以下为止所需要的时间Td短。由此，间隔设定部71能够基于动子的衰减振动设定动作间隔Ti。图10表示脉冲信号的供给停止时步进马达61的动子所产生的衰减振动的一个例子。实线L11表示动子位置的经时变化的一个例子。实线L11例如能够通过基于模拟、实机的预先的确认等来获取。此外，该图的纵轴表示动子位置，横轴表示时刻。

如实线L11所示，若在时刻Tm11停止供给脉冲信号，则动子一边进行衰减振动一边向停止位置SP1收敛。在这种情况下，间隔设定部71将动作间隔Ti设定得比时间Td短。动作间隔Ti由从时刻Tm11至时刻Tm12为止的时间表示，时间Td由从时刻Tm11至时刻Tm13为止的时间表示。规定时间Td的预定的振动振幅能够任意地设定。预定的振动振幅例如能够设定为基板产品900生产时不易受到影响的水平，能够通过基于预先模拟、实机的预先的确认等来获取。时间Td例如能够设定为与生产基板产品900时的动作间隔Ti0相同的时间。

1-6-2.判断部72

判断部72以由间隔设定部71设定的动作间隔Ti驱动步进马达61并检测有无失步，基于步进马达61有无失步来判断被驱动部62是否需要维护。在产生已叙述的被驱动部62(阀芯41)的滑动阻力的增加或者被驱动部62的固定的情况下，需要被驱动部62的维护。需要被驱动部62的维护的情况下步进马达61驱动被驱动部62时所需要的输出转矩比不需要被驱动部62的维护的情况下大。因此，优选判断部72在步进马达61失步时，判断为需要被驱动部62的维护。

具体而言，判断部72以由间隔设定部71设定的动作间隔Ti使步进马达61驱动(图7所示的步骤S13)。而且，判断部72检测步进马达61有无失步(步骤S14)。在阀装置40设置有能够对阀芯41的卡合部411的位置进行检测的位置检测器(省略图示)。位置检测器例如能够使用公知的光传感器，在第一状态及第三状态下，对卡合部411的滑动方向(箭头Z方向)上的位置进行检测。

在预估阀芯41向滑动方向(箭头Z方向)的一侧滑动了预定量Z0的预定位置处，检测出卡合部411的情况下，判断部72能够判断为步进马达61没有失步。相反，在预定位置处没有检测出卡合部411的情况下，判断部72能够判断为步进马达61失步。在检测出步进马达61的失步的情况下(步骤S14中是的情况下)，判断部72判断为需要阀芯41的维护(步骤S15)。此时，优选判断部72将检测出步进马达61的失步的阀芯41及检测出步进马达61的失步的阀芯41的前一个进行了分度转位的阀芯41中的至少一方判断为需要维护。由此，判断部72针对检测出步进马达61的失步的阀芯41的前一个进行了分度转位的阀芯41，也能够判断是否需要维护。此外，在没有检测出步进马达61的失步的情况下(步骤S14中否的情况下)，判断部72判断为不需要阀芯41的维护(步骤S16)。

另外，优选判断部72针对设置于安装头20的所有阀芯41，依次向滑动方向(箭头Z方向)的一侧滑动而分别检测步进马达61有无失步。而且，优选判断部72针对设置于安装头20的所有阀芯41，依次向滑动方向(箭头Z方向)的一侧的相反侧滑动而分别检测步进马达61有无失步。由此，判断部72能够使阀芯41以与生产基板产品900时相同的顺序动作，分别检测步进马达61有无失步。在这种情况下，判断部72优选将针对滑动方向(箭头Z方向)的一侧及相反侧中的至少一方而检测出步进马达61的失步的阀芯41及检测出步进马达61的失步的阀芯41的前一个进行了分度转位的阀芯41中的至少一方判断为需要维护。

此外，在安装头20具备一个保持部件50的情况下，优选动作间隔Ti以与保持部件50对应的阀芯41向滑动方向(箭头Z方向)的一侧以预定量Z0滑动而供给到步进马达61的脉冲信号停止的时刻作为起点。另外，优选动作间隔Ti以为了使与保持部件50对应的阀芯41开始向滑动方向(箭头Z方向)的一侧的相反侧滑动而开始供给脉冲信号的时刻作为终点。

优选判断部72在这种情况下，也在针对滑动方向(箭头Z方向)的一侧及相反侧中的至少一方而检测出步进马达61的失步时，判断为需要阀芯41的维护。由此，判断部72能够在具备一个保持部件50的安装头20中，判断阀芯41是否需要维护。

另外，间隔设定部71也能够从生产基板产品900时的动作间隔Ti0逐渐缩短地设定动作间隔Ti。在这种情况下，判断部72优选对应每个由间隔设定部71设定的动作间隔Ti来检测步进马达61有无失步。而且，判断部72优选根据在步进马达61失步时的预定动作的紧前所应用的动作间隔Ti来获取被驱动部62的维护的必要度。

已叙述的被驱动部62(阀芯41)的滑动阻力越增加，则步进马达61越容易失步，因此，被驱动部62的滑动阻力越增加，则动作间隔Ti的缩短度越小。另外，动作间隔Ti的缩短度越小，则被驱动部62的维护的必要度越高。因此，判断部72能够根据在步进马达61失步时的预定动作的紧前所应用的动作间隔Ti来获取被驱动部62的维护的必要度。

1-6-3.确认部73

确认部73在利用由间隔设定部71设定的动作间隔Ti检测步进马达61的失步之前，以与生产基板产品900时相同的动作间隔Ti0使步进马达61驱动，来确认步进马达61是否没有产生失步(图7所示的步骤S11)。

在以与基板产品900生产时相同的动作间隔Ti0驱动步进马达61时，在步进马达61失步的情况下，例如，存在已叙述的被驱动部62(阀芯41)的滑动阻力变得极其大(包括被驱动部62的固定)的可能性。另外，也存在除滑动阻力的增加以外的其他原因(例如，设备故障等)的可能性。因此，进行基于确认部73的预先确认较佳。由此，判断部72能够在进行了基于确认部73的预先确认之后，判断被驱动部62(阀芯41)是否需要维护。

1-6-4.指引部74

指引部74将由判断部72判断出的被驱动部62是否需要维护向对基板作业机WM的使用者指引(图7所示的步骤S17)。由此，对基板作业机WM的使用者能够知道被驱动部62是否需要维护，能够进行被驱动部62的维护。

指引部74例如能够使判断出是否需要维护的被驱动部62和判断结果(需要维护或者不需要维护)显示于公知的显示装置(省略图示)。另外，指引部74也能够使被驱动部62的维护的必要度显示于显示装置。

2.其他

在本实施方式中，供给到步进马达61的脉冲信号的基准电压与基板产品900生产时相同。另外，如图2所示，也可以是，在对基板作业机WM为元件安装机WM3的情况下，驱动单元60是供给元件91的供料器121。多个供料器121分别具备导带齿轮和使导带齿轮旋转驱动的驱动装置(均省略图示)。导带齿轮对收纳有多个元件91的载带进行间距输送。驱动装置能够使用步进马达61。在这种情况下，反复执行的预定动作是载带的间距输送，被驱动部62包括与步进马达61的驱动轴连结的减速机构及导带齿轮等。另外，动作间隔Ti以一个预定动作(间距输送)结束而停止供给到步进马达61的脉冲信号的时刻作为起点，以为了开始接下来的预定动作(间距输送)而开始供给脉冲信号的时刻作为终点。

3.单元管理方法

针对单元管理装置70已叙述的情况可以说针对单元管理方法也相同。具体而言，单元管理方法具备间隔设定工序和判断工序。间隔设定工序相当于间隔设定部71所进行的控制。判断工序相当于判断部72所进行的控制。另外，单元管理方法优选具备确认工序及指引工序中的至少一方。确认工序相当于确认部73所进行的控制。指引工序相当于指引部74所进行的控制。

4.实施方式的效果的一个例子

根据单元管理装置70，具备间隔设定部71和判断部72。由此，单元管理装置70能够将对基板作业中反复执行的预定动作的动作间隔Ti设定得比基板产品900生产时短来检测步进马达61有无失步，从而能够判断被驱动部62是否需要维护。针对单元管理装置70上述的情况也可以说针对单元管理方法也相同。

附图标记说明

20...安装头 23...旋转头

31...正压空气通路 32...负压空气通路 34...空气通路

40...阀装置 41...阀芯 50...保持部件

60...驱动单元 61...步进马达 62...被驱动部

70...单元管理装置 71...间隔设定部

72...判断部 73...确认部 74...指引部

90...基板 91...元件 900...基板产品 Td...时间

Ti、Ti0...动作间隔 WM...对基板作业机

WM3...元件安装机 箭头Z方向...滑动方向

Claims (11)

1.一种单元管理装置，管理驱动单元，所述驱动单元设置于对基板进行预定的对基板作业而生产基板产品的对基板作业机并且具备步进马达和由所述步进马达驱动的被驱动部，

所述单元管理装置具备：

间隔设定部，将动作间隔设定得比生产所述基板产品时短，所述动作间隔以所述对基板作业中反复执行的预定动作中的一个所述预定动作结束而供给到所述步进马达的脉冲信号停止的时刻作为起点，以为了开始接下来的所述预定动作而开始供给所述脉冲信号的时刻作为终点；及

判断部，以由所述间隔设定部设定的所述动作间隔驱动所述步进马达来检测有无失步，并基于所述步进马达有无失步来判断所述被驱动部是否需要维护。

2.根据权利要求1所述的单元管理装置，其中，

在所述被驱动部需要维护的情况下所述步进马达驱动所述被驱动部时所需要的输出转矩比所述被驱动部不需要维护的情况下大，

在所述步进马达失步时，所述判断部判断为所述被驱动部需要维护。

3.根据权利要求1或2所述的单元管理装置，其中，

在所述脉冲信号的供给停止时所述步进马达的动子产生衰减振动，

所述间隔设定部将所述动作间隔设定得比从所述动子产生所述衰减振动起至成为预定的振动振幅以下为止所需要的时间短。

4.根据权利要求1或2所述的单元管理装置，其中，

所述间隔设定部从生产所述基板产品时的所述动作间隔逐渐缩短地设定所述动作间隔，

所述判断部对应每个由所述间隔设定部设定的所述动作间隔来检测所述步进马达有无失步，根据在所述步进马达失步时的所述预定动作的紧前所应用的所述动作间隔来获取所述被驱动部的维护的必要度。

5.根据权利要求1或2所述的单元管理装置，其中，

所述单元管理装置还具备确认部，所述确认部在利用由所述间隔设定部设定的所述动作间隔检测所述步进马达的失步之前，以与生产所述基板产品时相同的所述动作间隔驱动所述步进马达，来确认所述步进马达是否没有产生失步。

6.根据权利要求1或2所述的单元管理装置，其中，

所述单元管理装置还具备指引部，所述指引部对所述对基板作业机的使用者指引由所述判断部判断出的所述被驱动部是否需要维护。

7.根据权利要求1或2所述的单元管理装置，其中，

所述对基板作业机是对所述基板安装元件的元件安装机，

所述驱动单元是安装头，所述安装头具备：保持部件，拾取并保持所述元件而向被定位的所述基板安装；及阀装置，对至少正压空气及负压空气中的任一方的向所述保持部件的选择性供给进行切换，

所述阀装置具备：

阀体，形成有供所述正压空气流通的正压空气通路及供所述负压空气流通的负压空气通路；及

阀芯，设置为能够相对于所述阀体进行滑动，并通过所述步进马达而定位于至少两个不同的停止位置，

所述阀装置根据所述阀芯的所述停止位置，使所述正压空气通路及所述负压空气通路中的任一方选择性地连通于所述保持部件的空气通路。

8.根据权利要求7所述的单元管理装置，其中，

所述安装头具备旋转头，所述旋转头设置为能够绕与铅垂轴平行的R轴进行旋转，并且能够使与多个所述保持部件对应的所述阀芯依次分度转位至绕能够驱动的所述R轴的预定位置，

所述判断部针对依次分度转位后的所述阀芯检测所述步进马达有无失步，将检测出所述步进马达的失步的所述阀芯及检测出所述步进马达的失步的所述阀芯的前一个进行了分度转位的所述阀芯中的至少一方判定为需要维护。

9.根据权利要求8所述的单元管理装置，其中，

所述判断部针对设置于所述安装头的所有所述阀芯，使所有所述阀芯依次向滑动方向的一侧滑动并分别检测出所述步进马达有无失步之后，使所有所述阀芯依次向所述滑动方向的所述一侧的相反侧滑动并分别检测所述步进马达有无失步，将针对所述滑动方向的所述一侧及所述相反侧中的至少一方而检测出所述步进马达的失步的所述阀芯及检测出所述步进马达的失步的所述阀芯的前一个进行了分度转位的所述阀芯中的至少一方判断为需要维护。

10.根据权利要求7所述的单元管理装置，其中，

所述安装头具备一个所述保持部件，

所述动作间隔以与所述保持部件对应的所述阀芯向滑动方向的一侧滑动预定量且供给到所述步进马达的所述脉冲信号停止的时刻作为起点，以为了使与所述保持部件对应的所述阀芯开始向所述滑动方向的所述一侧的相反侧滑动而开始供给所述脉冲信号的时刻作为终点。

11.一种单元管理方法，管理驱动单元，所述驱动单元设置于对基板进行预定的对基板作业而生产基板产品的对基板作业机并且具备步进马达和由所述步进马达驱动的被驱动部，

所述单元管理方法包括：

间隔设定工序，将动作间隔设定得比生产所述基板产品时短，所述动作间隔以所述对基板作业中反复执行的预定动作中的一个所述预定动作结束而供给到所述步进马达的脉冲信号停止的时刻作为起点，以为了开始接下来的所述预定动作而开始供给所述脉冲信号的时刻作为终点；及

判断工序，以由所述间隔设定工序设定的所述动作间隔驱动所述步进马达来检测有无失步，并基于所述步进马达有无失步来判断所述被驱动部是否需要维护。

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