CN112781432A - 温度控制系统及综合温度控制系统 - Google Patents

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长谷川功宏
中泽敏治
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福住幸大
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CKD Corp
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Abstract

温度控制系统(200)，其具备供第一热媒循环的第一循环回路(110)；供第二热媒循环的第二循环回路(120)；供第三热媒循环的第三循环回路(130)，第一循环回路具备将第一热媒的温度调整成第一温度后排出的第一调整装置(11)以及第一流通部(114)，第二循环回路具备将第二热媒的温度调整成比第一温度更高的第二温度后排出的第二调整装置(21)以及第二流通部(124)，第三循环回路具备：与第一流通部进行热交换的第三流通部(133)；与第二流通部进行热交换的第四流通部(134)。温度控制系统还具备调整部(135)，调整第一流通部与第三流通部之间交换的热量及第二流通部与第四流通部之间交换的热量。

Description

温度控制系统及综合温度控制系统
相关申请的交叉引用
本申请基于2019年11月8日提出的第2019-203218号日本专利申请，因此以引用的方式将该日本专利申请记载的内容并入本文。
技术领域
本公开涉及对控制对象的温度进行控制的温度控制系统。
背景技术
以往，存在一种向热交换器循环供给热交换流体的温度调整系统，其具备:热交换器，与温度控制对象之间进行热交换；冷却侧循环回路，具有冷却装置以及热交换流体的储存容器；加热侧循环回路，具有加热装置以及热交换流体的储存容器；以及切换阀，以切换冷却侧循环回路与加热侧循环回路的方式与热交换器连接(参照专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利公开公报特开2001-134324号
但是，在专利文献1中记载的温度调整系统(温度控制系统)中，使共同的热交换流体(热媒)在热交换器、冷却侧循环回路以及加热侧循环回路中循环。因此，在热交换器中循环供给的热交换流体的量变多，无法使热交换流体的温度快速地变化。因此，在专利文献1中记载的温度调整系统在提高控制温度控制对象(控制对象)的温度的响应性方面存在改善的余地。另外，在从低温到高温的宽的温度范围中能够使用的热交换流体大多是高价的，期望减少高价的热交换流体的使用量。
发明内容
本公开是用于解决这样的问题而做出的，其主要目的在于提供一种能够减少高价的热媒的使用量并且能够提高对控制对象的温度进行控制的响应性的温度控制系统。
用于解决上述问题的第一方案，其是对控制对象的温度进行控制的温度控制系统，所述温度控制系统具备：第一循环回路，供第一热媒循环；第二循环回路，从所述第一循环回路独立，并且供第二热媒循环；以及第三循环回路，从所述第一循环回路以及所述第二循环回路独立，并且供第三热媒循环，所述第三热媒的能够使用的温度范围比所述第一热媒以及所述第二热媒的能够使用的温度范围更宽，所述第一循环回路具备：第一调整装置，将所述第一热媒的温度调整成第一温度后排出；第一流通部，供所述第一热媒流通；第一去路，使从所述第一调整装置供给的所述第一热媒流通到所述第一流通部；以及第一归路，使流过所述第一流通部的所述第一热媒流通到所述第一调整装置，所述第二循环回路具备：第二调整装置，将所述第二热媒的温度调整成比所述第一温度更高的第二温度后排出；第二流通部，供所述第二热媒流通；第二去路，使从所述第二调整装置供给的所述第二热媒流通到所述第二流通部；以及第二归路，使流过所述第二流通部的所述第二热媒流通到所述第二调整装置，所述第三循环回路具备：第三流通部，供所述第三热媒流通，并且与所述第一流通部进行热交换；第四流通部，供所述第三热媒流通，并且与所述第二流通部进行热交换；第三去路，使所述第三热媒从所述第三流通部以及所述第四流通部流通到与所述控制对象进行热交换的热交换部；以及第三归路，使所述第三热媒从所述热交换部流通到所述第三流通部以及所述第四流通部，所述第三循环回路不具备储存所述第三热媒的容器，所述温度控制系统具备调整部，所述调整部调整在所述第一流通部与所述第三流通部之间交换的热量以及在所述第二流通部与所述第四流通部之间交换的热量。
按照上述构成，温度控制系统对控制对象的温度进行控制。温度控制系统具备第一热媒循环的第一循环回路、从第一循环回路独立且供第二热媒循环的第二循环回路、以及第三循环回路。第三循环回路从第一循环回路以及第二循环回路独立，且供第三热媒循环，所述第三热媒的能够使用的温度范围比第一热媒以及第二热媒的能够使用的温度范围更宽。因此，即使第三热媒是高价的，也使第三热媒仅在第三循环回路中循环，能够减少第三热媒的使用量。而且，第三循环回路不具备储存第三热媒的容器。因此，能够进一步减少在第三循环回路中循环的第三热媒的量。另外，第一热媒与第二热媒可以是相同种类的热媒。
第一循环回路具备第一调整装置。第一调整装置将第一热媒的温度调整成第一温度后排出。因此，能够供给用于热交换的调整成第一温度的第一热媒。由于使用能够使用的温度范围比第三热媒的能够使用的温度范围更窄的第一热媒，所以能够使用价格低的热媒作为第一热媒。
第一循环回路具备：第一流通部，供第一热媒流通；第一去路，使从第一调整装置供给的第一热媒流通到第一流通部；以及第一归路，使流过第一流通部的第一热媒流通到第一调整装置。因此，能够将热能通过第一热媒供给到第一流通部。另外，在第二循环回路中，第二调整装置将第二热媒的温度调整成比第一温度更高的第二温度，利用与第一循环回路同样的构成，由此能够实现同样的作用效果。
第三循环回路具备：第三流通部，供第三热媒流通，并且与第一流通部进行热交换；以及第四流通部，供第三热媒流通，并且与第二流通部进行热交换。因此，能够将供给到第一流通部的热能通过第一流通部与第三流通部的热交换供给到第三流通部。同样地，能够将供给到第二流通部的热能通过第二流通部与第四流通部的热交换供给到第四流通部。
第三循环回路具备：第三去路，使第三热媒从第三流通部以及第四流通部流通到与控制对象进行热交换的热交换部；以及第三归路，使第三热媒从热交换部流通到第三流通部以及第四流通部。因此，能够将热能通过第三热媒供给到与控制对象进行热交换的热交换部。温度控制系统具备调整部，所述调整部调整第一流通部与第三流通部之间交换的热量、以及第二流通部与第四流通部之间交换的热量。因此，通过调整部，能够调整向第三流通部以及第四流通部供给的热能，能够控制通过第三热媒向热交换部供给的热能，进而能够对控制对象的温度进行控制。在此，如上所述地，能够减少在第三循环回路中循环的第三热媒的量。因此，能够使第三热媒的温度快速地变化，能够提高对控制对象的温度进行控制的响应性。
在第二方案中，所述第一调整装置具有储存所述第一热媒的第一容器，所述第一容器储存调整成所述第一温度的所述第一热媒，所述第二调整装置具有储存所述第二热媒的第二容器，所述第二容器储存调整成所述第二温度的所述第二热媒。
按照上述构成，第一调整装置具有储存第一热媒的第一容器，第一容器储存调整成第一温度的第一热媒。因此，能够从第一调整装置的第一容器充分地供给用于热交换的调整成第一温度的第一热媒。即使在该情况下，也使用能够使用的温度范围比第三热媒的能够使用的温度范围更窄的第一热媒，因此能够使用价格低的热媒作为第一热媒。同样地，在第二循环回路中使用能够使用的温度范围比第三热媒的能够使用的温度范围更窄的第二热媒，因此能够使用价格低的热媒作为第二热媒。
在第三方案中，所述第一循环回路具备第一蓄热部，第一蓄热部供所述第一热媒流通并且基于在第三温度第一蓄热材料的状态变化而积蓄热能，所述第一去路使从所述第一调整装置供给的所述第一热媒流通到所述第一流通部以及所述第一蓄热部，所述第一归路使流过所述第一流通部以及所述第一蓄热部的所述第一热媒流通到所述第一调整装置，所述第二循环回路具备第二蓄热部，第二蓄热部供所述第二热媒流通并且基于在比所述第三温度更高的第四温度第二蓄热材料的状态变化而积蓄热能，所述第二去路使从所述第二调整装置供给的所述第二热媒流通到所述第二流通部以及所述第二蓄热部，所述第二归路使流过所述第二流通部以及所述第二蓄热部的所述第二热媒流通到所述第二调整装置。
按照上述构成，具备：第一蓄热部；第一去路，使从第一调整装置供给的第一热媒流通到第一流通部以及第一蓄热部；以及第一归路，使流过第一流通部以及第一蓄热部的第一热媒流通到第一调整装置。因此，能够将热能通过第一热媒供给到第一流通部以及第一蓄热部。第一蓄热部供第一热媒流通且基于在第三温度第一蓄热材料的状态变化来积蓄热能。因此，为使控制对象的温度变化时等做准备而能够预先在第一蓄热部中积蓄热能。另外，在第二循环回路中，第二调整装置将第二热媒的温度调整成比第一温度更高的第二温度，利用与第一循环回路同样的构成，由此能够实现同样的作用效果。
而且，在通过调整部调整向第三流通部以及第四流通部供给的热能时，也能够使用积蓄在第一蓄热部以及第二蓄热部中的热能。因此，能够增加向第三流通部以及第四流通部供给的热能，能够使第三热媒的温度快速地变化。因此，能够进一步提高对控制对象的温度进行控制的响应性。
在第四方案中，所述调整部包括：第一分配阀，设置于所述第一去路，并且变更将从所述第一调整装置供给的所述第一热媒分配给所述第一流通部与所述第一蓄热部的比率；以及第二分配阀，设置于所述第二去路，并且变更将从所述第二调整装置供给的所述第二热媒分配给所述第二流通部与所述第二蓄热部的比率。
按照上述构成，在第一去路设置有第一分配阀，所述第一分配阀变更将从第一调整装置供给的第一热媒分配给第一流通部与第一蓄热部的比率。因此，通过第一分配阀能够变更从第一调整装置向第一流通部供给的热能与向第一蓄热部供给的热能的比率。因此，能够变更用于第一流通部与第三流通部的热交换的热能与积蓄在第一蓄热部中的热能的比率。同样地，能够变更用于第二流通部与第四流通部的热交换的热能与积蓄在第二蓄热部中的热能的比率。
在第五方案中，所述温度控制系统具备控制部，所述控制部控制所述第一分配阀以及所述第二分配阀，所述控制部，在使从所述第一调整装置供给的所述第一热媒通过所述第一分配阀向所述第一流通部流通的情况下，使从所述第二调整装置供给的所述第二热媒通过所述第二分配阀向所述第二蓄热部流通；在使从所述第二调整装置供给的所述第二热媒通过所述第二分配阀向所述第二流通部流通的情况下，使从所述第一调整装置供给的所述第一热媒通过所述第一分配阀向所述第一蓄热部流通。
按照上述构成，温度控制系统具备控制部，所述控制部控制第一分配阀以及第二分配阀。而且，控制部在使从第一调整装置供给的第一热媒通过第一分配阀向第一流通部流通的情况下，使从第二调整装置供给的第二热媒通过第二分配阀向第二蓄热部流通。因此，在使从第一调整装置供给的第一热媒向第一流通部流通的情况下，亦即在第二流通部与第四流通部之间进行热交换的必要小的情况下，能够将热能积蓄于第二蓄热部。另一方面，在使从第二调整装置供给的第二热媒向第二流通部流通的情况下，亦即在第一流通部与第三流通部之间进行热交换的必要小的情况下，能够将热能积蓄于第一蓄热部。
在第六方案中，所述第一蓄热部包括：第一放热流通部，供流过所述第一流通部的所述第一热媒流通；以及第一蓄热流通部，从所述第一放热流通部独立，供未流过所述第一流通部的所述第一热媒流通，所述第二蓄热部包括：第二放热流通部，供流过所述第二流通部的所述第二热媒流通；以及第二蓄热流通部，从所述第二放热流通部独立，供未流过所述第二流通部的所述第二热媒流通。
按照上述构成，能够使流过第一流通部的第一热媒与未流过第一流通部的第一热媒彼此独立地向第一蓄热部流通。因此，与在第一蓄热部中将流过第一流通部的第一热媒与未流过第一流通部的第一热媒混合的构成相比较，能够提高在第一蓄热部中积蓄热能的效率。同样地，能够提高在第二蓄热部中积蓄热能的效率。
在第七方案中，在所述第一分配阀中，所述第一热媒的压力损失是固定的而不论将从所述第一调整装置供给的所述第一热媒分配给所述第一流通部与所述第一蓄热部的比率如何，在所述第二分配阀中，所述第二热媒的压力损失是固定的而不论将从所述第二调整装置供给的所述第二热媒分配给所述第二流通部与所述第二蓄热部的比率如何。
按照上述构成，在第一分配阀中，第一热媒的压力损失是固定的而不论将从第一调整装置供给的第一热媒分配给第一流通部与第一蓄热部的比率如何。因此，能够使因第一热媒的压力损失变动而产生的负荷不会施加给第一调整装置。此外，在通过泵使第一热媒在第一循环回路中循环的情况下，由于第一分配阀中的第一热媒的压力损失是固定的，所以无需控制泵的驱动状态，能够以一定的驱动状态驱动泵。在第二循环回路中也能够实现同样的作用效果。
在第八方案中，所述调整部包括第三分配阀，所述第三分配阀设置于所述第三归路，并且变更从所述热交换部流通到所述第三流通部的所述第三热媒与从所述热交换部流通到所述第四流通部的所述第三热媒的比率。
按照上述构成，在第三归路设置有第三分配阀，所述第三分配阀变更从热交换部流通到第三流通部的第三热媒与从热交换部流通到第四流通部的第三热媒的比率。因此，通过第三分配阀能够变更第三流通部从第一流通部接收的热能与第四流通部从第二流通部接收的热能的比率。此外，例如，通过使第三热媒从热交换部仅向第四流通部流通，能够抑制第三热媒向第三流通部流通而产生的第一流通部与第三流通部的热交换。另外，在第三热媒向第三流通部流通的情况下，存在如下的可能性：即使第一热媒不向第一流通部流通，残留于第一流通部的热能也向第三流通部供给。对于该点，按照上述构成，能够进一步提高对控制对象的温度进行控制的响应性。
在第九方案中，所述调整部包括第三分配阀，所述第三分配阀设置于所述第三归路，并且变更从所述热交换部流通所述第三流通部的所述第三热媒与从所述热交换部流通到所述第四流通部的所述第三热媒的比率，所述温度控制系统具备控制部，所述控制部控制所述第一分配阀、所述第二分配阀以及所述第三分配阀，所述控制部在不使所述第三热媒通过所述第三分配阀从所述热交换部流通到所述第三流通部的情况下，使从所述第一调整装置供给的所述第一热媒通过所述第一分配阀向所述第一蓄热部流通；在不使所述第三热媒通过所述第三分配阀从所述热交换部流通到所述第四流通部的情况下，使从所述第二调整装置供给的所述第二热媒通过所述第二分配阀向所述第二蓄热部流通。
按照上述构成，温度控制系统具备控制部，所述控制部控制第一分配阀、第二分配阀以及第三分配阀。而且，控制部在不使第三热媒从热交换部通过第三分配阀流通到第三流通部的情况下，使从第一调整装置供给的第一热媒通过第一分配阀向第一蓄热部流通。因此，在不使第三热媒从热交换部流通到第三流通部的情况下，亦即在没有必要在第一流通部与第三流通部之间进行热交换的情况下，能够将热能积蓄在第一蓄热部。另一方面，在不使第三热媒从热交换部流通到第四流通部的情况下，亦即在没有必要在第二流通部与第四流通部之间进行热交换的情况下，能够将热能积蓄在第二蓄热部。
在第十方案中，所述第三归路包括：第一中介归路，使所述第三热媒从所述热交换部通过所述第一蓄热部流通到所述第三流通部；以及第二中介归路，使所述第三热媒从所述热交换部通过所述第二蓄热部流通到所述第四流通部。
按照上述构成，第三归路包括第一中介归路，所述第一中介归路使第三热媒从热交换部通过第一蓄热部流通到第三流通部。因此，在使第三热媒从热交换部流通到第三流通部的情况下，能够从第一蓄热部向第三热媒直接供给将热能。同样地，在使第三热媒从热交换部流通到第四流通部的情况下，能够从第二蓄热部向第三热媒直接供给热能。因此，能够进一步提高对控制对象的温度进行控制的响应性。
在第十一方案中，在所述第三分配阀中，所述第三热媒的压力损失是固定的而不论从所述热交换部流通到所述第三流通部的所述第三热媒与从所述热交换部流通到所述第四流通部的所述第三热媒的比率如何。因此，在通过泵使第三热媒在第三循环回路中循环的情况下，无需控制泵的驱动状态，能够以一定的驱动状态驱动泵。
在第十二方案中，所述调整部包括第四分配阀，所述第四分配阀设置于所述第三归路，并且变更从所述热交换部流通到所述第三流通部的所述第三热媒、从所述热交换部未通过所述第三流通部以及所述第四流通部而返回到所述热交换部的所述第三热媒以及从所述热交换部流通到所述第四流通部的所述第三热媒的比率。
按照上述构成，在第三归路上设置有第四分配阀，所述第三分配阀分配从热交换部流通到第三流通部的第三热媒、从热交换部未通过第三流通部以及第四流通部而返回到热交换部的第三热媒与以及从热交换部流通到第四流通部的第三热媒的比率。因此，能够通过第四分配阀变更第三流通部从第一流通部接收的热能、返回热交换部的热能与、第四流通部从第二流通部接收的热能的比率。此外，能够实现不使第三热媒从热交换部流通到第三流通部以及第四流通部而将从热交换部流出的第三热媒原样返回热交换部的状态。
在第十三方案中，所述温度控制系统具备第四循环回路，所述第四循环回路从所述第一循环回路、所述第二循环回路以及所述第三循环回路独立，并且供第四热媒循环，所述第三热媒的能够使用的温度范围比所述第四热媒的能够使用的温度范围更宽，所述第四循环回路具备：第三调整装置，将所述第四热媒的温度调整成比所述第一温度更低的第五温度后排出；第五流通部，供所述第四热媒流通；第四去路，使从所述第三调整装置供给的所述第四热媒流通到所述第五流通部；以及第四归路，使流过所述第五流通部的所述第四热媒流通到所述第三调整装置，所述第三循环回路具备第六流通部，供所述第三热媒流通，并且与所述第五流通部进行热交换，所述第三去路使所述第三热媒从所述第三流通部、所述第四流通部以及所述第六流通部流通到所述热交换部，所述第三归路使所述第三热媒从所述热交换部流通到所述第三流通部、所述第四流通部以及所述第六流通部，所述调整部设置于所述第三归路，并且变更从所述热交换部流通到所述第三流通部的所述第三热媒、从所述热交换部流通到所述第四流通部的所述第三热媒以及从所述热交换部流通到所述第六流通部的所述第三热媒的比率。
按照上述构成，在第四循环回路中，第三调整装置将第四热媒的温度调整成比第一温度更低的第五温度，利用与第一循环回路同样的构成，能够实现同样的作用效果。调整部设置于第三归路，并且变更从热交换部流通到第三流通部的第三热媒、从热交换部流通到第四流通部的第三热媒以及热交换部流通到第六流通部的第三热媒的比率。因此，能够变更第三流通部从第一流通部接收的热能、第四流通部从第二流通部接收的热能以及第六流通部从第五流通部接收的热能的比率。因此，例如在使控制对象的温度降低到接近第一温度的温度时，通过使第三热媒暂时向第六流通部流通，能够快速地降低控制对象的温度。其结果，能够进一步提高对控制对象的温度进行控制的响应性。
具体地说，如第十四方案那样，能够采用如下的构成：所述调整部包括设置于所述第三归路的第五分配阀以及第六分配阀，所述第五分配阀变更从所述热交换部流通到所述第四流通部的所述第三热媒与从所述热交换部流通到所述第六分配阀的所述第三热媒的比率，所述第六分配阀变更从所述第五分配阀流通到所述第三流通部的所述第三热媒与从所述第五分配阀流通到所述第六流通部的所述第三热媒的比率。按照这样的构成，通过两个分配阀能够任意地变更从热交换部流通到第三流通部的第三热媒、从热交换部流通到第四流通部的第三热媒以及从热交换部流通到第六流通部的第三热媒的比率。
第十五方案是综合温度控制系统，其具备多个第一方案至第十二方案中任意一个方案的温度控制系统，所述第一调整装置相对于多个所述温度控制系统设置有一台。按照这样的构成，在多个温度控制系统中，能够将第一调整装置合并为一台，所述第一调整装置将第一热媒的温度调整成比第二温度更低的第一温度后排出。因此，例如能够采用具有通常的冷却器的10～100倍的冷却能力的制冷机作为第一调整装置，能够使具备多个温度控制系统的综合温度控制系统的构成简洁。
在此，温度控制系统通过调整部调整第一流通部与第三流通部之间交换的热量以及第二流通部与第四流通部之间交换的热量，对控制对象的温度进行控制。因此，第一调整装置只要将第一热媒的温度调整成一定的第一温度后排出即可，无需根据控制对象的目标温度的变化使第一热媒的温度变化。因此，即使是针对多个温度控制系统设置有一台第一调整装置的构成，也能够对各温度控制系统的控制对象的温度进行控制。
第十六方案是综合温度控制系统，其具备多个第一方案至第十二方案中任意一个方案的温度控制系统，多个所述第一调整装置向共同的供给集管排出调整成所述第一温度的所述第一热媒，从共同的回流集管吸入所述第一热媒，多个所述温度控制系统的所述第一去路与所述供给集管连接，多个所述温度控制系统的所述第一归路与所述回流集管连接。
按照上述构成，多个第一调整装置向共同的供给集管排出调整成第一温度的第一热媒。而且，多个温度控制系统的第一去路与供给集管连接。因此，能够将从多个第一调整装置排出的第一温度的第一热媒储存在共同的供给集管中。而且，例如在想要快速地降低特定的控制对象的温度的情况等下，即使存在用一台第一调整装置供给第一温度的第一热媒的能力不足的情况，也能够从供给集管充分地供给第一温度的第一热媒。
而且，多个温度控制系统的第一归路与共同的回流集管连接，多个第一调整装置从回流集管吸入第一热媒。因此，在回流集管中能够对从多个温度控制系统的第一归路返回的第一热媒进行混合。因此，能够在使第一热媒的温度平均化后向各第一调整装置返回第一热媒，能够抑制多个第一调整装置的冷却负荷产生不均。
在第十七方案中，根据多个所述第一调整装置的冷却负荷的合计，设定运转的所述第一调整装置的台数，以使多个所述第一调整装置的运转时间成为均等的方式使多个所述第一调整装置运转。
按照上述构成，根据多个第一调整装置的冷却负荷的合计，设定运转的第一调整装置的台数。因此，能够适当地设定多个第一调整装置的运转台数，能够提高第一调整装置的运转效率。此外，以使多个第一调整装置的运转时间均等的方式使多个第一调整装置运转。因此，能够抑制只有特定的第一调整装置的运转时间变长，能够抑制特定的第一调整装置的寿命变短。
附图说明
在参照附图的同时通过下述的详细叙述，与本公开相关的上述目的以及其它目的、特征、优点变得更明确。
图1是第一实施方式的温度控制系统的示意图。
图2是第二实施方式的温度控制系统的示意图。
图3是第三实施方式的温度控制系统的示意图。
图4是第四实施方式的温度控制系统的示意图。
图5是第五实施方式的温度控制系统的示意图。
图6是第六实施方式的温度控制系统的示意图。
图7是第七实施方式的综合温度控制系统的示意图。
图8是第八实施方式的综合温度控制系统的示意图。
具体实施方式
(第一实施方式)
以下，边参照附图边对具体化为对半导体制造装置的下部电极(控制对象)的温度进行控制的温度控制系统的第一实施方式进行说明。
如图1所示，温度控制系统100具备第一循环回路10、第二循环回路20、第三循环回路30以及控制部80等。
第一循环回路10是第一热媒循环的回路。第一热媒例如是由60％的乙二醇以及40％的水构成的液体。第二循环回路20从第一循环回路10独立，是第二热媒循环的回路。第二热媒例如是与第一热媒相同的液体。第一热媒以及第二热媒是价格比较低的热媒。
第三循环回路30从第一循环回路10以及第二循环回路20独立，是第三热媒循环的回路。第三热媒例如是氟系的惰性液体。第三热媒的能够使用的下限温度比第一热媒以及第二热媒的能够使用的下限温度低。第三热媒的能够使用的上限温度比第一热媒以及第二热媒的能够使用的上限温度高。即，第三热媒的能够使用的温度的范围比第一热媒以及第二热媒的能够使用的温度范围宽。因此，第三热媒的价格比第一热媒以及第二热媒的价格高。
第一循环回路10具备第一冷却器11、第一分配阀12、流量计13、三个(多个)第一流通部14、以及第一蓄热单元16等。
第一冷却器11(第一调整装置)具备容器11a以及泵11b等。第一冷却器11将第一热媒的温度调整成-20℃(第一温度)。容器11a(第一容器)储存调整成-20℃的第一热媒。泵11b将储存在容器11a中的第一热媒向流路17a排出。流路17a与第一分配阀12的公共端口(COM)连接。
第一分配阀12(调整部)是具备公共端口、A端口以及B端口的三通阀。流路17b与A端口连接。流路17d与B端口连接。第一分配阀12连续地变更从流路17a流向流路17b的第一热媒的流量与从流路17a流向流路17d的第一热媒的流量之比。第一分配阀12在使第一热媒从流路17a向流路17b以100％流动的状态与使第一热媒从流路17a向流路17d以100％流动的状态之间连续地变更状态。在第一分配阀12中，第一热媒的压力损失是固定的，而不论将从第一冷却器11供给的第一热媒分配给三个第一流通部14与第一蓄热单元16的第一蓄热流通部16b的比率如何。由于不论第一分配阀12的分配比率如何，泵11b的负荷都不变化，所以泵11b以一定的驱动状态驱动。
在流路17b上设置有流量计13。流量计13测量流过流路17b的第一热媒的流量。流路17b分支为三个(多个)流路17c。各流路17c分别与各第一流通部14连接。三个第一流通部14设置在热交换器31的内部，供第一热媒流通。
各流路18a分别与各第一流通部14连接。三个(多个)流路18a合并为流路18b。
第一蓄热单元16(第一蓄热部)具备第一蓄热材料16a、第一蓄热流通部16b以及第一放热流通部16c。第一蓄热材料16a将在固体与液体之间进行状态变化时的潜热积蓄为热能。第一蓄热材料16a在-10℃(第三温度)在固体与液体之间进行状态变化。通过变更第一蓄热材料16a的成分比例，能够调整第一蓄热材料16a的状态变化温度以及蓄热能量。第一蓄热流通部16b以及第一放热流通部16c与第一蓄热材料16a一体化。在第一蓄热流通部16b与第一蓄热材料16a之间进行热交换，在第一放热流通部16c与第一蓄热材料16a之间进行热交换。
第一蓄热流通部16b与上述流路17d连接，第一蓄热流通部16b供第一热媒流通。流路17e与第一蓄热流通部16b连接。第一放热流通部16c与上述流路18b连接，第一放热流通部16c供第一热媒流通。流路18c与第一放热流通部16c连接。流路18c与第一冷却器11的容器11a连接。流路17e与流路18c连接。另外，由流路17a、流路17b、流路17c以及流路17d构成第一去路。由流路18a、流路18b以及流路18c构成第一归路。
第一分配阀12变更将从第一冷却器11通过流路17a供给的第一热媒分配给三个第一流通部14与第一蓄热单元16的第一蓄热流通部16b的比率。流过第一流通部14的第一热媒向第一放热流通部16c流通。未流过第一流通部14的第一热媒向第一蓄热流通部16b流通。即，第一蓄热流通部16b与第一放热流通部16c独立。
通过使-20℃的第一热媒向第一蓄热流通部16b流通，第一蓄热材料16a在-10℃变化为固体并将潜热积蓄为热能。而且，通过使比-10℃更高的温度的第一热媒向第一放热流通部16c流通，第一蓄热材料16a中积蓄的潜热(热能)用于第一热媒的冷却。
第二循环回路20具备第二冷却器21、第二分配阀22、流量计23、三个(多个)第二流通部24以及第二蓄热单元26等。
第二冷却器21(第二调整装置)具备容器21a以及泵21b等。第二冷却器21将第二热媒的温度调整成比-20℃(第一温度)更高的90℃(第二温度)。容器21a(第二容器)储存调整成90℃的第二热媒。泵21b将储存在容器21a中的第二热媒向流路27a排出。流路27a与第二分配阀22的公共端口(COM)连接。
第二分配阀22(调整部)是具备公共端口、A端口以及B端口的三通阀。流路27b与A端口连接。流路27d与B端口连接。第二分配阀22连续地变更从流路27a流向流路27b的第二热媒的流量与从流路27a流向流路27d的第二热媒的流量之比。第二分配阀22在使第二热媒从流路27a向流路27b以100％流动的状态与使第二热媒从流路27a向流路27d以100％流动的状态之间连续地变更状态。在第二分配阀22中，第二热媒的压力损失是固定的而不论将从第二冷却器21供给的第二热媒分配给三个第二流通部24与第二蓄热单元26的第二蓄热流通部26b的比率如何。不论第二分配阀22的分配比率如何，泵21b的负荷都不变化，因此泵21b以一定的驱动状态驱动。
在流路27b上设置有流量计23。流量计23测量流过流路27b的第二热媒的流量。流路27b分支为三个(多个)流路27c。各流路27c分别与各第二流通部24连接。三个第二流通部24设置在热交换器31的内部，供第二热媒流通。
各流路28a分别与各第二流通部24连接。三个(多个)流路28a合并成流路28b。
第二蓄热单元26(第二蓄热部)具备第二蓄热材料26a、第二蓄热流通部26b以及第二放热流通部26c。第二蓄热材料26a将在固体与液体之间进行状态变化时的潜热积蓄为热能。第二蓄热材料26a在比-10℃(第三温度)更高的100℃(第四温度)下在固体与液体之间进行状态变化。通过变更第二蓄热材料26a的成分比例，能够调整第二蓄热材料26a的状态变化温度以及蓄热能量。第二蓄热流通部26b以及第二放热流通部26c与第二蓄热材料26a一体化。在第二蓄热流通部26b与第二蓄热材料26a之间进行热交换，在第二放热流通部26c与第二蓄热材料26a之间进行热交换。
第二蓄热流通部26b与上述流路27d连接，供第二热媒流通。流路27e与第二蓄热流通部26b连接。第二放热流通部26c与上述流路28b连接，供第二热媒流通。流路28c与第二放热流通部26c连接。流路28c与第二冷却器21的容器21a连接。流路27e与流路28c连接。另外，由流路27a、流路27b、流路27c以及流路27d构成第二去路。由流路28a、流路28b以及流路28c构成第二归路。
第二分配阀22变更将从第二冷却器21经由流路27a供给的第二热媒分配给三个第二流通部24与第二蓄热单元26的第二蓄热流通部26b的比率。流过第二流通部24的第二热媒向第二放热流通部26c流通。未流过第二流通部24的第二热媒向第二蓄热流通部26b流通。即，第二蓄热流通部26b与第二放热流通部26c独立。
通过使90℃的第二热媒向第二蓄热流通部26b流通，第二蓄热材料26a在100℃变化为固体并将潜热积蓄为热能。而且，通过使比100℃更高的温度的第二热媒向第二放热流通部26c流通，第二蓄热材料26a中积蓄的潜热(热能)用于第二热媒的冷却。
第三循环回路30具备五个(多个)共通流通部34以及泵32等。
五个共通流通部34(第三流通部，第四流通部)设置在热交换器31的内部，供第三热媒流通。共通流通部34与第一流通部14以及第二流通部24一体化，与第一流通部14以及第二流通部24进行热交换。
各流路35a与各共通流通部34连接。五个(多个)流路35a合并为流路35b。
半导体制造装置90具备上部电极91以及下部电极92，在上部电极91与下部电极92之间产生等离子体P。晶片等工件W放置在下部电极92上。温度传感器94检测下部电极92的温度。下部电极92与热交换器93一体化。在热交换器93与下部电极92之间进行热交换。
热交换器93(热交换部)与上述流路35b连接，供第三热媒流通。流路36b与热交换器93连接。在流路36b上设置有泵32。流路36b分支为五个(多个)流路36c。各流路36c分别与各共通流通部34连接。
泵32在流路36b上从热交换器93侧吸入第三热媒，并向共通流通部34侧排出。泵32以一定的驱动状态驱动。由此，泵32使第三热媒在第三循环回路30中循环。第三循环回路30不具备储存第三热媒的容器。另外，由流路35a以及流路35b构成第三去路。由流路36b以及流路36c构成第三归路。
控制部80是具备CPU、ROM、RAM以及输入输出接口等的微型计算机。控制部80输入流量计13、23以及温度传感器94等的检测结果。控制部80将下部电极92的温度控制成设定温度。根据半导体制造装置90中的工序，将设定温度(目标温度)变更为90℃、0℃、-20℃等。由于热量从等离子体P流入下部电极92，所以在产生等离子体P时下部电极92的温度会上升到120℃左右。伴随于此，存在从热交换器93流出的第三热媒的温度也上升到120℃左右的情况。
控制部80基于下部电极92的设定温度、流量计13、23以及温度传感器94的检测结果来控制第一分配阀12以及第二分配阀22的分配比率。由此，调整向第一流通部14流通的第一热媒的流量、进而调整在第一流通部14与共通流通部34(第三流通部)之间交换的热量。另外，调整向第二流通部24流通的第二热媒的流量、进而调整在第二流通部24与共通流通部34(第四流通部)之间交换的热量。
此外，在使从第一冷却器11供给的第一热媒通过第一分配阀12向第一流通部14流通的情况下，控制部80使从第二冷却器21供给的第二热媒通过第二分配阀22向第二蓄热单元26流通。例如，在使从第一冷却器11供给的第一热媒通过第一分配阀12以100％(多于规定分配比率)向第一流通部14流通的情况下，控制部80使从第二冷却器21供给的第二热媒通过第二分配阀22以100％(多于规定分配比率)向第二蓄热单元26流通。由此，第二蓄热材料26a在100℃变化为固体，在第二蓄热单元26积蓄的热能。而且，在使比100℃更高的温度的第二热媒向第二放热流通部26c流通的情况下，第二蓄热材料26a中积蓄的热能用于第二热媒的冷却。
另外，在使从第二冷却器21供给的第二热媒通过第二分配阀22向第二流通部24流通的情况下，控制部80使从第一冷却器11供给的第一热媒通过第一分配阀12向第一蓄热单元16流通。例如，在使从第二冷却器21供给的第二热媒通过第二分配阀22以100％(多于规定分配比率)向第二流通部24流通的情况下，控制部80使从第一冷却器11供给的第一热媒通过第一分配阀12以100％(多于规定分配比率)向第一蓄热单元16流通。由此，第一蓄热材料16a在-10℃变化成固体，在第一蓄热单元16中积蓄热能。而且，在比-10℃更高的温度的第一热媒向第一放热流通部16c流通的情况下，第一蓄热材料16a中积蓄的热能用于第一热媒的冷却。
以上详述的本实施方式具有以下的优点。
·第三循环回路30从第一循环回路10以及第二循环回路20独立，供第三热媒循环，第三热媒的能够使用的温度范围比第一热媒以及第二热媒的能够使用的温度范围更宽。因此，即使第三热媒是高价的，使第三热媒仅在第三循环回路30中循环，因此也能够减少第三热媒的使用量。而且，第三循环回路30不具备储存第三热媒的容器。因此，能够进一步减少在第三循环回路30中循环的第三热媒的量。
·在第一循环回路10以及第二循环回路20中分别使用能够使用的温度范围比第三热媒的能够使用的温度范围更窄的第一热媒以及第二热媒，因此能够使用价格低的热媒作为第一热媒以及第二热媒。
·第三循环回路30具备：第三热媒流通且与第一流通部14进行热交换的共通流通部34；以及第三热媒流通且与第二流通部24进行热交换的共通流通部34。因此，能够将供给到第一流通部14的热能通过第一流通部14与共通流通部34之间的热交换提供给共通流通部34。同样地，能够将供给到第二流通部24的热能通过第二流通部24与共通流通部34之间的热交换提供给共通流通部34。
·第三循环回路30具备：流路35a、35b，使第三热媒从共通流通部34流通到与下部电极92进行热交换的热交换器93；以及流路36b、36c，使第三热媒从热交换器93流通到共通流通部34。因此，通过第三热媒，能够将热能供给到与下部电极92进行热交换的热交换器93。
·温度控制系统100具备第一分配阀12以及第二分配阀22，第一分配阀12以及第二分配阀22对在第一流通部14与共通流通部34之间交换的热量以及在第二流通部24与共通流通部34之间交换的热量进行调整。因此，通过第一分配阀12以及第二分配阀22，能够调整供给到共通流通部34的热能，能够控制通过第三热媒供给到热交换器93的热能，进而能够控制下部电极92的温度。在此，如上所述地，能够减少在第三循环回路30中循环的第三热媒的量。因此，能够使第三热媒的温度快速地变化，能够提高控制下部电极92的温度的响应性。
·第一冷却器11具有储存第一热媒的容器11a，容器11a储存调整成-20℃的第一热媒。因此，能够从第一冷却器11的容器11a充分地供给用于热交换的调整成-20℃的第一热媒。即使在该情况下，也由于使用能够使用的温度范围比第三热媒的能够使用的温度范围更窄的第一热媒，所以能够使用价格低的热媒作为第一热媒。同样地，由于在第二循环回路20中使用能够使用的温度范围比第三热媒的能够使用的温度范围更窄的第二热媒，所以能够使用价格低的热媒作为第二热媒。
··第一热媒在第一蓄热单元16中流动，第一蓄热单元16基于在-10℃下第一蓄热材料16a的状态变化而积蓄热能。因此，准备使下部电极92的温度变化时等，能够预先在第一蓄热单元16中积蓄热能。另外，在第二循环回路20中，第二冷却器21把第二热媒的温度调整成比-20℃更高的90℃，利用与第一循环回路10同样的构成，能够实现同样的作用效果。
·通过第一分配阀12以及第二分配阀22，在调整向共通流通部34供给的热能时，也可以使用在第一蓄热单元16以及第二蓄热单元26中积蓄的热能。因此，能够增加向共通流通部34供给的热能，能够使第三热媒的温度快速地变化。因此，能够进一步提高控制下部电极92的温度的响应性。
·在流路17b上设置有第一分配阀12，所述第一分配阀12变更将从第一冷却器11供给的第一热媒分配给第一流通部14与第一蓄热单元16的比率。因此，通过第一分配阀12能够变更从第一冷却器11向第一流通部14供给的热能与向第一蓄热单元16供给的热能的比率。因此，能够变更用于第一流通部14与共通流通部34之间的热交换的热能与在第一蓄热单元16中积蓄的热能的比率。同样地，能够变更用于第二流通部24与共通流通部34之间的热交换的热能与在第二蓄热单元26中积蓄的热能的比率。
·温度控制系统100具备控制第一分配阀12以及第二分配阀22的控制部80。而且，控制部80在使从第一冷却器11供给的第一热媒通过第一分配阀12向第一流通部14流通的情况下，使从第二冷却器21供给的第二热媒通过第二分配阀22向第二蓄热单元26流通。因此，在使从第一冷却器11供给的第一热媒向第一流通部14流通的情况下亦即在第二流通部24与共通流通部34之间进行热交换的必要性小的情况下，能够在第二蓄热单元26中积蓄热能。另一方面，在使从第二冷却器21供给的第二热媒向第二流通部24流通的情况下亦即在第一流通部14与共通流通部34之间进行热交换的必要性小的情况下，能够在第一蓄热单元16中积蓄热能。
·能够使流过第一流通部14的第一热媒与未流过第一流通部14的第一热媒彼此独立地向第一蓄热单元16流通。因此，与在第一蓄热单元16中使流过第一流通部14的第一热媒与未流过第一流通部14的第一热媒混合的构成相比较，能够提高在第一蓄热单元16中积蓄热能的效率。同样地，能够提高在第二蓄热单元26中积蓄热能的效率。
·在第一分配阀12中，第一热媒的压力损失是固定的而不论把从第一冷却器11供给的第一热媒分配给第一流通部14与第一蓄热单元16的比率如何。因此，能够使因第一热媒的压力损失变动产生的负荷不施加给第一冷却器11。此外，在通过泵11b使第一热媒在第一循环回路10中循环的情况下，第一分配阀12中的第一热媒的压力损失是固定的，因此无需控制泵11b的驱动状态，能够以一定的驱动状态驱动泵11b。即使在第二循环回路20中，也能够实现同样的作用效果。
另外，可以将第一实施方式如以下这样地进行变更来实施。对于与第一实施方式相同的部分，赋予相同的附图标记，由此省略说明。
·在第一分配阀12中，根据将从第一冷却器11供给的第一热媒分配给第一流通部14与第一蓄热单元16的比率，第一热媒的压力损失也可以变动。在该情况下，只要适当地变更泵11b的驱动状态即可。对于第二分配阀22也是同样的。
·也可以省略流量计13、23。在该情况下，控制部80只要基于下部电极92的设定温度以及温度传感器94的检测结果来控制第一分配阀12以及第二分配阀22(调整部)的分配比率即可。
·控制部80在使从第一冷却器11供给的第一热媒通过第一分配阀12不向第一流通部14流通的情况下，可以使从第二冷却器21供给的第二热媒通过第二分配阀22向第二蓄热单元26流通。控制部80在使从第二冷却器21供给的第二热媒通过第二分配阀22不向第二流通部24流通的情况下，可以使从第一冷却器11供给的第一热媒通过第一分配阀12向第一蓄热单元16流通。
(第二实施方式)
以下，以与第一实施方式的不同点为中心，对第二实施方式进行说明。另外，对于与第一实施方式相同的部分，赋予相同的附图标记，由此省略说明。
如图2所示，温度控制系统200具备第一循环回路110、第二循环回路120、第三循环回路130以及控制部80等。
第一循环回路110是上述第一热媒循环的回路。第二循环回路120从第一循环回路110独立，是上述第二热媒循环的回路。第三循环回路130从第一循环回路110以及第二循环回路120独立，是上述第三热媒循环的回路。
第一循环回路110具备第一冷却器11以及第一流通部114等。第一循环回路110不具备上述流量计13、上述第一分配阀12以及上述第一蓄热单元16。
泵11b将储存在容器11a中的第一热媒向流路117排出。流路117与第一流通部114连接。第一流通部114设置在热交换器131的内部，供第一热媒流通。
流路118与第一流通部114连接。流路118与第一冷却器11的容器11a连接。另外，由流路117构成第一去路。由流路118构成第一归路。
第二循环回路120具备第二冷却器21以及第二流通部124等。第二循环回路120不具备上述流量计23、上述第二分配阀22以及上述第二蓄热单元26。
泵21b将储存在容器21a中的第二热媒向流路127排出。流路127与第二流通部124连接。第二流通部124设置在热交换器132的内部，供第二热媒流通。
流路128与第二流通部124连接。流路128与第二冷却器21的容器21a连接。另外，由流路127构成第二去路。由流路128构成第二归路。
第三循环回路130具备第三流通部133、第四流通部134、第三分配阀135、第一止回阀136、第二止回阀137以及泵32等。
第三流通部133设置在热交换器131的内部，供第三热媒流通。第三流通部133与第一流通部114一体化，与第一流通部114进行热交换。
流路133a与第三流通部133连接。在流路133a上设置有第一止回阀136。第一止回阀136容许第三热媒从第三流通部133流向合流点P1，禁止第三热媒从合流点P1流向第三流通部133。
流路134a与第四流通部134连接。在流路134a上设置有第二止回阀137。第二止回阀137容许第三热媒从第四流通部134流向合流点P1，禁止第三热媒从合流点P1流向第四流通部134。
流路133a以及流路134a在合流点P1与流路135a连接。流路135a与热交换器93的流入端口连接。流路135b与热交换器93的流出端口连接。在流路135b上设置有泵32。流路135b与第三分配阀135的公共端口连接。
第三分配阀135(调整部)是具备公共端口、A端口以及B端口的三通阀。流路135c与B端口连接。流路135d与A端口连接。流路135c与热交换器131的第三流通部133连接。流路135d与热交换器132的第四流通部134连接。
第三分配阀135连续地变更从流路135b流向流路135c的第三热媒的流量与流向流路135d的第三热媒的流量之比。即，第三分配阀135变更从热交换器93流通到第三流通部133的第三热媒与从热交换器93流通到第四流通部134的第三热媒的比率。第三分配阀135在使第三热媒从流路135b向流路135c以100％流动的状态与使第三热媒从流路135b向流路135d以100％流动的状态之间连续地变更状态。在第三分配阀135中，第三热媒的压力损失是固定的而不论将从泵32供给的第三热媒分配给热交换器131的第三流通部133与热交换器132的第四流通部134的比率如何。
由于不论第三分配阀135的分配比率如何，泵32的负荷都不变化，所以泵32以一定的驱动状态驱动。由此，泵32使第三热媒在第三循环回路130中循环。第三循环回路130不具备储存第三热媒的容器。另外，由流路133a、流路134a以及流路135a构成第三去路。由流路135b、流路135c以及流路135d构成第三归路。
控制部80将下部电极92的温度控制为设定温度。控制部80基于下部电极92的设定温度以及温度传感器94的检测结果，控制第三分配阀135的分配比率。由此，调整流向第三流通部133的第三热媒的流量，进而调整在第一流通部114与第三流通部133之间交换的热量。另外，调整流向第四流通部134的第三热媒的流量，进而调整在第二流通部124与第四流通部134之间交换的热量。
以上详述的本实施方式具有以下的优点。另外，在此仅描述与第一实施方式不同的优点。
·第三循环回路130具备第三热媒流通且与第一流通部114进行热交换的第三流通部133；以及第三热媒流通且与与第二流通部124进行热交换的第四流通部134。因此，能够将供给到第一流通部114的热能通过第一流通部114与第三流通部133之间的热交换向第三流通部133供给。同样地，能够将供给到第二流通部124的热能通过第二流通部124与第四流通部134之间的热交换向第四流通部134供给。
·第三循环回路130具备：流路133a、134a、135a，使第三热媒从第三流通部133以及第四流通部134流通到与下部电极92进行热交换的热交换器93；以及流路135b、135c、135d，使第三热媒从热交换器93流通到第三流通部133以及第四流通部134。因此，通过第三热媒，能够将热能供给到与下部电极92进行热交换的热交换器93。
·在第三循环回路130上设置有第三分配阀135，所述第三分配阀135变更从热交换器93流通到第三流通部133的第三热媒与从热交换器93流通到第四流通部134的第三热媒的比率。因此，通过第三分配阀135能够变更第三流通部133从第一流通部114接收的热能与第四流通部134从第二流通部124接收的热能的比率。此外，例如，通过使第三热媒从热交换器93仅流向第四流通部134，由此能够抑制由于第三热媒流向第三流通部133而产生的第一流通部114与第三流通部133之间的热交换。另外，在第三热媒流向第三流通部133的情况下，存在第一热媒即使不流向第一流通部114，残留在第一流通部114中的热能也向第三流通部133供给的可能性。对于该点，按照上述构成，能够进一步提高控制下部电极92的温度的响应性。
·在第三分配阀135中，第三热媒的压力损失是固定的而不论从热交换器93流通到第三流通部133的第三热媒与从热交换器93流通到第四流通部134的第三热媒的比率如何。因此，在通过泵32使第三热媒在第三循环回路130中循环的情况下，无需控制泵32的驱动状态，能够以一定的驱动状态驱动泵32。
另外，在第三分配阀135中，根据从热交换器93流通到第三流通部133的第三热媒与从热交换器93流通到第四流通部134的第三热媒的比率，第三热媒的压力损失也可以变动。在该情况下，只要适当地变更泵32的驱动状态即可。
(第三实施方式)
以下，以与第二实施方式的不同点为中心对第三实施方式进行说明。另外，对于与第一实施方式、第二实施方式相同的部分，赋予相同的附图标记，由此省略说明。
如图3所示，本实施方式的温度控制系统300在第二实施方式的温度控制系统200中追加了第一蓄热单元16以及第二蓄热单元26。
第一循环回路210是上述第一热媒循环的回路。第二循环回路220从第一循环回路210独立，是上述第二热媒循环的回路。第三循环回路230从第一循环回路210以及第二循环回路220独立，是上述第三热媒循环的回路。
第一循环回路210具备第一冷却器11、第一流通部114以及第一蓄热流通部16b等。第一循环回路210不具备上述第一分配阀12以及上述流量计13。
第一流通部114与第一蓄热流通部16b通过流路218连接。第一蓄热流通部16b与第一冷却器11的容器11a通过流路219连接。另外，由流路117以及流路218构成第一去路。由流路219构成第一归路。
第三分配阀135的B端口与第一放热流通部16c通过流路235连接。第一放热流通部16c与第三流通部133通过流路236连接。第一放热流通部16c设置在第一蓄热单元16的内部，第一放热流通部16c供第三热媒流通。另外，由流路235以及流路236构成第一中介归路。
通过向第一蓄热流通部16b流通-20℃的第一热媒，第一蓄热材料16a将在-10℃变化为固体并将潜热积蓄为热能。而且，通过向第一放热流通部16c流通比-10℃更高的温度的第三热媒，第一蓄热材料16a中积蓄的潜热(热能)用于第三热媒的冷却。
第二循环回路220具备第二冷却器21、第二流通部124以及第二蓄热流通部26b等。第二循环回路220不具备上述第二分配阀22以及上述流量计23。
第二流通部124与第二蓄热流通部26b通过流路228连接。第二蓄热流通部26b与第二冷却器21的容器21a通过流路229连接。另外，由流路127以及流路228构成第二去路。由流路229构成第二归路。
第三分配阀135的A端口与第二放热流通部26c通过流路237连接。第二放热流通部26c与第四流通部134通过流路238连接。第二放热流通部26c设置在第二蓄热单元26的内部，第二放热流通部26c供第三热媒流通。另外，由流路237以及流路238构成第二中介归路。由流路135b、235、236、237、238构成第三归路。
通过向第二蓄热流通部26b流通90℃的第二热媒，第二蓄热材料26a在100℃变化为固体并将潜热积蓄为热能。而且，通过向第二放热流通部26c流通比100℃更高的温度的第三热媒，第二蓄热材料26a中积蓄的潜热(热能)用于第三热媒的冷却。
以上详述的本实施方式具有以下的优点。另外，在此仅描述与第二实施方式不同的优点。
·第一蓄热单元16供第一热媒流通，第一蓄热单元16基于在-10℃第一蓄热材料16a的状态变化而积蓄热能。因此，准备使下部电极92的温度变化时等，能够预先在第一蓄热单元16中积蓄热能。另外，在第二循环回路220中，第二冷却器21将第二热媒的温度调整成比-20℃更高的90℃，利用与第一循环回路210同样的构成，能够实现同样的作用效果。
·在第三流通部133从第一流通部114接收热能时以及在第四流通部134从第二流通部124接收热能时，也能够使用分别积蓄在第一蓄热单元16以及第二蓄热单元26中的热能。因此，能够使向第三流通部133以及第四流通部134供给的热能增加，能够使第三热媒的温度快速地变化。因此，能够进一步提高控制下部电极92的温度的响应性。
·第三循环回路230包括流路235、236，该流路235、236使第三热媒从热交换器93通过第一蓄热单元16流通到第三流通部133。因此，在使第三热媒从热交换器93流通到第三流通部133的情况下，能够从第一蓄热单元16向第三热媒直接供给热能。同样地，在使第三热媒从热交换器93流通到第四流通部134的情况下，能够从第二蓄热单元26向第三热媒直接供给热能。因此，能够进一步提高控制下部电极92的温度的响应性。
(第四实施方式)
以下，以与第三实施方式的不同点为中心对第四实施方式进行说明。另外，对于与第一实施方式至第三实施方式相同的部分，赋予相同的附图标记，由此省略说明。
如图4所示，本实施方式的温度控制系统400在第三实施方式的温度控制系统300中追加了第一分配阀12以及第二分配阀22。
第一循环回路310是上述第一热媒循环的回路。第二循环回路320从第一循环回路310独立，是上述第二热媒循环的回路。第三循环回路230从第一循环回路310以及第二循环回路320独立，是上述第三热媒循环的回路。
第一蓄热流通部16b与第一冷却器11的容器11a通过流路319连接。第一流通部114与流路319通过流路318连接。另外，由流路17a、17b、17d构成第一去路。由流路318、319构成第一归路。
第一分配阀12变更将从第一冷却器11通过流路17a供给的第一热媒分配给第一流通部114与第一蓄热单元16的第一蓄热流通部16b的比率。
第二蓄热流通部26b与第二冷却器21的容器21a通过流路329连接。第二流通部124与流路329通过流路328连接。另外，由流路27a、27b、27d构成第二去路。由流路328、329构成第二归路。
第二分配阀22变更将从第二冷却器21经由流路27a供给的第二热媒分配给第二流通部124与第二蓄热单元26的第二蓄热流通部26b的比率。
控制部80在通过第三分配阀135不使第三热媒从热交换器93流通到第三流通部133的情况下，通过第一分配阀12使从第一冷却器11供给的第一热媒向第一蓄热单元16流通。另外，控制部80在通过第三分配阀135不使第三热媒从热交换器93流通到第四流通部134的情况下，通过第二分配阀22使从第二冷却器21供给的第二热媒向第二蓄热单元26流通。
以上详述的本实施方式具有以下的优点。另外，在此仅对与第一实施方式、第三实施方式不同的优点进行描述。
·温度控制系统400具备控制部80，该控制部80控制第一分配阀12、第二分配阀22以及第三分配阀135。而且，在通过第三分配阀135不使第三热媒从热交换器93流通到第三流通部133的情况下，控制部80通过第一分配阀12使从第一冷却器11供给的第一热媒向第一蓄热单元16流通。因此，在不使第三热媒从热交换器93流通到第三流通部133的情况下，亦即在无需在第一流通部114与第三流通部133之间进行热交换的情况下，能够使热能积蓄在第一蓄热单元16中。另一方面，在不使第三热媒从热交换器93流通到第四流通部134的情况下，亦即在无需在第二流通部124与第四流通部134之间进行热交换的情况下，能够将热能积蓄在第二蓄热单元26中。
另外，控制部80也可以在通过第三分配阀135使第三热媒从热交换器93流通到第三流通部133的情况下通过第一分配阀12使从第一冷却器11供给的第一热媒向第一蓄热单元16流通。控制部80可以在通过第三分配阀135使第三热媒从热交换器93流通到第四流通部134的情况下通过第二分配阀22不使从第二冷却器21供给的第二热媒流通到第二蓄热单元26。
(第五实施方式)
以下，以与第四实施方式的不同点为中心对第五实施方式进行说明。另外，对于与第一实施方式至第四实施方式相同的部分，赋予相同的附图标记，由此省略说明。
如图5所示，本实施方式的温度控制系统500在第四实施方式的温度控制系统400中将第三分配阀135变更为第四分配阀435。
第四分配阀435(调整部)是具备公共端口、H端口、B端口以及C端口的四通阀。流路235与C端口连接。流路235与第一蓄热单元16的第一放热流通部16c连接。流路239与B端口连接。流路239在合流点P1与流路135a连接。在流路239上设置有第三止回阀138。第三止回阀138容许第三热媒从第四分配阀435流向合流点P1，禁止第三热媒从合流点P1流向第四分配阀435。流路237与H端口连接。流路237与第二蓄热单元26的第二放热流通部26c连接。
第四分配阀435连续地变更从流路135b流向流路235的第三热媒的流量、流向流路239的第三热媒的流量、流向流路237的第三热媒的流量之比。即，第四分配阀435变更从热交换器93流通到第一放热流通部16c以及第三流通部133的第三热媒、从热交换器93不通过第三流通部133以及第四流通部134返回到热交换器93的第三热媒、从热交换器93流通到第二放热流通部26c以及第四流通部134的第三热媒的比率。第四分配阀435在使第三热媒以100％从流路135b流向流路235的状态、使第三热媒从流路135b流向流路235、239的状态、使第三热媒以100％从流路135b流向流路239的状态、使第三热媒从流路135b流向流路239、237的状态、以及使第三热媒以100％从流路135b流向流路237的状态之间连续地变更状态。在第四分配阀435中，第三热媒的压力损失是固定的而不论将从泵32供给的第三热媒分配给流路235、流路239和流路237的比率如何。
由于无论第四分配阀435的分配比率如何，泵32的负荷都不变化，所以泵32以一定的驱动状态驱动。由此，泵32使第三热媒在第三循环回路430中循环。第三循环回路430不具备储存第三热媒的容器。另外，由流路133a、流路134a以及流路135a构成第三去路。由流路135b、流路235、流路236、流路237以及流路238构成第三归路。
控制部80将下部电极92的温度控制成设定温度。控制部80基于下部电极92的设定温度、流量计13、23以及温度传感器94的检测结果，控制第四分配阀435的分配比率。
以上详述的本实施方式具有以下的优点。另外，在此仅描述与第四实施方式不同的优点。
·通过第四分配阀435能够变更第三流通部133c从第一流通部114接收的热能、返回热交换器93的热能和第四流通部134从第二流通部124接收的热能的比率。此外，能够实现使从热交换器93流出的第三热媒原样返回热交换器93的状态而不使第三热媒从热交换器93流通到第三流通部133以及第四流通部134。
(第六实施方式)
以下，以与第四实施方式的不同点为中心对第六实施方式进行说明。另外，对与第一实施方式至第五实施方式相同的部分，赋予相同的附图标记，由此省略说明。
如图6所示，本实施方式的温度控制系统600在第四实施方式的温度控制系统400中追加了第四循环回路330、第六流通部346以及第三放热流通部336c。此外，第三循环回路530具备第五分配阀535以及第六分配阀536代替上述第三分配阀135。
第四循环回路330从第一循环回路310、第二循环回路320以及第三循环回路530独立，是第四热媒循环的回路。第四热媒是与第一热媒以及第二热媒相同的液体。第三循环回路530从第一循环回路310、第二循环回路320以及第四循环回路330独立，是上述第三热媒循环的回路。
除了第三冷却器331(第三调整装置)排出调整成比-20℃(第一温度)更低的-30℃(第五温度)的第四热媒这点以外，第四循环回路330具备与第一循环回路310同样的构成。第四热媒在第五流通部345中循环。另外，由流路337a、337b、37d构成第四去路。由流路338、339构成第四归路。
第五分配阀535以及第六分配阀536是与第三分配阀135同样的三通阀。流路135b与第五分配阀535的公共端口连接。第五分配阀535的B端口与第六分配阀536的公共端口通过流路348连接。第五分配阀535的A端口与第二蓄热单元26的第二放热流通部26c通过流路237连接。第六分配阀536的B端口与第三蓄热单元336的第三放热流通部336c通过流路349连接。第六分配阀536的A端口与第一蓄热单元16的第一放热流通部16c通过流路235连接。
第六流通部346设置在热交换器341的内部。在热交换器341中，在第五流通部345与第六流通部346之间进行热交换。第六流通部346与合流点P1通过流路347连接。在流路347上设置有第四止回阀139。第四止回阀139允许第三热媒从第六流通部346流向合流点P1，禁止第三热媒从合流点P1流向第六流通部346。
第五分配阀535(调整部)变更从热交换器93流通到第二放热流通部26c以及第四流通部134的第三热媒与从热交换器93流通到第六分配阀536的第三热媒的比率。第六分配阀536(调整部)变更从第五分配阀535流通到第一放热流通部16c以及第三流通部133的第三热媒与从第五分配阀535流通到第三放热流通部336c以及第六流通部346的第三热媒的比率。即，第五分配阀535以及第六分配阀536变更从热交换器93流通到第三流通部133的第三热媒、从热交换器93流通到第四流通部134的第三热媒、从热交换器93流通到第六流通部346的第三热媒的比率。另外，由流路133a、流路134a、流路347以及流路135a构成第三去路。由流路135b、流路348、流路235、流路236、流路237、流路238、流路349以及流路340构成第三归路。
例如在设定温度从0℃变更为-20℃的情况下，控制部80控制第五分配阀535以及第六分配阀536暂时使第三热媒以100％向第三蓄热单元336的第三放热流通部336c以及第六流通部346流通。其后，控制部80控制第五分配阀535以及第六分配阀536，使第三热媒以100％向第一蓄热单元16的第一放热流通部16c以及第三流通部133流通。
以上详述的本实施方式具有以下的优点。另外，在此仅描述与第四实施方式不同的优点。
·在第四循环回路330中，第三冷却器331将第四热媒的温度调整成比-20℃更低的-30℃，利用与第一循环回路310同样的构成，能够实现同样的作用效果。第五分配阀535以及第六分配阀536变更从热交换器93流通到第三流通部133的第三热媒、从热交换器93流通到第四流通部134的第三热媒和从热交换器93流通到第六流通部346的第三热媒的比率。因此，能够变更第三流通部133从第一流通部114接收的热能、第四流通部134从第二流通部124接收的热能、第六流通部346从第五流通部345接收的热能的比率。因此，在使下部电极92的温度降低到-20℃时，通过使第三热媒暂时向第六流通部346流通，由此能够使下部电极92的温度快速地降低。其结果，能够进一步提高控制下部电极92的温度的响应性。
·通过两个分配阀535、536，能够任意地变更从热交换器93流通到第三流通部133的第三热媒、从热交换器93流通到第四流通部134的第三热媒和从热交换器93流通到第六流通部346的第三热媒的比率。
另外，也可以将第五分配阀535的B端口与第三蓄热单元336的第三放热流通部336c连接，将第五分配阀535的A端口与第六分配阀536的公共端口连接，将第六分配阀536的B端口与第一蓄热单元16的第一放热流通部16c连接，将第六分配阀536的A端口与第二蓄热单元26的第二放热流通部26c连接。
另外，温度控制系统600也可以具备比90℃(第二温度)更高的100℃(第六温度)的第五热媒循环的第五循环回路来代替第四循环回路330。第五热媒例如是与第二热媒相同的液体。第五循环回路的第五冷却器(第五调整装置)排出调整成100℃的第五热媒。第五循环回路具备与第二流通部124同样的第七流通部以及与第四流通部134同样的第八流通部。按照这样的构成，在使下部电极92的温度上升到90℃时，通过使第五热媒暂时向第八流通部流通，能够使下部电极92的温度快速地上升。其结果，能够进一步提高控制下部电极92的温度的响应性。
(第七实施方式)
以下，以与第四实施方式的不同点为中心对第七实施方式进行说明。另外，对于与第一实施方式至第六实施方式相同的部分，赋予相同的附图标记，由此省略说明。
如图7所示，本实施方式的综合温度控制系统700具备三个(多个)第四实施方式的温度控制系统400。但是，综合温度控制系统700具备一台制冷机611来代替三台第一冷却器11。
制冷机611(第一调整装置)是具有第一冷却器11的3～100倍的冷却能力的大容量的制冷机。制冷机611具备容器611a。制冷机611将第一热媒的温度调整成-20℃(第一温度)。容器611a储存调整成-20℃的第一热媒。泵612将储存在容器611a中的第一热媒通过流路611b(第一去路)向公共流路613排出。公共流路613(第一去路)分支为三个(多个)上述流路17a。各流路17a分别与各温度控制系统400的第一分配阀12的公共端口(COM)连接。
各温度控制系统400的流路319与公共流路614(第一归路)连接。公共流路614与制冷机611的容器611a通过流路615(第一归路)连接。
以上详述的本实施方式具有以下的优点。另外，在此仅描述与第四实施方式不同的优点。
·在三个温度控制系统400中，将把第一热媒的温度调整成-20℃后排出的三台第一冷却器11集中为一台制冷机611。因此，能够采用具有通常的冷却器的10～100倍的冷却能力的制冷机611来代替三台第一冷却器11，能够使具备三个温度控制系统400的综合温度控制系统700的构成简洁。另外，存在综合温度控制系统700具备数十至数百个的温度控制系统400的情况，在这样的情况下，上述效果变得显著。
·各温度控制系统400通过第一分配阀12、第二分配阀22以及第三分配阀135调整第一流通部114与第三流通部133之间交换的热量以及第二流通部124与第四流通部134之间交换的热量，控制下部电极92的温度。因此，制冷机611如果将第一热媒的温度调整成预定的-20℃后排出，则无需根据下部电极92的设定温度的变化使第一热媒的温度变化。因此，即使是针对多个温度控制系统400设置一台制冷机611的构成，也能够控制各温度控制系统400的下部电极92的温度。
另外，可以设置一个综合控制部来代替三个(多个)控制部80。在该情况下，综合控制部能够根据各温度控制系统400的设定温度、温度传感器94以及流量计13，23的检测结果来控制制冷机611的驱动状态以及泵612的驱动状态。另外，也能够将制冷机611内的压缩机(未图示)旁路并实施自然冷却。
(第八实施方式)
以下，以与第七实施方式的不同点为中心对第八实施方式进行说明。另外，对于与第一实施方式至第七实施方式相同的部分，赋予相同的附图标记，由此省略说明。
如图8所示，本实施方式的综合温度控制系统800具备三个(多个)第一冷却器11、供给集管741以及回流集管742等来代替第七实施方式的制冷机611。
各第一冷却器11的泵11b与供给集管741通过各流路712(第一去路)连接。供给集管741储存规定量的第一热媒。供给集管741与泵612通过流路713连接。泵612将储存在供给集管741中的第一热媒通过流路713向公共流路613排出。公共流路613分支为三个(多个)上述流路17a。各流路17a与各温度控制系统400的第一分配阀12的公共端口(COM)连接。
各温度控制系统400的流路319与公共流路614(第一归路)连接。公共流路614与回流集管742通过流路615(第一归路)连接。回流集管742储存规定量的第一热媒。回流集管742与各第一冷却器11的容器11a通过各流路714(第一归路)连接。
以上详述的本实施方式具有以下的优点。另外，在此仅描述与第四实施方式不同的优点。
·多个第一冷却器11向共同的供给集管741排出调整成-20℃的第一热媒。而且，各第一冷却器11的流路712与供给集管741连接。因此，能够将从多个第一冷却器11排出的-20℃的第一热媒保存在共同的供给集管741中。而且，在想要使特定的下部电极92的温度快速地降低的情况等下，即使在用一台第一冷却器11供给-20℃的第一热媒的能力不足的情况下，也能够从供给集管741充分地供给-20℃的第一热媒。
·流路615与共同的回流集管742连接，多个第一冷却器11从回流集管742吸入第一热媒。因此，在回流集管742中，能够将从多个温度控制系统400的流路319返回的第一热媒混合。因此，能够在使第一热媒的温度平均化后使第一热媒返回各第一冷却器11，能够抑制多个第一冷却器11的冷却负荷不均。
另外，也可以如以下所示地进行变更来实施第八实施方式。对于与第八实施方式相同的部分，赋予相同的附图标记，由此省略说明。
·可以代替三个(多个)控制部80，设置一个综合控制部。在该情况下，综合控制部根据多个第一冷却器11的冷却负荷的合计，设定运转的第一冷却器11的台数，以使多个第一冷却器11的运转时间成为均等的方式使多个第一冷却器11运转。按照这样的构成，能够适当地设定多个第一冷却器11的运转台数，能够提高第一冷却器11的运转效率。此外，以使多个第一冷却器11的运转时间成为均等的方式使多个第一冷却器11运转。因此，能够抑制仅特定的第一冷却器11的运转时间变长，能够抑制特定的第一冷却器11的寿命变短。
·温度控制系统400的数量与第一冷却器11的数量可以不同。
另外，可以如以下所示地进行变更来实施上述的各实施方式。对于与上述的各实施方式相同的部分，赋予相同的附图标记，由此省略说明。
·第一热媒、第二热媒和第四热媒可以是不同的液体。例如，在第一热媒、第二热媒和第四热媒中，乙二醇与水的比例可以彼此不同。另外，第一热媒、第二热媒和第四热媒可以由彼此不同的物质构成。但是，第一热媒、第二热媒和第四热媒优选地比第三热媒价格低。
·也可以省略第一冷却器11的容器11a以及第二冷却器21的容器21a。
·也可以使第二蓄热单元26的第二蓄热材料26a在比90℃(第二温度)更低的80℃(第四温度)下在固体与液体之间进行状态变化。在该情况下，控制部80通过第二分配阀22使从第二冷却器21供给的90℃的第二热媒向第二蓄热单元26流通，由此使第二蓄热材料26a在80℃变化成液体，在第二蓄热单元26中积蓄潜热(热能)。而且，在向第二放热流通部26c流通比80℃更低的温度的第二热媒(第三热媒)的情况下，能够将第二蓄热材料26a中积蓄的热能用于第二热媒(第三热媒)的加热。
·控制对象不限于下部电极92，也可以是半导体制造装置90的上部电极91。另外，适用上述的各温度控制系统的对象不限于半导体制造装置90，也可以是其它制造装置、处理装置等。
基于实施方式叙述了本公开，但是本公开应被理解为不由该实施方式、结构进行限定。本公开也包含各种各样的变形例、等同范围内的变形。此外，各种各样的组合、方式、进而仅包含其中的一个要素或一个要素以上或一个要素以下的其它组合、方式也落入本发明的范畴以及思想范围内。
附图标记说明
10…第一循环回路，11…第一冷却器(第一调整装置)，11a…容器(第一容器)，12…第一分配阀(调整部)，14…第一流通部，16…第一蓄热单元(第一蓄热部)，16a…第一蓄热材料，16b…第一蓄热流通部，16c…第一放热流通部，20…第二循环回路，21…第二冷却器(第二调整装置)，21a…容器(第二容器)，22…第二分配阀(调整部)，24…第二流通部，26…第二蓄热单元(第二蓄热部)，26a…第二蓄热材料，26b…第二蓄热流通部，26c…第二放热流通部，30…第三循环回路，31…热交换器，34…共通流通部(第三流通部，第四流通部)，80…控制部，90…半导体制造装置，92…下部电极(控制对象)，93…热交换器(热交换部)，100…温度控制系统，110…第一循环回路，114…第一流通部，120…第二循环回路，124…第二流通部，130…第三循环回路，131…热交换器，132…热交换器，133…第三流通部，134…第四流通部，135…第三分配阀(调整部)，200…温度控制系统，210…第一循环回路，220…第二循环回路，230…第三循环回路，300…温度控制系统，310…第一循环回路，320…第二循环回路，330…第四循环回路，331…第三冷却器(第三调整装置)，336…第三蓄热单元，336c…第三放热流通部，341…热交换器，345…第五流通部，346…第六流通部，400…温度控制系统，430…第三循环回路，435…第四分配阀(调整部)，500…温度控制系统，530…第三循环回路，535…第五分配阀(调整部)，536…第六分配阀(调整部)，600…温度控制系统，611…制冷机(第一调整装置)，700…综合温度控制系统，741…供给集管，742…回流集管，800…综合温度控制系统。

Claims (17)

1.温度控制系统，其对控制对象的温度进行控制，其中，所述温度控制系统具备：
第一循环回路，供第一热媒循环；
第二循环回路，从所述第一循环回路独立，供第二热媒循环；以及
第三循环回路，从所述第一循环回路以及所述第二循环回路独立，供第三热媒循环，所述第三热媒的能够使用的温度范围比所述第一热媒以及所述第二热媒的能够使用的温度范围更宽，
所述第一循环回路具备：
第一调整装置，将所述第一热媒的温度调整成第一温度后排出；
第一流通部，供所述第一热媒流通；
第一去路，使从所述第一调整装置供给的所述第一热媒流通到所述第一流通部；以及
第一归路，使流过所述第一流通部的所述第一热媒流通到所述第一调整装置，
所述第二循环回路具备：
第二调整装置，将所述第二热媒的温度调整成比所述第一温度更高的第二温度后排出；
第二流通部，供所述第二热媒流通；
第二去路，使从所述第二调整装置供给的所述第二热媒流通到所述第二流通部；以及
第二归路，使流过所述第二流通部的所述第二热媒流通到所述第二调整装置，
所述第三循环回路具备：
第三流通部，供所述第三热媒流通，并与所述第一流通部进行热交换；
第四流通部，供所述第三热媒流通，并与所述第二流通部进行热交换；
第三去路，使所述第三热媒从所述第三流通部以及所述第四流通部流通到与所述控制对象进行热交换的热交换部；以及
第三归路，使所述第三热媒从所述热交换部流通到所述第三流通部以及所述第四流通部，
所述第三循环回路不具备储存所述第三热媒的容器，
所述温度控制系统具备调整部，所述调整部调整在所述第一流通部与所述第三流通部之间交换的热量以及在所述第二流通部与所述第四流通部之间交换的热量。
2.根据权利要求1所述的温度控制系统，其中，
所述第一调整装置具有储存所述第一热媒的第一容器，所述第一容器储存调整成所述第一温度的所述第一热媒，
所述第二调整装置具有储存所述第二热媒的第二容器，所述第二容器储存调整成所述第二温度的所述第二热媒。
3.根据权利要求1或2所述的温度控制系统，其中，
所述第一循环回路具备第一蓄热部，所述第一蓄热部供所述第一热媒流通，所述第一蓄热部基于在第三温度第一蓄热材料的状态变化而积蓄热能，
所述第一去路使从所述第一调整装置供给的所述第一热媒流通到所述第一流通部以及所述第一蓄热部，
所述第一归路使流过所述第一流通部以及所述第一蓄热部的所述第一热媒流通到所述第一调整装置，
所述第二循环回路具备第二蓄热部，所述第二蓄热部供所述第二热媒流通，并且基于在比所述第三温度高的第四温度第二蓄热材料的状态变化而积蓄热能，
所述第二去路使从所述第二调整装置供给的所述第二热媒流通到所述第二流通部以及所述第二蓄热部，
所述第二归路使流过所述第二流通部以及所述第二蓄热部的所述第二热媒流通到所述第二调整装置。
4.根据权利要求3所述的温度控制系统，其中，所述调整部包括：
第一分配阀，设置于所述第一去路，变更将从所述第一调整装置供给的所述第一热媒分配给所述第一流通部与所述第一蓄热部的比率；以及
第二分配阀，设置于所述第二去路，变更将从所述第二调整装置供给的所述第二热媒分配给所述第二流通部与所述第二蓄热部的比率。
5.根据权利要求4所述的温度控制系统，其中，
所述温度控制系统具备控制部，所述控制部控制所述第一分配阀以及所述第二分配阀，
所述控制部，在使从所述第一调整装置供给的所述第一热媒通过所述第一分配阀向所述第一流通部流通的情况下，使从所述第二调整装置供给的所述第二热媒通过所述第二分配阀向所述第二蓄热部流通；在使从所述第二调整装置供给的所述第二热媒通过所述第二分配阀向所述第二流通部流通的情况下，使从所述第一调整装置供给的述第一热媒通过所述第一分配阀向所述第一蓄热部流通。
6.根据权利要求4所述的温度控制系统，其中，
所述第一蓄热部包括：
第一放热流通部，供流过所述第一流通部的所述第一热媒流通；以及
第一蓄热流通部，从所述第一放热流通部独立，供未流过所述第一流通部的所述第一热媒流通，
所述第二蓄热部包括：
第二放热流通部，供流过所述第二流通部的所述第二热媒流通；以及
第二蓄热流通部，从所述第二放热流通部独立，供未流过所述第二流通部的所述第二热媒流通。
7.根据权利要求4所述的温度控制系统，其中，
在所述第一分配阀中，所述第一热媒的压力损失是固定的而不论将从所述第一调整装置供给的所述第一热媒分配给所述第一流通部与所述第一蓄热部的比率如何，
在所述第二分配阀中，所述第二热媒的压力损失是固定的而不论将从所述第二调整装置供给的所述第二热媒分配给所述第二流通部与所述第二蓄热部的比率如何。
8.根据权利要求1或2所述的温度控制系统，其中，
所述调整部包括第三分配阀，
所述第三分配阀设置于所述第三归路，变更从所述热交换部流通到所述第三流通部的所述第三热媒与从所述热交换部流通到所述第四流通部的所述第三热媒的比率。
9.根据权利要求4所述的温度控制系统，其中，
所述调整部包括第三分配阀，所述第三分配阀设置于所述第三归路，变更从所述热交换部流通到所述第三流通部的所述第三热媒与从所述热交换部流通到所述第四流通部的所述第三热媒的比率，
所述温度控制系统具备控制部，所述控制部控制所述第一分配阀、所述第二分配阀以及所述第三分配阀，
所述控制部在不使所述第三热媒从所述热交换部通过所述第三分配阀流通到所述第三流通部的情况下，使从所述第一调整装置供给的所述第一热媒通过所述第一分配阀向所述第一蓄热部流通，在不使所述第三热媒从所述热交换部通过所述第三分配阀流通到所述第四流通部的情况下，使从所述第二调整装置供给的所述第二热媒通过所述第二分配阀向所述第二蓄热部流通。
10.根据权利要求9所述的温度控制系统，其中，所述第三归路包括：
第一中介归路，使所述第三热媒从所述热交换部经由所述第一蓄热部流通到所述第三流通部；以及
第二中介归路，使所述第三热媒从所述热交换部经由所述第二蓄热部流通到所述第四流通部。
11.根据权利要求8所述的温度控制系统，其中，
在所述第三分配阀中，所述第三热媒的压力损失是固定的而不论从所述热交换部流通到所述第三流通部的所述第三热媒与从所述热交换部流通到所述第四流通部的所述第三热媒的比率如何。
12.根据权利要求1或2所述的温度控制系统，其中，
所述调整部包括第四分配阀，所述第四分配阀设置于所述第三归路，变更从所述热交换部流通到所述第三流通部的所述第三热媒、从所述热交换部未经过所述第三流通部和所述第四流通部而返回到所述热交换部的所述第三热媒以及从所述热交换部流通到所述第四流通部的所述第三热媒的比率。
13.根据权利要求1或2所述的温度控制系统，其中，
所述温度控制系统具备第四循环回路，所述第四循环回路从所述第一循环回路、所述第二循环回路以及所述第三循环回路独立，供第四热媒循环，
所述第三热媒的能够使用的温度范围比所述第四热媒的能够使用的温度范围更宽，
所述第四循环回路具备：
第三调整装置，将所述第四热媒的温度调整成比所述第一温度更低的第五温度后排出；
第五流通部，供所述第四热媒流通；
第四去路，使从所述第三调整装置供给的所述第四热媒流通到所述第五流通部；以及
第四归路，使流过所述第五流通部的所述第四热媒流通到所述第三调整装置，
所述第三循环回路具备第六流通部，所述第六流通部供所述第三热媒流通，并与所述第五流通部进行热交换，
所述第三去路使所述第三热媒从所述第三流通部、所述第四流通部以及所述第六流通部流通到所述热交换部，
所述第三归路使所述第三热媒从所述热交换部流通到所述第三流通部、所述第四流通部以及所述第六流通部，
所述调整部设置于所述第三归路，变更从所述热交换部流通到所述第三流通部的所述第三热媒、从所述热交换部流通到所述第四流通部的所述第三热媒以及从所述热交换部流通到所述第六流通部的所述第三热媒的比率。
14.根据权利要求13所述的温度控制系统，其中，
所述调整部包括设置于所述第三归路的第五分配阀以及第六分配阀，
所述第五分配阀变更从所述热交换部流通到所述第四流通部的所述第三热媒与从所述热交换部流通到所述第六分配阀的所述第三热媒的比率，
所述第六分配阀变更从所述第五分配阀流通到所述第三流通部的所述第三热媒与从所述第五分配阀流通到所述第六流通部的所述第三热媒的比率。
15.综合温度控制系统，其具备多个温度控制系统，所述温度控制系统对控制对象的温度进行控制，所述温度控制系统具备：
第一循环回路，供第一热媒循环；
第二循环回路，从所述第一循环回路独立，供第二热媒循环；以及
第三循环回路，从所述第一循环回路以及所述第二循环回路独立，供第三热媒循环，所述第三热媒的能够使用的温度范围比所述第一热媒以及所述第二热媒的能够使用的温度范围更宽，
所述第一循环回路具备：
第一调整装置，将所述第一热媒的温度调整成第一温度后排出；
第一流通部，供所述第一热媒流通；
第一去路，使从所述第一调整装置供给的所述第一热媒流通到所述第一流通部；以及
第一归路，使流过所述第一流通部的所述第一热媒流通到所述第一调整装置，
所述第二循环回路具备：
第二调整装置，将所述第二热媒的温度调成成比所述第一温度更高的第二温度后排出；
第二流通部，供所述第二热媒流通；
第二去路，使从所述第二调整装置供给的所述第二热媒流通到所述第二流通部；以及
第二归路，使流过所述第二流通部的所述第二热媒流通到所述第二调整装置，
所述第三循环回路具备：
第三流通部，供所述第三热媒流通，所述第三流通部与所述第一流通部进行热交换；
第四流通部，供所述第三热媒流通，所述第四流通部与所述第二流通部进行热交换；
第三去路，使所述第三热媒从所述第三流通部以及所述第四流通部流通到与所述控制对象进行热交换的热交换部；以及
第三归路，使所述第三热媒从所述热交换部流通到所述第三流通部以及所述第四流通部，
所述第三循环回路不具备储存所述第三热媒的容器，
所述温度控制系统具备调整部，所述调整部调整在所述第一流通部与所述第三流通部之间交换的热量以及在所述第二流通部与所述第四流通部之间交换的热量，
针对多个所述温度控制系统设置一台所述第一调整装置。
16.综合温度控制系统，其具备多个温度控制系统，所述温度控制系统对控制对象的温度进行控制，所述温度控制系统具备：
第一循环回路，供第一热媒循环；
第二循环回路，从所述第一循环回路独立，供第二热媒循环；以及
第三循环回路，从所述第一循环回路以及所述第二循环回路独立，供第三热媒循环，所述第三热媒的能够使用的温度范围比所述第一热媒以及所述第二热媒的能够使用的温度范围更宽，
所述第一循环回路具备：
第一调整装置，将所述第一热媒的温度调整成第一温度后排出；
第一流通部，供所述第一热媒流通；
第一去路，使从所述第一调整装置供给的所述第一热媒流通到所述第一流通部；以及
第一归路，使流过所述第一流通部的所述第一热媒流通到所述第一调整装置，
所述第二循环回路具备：
第二调整装置，将所述第二热媒的温度调整成比所述第一温度更高的第二温度后排出；
第二流通部，供所述第二热媒流通；
第二去路，使从所述第二调整装置供给的所述第二热媒流通到所述第二流通部；以及
第二归路，使流过所述第二流通部的所述第二热媒流通到所述第二调整装置，
所述第三循环回路具备：
第三流通部，供所述第三热媒流通，并且与所述第一流通部进行热交换；
第四流通部，供所述第三热媒流通，并且与所述第二流通部进行热交换；
第三去路，使所述第三热媒从所述第三流通部以及所述第四流通部流通到与所述控制对象进行热交换的热交换部；以及
第三归路，使所述第三热媒从所述热交换部流通到所述第三流通部以及所述第四流通部，
所述第三循环回路不具备储存所述第三热媒的容器，
所述温度控制系统具备调整部，所述调整部调整在所述第一流通部与所述第三流通部之间交换的热量以及在所述第二流通部与所述第四流通部之间交换的热量，
多个所述第一调整装置向共同的供给集管排出调整成所述第一温度的所述第一热媒，从共同的回流集管吸入所述第一热媒，
多个所述温度控制系统的所述第一去路与所述供给集管连接，
多个所述温度控制系统的所述第一归路与所述回流集管连接。
17.根据权利要求16所述的综合温度控制系统，其中，
根据多个所述第一调整装置的冷却负荷的合计，设定运转的所述第一调整装置的台数，以使多个所述第一调整装置的运转时间成为均等的方式使多个所述第一调整装置运转。
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