CN112520483A - 膜的剥离装置及膜的剥离方法 - Google Patents

Abstract

提供一种膜的剥离装置及膜的剥离方法，对于由基材和保护膜构成的层压体，能够可靠或顺畅地将保护膜从基材上剥离。一种剥离装置，对于由基材和保护膜构成的层压体，将保护膜从基材上剥离，其中，具有从层压体的端区域到层压体的主体区域将保护膜从基材上剥离的剥离机构，剥离机构具有：辊，具有大致圆筒状的形状，并具有粘附性，且能够旋转，移动机构，使辊从端区域沿朝向主体区域的方向移动，以及卷绕机构，从辊与保护膜的端区域抵接的状态起，通过移动机构使辊移动，并使辊旋转，来将保护膜的一部分卷绕到辊的圆筒面上。

Description

膜的剥离装置及膜的剥离方法

技术领域

本发明涉及一种用于将膜从基材上剥离的剥离装置及剥离方法。

背景技术

一直以来，将隔板(膜)从配置在基材上的片状单片(基材)上剥离，并将片状单片(基材)粘合到其他粘合对象上来进行运送的技术广为人知。例如，在专利文献1中，公开了一种粘合装置，该粘合装置将从成卷的膜取出的膜粘贴到另一成卷的膜上。该粘合装置具有剥离部，该剥离部将片状单片从隔板剥离下来作为粘合处理的前处理。在专利文献1中，记载了剥离片状单片那样的膜的结构，但是没有记载剥离动作的初期中的剥离开始时的具体动作。近年来，期望一种用于在开始剥离膜时可靠地剥离膜的技术。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2018-1466号公报(例如，0027段、图5)

发明内容

发明要解决的问题

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于，提供一种能够可靠地将膜从基材上剥离的技术。

用于解决问题的手段

用于解决上述问题的本发明为一种剥离装置，用于从由基材和粘合在该基材上的膜所构成的层压体上将所述膜剥离，所述剥离装置的特征在于，

具有剥离机构，

所述剥离机构，从所述层压体的端区域到主体区域，将所述膜从所述基材上剥离，所述端区域是作为所述层压体的前端的区域，所述主体区域是作为所述层压体的该端区域以外的区域；

所述剥离机构具有：

辊，具有在水平方向上具有轴的圆筒状的形状，在其圆筒面上具有粘附性，并且能够围绕所述轴旋转，

移动机构，使所述辊从所述端区域沿朝向所述主体区域的方向移动，以及

卷绕机构，从所述辊与所述端区域中的所述膜抵接的状态起，通过所述移动机构使所述辊移动，并使所述辊围绕所述轴旋转，来将所述膜的一部分卷绕到所述辊的所述圆筒面上。

在本发明中，使辊从膜侧与由基材和膜构成的层压体的端区域抵接，将膜卷绕到辊上，由此将膜从基材上剥离。此时，在将辊与端区域中的膜抵接的状态下，通过移动机构使辊移动，并使辊围绕轴旋转，来将膜的一部分卷绕到辊的圆筒面上。并且，进一步通过移动机构，使辊沿从端区域朝向主体区域的方向移动，由此，将膜在从端区域朝向主体区域的更大的区域上剥离。

由此，一边将膜卷绕到辊上一边将膜从基材上剥离，能够在开始剥离时，使从基材上剥离的膜与基材之间的剥离角维持为由辊的圆筒面确定的角度。另外，能够将膜与基材的剥离部分维持为直线状。其结果，能够更可靠或顺畅地将膜从基材上剥离。

另外，在本发明中，所述剥离机构也可以还具有夹固机构，所述夹固机构，将卷绕到所述辊上的所述膜按压并固定到所述圆筒面或所述圆筒面以外的构件上。

即，在该情况下，通过夹固机构将卷绕在辊上的所述膜按压并固定到所述辊的所述圆筒面或所述辊以外的构件上。由此，能够防止一旦卷绕在辊上膜从辊上脱落。其结果，能够更可靠地将膜从基材上剥离。

另外，在本发明中，也可以还具有：

台，在使所述基材的一侧朝下的状态下，从下方保持所述层压体的所述主体区域，以及

支撑构件，从下方支撑所述层压体中的所述端区域。

由此，即使在基材是柔软的膜的情况下，也能够更可靠或顺畅地将膜从基材上剥离。

另外，在本发明中，也可以使所述辊被支撑为能够围绕所述轴自由旋转，

在所述移动机构使所述辊移动时，所述卷绕机构使所述辊在与所述膜抵接的状态下从动地旋转。

由此，在所述辊与端区域上的膜抵接的状态下，移动机构使辊沿朝向主体区域的方向移动，来使辊能够从动地旋转，因此，能够将膜卷绕到辊上。由此，不需要用于使辊自行旋转的机构，能够用更简单的机构将膜卷绕到辊上。

另外，在本发明中，所述卷绕机构也可以具有使所述辊旋转的旋转致动器，在所述辊与所述端区域上的所述膜抵接的状态下，通过所述旋转致动器使所述辊围绕所述轴旋转。

由此，在辊与端区域上的膜抵接的状态下，使旋转致动器运作，从而能够使辊自行旋转，并将保护膜自动地卷绕到辊上。

另外，在本发明中，所述辊的所述圆筒面也可以由丁基类橡胶或聚氨酯类橡胶形成。另外，所述辊的圆筒面的粘附力也可以为1N/15mm以上且2N/15mm以下。由此，够更可靠地使膜粘附到辊的圆筒面上，并够更可靠地将膜卷绕到辊的圆筒面上。

另外，在本发明中，所述辊的圆筒面的硬度也可以为0°以上且20°以下。已知在由橡胶(特别是丁基类橡胶或聚氨酯类橡胶)形成圆筒面的辊中，在圆筒面的硬度为上述范围的情况下，具有更高的粘附力。因此，在本发明中，通过使所述辊的圆筒面的硬度为0°以上且20°以下，能够更可靠地使膜粘附在辊的圆筒面上，并能够更可靠地将膜卷绕到辊的圆筒面上。

另外，在本发明中，也可以还具有清洁机构，所述清洁机构对所述辊的圆筒面的表面进行清洁。在此，在由橡胶形成圆筒面的辊中，已知圆筒面的粘附力降低的原因是尘土附着在辊的圆筒面上。因此，通过定期或者不定期地对辊的圆筒面的表面进行清洁，从而能够抑制辊的圆筒面的粘附力降低。

另外，在本发明中，所述剥离机构也可以还具有锁定机构，所述锁定机构限制所述辊的旋转。由此，在剥离机构不具有夹固机构的情况下，或者在除了夹固机构的夹固之外，卷绕机构将膜的一部分卷绕到所述辊的所述圆筒面上的状态下，能够抑制辊旋转而使膜从辊上。

另外，本发明也可以为一种剥离方法，用于从由基材和粘合在该基材上的膜所构成的层压体上将所述膜剥离，所述剥离装置的特征在于，具有：

辊抵接工序，使辊与所述层压体的端区域抵接，所述辊具有在水平方向上具有轴的圆筒状的形状，在其圆筒面上具有粘附性，所述端区域是作为所述层压体的前端的区域，以及

卷绕工序，在所述辊与所述端区域上的所述膜抵接的状态下，使所述辊沿水平方向移动，并使所述辊围绕所述轴旋转，来将所述膜的一部分卷绕到所述辊的所述圆筒面上。

另外，在该情况下，也可以还具有夹固工序，所述夹固工序，将卷绕到所述辊上的所述膜按压并固定到所述圆筒面或所述圆筒面以外的构件上。

此外，在本发明中，用于解决上述问题的手段能够尽可能地组合来进行实施。

发明的效果

根据本发明，对于由基材和膜构成的层压体，能够可靠地将膜从基材上剥离。

附图说明

图1是示出第一实施方式中的剥离装置的概要结构的图。

图2是示出第一实施方式中使剥离单元移动的移动装置的概要结构的图。

图3A、3B是示出第一实施方式中的剥离单元的概要结构的图。

图4是用于说明第一实施方式中使用了剥离单元的剥离装置的运作的图。

图5是用于说明第一实施方式中的从基材上完全剥离保护膜后的剥离装置的运作的图。

图6是用于说明第一实施方式中的将剥离了保护膜后的基材粘贴到玻璃基板上时的运作的图。

图7是关于第一实施方式中的将保护膜从基材上剥离并将基材粘贴在玻璃基板上的工序的流程图。

图8是关于第一实施方式中将基材粘贴到玻璃基板上的工序中的玻璃基板侧的准备的流程图。

图9是第一实施方式中的清洁装置的剖视图。

图10是用于说明第二实施方式中使用了剥离单元的剥离装置的运作的图。

图11是第二实施方式中的支撑部的立体图。

图12是用于说明第二实施方式中的开始剥离保护膜后的支撑部的动作的图。

图13是用于说明第二实施方式中的支撑部在退避时的动作的图。

图14是用于说明第二实施方式中的支撑部在退避时的动作的其他形态的图。

图15是用于说明比较例的使用了剥离单元的剥离装置的运作的图。

附图标记说明

1：剥离单元、

2a、2b：辊、

4：轴、

5：框架、

6：直动致动器、

7：夹固头、

10：剥离装置、

102、302：支撑部、

103：台、

110：层压体、

111：保护膜、

112：基材。

具体实施方式

以下，参照附图详细说明本发明的实施方式。此外，以下所示的实施方式是本发明的一个形态，并非限定本发明的技术范围。

＜第一实施方式＞

首先，用图1说明将膜从基材上剥离的剥离装置10的整体结构。图1是本实施方式中的剥离装置10的运作的概要图。剥离装置10具有：剥离单元1，从图中虚线所示的层压体110中的基材112上将作为膜的保护膜111剥离；支撑部102和台103，从下侧支撑层压体110；隔板108，暂时保持剥离后的保护膜111；废弃箱107，废弃保护膜111；以及清洁装置109，对剥离单元1进行清洁。

此外，在图1中，将从支撑部102朝向台103的方向设为x方向的正方向，将从支撑部102、台103朝向图中上方的方向设为z方向的正方向，将支撑部102和台103的宽度方向设为y方向的正方向。关于该方向，在以下的侧视图、立体图中也同样。支撑部102和台103水平排列配置，双方的上表面102a及103a形成大致同一平面。并且，在支撑部102的上表面102a和台103的上表面103a上载置有层压体110。

在将保护膜111从载置在支撑部102和台103上的层压体110剥离之后，当将基材112粘贴到粘贴对象上时，支撑部102沿y方向的负方向退避。另外，从基材110剥离的保护膜111以被隔板108上的保持构件108a、108b夹着的形式被暂时保持。然后，通过解除保持构件108a、108b对保护膜111的保持，使保护膜111落在废弃箱107内而被废弃。

接着，图2示出了本实施方式中的使剥离单元1移动的移动装置20的概要结构。本发明的剥离装置10可以具有一个剥离单元1，也可以具有多个剥离单元1。在图2中，示出了具有两个剥离单元1的示例。图2中的移动装置20，具有第一底框架201、第二底框架202以及第三底框架203这三个框架，通过将该三个框架载置在地板上来设置。在第一底框架201的上表面，具有第一齿条齿轮机构(Rack and pinion mechanism)207和第一直动轴承205。在第二底框架202的上表面，具有第二齿条齿轮机构208和第二直动轴承206。在第三底框架203的上表面，具有第三齿条齿轮机构209。另外，隔着第三底框架203而具有第三直动轴承210和第四直动轴承211。

另外，移动装置20具有移动框架204，从图中的x方向观察时，该移动框架204呈门型的形状。该移动框架204由将撑条构件204b桥接在2个柱构件204a、204a上而构成。2个柱构件204a、204a分别固定在第一直动轴承205、第二直动轴承206的移动元件(未图示)上，能够顺畅地沿x方向(正方向、负方向)移动。

并且，在2个柱构件204a、204a中，分别具有第一x伺服马达220和第二x伺服马达221。该第一x伺服马达220、第二x伺服马达221的输出齿轮(未图示)分别与第一齿条齿轮机构207、第二齿条齿轮机构208的齿条齿轮(未图示)结合。并且，通过驱动第一x伺服马达220及第二x伺服马达221，移动框架204能够沿x方向(正方向、负方向)移动。

在移动框架204的撑条构件204b中，具有第一y伺服马达228和第二y伺服马达229。并且，第一y滚珠丝杠230与第一y伺服马达228的输出轴结合。另外，第二y滚珠丝杠231与第二y伺服马达229的输出轴结合。进而，第一剥离单元支撑部222能够以随着第一y滚珠丝杠230的旋转而沿y方向(正方向、负方向)移动的方式与第一y滚珠丝杠230结合。另外，第二剥离单元支撑部223能够以随着第二y滚珠丝杠231的旋转而沿y方向(正方向、负方向)移动的方式与第二y滚珠丝杠231结合。

即，通过驱动第一y伺服马达228，来使第一剥离单元支撑部222沿y方向(正方向、负方向)移动，通过驱动第二y伺服马达229，来使第二剥离单元支撑部223沿y方向(正方向、负方向)移动。

进而，在第一剥离单元支撑部222中，具有第一z伺服马达224。第一z滚珠丝杠226与第一z伺服马达224的输出轴结合。并且，剥离单元1与该第一z滚珠丝杠226结合，通过使第一z滚珠丝杠226旋转，使剥离单元1能够沿z方向(正方向、负方向)移动。另外，在第二剥离单元支撑部223中，具有第二z伺服马达225。第二z滚珠丝杠227与第二z伺服马达225的输出轴结合。并且，剥离单元1也与该第二z滚珠丝杠227结合，通过使第二z滚珠丝杠227旋转，使剥离单元1能够沿z方向(正方向、负方向)移动。

因此，通过驱动第一z伺服马达224、第二z伺服马达225，使得2个剥离单元1能够沿z方向(正方向、负方向)移动。通过这些机构，分别驱动第一x伺服马达220、第一y伺服马达228、第一z伺服马达224、第二x伺服马达221、第二y伺服马达229、第二z伺服马达225，由此能够使2个剥离单元1沿x、y、z三个方向(正方向、负方向)自由自在地移动。

另外，在移动装置20中，台103被载置在第三x直动轴承210和第四x直动轴承211的移动元件(未图示)上。另外，通过第三x齿条齿轮机构209及第三x伺服马达(未图示)将台103支撑为能够沿x方向(正方向、负方向)移动。通过同样的机构(未图示)，支撑部102也以与台103独立的方式被支撑为能够沿x方向(正方向、负方向)移动。

此外，在图2中，从控制装置40输出用于分别驱动第一x伺服马达220、第一y伺服马达228、第一z伺服马达224、第二x伺服马达221、第二y伺服马达229、第二z伺服马达225的指令。该控制装置40由包括未图示的CPU、各种存储装置、通信装置的计算机构成，但由于与一般的计算机具有相同的硬件结构，所以在此省略详细说明。

图3A、3B示出了本实施方式中的用于剥离装置10的剥离单元1的概要结构。剥离单元1具有如下结构：作为轴的轴4被固定在框架5上，卷绕保护膜111的辊2a、2b以能够绕轴4旋转的方式支撑于轴4。另外，在辊2a与辊2b之间，设置有圆筒状或圆板状的夹固接受部3，该夹固接受部3被固定于轴4，且该夹固接受部3的直径稍小于辊2a、2b的直径。此外，辊2a和辊2b可以一体旋转，也可以独立旋转。另外，夹固接受部3除了固定在轴4上之外，也可以绕轴4独立地旋转，也可以与辊2a和辊2b一体旋转。

此外，辊2a、2b的圆筒面由丁基类橡胶、聚氨酯类橡胶等的具有粘附性的橡胶形成。另外，对夹固接受部3的材料没有特别限定，但也可以与轴4同样地由SUS(Steel UseStainless：不锈钢)或铝等金属形成。此外，辊2a、2b的圆筒面的粘附力也可以为1N/15mm以上且2N/15mm以下。由此，能够通过足够的力将保护膜111粘附在辊2a、2b的圆筒面上，并能够更可靠地将保护膜111卷绕在辊2a、2b的圆筒面上。此外，辊2a、2b的圆筒面的粘附力即1N/15mm及2N/15mm的数值表示，在将具有宽度15mm(长度为单位长度1mm)的粘附面的粘附物沿180度(水平)方向拉伸时，开始滑动的负荷。

另外，辊2a、2b的圆筒面的硬度也可以为0°以上且20°以下。在由橡胶(尤其是丁基类橡胶或聚氨酯类橡胶)形成圆筒面的情况下，当圆筒面的硬度在上述范围内时，具有更高的粘附力。因此，通过将辊2a、2b的圆筒面的硬度设为0°以上且20°以下，能够更可靠地将保护膜111粘附到辊2a、2b的圆筒面上。

另外，直动致动器6被固定在框架5的上表面5a。并且，在直动致动器6的辊2a、2b侧，设置有夹固头7，该夹固头7与直动致动器6的移动元件结合。通过使该直动致动器6运作，使夹固头7移动到辊2a、2b侧，并与夹固接受部3抵接。另外，夹固头7通过未图示的弹性构件向直动致动器6侧施力，在不使直动致动器6运作的状态下，解除夹固头7与夹固接受部3抵接的状态，使夹固头7向框架5的上表面5a侧移动而返回到初始位置。

图4示出了本实施方式中使用了剥离单元1的剥离装置10进行剥离时的动作。在此，如上所述，层压体110包括基材112和用于保护基材112的保护膜111。此外，保护膜111在本实施例中相当于膜。在本实施方式中，基材112以及保护膜111由PET(Poly EthyleTerephthalate：聚对苯二甲酸乙二酯)膜构成，但是层压体110的材质不限于此。层压体110的前端部即端区域110a被支撑部102支撑，层压体110中的端区域110a以外的区域即主体区域110b被台103支撑。

此时，也可以在支撑部102的上表面102a以及台103的上表面103a，配置多个用于吸引空气的吸引孔(未图示)，通过该吸引孔吸附层压体110来进行支撑。另外，也可以在支撑部102的上表面102a或台103的上表面103a，配置(具有吸引孔的)聚氨酯橡胶等的片，由此来提高与层压体110的紧贴性。此外，支撑部102需要用比辊2a、2b的粘附力更强的力来吸附层压体110。这是因为如后所述，在通过辊2a、2b的粘附力将保护膜111从基材112上剥离时，需要防止基材112从支撑部102的上表面102a脱离。

此外，在本说明书中，今后，在保护膜111中，将相当于层压体110的端区域110a以及主体区域110b的区域同样地称为保护膜111的端区域111a以及主体区域111b。进而，在基材112中，将相当于层压体110的端区域110a以及主体区域110b的区域同样地称为基材112的端区域112a以及主体区域112b。

在剥离装置10中，在将保护膜111从层压体110剥离时，首先，使剥离单元1下降，来使辊2a、2b的表面与保护膜111中的端区域111a抵接。然后，从该状态开始使剥离单元1沿x方向(正方向：主体区域111b侧)移动仅规定距离。这样，在图4的(a)部分中，随着剥离单元1的移动，辊2a、2b从动地顺时针旋转并在保护膜111上滚动。

此时，由于在辊2a、2b的表面具有粘附力，因此保护膜111的端区域111a被卷绕到辊2a、2b上，并从基材112上剥离。在此，上述的规定距离是指，通过剥离单元1的移动，来使辊2a、2b旋转并使保护膜111卷绕到能够被夹固头7抵接的位置的距离。例如，如图3A、3B所示，当夹固头7从铅垂上侧下降时，规定距离是指，使辊2a、2b旋转180度以上的距离。

接着，在剥离单元1中，使直动致动器6运作来使夹固头7下降。然后，将卷绕的保护膜111按压到夹固接受部3的外周面上。换言之，保护膜111被夹持并固定在夹固接受部3的外周面与夹固头7的前端之间。另外，此时，辊2a、2b、夹固接受部3以及夹固头7以经由保护膜111而连结的形式被固定，因此限制了辊2a、2b的旋转。在此，在本实施方式中，直动致动器6、夹固头7、夹固接受部3构成夹固机构。

接着，如图4的(b)部分所示，在直动致动器6运作的状态下，剥离单元1向z方向(正方向)上升，并且进一步沿x方向(正方向：主体区域111b侧)移动。由此，保护膜111被更大范围地从基材112上剥离。此外，此时，夹固头7持续与夹固接受部3抵接，从而辊2a、2b的旋转持续受到限制，因此保护膜111不会从剥离单元1上脱落。

此外，在本实施方式中，夹固头7从铅垂上方将保护膜111按压到夹固接受部3的外周面。然而，夹固头7按压保护膜111的方向不限于铅垂方向，也可以适当倾斜。例如，当卷绕的保护膜111与框架5接触时，也可以从图4的(a)部分的x方向负方向侧倾斜地按压保护膜111。另外，在本实施方式中，夹固头7将保护膜111按压到夹固接受部3的外周面。然而，夹固头7按压保护膜111的对象不限于此。例如，夹固头7也可以将保护膜111按压到辊2a、2b的圆筒面。在此，夹固接受部3是除了辊以外的构件的一个示例。

接着，返回到图1的说明中，更详细地示出剥离单元1将保护膜111从基材112剥离时的移动的形态。在图1中，如图8中的步骤S1所示，从剥离单元1的辊2a、2b与保护膜112的端区域112a抵接的状态开始，剥离单元1向x方向(正方向：主体区域111b侧)水平地移动。在该时点，保护膜111的端区域111a被卷绕到剥离单元1的辊2a、2b上。进而，在步骤S1的移动结束之后，使直动致动器6运作，来将保护膜111夹在夹固头7与夹固接受部3之间，由此，使保护膜111夹固于剥离单元1。

接着，如步骤S2所示，剥离单元1沿z方向(正负方向)上升及下降，并沿x方向(正方向)移动。在此，在步骤S1中，仅通过剥离单元1将保护膜111的端区域111a的角部从基材112剥离，但是通过步骤S2的移动，使得保护膜111被更大范围地从基材112剥离。进而，在步骤S3中，剥离单元1沿y方向(正负方向：保护膜111的宽度方向)移动，并且进一步沿x方向(正方向)移动。即，通过使剥离单元1蜿蜒移动，来改变保护膜111从基材112剥离的剥离方向，并继续进行剥离。因此，能够将保护膜111更顺畅地从基材112上剥离。

在步骤S3结束时，由于已经处于将保护膜111的规定以上的面积剥离的状态，因此，在步骤S4中，仅通过使剥离单元1沿x方向(正方向)移动，就能够将保护膜111顺畅地剥离。然后，在步骤S5中，通过剥离单元1将保护膜111的端区域111a移动到废弃箱107的x方向的端部，利用隔板108中的保持构件108a、108b来夹入并保持保护膜111的端区域111a。

然后，在该时点，停止剥离单元1的直动致动器6的运作，使夹固头7上升，从而解除剥离单元1对保护膜111的夹固。另外，在该时点，保护膜111整体从基材112上被剥离，处于一部分保护膜111容纳在废弃箱107中的状态。接着，使剥离单元1退避到初始位置。然后，解除保持构件108a、108b对保护膜111的保持。因此，保护膜111落在废弃箱107内而被废弃。

接着，用图5说明将保护膜111从基材112完全剥离后的剥离装置10的运作。如图5的(a)部分所示，在作为支撑构件的支撑部102的上表面102a以及台103的上表面103a仅支撑有基材112的状态下，如图5的(a)部分那样，利用对准相机(Alignment camera)104对基材112进行拍摄。即，使用对准相机104的拍摄图像，来获取基材112在x-y平面上的位置和角度。

另一方面，如图5的(b)部分所示，在待粘贴基材112的对象的玻璃基板113被反转台105支撑的状态下，处于基材112的等候状态。在该等候状态下，获取玻璃基板113在x-y平面上的位置和角度。在从基材112剥离保护膜111之前或者与剥离动作并行地执行这些动作。接着，完成了剥离动作后的支撑部102、台103以及基材112沿x方向(负方向)移动，在基材112与玻璃基板113平行地隔开规定距离的间隔而相向的状态下，使基材112停止移动。然后，根据如上所述那样获取的基材112以及玻璃基板113在x-y平面上的位置和角度，通过校正机构来校正支撑部102以及台103在x-y平面上位置和角度。由此，执行对准动作。然后，由支撑部102解除对基材112的端区域112a的支撑，支撑部102沿x方向(负方向)移动而退避。由此，基材112的端区域112a处于自由的状态。

接着，用图6说明将剥离保护膜111后的基材112粘贴到玻璃基板113上时的运作。如图6的(a)部分所示，台103以使基材112的端区域112a接近玻璃基板113的方式倾斜。然后，如图6的(b)部分所示，粘贴辊106上升，将基材112的端区域112a粘贴到玻璃基板113上。然后，如图6的(c)部分所示，支撑部102以及台103沿x方向(正方向)移动。然后，粘贴辊106旋转，并将基材112粘贴到玻璃基板113上，并且与支撑部102以及台103同样地，沿x方向(正方向)移动。由此，完成将基材112粘贴到玻璃基板113上的工作。

图7和图8示出了从基材112剥离保护膜111的工序以及将剥离了保护膜111后的基材112粘贴到玻璃基板113上的工序的流程图。当执行该流程时，首先，在步骤S101中，将层压体110设置在台103上。此时，层压体110的端区域110a被支撑部102的上表面102a支撑，主体区域110b被台103的上表面103a支撑。

接着，在步骤S102中，使剥离单元1下降，使辊2a、2b抵接在保护膜111的端区域111a上。在本实施方式中，步骤S102的工序相当于辊抵接工序。然后，在步骤S103中，如图4的(a)部分所示，使剥离单元1移动来将保护膜111的端区域111a卷绕在辊2a、2b上，并使直动致动器6运作，来用夹固头7对保护膜111进行夹固。在本实施方式中，该工序相当于卷绕工序和夹固工序。然后，如图4的(b)部分所示，使剥离单元1移动来将保护膜111从基材112上剥离。

然后，在步骤S104中，通过对准相机104获取基材112的对准所需的图像数据，并获取基材112在x-y平面上的位置和角度。接下来，在步骤S105中，将支撑着基材112的状态的支撑部102和台103水平地移动至支撑有玻璃基板113的反转台105的正下方。在此，根据S104中获取的信息以及后述的S203中获取的玻璃基板113在x-y平面上位置和角度，来对支撑部102和台103在x-y平面上的位置和角度进行校正。然后，在接下来的步骤S106中，使支撑部102向x方向(负方向)退避。由此，使基材112的端区域112a处于自由的状态，并处于能够通过粘贴辊106从下侧按压的状态。接着，在步骤S107中，使台103顺时针倾斜。

由此，使基材112的端区域112a更接近玻璃基板113。接着，在步骤S108中，使粘贴辊106上升，将基材112的端区域112a按压到玻璃基板113上。接着，在步骤S109中，使台103、粘贴辊106以及支撑部102沿x方向(正方向)移动。由此，一边使粘贴辊106移动，一边将基材112的主体区域112b按压并粘贴到玻璃基板113上。

图8示出了与准备待粘贴基材112的玻璃基板113有关的流程。当执行该流程时，在步骤S201中，在反转台105上设置玻璃基板113。也可以在该反转台105的表面设置有多个吸引孔(未图示)，利用该多个吸引孔将玻璃基板113吸引并固定在反转台105上。

接着，在步骤S202中，使反转台105上下反转。接着，在步骤S203中，获取玻璃基板113的图像以用上述S104中的对准。然后，根据所获取的图像数据，来获取玻璃基板113在x-y平面上的位置和角度的信息。进而，在步骤204中，维持这样的状态并待机，等待成为如下的状态，即，完成剥离动作后的支撑部102、台103以及基材112沿x方向(负方向)移动从而使基材112与玻璃基板113相向的状态。

此外，在重复执行上述的从基材112剥离保护膜111的工序的期间，使剥离单元1定期或不定期地向作为清洁机构的一个示例的清洁装置109内移动，来对辊2a、2b的圆筒面进行清洁。图9示出了清洁装置109的剖视图。清洁装置109具有在壳体109b内设置有清洁辊109a的结构，该清洁辊109a能够围绕与剥离单元1的轴4平行的轴旋转。在该清洁辊109a的圆筒面上，粘贴有粘附力比辊2a、2b的圆筒面的粘附力强的粘附剂。

另外，在清洁辊109a上连接有马达等旋转致动器109c，清洁辊109a能够自行旋转。然后，使剥离单元1下降到该清洁装置109内，在使辊2a、2b的圆筒面与清洁辊109a的圆筒面抵接的状态下，使旋转致动器109c运作，从而使清洁辊109a旋转。这样，能够使辊2a、2b从动地旋转，并且将辊2a、2b的圆筒面上的尘埃或异物转移到清洁辊109a上，对辊2a、2b的圆筒面进行清洁，恢复辊2a、2b的圆筒面的粘附力。此外，能够更换清洁辊109a的粘附剂，在该粘附剂自身的粘附力下降的情况下，更换粘附剂。

此外，图7和图8所示的流程图被存储在控制装置40的存储装置中，并且还从控制装置40向图2所示的移动装置20以外的装置输出推进流程所必需的指令信号。在此，图2的移动装置20构成为能够使2个剥离单元1移动的装置，但是当然也可以构成为使1个剥离单元1移动的装置。

此外，在本实施方式中，剥离机构包括剥离单元1、作为使剥离单元1沿x方向移动的移动机构的移动装置20以及作为卷绕机构的控制装置40。

另外，在本发明的剥离单元1中，由夹固头7和夹固接受部3夹持卷绕在辊2a、2b上的保护膜111，并发挥夹固机构的功能，由此，防止卷绕的保护膜11脱落。然而，在考虑到辊2a、2b的粘附力足够强并且保护膜11在剥离单元1的移动期间不会从辊2a、2b脱落的情况下，不一定需要设置夹固机构。

在没有设置该夹固机构的情况下，也可以进一步设置锁定机构，该锁定机构用于限制卷绕有保护膜111的状态的辊2a、2b的旋转。与夹固机构同样地，该锁定机构也可以是通过直动致动器和锁定构件组合而形成的。在该情况下，锁定构件也可以构成为，例如不与辊的圆筒面抵接而与平面状的侧面抵接。或者，也可以构成为插入设置于辊2a、2b的孔中。

另外，在本实施方式中，针对如下示例进行了说明，即，在剥离单元1中，在辊2a、2b以能够自由旋转的方式被支撑且辊2a、2b与保护膜111抵接的状态下，辊2a、2b随着剥离单元1的移动而从动地围绕轴4旋转的示例。与此相对，如图9中的虚线所示，剥离单元1也可以具有使辊2a、2b旋转的旋转致动器2c，从而能够使辊2a、2b主动旋转。

这样一来，剥离单元1能够在辊2a、2b与保护膜111抵接的状态下，通过使辊2a、2b主动旋转，来卷绕保护膜111。另外，在该情况下，在清洁装置109中，也可以不在清洁辊109a中设置旋转致动器109c，而使剥离单元1下降到清洁装置109内，在辊2a、2b的圆筒面与清洁辊109a的圆筒面抵接的状态下，使辊2a、2b主动旋转，从而使清洁辊109a从动旋转。

＜第二实施方式＞

接着，说明本发明的第二实施方式。在第二实施方式中，对剥离装置的支撑部的形状以及运作不同的示例进行说明。

在第一实施方式中，剥离装置10具有四方柱形状的支撑部102，该支撑部102在从y方向观察时，其剖面形状为长方形，在完成了使用剥离单元1来将保护膜111从基材112剥离之后，支撑部102沿x方向(负方向)退避，从而能够开始用粘贴辊106进行粘贴。

在此，支撑部102为四方柱形状，在支撑部102的上表面102a(或设置在上表面102a的聚氨酯橡胶等)设置有用于吸引空气的吸引孔(未图示)，可考虑将层压体110吸附到支撑部102上时的情况。在这种情况下，根据剥离单元1开始剥离保护膜111的位置，在剥离保护膜111时作用于基材112的力可能会大于吸引孔的吸引对基材112的保持力。在这样的情况下，在吸引孔中会产生空气漏泄，有时难以将层压体110的端区域110a稳定地保持在支撑部102上。

另外，由于支撑部102与基材112的接触面积大，在支撑部102沿x方向(负方向)退避时，基材112会与支撑部102一起移动，从而存在难以顺畅地进行基材的粘贴作业的情况。与此相对，在本实施方式中，从y方向观察时，支撑部302的剖面为圆形，也就是将支撑部302设为圆柱形状，并由具有粘附力的材质来形成支撑部302的圆筒面。

图10示出了本实施方式的剥离装置30中的剥离单元1的运作的形态。本实施方式中的剥离单元1与第一实施方式中的剥离单元相同。剥离装置30与第一实施方式中的剥离装置10的不同点在于，在剥离装置30中，使用了具有圆柱形状且圆筒面具有粘附力的支撑部302。如图10的(a)部分所示那样，在剥离装置30中，也使剥离单元1下降，来使辊2a、2b的表面与保护膜111中的端区域111a抵接。然后，从该状态开始，使剥离单元1沿x方向(正方向：主体区域111b侧)移动。由此，将保护膜111的端区域111a卷绕到辊2a、2b上。另外，通过使直动致动器6运作，来对保护膜111的端区域111a进行夹固。

接着，如图10的(b)部分所示，在使直动致动器6运作的状态下，剥离单元1向z方向上升，进而，向x方向(正方向：主体区域111b侧)移动。由此，保护膜111被更大范围地从基材112上被剥离。

根据本实施方式，能够以支撑部302的圆筒面上的粘附力来更可靠地保持基材112的端区域112a。另外，由于支撑部302与基材112之间的接触面积有限，所以在支撑部302沿x方向(负方向)退避时，能够抑制基材112与支撑部302一起移动。此外，在本实施方式中，支撑部302的粘附力需要比剥离单元1的辊2a、2b的粘附力强。更具体地，当剥离单元1的辊2a、2b的粘附力为1N/15mm时，支撑部302的粘附力也可以为大于1N/15mm且小于等于3N/15mm。另外，当剥离单元1的辊2a、2b的粘附力为2N/15mm时，支撑部302的粘附力也可以为大于2N/15mm且小于等于3N/15mm。给支撑部302的粘附力设置上限是为了在支撑部302沿x方向(负方向)退避时，可靠地防止基材112与支撑部302一起移动。

在此，当剥离单元1下降而使辊2a、2b与保护膜111的端区域111a抵接时，辊2a、2b与保护膜111的接触点在x方向上的位置也可以是如下位置，即，从支撑部302的顶点(最上点)的位置沿x方向(正方向)偏移的位置。

这样，能够通过支撑部302的顶点(最上点)从下侧按压层压体110的基材112，并通过辊2a、2b从上侧按压从该位置稍微沿x方向(正方向)偏移的位置。其结果，在辊2a、2b与保护膜111抵接的区域，保护膜111以其前端侧变高的方式倾斜，能够更顺畅地将保护膜111的端区域卷绕到辊2a、2b上。

图11示出了本实施方式中的支撑部302的立体图。本实施方式中的支撑部302的圆筒面302a由丁基类橡胶、聚氨酯系橡胶等具有粘附性的橡胶材料形成。并且，为了调整作为支撑部302整体的粘附力，设置有盖部302b。该盖部302b也可以通过用PET(Poly EthyleTerephthalate：聚对苯二甲酸乙二酯)等粘附性低的树脂材料来覆盖圆筒面302a而形成。由此，能够通过变更盖部302b相对于支撑部302的圆筒面302a的表面积的面积比，来调整作为支撑部302整体的粘附力。

此外，在本实施方式中，将保护膜111从基材112上剥离的工序以及将剥离了保护膜111后的基材112粘贴到玻璃基板113上的工序的基本流程遵循图7和图8所示的流程图。图12示出了在图7中的步骤S103～步骤S105之间或者步骤S106中的支撑部302的退避之前进行的支撑部302的运作。在图12中，具有使支撑部302旋转的旋转致动器303，在剥离单元1开始卷绕保护膜111之后，使支撑部302沿图中的顺时针方向旋转。

由此，能够解除支撑部302对基材112的粘附，能够在剥离单元1剥离保护膜111之后，容易地使支撑部302向x方向(负方向)退避。此外，之所以在该情况下使支撑部302向顺时针方向旋转，是因为，通过使支撑部302向顺时针方向旋转，会产生使基材112沿x方向(正方向)移动的力，另一方面，基材112被台103所保持，因此，基材112的端区域112a在适当的范围内变形，能够顺畅地解除支撑部302对基材112的粘附。

另外，图13示出了在步骤S106中在支撑部退避时支撑部302的运作。在该情况下，在使支撑部302退避时，使支撑部302一边向顺时针方向旋转一边沿x方向(负方向)移动。由此，通过使支撑部302旋转，能够使与基材112粘附的粘附部分的位置沿x方向(负方向)移动，同时支撑部302的位置也沿x方向(负方向)移动。其结果，即使在基材112与支撑部302之间的粘附力强的情况下，也能够顺畅地使支撑部302退避，而不会对基材112施加过度的负荷或使基材112变形。

此外，在该情况下，可以使由支撑部302的旋转引起的支撑部302外周的线速度与支撑部302向x方向(负方向)的退避速度一致。由此，支撑部302处于在基材112的下表面上滚动的状态，因此能够更可靠地抑制施加到基材112上的负荷或基材112的变形。其结果，能够抑制在支撑部302退避之后，在基材112上留下损伤或变形的痕迹。

另外，在该情况下，具有使支撑部302旋转的旋转致动器303，在使支撑部302退避的情况下，支撑部302可以自行旋转，也可以构成为仅使支撑部302能够围绕中心轴自由旋转。通过使支撑部302构成为能够自由旋转，并使支撑部302的中心轴沿x方向(负方向)退避，从而能够随着支撑部302的移动，以使支撑部302的外周的线速度与支撑部302的退避速度相一致的方式，使支撑部302自动地旋转。

接着，图14示出了在步骤S106中在支撑部退避时支撑部302的运作的另一形态。在该形态中，在步骤S106中，在使支撑部302退避时，使支撑部302向顺时针方向旋转，并使支撑部302沿x方向(负方向)移动且沿z方向(正方向)移动。即，将支撑部302退避时的中心表示为在基材112的前端侧且朝着上侧倾斜的轨迹。

由此，当基材112与支撑部302之间的粘附力强的情况或基材112薄的情况下，随着支撑部302的旋转，基材112的端区域112a向下侧即z方向(负方向)被卷入，能够更可靠地抑制基材112的端区域112a被折断那样的不妥。

另外，在该情况下，作为支撑部302的朝向斜上方的轨迹的示例，除了直线状的轨迹之外，还可以举出凸向下侧的曲线状的轨迹、凸向下侧的圆弧状的轨迹等。或者，可以通过实验或模拟预先求出基材112的端区域112a不会变形的轨迹。在该情况下，作为支撑部302的朝向斜上方的轨迹，也可以求出基材112的端区域112a的变形量小于等于0.1mm的轨迹。这样，能够更可靠地抑制基材112的端区域112a的折断或损伤。另外，即使在配置在上侧的玻璃基板113与基材112之间的间隙为0.2mm至0.3mm左右的情况下，也能够防止基材112与玻璃基板113的接触。另外，在该情况下，也可以具有使支撑部302旋转的旋转致动器303，在使支撑部302退避的情况下，支撑部302自行旋转，也可以构成为仅支撑部302能够围绕中心轴自由旋转。

此外，在上述的实施方式中，以将保护膜111从基材112上剥离来在玻璃基板113上粘贴柔软的PET膜即基材112为前提进行了说明，但是本发明的适用情况不限于这种情况。例如，本发明也可以适用使用硬质的玻璃基板作为基材的层压体。另外，也可以适用形成为辊状的层压体。

＜比较例＞

作为针对本实施方式的比较例，用图15说明将保护膜从基材上剥离的以往的剥离装置。图15是以往的剥离装置100的运作的概要图。剥离装置100与上述的实施方式同样地，具有剥离单元101、支撑部102以及台103。并且，在支撑部102的上表面102a和台103的上表面103a，载置有层压体110。关于层压体110、支撑部102以及台103的结构，由于与上述的实施方式相同，因此在此省略详细说明。

在图15所示的以往的剥离装置100中，胶带101a被保持在剥离单元101中。并且，在将保护膜111从基材112上剥离时，剥离单元101下降到保护膜111的端区域111a附近，使胶带101a的粘附面抵接并粘附到保护膜111的端区域111a。然后，如图15的(a)部分所示，剥离单元101沿x方向(正方向：主体区域111b侧)移动。接着，如图15的(b)部分所示，使剥离单元101的高度上升并使剥离单元101进一步沿x方向(正方向)移动。由此，保护膜111从基材112的端区域112a到主体区域112b的较宽的区域被剥离。

在图15所示的比较例的剥离装置100的运作中，作为将层压体110中的保护膜111从基材112上剥离的最初的作业，需要使形状不固定的胶带101a粘附在保护膜111的端区域111a，有时难以使保护膜111的端区域111a与胶带101a可靠地粘附。另外，在将保护膜111从基材112上完全剥离之后，由于剥离单元101会解除胶带101a的夹固，并将剥离的保护膜111与胶带101a一起废弃(后述)，因而仍附着在保护膜111上的胶带101a可能会粘附到与其相关的另一装置的表面，从而可能会产生剥离后的保护膜111无法被恰当地废弃这样的不妥。

对此，在本发明中，与比较例的剥离单元101不同，一边将保护膜111卷绕到辊2a、2b上一边将保护膜111从基材112上剥离，因此，能够在开始剥离时，使从基材112上剥离的保护膜111与基材112之间的剥离角维持为由辊2a、2b的圆筒面确定的角度。另外，能够将保护膜111与基材112的剥离部分维持为直线状。其结果，能够可靠地从基材112剥离保护膜112。另外，在本发明的剥离单元1中，由于在剥离的保护膜111上没有附着胶带101a，所以不会产生该胶带101a例如粘附在废弃箱107的壁面上等现象，能够更顺畅地将保护膜111废弃。

Claims (12)

1.一种剥离装置，用于从由基材和粘合在该基材上的膜所构成的层压体上将所述膜剥离，所述剥离装置的特征在于，

具有剥离机构，

所述剥离机构，从所述层压体的端区域到主体区域，将所述膜从所述基材上剥离，所述端区域是作为所述层压体的前端的区域，所述主体区域是作为所述层压体的该端区域以外的区域；

所述剥离机构具有：

辊，具有在水平方向上具有轴的圆筒状的形状，在其圆筒面上具有粘附性，并且能够围绕所述轴旋转，

移动机构，使所述辊从所述端区域沿朝向所述主体区域的方向移动，以及

卷绕机构，从所述辊与所述端区域中的所述膜抵接的状态起，通过所述移动机构使所述辊移动，并使所述辊围绕所述轴旋转，来将所述膜的一部分卷绕到所述辊的所述圆筒面上。

2.根据权利要求1所述的剥离装置，其特征在于，

所述剥离机构还具有夹固机构，

所述夹固机构，将卷绕到所述辊上的所述膜按压固定到所述圆筒面或所述圆筒面以外的构件上。

3.根据权利要求1所述的剥离装置，其特征在于，还具有：

台，在使所述基材的一侧朝下的状态下，从下方保持所述层压体的所述主体区域，以及

支撑构件，从下方支撑所述层压体中的所述端区域。

4.根据权利要求1所述的剥离装置，其特征在于，

所述辊被支撑为能够围绕所述轴自由旋转，

在所述移动机构使所述辊移动时，所述卷绕机构使所述辊在与所述膜抵接的状态下从动地旋转。

5.根据权利要求1所述的剥离装置，其特征在于，

所述卷绕机构，具有使所述辊旋转的旋转致动器，在所述辊与所述端区域上的所述膜抵接的状态下，通过所述旋转致动器使所述辊围绕所述轴旋转。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的剥离装置，其特征在于，

所述辊的所述圆筒面由丁基类橡胶或聚氨酯类橡胶形成。

7.根据权利要求1至5中的任一项所述的剥离装置，其特征在于，

所述辊的圆筒面的粘附力为1N/15mm以上且2N/15mm以下。

8.根据权利要求1至5中的任一项所述的剥离装置，其特征在于，

所述辊的圆筒面的硬度为0°以上且20°以下。

9.根据权利要求1至5中的任一项所述的剥离装置，其特征在于，

还具有清洁机构，所述清洁机构对所述辊的圆筒面的表面进行清洁。

10.根据权利要求1至5中的任一项所述的剥离装置，其特征在于，

所述剥离机构还具有锁定机构，所述锁定机构限制所述辊围绕所述轴旋转。

11.一种剥离方法，用于从由基材和粘合在该基材上的膜所构成的层压体上将所述膜剥离，所述剥离方法的特征在于，具有：

辊抵接工序，在所述层压体的端区域，使辊与所述膜抵接，所述辊具有在水平方向上具有轴的圆筒状的形状，在其圆筒面上具有粘附性，所述端区域是作为所述层压体的前端的区域，以及

卷绕工序，在所述辊与所述端区域上的所述膜抵接的状态下，使所述辊沿水平方向移动，并使所述辊围绕所述轴旋转，来将所述膜的一部分卷绕到所述辊的所述圆筒面上。

12.根据权利要求11所述的剥离方法，其特征在于，

还具有夹固工序，

所述夹固工序，将卷绕到所述辊上的所述膜按压固定到所述圆筒面或所述圆筒面以外的构件上。

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