CN112144034A - 一种冷却背板 - Google Patents

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    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/54—Apparatus specially adapted for continuous coating

Abstract

本发明为了解决现有技术中冷却背板频繁拆卸易出现泄漏的技术问题，提供了一种冷却背板。冷却背板的本体内部设置有数个独立的冷却腔室，每一个冷却腔室均具有两个连通到外部的开口；本体的外部对应每一个开口处均采用螺丝锁附有一个与冷却腔室连通的接头，在拆卸靶材和冷却背板时只需将接头上的螺丝卸下，即可实现冷却背板与冷水源供应设备的脱离。在接头与本体之间采用密封件实现密封，使得冷却背板在频繁拆卸后依旧能保持较佳的密封性能。

Description

一种冷却背板
技术领域
本发明属于液晶、半导体、太阳电池板镀膜制造生产技术领域，涉及一种用于冷却的背板。
背景技术
在液晶、半导体、太阳电池板镀膜成膜过程中，靶材受到高速荷能粒子连续轰击，会产生高温，易造成靶材损坏。于是需要通过冷却背板，对靶材持续进行冷却。冷却背板内部具有供冷水源流动的腔体，循环冷水源通过热交换器将把靶材的热量交换出去，实现控制靶材温度的目的。
靶材寿命有限，靶材在使用设定的次数后，需要进行更换。靶材绑定在冷却背板上，冷却背板需同靶材一同拆卸。但频繁拆卸冷却背板会导致背板的焊接接头处出现泄漏，不仅影响靶材的冷却效率，还导致镀膜设备的使用存在较大风险。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是：提供一种可便捷式拆卸、密封效果好，能防止冷却源溢出的冷却背板。
本发明提供的技术方案如下：
一种冷却背板，包括本体，所述本体内部设置有数个独立的冷却腔室，每一个冷却腔室均具有两个连通到外部的开口；所述本体的外部对应每一个所述开口处均采用螺丝锁附有一个与所述冷却腔室连通的接头；所述接头与所述本体之间采用密封件进行密封。
在本技术方案中，在冷却背板外部的接头为可拆卸式，如此在拆卸靶材和冷却背板时只需将接头上的螺丝卸下，即可实现冷却背板与冷水源供应设备的脱离。
本发明提供的一种冷却背板，还包括以下附加技术特征：
进一步的是，所述冷却腔室的横截面为正方形或者长方形结构。
进一步的是，数个所述冷却腔室并列设置。
进一步的是，所述接头包括与冷水源供应设备连接的接插部和与本体连接的固定部，所述连接部与固定部中共设有与所述冷却腔室连通的通路，所述密封件嵌装在所述固定部对应所述本体的一面。
进一步的是，所述接插部的外部直身上设置有一圈凹槽。
进一步的是，所述密封件为O型圈。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1.将原先焊接式的接头改成可拆卸式，实现了靶材和冷却背板的快速拆卸；
2.在接头与本体之间采用密封件实现密封，使得冷却背板在频繁拆卸后依旧能保持较佳的密封性能；
3.将冷却腔室设计成方形，不仅便于CNC加工，还便于腔室变形量的计算；精准的变形量计算不仅能够实现冷却背板的物尽其用，还能够实现冷却背板的及时更换。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
图1是实施例一中公开的冷却背板本体的剖视图；
图2是实施例一中公开的冷却背板的剖视图；
图3是实施例一中公开的接头的剖视图；
图4是实施例二中公开的冷却背板本体的剖视图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
实施例一
图1和2中所示的一种冷却背板，包括本体10，本体内部设置有两条并列设置且相互独立的冷却腔室20，每一个冷却腔室均具有两个连通到外部的开口30；本体的外部对应每一个开口处均采用螺丝锁附有一个与冷却腔室连通的接头40。参见图3，接头包括与冷水源供应设备连接的接插部41和与本体连接的固定部42，连接部与固定部中共设有与冷却腔室连通的通路43，固定部对应本体的一面嵌装有实现与本体之间密封的密封件44。冷水源供应设备对应每一个冷却腔室均设置有与对应的接头连接的进水管和出水管。接头插在水管中，为实现密封，可在接插部的外部直身上设置有一圈安装密封件的凹槽45。
密封件选用普通的O型圈。
在靶材使用到设定次数或者冷却背板的变形量已达到设计数据时，只需将接头上的螺丝卸下，即可实现冷却背板与冷水源供应设备的脱离。
将冷却腔室的结构设计成横截面为正方形或者长方形的结构，此种方形结构不仅便于CNC加工，还便于腔室变形量的计算。精准的变形量计算不仅能够实现冷却背板的物尽其用，还能够实现冷却背板的及时更换。
实施例二
冷却背板中的冷却腔室的数量及排布方式根据靶材的大小，对冷却速度的要求进行设计，冷却腔室20的形状和排布结构除如图1中所示之外，还可但不限于如图4中所示。
对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所动义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (6)

1.一种冷却背板，其特征在于，包括本体，所述本体内部设置有数个独立的冷却腔室，每一个冷却腔室均具有两个连通到外部的开口；所述本体的外部对应每一个所述开口处均采用螺丝锁附有一个与所述冷却腔室连通的接头；所述接头与所述本体之间采用密封件进行密封。
2.根据权利要求1所述的一种冷却背板，其特征在于，所述冷却腔室的横截面为正方形或者长方形结构。
3.根据权利要求1所述的一种冷却背板，其特征在于，数个所述冷却腔室并列设置。
4.根据权利要求1所述的一种冷却背板，其特征在于，所述接头包括与冷水源供应设备连接的接插部和与本体连接的固定部，所述连接部与固定部中共设有与所述冷却腔室连通的通路，所述密封件嵌装在所述固定部对应所述本体的一面。
5.根据权利要求4所述的一种冷却背板，其特征在于，所述接插部的外部直身上设置有一圈凹槽。
6.根据权利要求1或4所述的一种冷却背板，其特征在于，所述密封件为O型圈。
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