CN201999986U - 具冷却流道的背板结构 - Google Patents

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Abstract

一种具冷却流道的背板结构，包括：一背板以锁固结构锁固至机台上，背板顶表面设一个或一个以上凹入的流道及流道旁侧设有浅凹槽，流道上盖设有数盖板，每一盖板的形状及厚度与对应的浅凹槽相同而盖设于流道浅凹槽上，浅凹槽表面中间设一凹沟，盖板设有凸条对应嵌入该凹沟固定，流道可设呈马蹄形的流道，并且在盖板与背板焊好后，再于流道的两端分别钻设冷却液入口及出口，其后在所有盖板与背板焊好后，在该背板的四周钻设整排的数螺丝穿孔，而其机台上有对应的螺孔对齐该数螺丝穿孔，数螺丝穿经螺丝穿孔而锁设至机台的螺孔固定。该具冷却流道的背板结构，可以对靶材在溅射过程中产生的热进行适当冷却。

Description

具冷却流道的背板结构
技术领域
本实用新型提供一种背板的技术领域，尤指其技术上提供一种具冷却流道的背板结构。
背景技术
溅射法利用带有电荷的离子在电场中加速后具有一定动能的特点，将离子引向欲被溅射的物质做成的靶电极，在离子能量合适的情况下，入射离子在与靶表面原子的碰撞过程中，将后者溅射出来。这些被溅射出来的原子带有一定的动能，并且会沿着一定的方向射向衬底的玻璃基板，从而沉积在基板表面形成薄膜。
而其靶材在溅射的过程中会产生热，这些热能就必须要将之适当冷却，因此冷却的责任就需由其靶材贴合的该背板来进行，而背板的制作需结合盖板，其背板与盖板的嵌合上仍有改进的空间。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种改进的背板结构，其具有冷却流道，可以对靶材在溅射过程中产生的热进行适当冷却。
本实用新型的具冷却流道的背板结构，其包含有：一背板，该背板顶表面凹设有一个或一个以上流道，每一该流道近顶表面的周边凹设有一嵌合凹槽；数盖板，该盖板的数目与该流道的数目相同，且该盖板的外形恰得以嵌入至对应的该嵌合凹槽，该盖板焊接结合至该背板上；数设于背板四周的螺丝穿孔，数导通该流道的入口与出口，且每一该流道配置一组该入口与该出口；以及数螺丝，分别穿经该背板的该螺丝穿孔，而螺固至一机台的对应数螺孔。
优选的，该嵌合凹槽表面中间设有一凹沟，而该盖板设有一凸条对应该凹沟位置，该凸条的外形恰得以嵌入该凹沟。
本实用新型的有益效果包括：其所提供的具冷却流道的背板结构，包含有：一背板，该背板以锁固结构锁固至机台上，该背板顶面再固定一靶材，靶材上方有一玻璃，该背板顶表面上设有一个或一个以上凹入的流道，该凹入的流道旁侧设有浅凹槽，浅凹槽深度较流道小，该流道上盖设有数盖板，每一盖板的形状及厚度与对应的该浅凹槽均相同，使得该盖板得以盖设于流道及浅凹槽上并得以保持该背板顶表面的平整，其中该浅凹槽表面中间设有一凹沟，而该盖板设有凸条对应该凹沟位置，使得该盖板盖设于该浅凹槽上时，该凸条恰得以嵌入该凹沟固定者，该流道可设呈马蹄形的流道，并且在盖板与背板焊好后，再于流道的两端分别钻设冷却液入口及出口，以制成一具冷却流道的背板结构。如此形成的具有冷却流道的背板结构，可以对靶材在溅射过程中产生的热进行适当冷却。
另外，其在所有盖板与背板焊好后，在该背板的四周钻设整排的数螺丝穿孔，以防其先钻孔在焊接过程变形后移位，而其机台上有对应的螺孔对齐该数螺丝穿孔，数螺丝穿经螺丝穿孔而锁设至机台的螺孔固定。
附图说明
图1：本实用新型其一实施状态的剖示图。
图2：本实用新型其一实施例的局部剖示图。
图3：本实用新型其一实施例的组合盖板前局部剖示图。
图4：本实用新型其一实施例的结合盖板后局部剖示图。
图5：本实用新型其一例背板的平面示意图。
图6：本实用新型其一例背板的放大示意图。
具体实施方式
参阅图1至图6所示，本实用新型提供一种具冷却流道的背板结构，包括：
一背板10，该背板10顶表面凹设有一个或一个以上流道12，每一该流道12近顶表面的周边凹设有一嵌合凹槽13；
数盖板50，该盖板50的数目与该流道12的数目相同，且该盖板50的外形恰得以嵌入至对应的该嵌合凹槽13，该盖板50焊接结合至该背板10上以密封该流道12；数设于背板10四周的螺丝穿孔11，该螺丝穿孔11在该盖板50结合至该背板10后才设置，数导通该流道12的入口121与出口122，该入口121与该出口122在该盖板50结合至该背板10后才钻设，且每一该流道12配置一组该入口121与该出口122；以及
数螺丝60，分别穿经该背板10的该螺丝穿孔11，而螺固至一机台20的对应数螺孔21，以固定该背板10至该机台20上。
前述该背板10以螺丝60锁固至机台20上，该背板10顶面再固定一靶材30，靶材30上方设有一玻璃40，该背板10顶表面上设有一个或一个以上凹入的流道12，该凹入的流道12旁侧设有嵌合凹槽13，嵌合凹槽13深度较流道12浅，该流道12上盖设有数盖板50，每一盖板50的形状及厚度与对应的该嵌合凹槽13均相同，使得该盖板50得以盖设于流道12及嵌合凹槽13上并得以保持该背板10顶表面的平整，其中该嵌合凹槽13表面中间设有一凹沟131，而该盖板50设有凸条51对应该凹沟131位置，使得该盖板50盖设于该嵌合凹槽13上时，该凸条51恰得以嵌入该凹沟131固定，该流道12可设呈马蹄形的流道12，并且在盖板50与背板10焊好后，再于流道12的两端分别钻设冷却液入口121及出口122，其后在所有盖板50与背板10焊好后，在该背板10的四周钻设整排的数螺丝穿孔11，而其机台20上有对应的螺孔21对齐该数螺丝穿孔11，数螺丝60穿经螺丝穿孔11而锁设至机台20的螺孔21固定。
前述背板10及盖板50的材质得为铜、铜合金、铝、铝合金、钛、钛合金等轻金属。

Claims (2)

1.一种具冷却流道的背板结构，其特征在于，包含有：
一背板，该背板顶表面凹设有一个或一个以上流道，每一该流道近顶表面的周边凹设有一嵌合凹槽；
数盖板，该盖板的数目与该流道的数目相同，且该盖板的外形恰得以嵌入至对应的该嵌合凹槽，该盖板焊接结合至该背板上；数设于背板四周的螺丝穿孔，数导通该流道的入口与出口，且每一该流道配置一组该入口与该出口；以及
数螺丝，分别穿经该背板的该螺丝穿孔，而螺固至一机台的对应数螺孔。
2.如权利要求1所述的具冷却流道的背板结构，其特征在于，该嵌合凹槽表面中间设有一凹沟，而该盖板设有一凸条对应该凹沟位置，该凸条的外形恰得以嵌入该凹沟。
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