CN206905980U - 一种磁控溅射靶材用水路背板的测漏装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种磁控溅射靶材用水路背板的测漏装置，包括水路背板，所述水路背板的顶面中心位置内凹设有背板水路口，所述背板水路口上端的水路背板上设有上模，且背板水路口下端对应设有下模，所述上模上端连通连通气管接头，所述气管接头通过气管密封连接具有气压调节阀的惰性气体瓶，所述上模的两端贯穿设有上模螺孔，所述上模螺孔内通过螺纹结构贯穿设有螺丝，所述螺丝依次贯穿上模、水路背板和下膜，该螺丝下端固定在下模的下模螺孔内，且位于下模下方的螺丝上配合有螺母。本实用新型装置连接操作简便，工作不用受环境约束,可以随意移动，而氦气质谱检测仪高速分子泵需要相对静止的工作环境，对环境要求高。

Description

一种磁控溅射靶材用水路背板的测漏装置

技术领域

本实用新型涉及机械技术领域，具体为一种磁控溅射靶材用水路背板的测漏装置。

背景技术

随着全球电子信息产业快速发展，平板显示行业的迅猛发展，平面显示面板尺寸要求不断扩大，这就要求溅射靶材尺寸也随之扩大，目前最大尺寸已达到3米X 2米，这类靶材需要固定在背板上，通常是用流动性好且具有一定粘性的低合金金属做为焊料。且磁控溅射过程中，由于高速粒子不断轰击，动能转换成热能，靶材因此会积累大量热量，为了避免靶材过热而造成脱靶现象，靶材整体温度必须保持在一定范围内，为此、国内外一些靶材厂家陆续开发出带水路背板。靶材溅射过程中是高度真空状态下，不允许有任何影响真空度因素存在，所以检查背板是否会漏至关重要。目前国内外制造大型水路背板厂家大部分都采用氦气质谱检漏仪测漏，用此类仪器几乎可以对各种形状尺寸水路背板进行检测，然而该设备价格昂贵，一般都靠进口，且配套设施极多，操作繁杂、对工作环境要求极高、更无法精确定位漏点而只能识别大概区域范围，为此我们提出一种磁控溅射靶材用水路背板的测漏装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种磁控溅射靶材用水路背板的测漏装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种磁控溅射靶材用水路背板的测漏装置，包括水路背板，所述水路背板的顶面中心位置内凹设有背板水路口，所述背板水路口上端的水路背板上设有上模，且背板水路口下端对应设有下模，所述上模上端连通连通气管接头，所述气管接头通过气管密封连接具有气压调节阀的惰性气体瓶，所述上模的两端贯穿设有上模螺孔，所述上模螺孔内通过螺纹结构贯穿设有螺丝，所述螺丝依次贯穿上模、水路背板和下模，该螺丝下端固定在下模的下模螺孔内，且位于下模下方的螺丝上配合有螺母。

优选的，所述上模和下模上对着背板水路口的侧面上内凹设有环形凹槽，该环形凹槽内分别设有上密封圈和下密封圈，该两个密封圈分别紧密接触在水路背板的顶面和底面上。

优选的，所述气管接头和上模的截面构成工字型，且气管接头和上模的内部贯通有注液腔，该注液腔位于背板水路口的上端。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、装置连接操作简便，工作不用受环境约束,可以随意移动，而氦气质谱检测仪高速分子泵需要相对静止的工作环境，对环境要求高；

2、通过带有颜色的渗透液可精确定位漏点；

3、工作效率高，相比氦气质谱检测仪不用将工件先抽真空；

4、模具形状可随水路背板接口形状而调节，实用性强。

附图说明

图1为本实用新型结构剖视图；

图2为本实用新型中上模结构示意图;

图3为本实用新型图2中A-A处剖视图；

图4为本实用新型中下模结构示意图；

图5为本实用新型图4中B-B处剖视图。

图中：1水路背板、2气管接头、3上模螺孔、4气管、5上密封圈、6下模、7下密封圈、8下模螺孔、9注液腔、10螺丝、11水路背板、12背板水路口。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图1所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或结构必须具有的特定方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种磁控溅射靶材用水路背板的测漏装置，包括水路背板11，水路背板11的顶面中心位置内凹设有背板水路口12，背板水路口12上端的水路背板11上设有上模1，且背板水路口12下端对应设有下模6，上模1上端连通气管接头2，气管接头2通过气管4密封连接具有气压调节阀的惰性气体瓶，上模1的两端贯穿设有上模螺孔3，上模螺孔3内通过螺纹结构贯穿设有螺丝10，螺丝10依次贯穿上模1、水路背板11和下模6，该螺丝10下端固定在下模6的下模螺孔8内，且位于下模6下方的螺丝10上配合有螺母。

上模1和下模6上对着背板水路口12的侧面上内凹设有环形凹槽，该环形凹槽内分别设有上密封圈5和下密封圈7，该两个密封圈分别紧密接触在水路背板11的顶面和底面上，该上模1和下模6由304不锈钢作为原材，其价格优廉、加工简便且成本低。

气管接头2和上模1的截面构成工字型，且气管接头2和上模1的内部贯通有注液腔9，该注液腔9位于背板水路口12的上端。

工作原理：测漏时先将渗透液注入水路背板11，再用上下模连接固定工件进出水口，检查组件确定连结良好后，打开气压阀，通过控制调压阀，将气压控制在0.8Mpa-3Mpa之间，气体会在压力差的作用下会往工件水路内部充气，相当于施加一定压力，气体不断进入工件内部水路，直至充满，待气压稳定一段时间后观察工件表面情况。若水路背板密封不良，则渗透液会在压力作用下从漏气出溢出，由于所选渗透液有颜色，所以通过目视即可直接精确定位漏点，反之若没发生渗漏现象，则密封良好。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (3)

1.一种磁控溅射靶材用水路背板的测漏装置，包括水路背板（11），所述水路背板（11）的顶面中心位置内凹设有背板水路口（12），其特征在于：所述背板水路口（12）上端的水路背板（11）上设有上模（1），且背板水路口（12）下端对应设有下模（6），所述上模（1）上端连通气管接头（2），所述气管接头（2）通过气管（4）密封连接具有气压调节阀的惰性气体瓶，所述上模（1）的两端贯穿设有上模螺孔（3），所述上模螺孔（3）内通过螺纹结构贯穿设有螺丝（10），所述螺丝（10）依次贯穿上模（1）、水路背板（11）和下模（6），该螺丝（10）下端固定在下模（6）的下模螺孔（8）内，且位于下模（6）下方的螺丝（10）上配合有螺母。

2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射靶材用水路背板的测漏装置，其特征在于：所述上模（1）和下模（6）上对着背板水路口（12）的侧面上内凹设有环形凹槽，该环形凹槽内分别设有上密封圈（5）和下密封圈（7），该两个密封圈分别紧密接触在水路背板（11）的顶面和底面上。

3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射靶材用水路背板的测漏装置，其特征在于：所述气管接头（2）和上模（1）的截面构成工字型，且气管接头（2）和上模（1）的内部贯通有注液腔（9），该注液腔（9）位于背板水路口（12）的上端。