CN205449420U - 一种真空镀膜玻璃生产线用阴极检漏装置 - Google Patents

Abstract

一种真空镀膜玻璃生产线用阴极检漏装置，其特征在于：包括一三通管件，该三通管件的进口上密封连接一快速接头，而其一出口上密封连接一压力传感器，而其另一出口上密封连接一开关阀的进口，而该开关阀的出口密封连接一气管快速接头。本实用新型结构简单轻便成本低，操作过程简化工作量小，且密闭性好，测量精度较高，能快速准确检出阴极是否存在漏水漏气的情况。

Description

一种真空镀膜玻璃生产线用阴极检漏装置

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射镀膜玻璃生产线技术领域，具体来说是一种检查阴极是否漏水漏气的装置。

背景技术

磁控溅射镀膜玻璃生产线用阴极分为旋转阴极和平面阴极，是磁控溅射镀膜玻璃生产线的核心部件，无论旋转阴极还是平面阴极工作时都会产生大量的热量，为保证阴极正常工作及时将热量散失，每个阴极上都有水槽，水槽内通有循环着的冷却水，但是阴极水槽密封不牢容易微量漏水或者漏气，造成整个磁控溅射镀膜玻璃生产线无法生产出合格的产品，经济损失较大。

目前磁控溅射镀膜玻璃生产线用阴极检漏工具多为国外进口检漏仪，成本太高；或者在水槽内充入氮气密封后放入大体积盛满水的容器中，观察有无气泡渗出，工作量大，且精确度低，无法准确检出阴极泄露情况。

发明内容

本实用新型目的是提供一种真空镀膜玻璃生产线用阴极检漏装置，以解决现有技术中存在的成本高、工作量大、精确度低的问题。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种真空镀膜玻璃生产线用阴极检漏装置，包括一三通管件，该三通管件的进口上密封连接一快速接头，而其一出口上密封连接一压力传感器，而其另一出口上密封连接一开关阀的进口，而该开关阀的出口密封连接一气管快速接头。

上述方案中，所述压力传感器为智能压力变送器。

由于上述技术方案的应用，本实用新型具有以下优点：

本实用新型结构简单轻便成本低，操作过程简化工作量小，且密闭性好，测量精度较高，能快速准确检出阴极是否存在漏水漏气的情况。

附图说明

图1为本实用新型实施例结构示意图。

以上附图中：1、快速接头；2、外丝直接；3、智能压力变送器；4、三通管件；5、外丝直接；6、内丝球阀；7、气管快速接头。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：

实施例：参见图1所示：

一种真空镀膜玻璃生产线用阴极检漏装置，包括一三通管件4，该三通管件4的进口上密封连接一快速接头1，而其一出口上密封连接一压力传感器，而其另一出口上密封连接一开关阀的进口，而该开关阀的出口密封连接一气管快速接头7。

具体，如图1所示，压力传感器采用智能压力变送器3，而开关阀具体可采用内丝球阀6。具体采用的智能压力变送器3：带电源，量程为0-2MPa，精度为10^-4MPa。

且具体，如图1所示，所述三通管件4的进口与快速接头1之间是以一外丝直接2连接的，而述三通管件4的出口与开关阀（内丝球阀6）的进口之间也是以一外丝直接5连接的。

所述快速接头1具体是1寸的KZD中压高性能气液快速接头（黄铜），分公插头和母插座，二者取其一即可。

上述所有螺纹连接处需缠绕生胶带加涂螺纹密封腔，以保证密封性。

使用时，将快速接头1与阴极冷却水接头相连接，而氦气、氮气、压缩空气任意一种气体气管与气管快速接头7连接；然后，打开内丝球阀6，让氦气、氮气或压缩空气中任意一种气体充入阴极水槽内部，观察智能压力变送器3至0.6MPa左右时关闭内丝球阀6，记录智能压力变送器3的示数，过15min后观察智能压力变送器3示数并记录。

压力差=第一次压力示数-第二次压力示数，当压力差值>0.005Mpa时，放气后再重复上面步骤，若压力差值仍>0.005Mpa，说明阴极有漏；否则，说明不漏。

本实施例结构简单轻便成本低，操作过程简化工作量小，且密闭性好，测量精度较高，能快速准确检出阴极是否存在漏水漏气的情况。

上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (2)

1.一种真空镀膜玻璃生产线用阴极检漏装置，其特征在于：包括一三通管件，该三通管件的进口上密封连接一快速接头，而其一出口上密封连接一压力传感器，而其另一出口上密封连接一开关阀的进口，而该开关阀的出口密封连接一气管快速接头。

2.根据权利要求1所述真空镀膜玻璃生产线用阴极检漏装置，其特征在于：所述压力传感器为智能压力变送器。