CN217586203U - 一种微通道热沉气密性能检测装置 - Google Patents

Abstract

一种微通道热沉气密性能检测装置，气密性工装下底座包括有两个通水孔、一个微通道热沉的进出水孔、四个立柱孔和一个调整丝杠孔；通水孔中安装两个通水接头；通水接头通过密封圈安装通水开关，其中一个通水开关上安装有抗震水压表；调整丝杠孔中安装调整丝杠；立柱孔中分别安装四根立柱；上固定板套于四根立柱的顶端，上下活动块套于四根立柱的中部，上压块安装于上下活动块的底部，上压块的两侧放置有左右压块。对于微通道热沉气密性检测提供了气密性寿命检测和压力检测，解决了现有技术中存在的问题。

Description

一种微通道热沉气密性能检测装置

技术领域

本实用新型属于气密性能检测领域，具体的涉及一种微通道热沉气密性能检测装置。

背景技术

随着半导体行业技术持续发展，功率器件的需求量得以大幅提升，功率从器件的性能和散热要求随之也提出了更高要求，器件的散热问题是行业发展的制约点，使用微通道技术微能够满足半导体功率器件的散热要求，随着微通道热沉的大量生产，微通道热沉的气密性一致是行业的通电和风险点，经常由于气密性无法保证导致整个器件乃至整个产品报废。

微通道热沉气密性检测通常生产厂家通过一些简单的气密性检测装置进行检测，此种检测方法漏检率过高，而且检测时间太短不能够满足微通道热沉气密性对于气密保压时间的要求，压力的要求也不能够稳定进行检测，所以开发一种能够对微通道热沉气密性对于气密性寿命和压力有效性检测的装置尤为紧迫。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种微通道热沉气密性能检测装置，对于微通道热沉气密性检测提供了气密性寿命检测和压力检测，解决了现有技术中存在的问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种微通道热沉气密性能检测装置，包括有一个气密性工装下底座1、四根立柱2、一个上压块3、一个上下活动块4、一个上固定板5、一对左右压块6、一根调整丝杠7、两个通水接头8、一个抗震水压表9、两个通水开关10、四个螺母11、两个密封圈12；

所述气密性工装下底座1包括有两个通水孔101、一个微通道热沉的进出水孔102、四个立柱孔103和一个调整丝杠孔104；

通水孔101中安装两个通水接头8；通水接头8通过密封圈12安装通水开关10，其中一个通水开关10上安装有抗震水压表9；

调整丝杠孔104中安装调整丝杠7；

立柱孔103中分别安装四根立柱2；上固定板5套于四根立柱2的顶端，上下活动块4套于四根立柱2的中部，上压块3安装于上下活动块4的底部，上压块3的两侧放置有左右压块6。

本实用新型还具有以下附加技术特征：

作为本实用新型技术方案进一步具体优化的：气密性工装下底座的进出水位置需要和微通道热沉的进出水位置匹配。材料一般是不锈钢、铝、工程塑料等有一定结构强度的材料。

作为本实用新型技术方案进一步具体优化的：需要增加抗震压力表进行压力检测，抗震水压表9的压力测量范围为0-1.5MPa。

作为本实用新型技术方案进一步具体优化的：上压块3选用的材质通常为聚四氟乙烯、POM/尼龙等软材质，以免压伤微通道热沉。

作为本实用新型技术方案进一步具体优化的：上下活动块4需要和立柱2进行间隙滑动配合，间隙通常为0.02-0.2mm。

作为本实用新型技术方案进一步具体优化的：气密性工装下底座的进出水孔和微通道热沉的连接处需要分别增加密封圈。

本实用新型和现有技术相比，其优点在于：

优点1：通过气密性工装下底座集成了微通道热沉的接口，压力表的接口外部具备压力的液体源接口，可以集成式进行产品的检测。同时可以对微通道热沉的气密性寿命进行检测。

优点2：通过密封圈可以将微通道热沉和气密性工装下底座形成密封体。更加接近微通道热沉使用时的压力环境。

优点3：通过通水开关对加后微通道热沉和气密性工装下底座进行关闭保压，可以有效检测压力损耗情况。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是为该工装的整体的装配图；

图2是为该工装的整体的装配图；

图3是为该工装的整体的零件图；

图4是为该工装的气密性工装下底座1的零件图；

图5是为该工装的上压块3的零件图；

图6是为该工装的上固定板5的零件图；

图7是为该工装的左右压块6的零件图。

附图标记说明：一个气密性工装下底座1、四根立柱2、一个上压块3、一个上下活动块4、一个上固定板5、一对左右压块6、一根调整丝杠7、两个通水接头8、一个抗震水压表9、两个通水开关10、四个螺母11、两个密封圈12。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本实用新型公开的示例性实施例，这些实施例是为了能够更透彻地理解本实用新型，并且能够将本实用新型公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。虽然附图中显示了本实用新型公开的示例性实施例，然而应当理解，本实用新型而不应被这里阐述的实施例所限制。

一种微通道热沉气密性能检测装置，包括有一个气密性工装下底座1、四根立柱2、一个上压块3、一个上下活动块4、一个上固定板5、一对左右压块6、一根调整丝杠7、两个通水接头8、一个抗震水压表9、两个通水开关10、四个螺母11、两个密封圈12；

所述气密性工装下底座1包括有两个通水孔101、一个微通道热沉的进出水孔102、四个立柱孔103和一个调整丝杠孔104；气密性工装下底座开设了2组进出水孔，1组是外部的进出水，另外1组是需要和微通道热沉的进出水孔相连接。气密性工装下底座的进出水位置需要和微通道热沉的进出水位置匹配。材料一般是不锈钢、铝、工程塑料等有一定结构强度的材料。气密性工装下底座的进出水孔和微通道热沉的连接处需要分别增加密封圈。

通水孔101中安装两个通水接头8；通水接头8通过密封圈12安装通水开关10，其中一个通水开关10上安装有抗震水压表9；需要增加抗震压力表进行压力检测，抗震水压表9的压力测量范围为0-1.5MPa。

调整丝杠孔104中安装调整丝杠7；

立柱孔103中分别安装四根立柱2；上固定板5套于四根立柱2的顶端，上下活动块4套于四根立柱2的中部，上下活动块4需要和立柱2进行间隙滑动配合，间隙通常为0.02-0.2mm。上压块3安装于上下活动块4的底部，上压块3的两侧放置有左右压块6。上压块3选用的材质通常为聚四氟乙烯、POM/尼龙等软材质，以免压伤微通道热沉。

微通道热沉气密性能检测装置的原理：

气密性工装下底座1上有两个通水孔101和微通道热沉的进出水孔102对应，采用密封圈进行密封处理，调整丝杠的调整使上压块和微型通道的上表面接触压紧，通过扬程泵对水打开进水阀门，加压0.85Mpa进入微通道热沉的冷却型腔内进行保压测试，观看抗震压力表的数值在0.85Mpa上关闭进水阀门，保压10-15分钟，保证完全无泄漏为合格，然后打开泄水阀门把测试中的水压卸掉，该产品为合格的产品，在此操作的过程泄水的过程也就对微通道热沉在前一工序焊接中纯在的清洗为干净的部位进行了一次冲洗，这样为下一工序表面处理就有很好的帮助。

一种微通道热沉气密性能检测装置使用方法：

在对微通道热沉进行气密性检测前，首先确定外部液体源和检测装置对接完成，关闭出水口开关。第1步调整调节螺杆，将上压块提升至可以放进微通道热沉的安全位置，将密封圈放置于微通道热沉和气密性工装下底座进出水接口位置。第2步，调整调节螺杆，将上压块平稳下压，使得上压块将微通道热沉压实，形成压力闭环，第3步，打开进水口开关，将液体倒入压力闭环，观察压力示值，确定压力表示值合适后，关闭进水口通水开关，继续观察压力表示值，具体时间根据检测项目进行设定，气密性检测统称为10-15分钟，寿命检测需要持续检测。检测完成后，打开出水口开关。泄压完成后，调整调节螺杆，将上压块提升至可以取出微通道热沉的安全位置，取出微通道热沉，检测完毕。

需要对更多的微通道热沉进行检测时，请重复以上步骤。

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，上面结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行了清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以上对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

Claims (6)

1.一种微通道热沉气密性能检测装置，其特征在于：包括有一个气密性工装下底座(1)、四根立柱(2)、一个上压块(3)、一个上下活动块(4)、一个上固定板(5)、一对左右压块(6)、一根调整丝杠(7)、两个通水接头(8)、一个抗震水压表(9)、两个通水开关(10)、四个螺母(11)、两个密封圈(12)；

所述气密性工装下底座(1)包括有两个通水孔(101)、一个微通道热沉的进出水孔(102)、四个立柱孔(103)和一个调整丝杠孔(104)；

通水孔(101)中安装两个通水接头(8)；通水接头(8)通过密封圈(12)安装通水开关(10)，其中一个通水开关(10)上安装有抗震水压表(9)；

调整丝杠孔(104)中安装调整丝杠(7)；

立柱孔(103)中分别安装四根立柱(2)；上固定板(5)套于四根立柱(2)的顶端，上下活动块(4)套于四根立柱(2)的中部，上压块(3)安装于上下活动块(4)的底部，上压块(3)的两侧放置有左右压块(6)。

2.根据权利要求1所述的微通道热沉气密性能检测装置，其特征在于：气密性工装下底座的进出水位置需要和微通道热沉的进出水位置匹配。

3.根据权利要求1所述的微通道热沉气密性能检测装置，其特征在于：需要增加抗震压力表进行压力检测，抗震水压表(9)的压力测量范围为0-1.5MPa。

4.根据权利要求1所述的微通道热沉气密性能检测装置，其特征在于：上压块(3)选用的材质为聚四氟乙烯或POM/尼龙。

5.根据权利要求1所述的微通道热沉气密性能检测装置，其特征在于：上下活动块(4)需要和立柱(2)进行间隙滑动配合。

6.根据权利要求1所述的微通道热沉气密性能检测装置，其特征在于：气密性工装下底座的进出水孔和微通道热沉的连接处需要分别增加密封圈。

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