CN112130497B - 半导体设备中的电源输出控制方法和系统、处理器 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供的半导体设备中的电源输出控制方法和系统、处理器和计算机，该方法包括接收计算机发送的与当前的工艺步骤对应的第一信息，并判断第一信息和预先存储的与当前的工艺步骤对应的第二信息是否满足预设的计时触发条件；第一信息包括电源的第一功率值；第二信息包括电源的第二功率值和第二定时时长；第二定时时长大于计算机对电源定时所设定的第一定时时长；若满足，则控制电源输出第二功率值，并从零开始计时，实时判断计时累积时长是否达到第二定时时长；若达到，则控制电源关闭，并向计算机发送报警信号。本发明实施例提供的半导体设备中的电源输出控制方法，可以避免在计算机出现信号处理延时或者故障时出现电源无法关闭的问题。

Description

半导体设备中的电源输出控制方法和系统、处理器

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体地，涉及一种半导体设备中的电源输出控制方法和系统、处理器和计算机。

背景技术

在半导体设备的应用过程中，使用各种类型的电源来进行工艺处理是相当普遍的。例如，常见的物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，以下简称PVD)工艺，通常使用溅射电源(sputter power supply)向靶材加载溅射功率，可根据具体工艺要求选择电源类型，例如直流电源、直流脉冲电源或射频电源等。另外，在某些工艺中，可能还使用偏压电源向基座加载射频功率，在基座上形成偏压。

现有的PVD工艺，通常采用个人计算机(personal computer，以下简称PC机)通过现场总线控制溅射电源的工作，以将溅射功率输出至靶材进行工艺溅射。但是，由于一台PC机通常需要同时控制多台工艺设备，处理的事件非常繁多，很容易出现系统负载过大的情况，造成信号处理延时。例如，当电源开启的定时已到时，PC机因信号处理延时无法及时向溅射电源发送下一步指令，导致某步骤工艺时间过长，如过渡沉积(over-deposition)等。另外，PC机还会出现异常死机、异常断电及异常损坏等状况，导致因无法关闭电源而产生持续溅射的情况，造成晶片报废。

发明内容

本发明实施例旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种半导体设备中的电源输出控制方法和系统、处理器和计算机，其可以避免在计算机出现信号处理延时或者故障时出现电源无法关闭的问题，从而可以提高电源控制精度，避免出现过渡沉积、晶片报废等的情况。

为实现本发明实施例的目的而提供一种半导体设备中的电源输出控制方法，包括：

接收计算机发送的与当前的工艺步骤对应的第一信息，并判断所述第一信息和预先存储的与当前的所述工艺步骤对应的第二信息是否满足预设的计时触发条件；所述第一信息包括电源的第一功率值；所述第二信息包括所述电源的第二功率值和第二定时时长；所述第二定时时长大于所述计算机对所述电源定时所设定的第一定时时长；

若满足，则控制所述电源输出所述第二功率值，并从零开始计时，且实时判断计时累积时长是否达到所述第二定时时长；

若达到，则控制所述电源关闭，并向所述计算机发送报警信号。

可选的，在所述接收所述计算机发送的与当前的工艺步骤对应的第一信息的步骤之前，还包括：

存储与当前的所述工艺步骤对应的所述第二信息。

可选的，所述存储与当前的所述工艺步骤对应的第二信息，具体包括：

接收并存储所述计算机在进行当前的所述工艺步骤之前发送的与当前的所述工艺步骤对应的所述第二信息，并在存储时覆盖原存储的所述第二信息。

可选的，所述判断所述第一信息和预先存储的与当前的所述工艺步骤对应的第二信息是否满足预设的计时触发条件，具体包括：

判断所述第一功率值是否等于所述第二功率值；

若等于，则确定满足所述计时触发条件；

若不等于，则确定不满足所述计时触发条件。

可选的，在所述确定不满足所述计时触发条件之后，所述方法还包括：

判断所述第一功率值是否满足预设的电源关闭条件，若满足，则控制所述电源关闭。

可选的，所述从零开始计时，包括：

按照调用规则从至少两个定时器中调用一个定时器进行计时，所述调用规则包括按指定调用顺序循环调用各个所述定时器。

作为另一个技术方案，本发明实施例还提供一种半导体设备中的电源输出控制方法，包括：

在当前的工艺步骤开始时，向处理器发送与当前的所述工艺步骤对应的第一信息，同时从零开始计时，且实时判断计时累积时长是否达到第一定时时长，以及，实时判断是否接收到所述处理器发送的报警信号；

若接收到所述处理器发送的报警信号，则向所述处理器发送电源关闭指令；

若达到所述第一定时时长，则判断是否完成所有的工艺步骤，若否，进行下一个所述工艺步骤；若是，则流程结束。

可选的，所述方法还包括：

在当前的所述工艺步骤开始之前，向所述处理器发送与当前的所述工艺步骤对应的第二信息，所述第二信息包括电源的第二功率值和第二定时时长，所述第二定时时长大于所述第一定时时长。

作为另一个技术方案，本发明实施例还提供一种半导体设备中的计算机，包括第一控制模块和第一计时模块，其中，

所述第一控制模块用于在当前的工艺步骤开始时，向处理器发送与当前的所述工艺步骤对应的第一信息，同时控制所述第一计时模块从零开始计时，且所述第一控制模块实时判断计时累积时长是否达到第一定时时长，若达到所述第一定时时长，则判断是否完成所有的工艺步骤，若否，进行下一个所述工艺步骤；若是，则流程结束；以及，

所述第一控制模块还用于实时判断是否接收到所述处理器发送的报警信号；若接收到所述处理器发送的报警信号，则向所述处理器发送电源关闭指令。

作为另一个技术方案，本发明实施例还提供一种半导体设备中的处理器，包括第二控制模块和第二计时模块，其中：

所述第二控制模块用于接收计算机发送的与当前的工艺步骤对应的第一信息，并判断所述第一信息和预先存储的与当前的所述工艺步骤对应的第二信息是否满足预设的计时触发条件；所述第一信息包括电源的第一功率值；所述第二信息包括所述电源的第二功率值和第二定时时长；所述第二定时时长大于所述计算机对所述电源定时所设定的第一定时时长；若满足，则控制所述电源输出所述第二功率值，并控制所述第二计时模块从零开始计时，且所述第二控制模块还用于实时判断计时累积时长是否达到所述第二定时时长；若达到，则控制所述电源关闭，并向所述计算机发送报警信号。

作为另一个技术方案，本发明实施例还提供一种半导体设备中的电源输出控制系统，包括本发明实施例提供的上述计算机，以及本发明实施例提供的上述处理器，所述计算机与所述处理器连接，所述处理器与至少一个电源连接。

本发明实施例具有以下有益效果：

本发明实施例提供的半导体设备中的电源输出控制方法和系统、处理器和计算机的技术方案，在计算机对电源定时的同时，利用处理器对电源定时，且使处理器对应的第二定时时长大于计算机对应的第一定时时长，这样，计算机的计时作为第一判断依据，即，当计算机的计时累积时长到达第一定时时长时，可以将处理器的计时在到达第二定时时长之前停止，从而可以正常进入下一工艺步骤，而一旦计算机出现信号处理延时或者故障时，处理器的计时累积时长将到达第一定时时长，此时处理器控制电源关闭，并向计算机发出报警信号，以中断工艺。这样，通过利用计算机和处理器双位计时，二者中的任意一个的计时到达定时时长，均能够控制电源关闭，从而可以避免在计算机出现信号处理延时或者故障时出现电源无法关闭的问题，从而可以提高电源控制精度，避免出现过渡沉积、晶片报废等的情况。

附图说明

图1为本发明第一实施例提供的半导体设备中的电源输出控制方法的一种流程框图；

图2为本发明第一实施例提供的半导体设备中的电源输出控制方法的另一种流程框图；

图3为本发明第二实施例提供的半导体设备中的电源输出控制方法的一种流程框图；

图4为本发明第二实施例提供的半导体设备中的电源输出控制方法的另一种流程框图；

图5为本发明第三实施例提供的计算机的原理框图；

图6为本发明第四实施例提供的处理器的原理框图；

图7为本发明第五实施例提供的半导体设备中的电源输出控制系统的原理框图；

图8为本发明第五实施例提供的半导体设备中的电源输出控制系统的连接图。

具体实施方式

下面结合附图以具体的实施例对本申请的技术方案以及本申请的技术方案如何解决上述技术问题进行详细说明。

第一实施例

请参阅图1，本实施例提供的半导体设备中的电源输出控制方法，其应用于处理器侧，包括以下步骤：

S101、接收计算机发送的与当前的工艺步骤对应的第一信息；

上述第一信息包括电源的第一功率值。

S102、判断第一信息和预先存储的与当前的工艺步骤对应的第二信息是否满足预设的计时触发条件；若满足，则进行步骤S103；

上述第二信息包括电源的第二功率值和第二定时时长；该第二定时时长大于计算机对电源定时所设定的第一定时时长。

S103、控制电源输出上述第二功率值；

S104、从零开始计时，且实时判断计时累积时长是否达到第二定时时长；若达到，则进行步骤S105；若未达到，则继续执行实时判断计时累积时长是否达到第二定时时长的步骤；

S105、控制电源关闭，并向计算机发送报警信号。

在上述步骤S101中，在当前的工艺步骤开始的同时，计算机会向处理器发送上述第一信息。在上述步骤S102中，若第一信息和第二信息满足计时触发条件，则处理器的计时被触发，此时处理器与计算机同时开始计时。由于处理器对应的第二定时时长大于计算机对应的第一定时时长，这可以将计算机的计时作为第一判断依据，即，当计算机的计时累积时长到达第一定时时长时，可以将处理器的计时在到达第二定时时长之前停止，从而可以正常进入下一工艺步骤，而一旦计算机出现信号处理延时或者故障时，处理器的计时累积时长将到达第一定时时长，此时处理器控制电源关闭，并向计算机发出报警信号，以中断工艺。这样，通过利用计算机和处理器双位计时，二者中的任意一个的计时到达定时时长，均能够控制电源关闭，从而可以避免在计算机出现信号处理延时或者故障时出现电源无法关闭的问题，从而可以提高电源控制精度，避免出现过渡沉积、晶片报废等的情况。

在一些实施例中，可以根据计算机的通信延时情况设定上述第一定时时长与第二定时时长的差值，例如，该差值的取值范围为0.01S-0.2S。

上述计算机可以为上位机，或者也可以为下位机。

在上述步骤S101之前，还包括：

存储与当前的工艺步骤对应的第二信息。

也就是说，在进行当前的工艺步骤之前，预先对上述第二信息进行存储，以能够在当前的工艺步骤开始时，与上述第一信息进行计时触发条件的判断。

上述第二信息的存储方法可以有多种，例如，该存储方法具体包括：

接收并存储计算机在进行当前的工艺步骤之前发送的与当前的工艺步骤对应的第二信息，并在存储时覆盖原存储的第二信息。

也就是说，新存储的第二信息覆盖原存储的第二信息，以使当前存储的第二信息能够与当前的工艺步骤相对应。

当然，在实际应用中，还可以采用其他任意存储方法，例如可以预先将所有的工艺步骤所对应的第二信息进行存储，在后续进行步骤S102时，可以通过调用与当前的工艺步骤对应的第二信息来进行判断。

在一些实施例中，上述步骤S102具体包括：

判断第一功率值是否等于第二功率值；

若等于，则确定满足计时触发条件；

若不等于，则确定不满足计时触发条件。

由于在进行当前的工艺步骤之前，已经预先存储有与该工艺步骤对应的第二信息中的第二功率值，且该第二功率值的大小被设定为与该工艺步骤对应的第一信息中的第一功率值的大小一致，在这种情况下，当接收到计算机发送的第一信息，只要判断出该第一信息中的第一功率值是否等于当前存储的第二信息中的第二功率值，即可确定是否满足计时触发条件，以此作为处理器开始计时的依据。当然，实际应用中，还可以采用其他任意触发条件实现处理器的计时触发。

需要说明的是，当接收到计算机发送的第一信息时，说明与该第一信息对应的工艺步骤开始，同一时间，计算机也从零开始计时；并且，当第一功率值等于第二功率值时，满足计时触发条件，在这种情况下，在计算机开始计时的几乎同时，处理器也从零开始计时。

在一些实施例中，若确定不满足计时触发条件，则本实施例提供的电源输出控制方法，还包括：

步骤S106，判断第一功率值是否满足预设的电源关闭条件，若满足，则进行步骤S107；若不满足，则返回步骤S101。

步骤S107，控制电源关闭。

在一些实施例中，上述电源关闭条件例如为：判断第一功率值是否等于零，若是，则确定满足电源关闭条件；若否，则确定不满足电源关闭条件。

若不满足电源关闭条件，则返回上述步骤S101。

在上述步骤S106中，通过判断第一功率值是否满足预设的电源关闭条件，可以作为工艺步骤是否全部完成或者工艺中断的判断依据，若满足电源关闭条件，则说明工艺步骤全部完成或者工艺中断，此时控制电源正常关闭。

在一些实施例中，上述步骤S104，包括：

按照调用规则从至少两个定时器中调用一个定时器进行计时，该调用规则包括按指定调用顺序循环调用各个定时器。

通过在相邻的两个工艺步骤切换时，采用循环调用定时器的方式来重新开启新的计时，可以保证相邻的两个工艺步骤无间隙切换，从而保证工艺步骤的正常进行。

在实际应用中，定时器的数量可以根据具体需要自由设定，例如，定时器为两个，分别为第一定时器和第二定时器，在这种情况下，在第一个工艺步骤开始时，调用第一定时器进行计时；在第二个工艺步骤开始时，停用第一定时器，同时调用第二定时器进行计时；在第三个工艺步骤开始时，停用第二定时器，同时调用第一定时器进行计时，如此反复。当然，定时器还可以为三个或者四个以上。

如图2所示，为本实施例提供的电源输出控制方法的一个具体实施例，该实施例以下述工艺配置为例，具体地，工艺方法包括三个工艺步骤，其中，第一个工艺步骤对应的电源的第一功率值为1000W，第一定时时长为5s；第二个工艺步骤对应的电源的第一功率值为30000W，第一定时时长为10s；第三个工艺步骤对应的电源的第一功率值为20000W，第一定时时长为20s。另外，在本实施例中，定时器为两个，分别为第一定时器和第二定时器。

该电源输出控制方法包括以下步骤：

S201、接收并存储计算机在进行第一个工艺步骤之前发送的与该工艺步骤对应的第二信息；

上述第二信息包括电源的第二功率值和第二定时时长；该第二定时时长大于计算机对电源定时所设定的第一定时时长。

具体地，与第一个工艺步骤对应的上述第二信息中，第二功率值与第一功率值相等，即为1000W，第二定时时长为5.1s。

S202、接收并存储计算机发送的表示开启的电源控制指令；

上述电源控制指令例如为，PC Power on＝Ture。只有当电源控制指令为开启时，在后续步骤中，处理器才会控制电源开启。步骤S202只是作为是否开启电源的一个辅助判断，在实际应用中，根据具体情况，该步骤S202也可以省去。

S203、接收计算机发送的第一信息，该第一信息包括第一功率值；

当第一个工艺步骤开始的同时，计算机会向处理器发送上述第一信息，以用作触发处理器开始计时的判断依据。第一个工艺步骤对应的第一信息中的第一功率值为1000W。

S204、判断该第一功率值是否等于当前存储(即，第一个工艺步骤对应)的第二功率值；

若是，则进行步骤S205；若否，则返回上述步骤S203；

S205、控制电源输出第一个工艺步骤对应的第二功率值，并调用第一定时器开始计时；

S206、接收并存储计算机发送的在进行第二个工艺步骤之前发送的与该工艺步骤对应的第二信息，并在存储时覆盖原存储的第二信息。

在步骤S206中，第二个工艺步骤对应的第二信息覆盖原存储的第一个工艺步骤对应的第二信息，以使所存储第二信息能够随工艺步骤的切换而相应的更新，从而保证在每个工艺步骤开始进行的同时，处理器的计时都能够被触发。需要说明的是，第二个工艺步骤对应的第二信息所包含的电源的第二功率值和第二定时时长分别覆盖原存储的第一个工艺步骤对应的第二信息所包含的电源的第二功率值和第二定时时长，即，第二功率值和第二定时时长这两个参数均需要被更新。

其中，与第二个工艺步骤对应的上述第二信息中，第二功率值与第一功率值相等，即为30000W，第二定时时长为10.1s。

S207、接收计算机发送的第一信息，该第一信息包括第一功率值，并判断该第一功率值是否等于当前存储(即，第二个工艺步骤对应)的第二功率值；

在步骤S207中，当第二个工艺步骤开始的同时，计算机再次向处理器发送与该工艺步骤对应的第一信息，其第一功率值即为30000W。

若是，则进行步骤S208；若否，则进行步骤S215；

S208、控制电源输出当前存储(即，第二个工艺步骤对应)的第二功率值，并停用第一定时器，同时调用第二定时器开始计时；

S209、接收并存储计算机发送的在进行第三个工艺步骤之前发送的与该工艺步骤对应的第二信息，并在存储时覆盖原存储的第二信息。

在步骤S209中，第三个工艺步骤对应的第二信息覆盖原存储的第二个工艺步骤对应的第二信息。

与第三个工艺步骤对应的上述第二信息中，第二功率值与第一功率值相等，即为20000W，第二定时时长为20.1s。

S210、接收计算机发送的第一信息，该第一信息包括第一功率值，并判断该第一功率值是否等于当前存储(即，第三个工艺步骤对应)的第二功率值；

在步骤S210中，当第三个工艺步骤开始的同时，计算机第三次向处理器发送与该工艺步骤对应的第一信息，其第一功率值即为20000W。

若是，则进行步骤S211；若否，则进行步骤S216；

S211、控制电源输出当前存储(即，第三个工艺步骤对应)的第二功率值，并停用第二定时器，同时调用第一定时器开始计时；

S212、实时判断计时累积时长是否达到当前存储(即，第三个工艺步骤对应)的第二定时时长；

若否，则进行步骤S213；若是，则进行步骤S217；

S213、接收计算机发送的第一功率值，并判断其是否等于零；若否，则返回步骤S213；若是，则进行步骤S214；

S214、停用第一定时器，并控制电源关闭。

在上述步骤S213中，当所有工艺步骤均完成或者工艺中断时，计算机会发送数值为零的第一功率值；此时处理器停用第一定时器，并控制电源关闭，整个流程结束，工艺正常完成或者中断。可选的，作为关闭计算机的一个辅助判断，计算机还可以在发送数值为零的第一功率值之前，发送表示关闭的电源控制指令，例如为，PC Power on＝False。

S215、实时判断计时累积时长是否达到当前存储(即，第一个工艺步骤对应)的第二定时时长；

在步骤S215中，第二定时时长为在步骤S206中存储的与第一个工艺步骤对应的第二定时时长，即，5.1s。

若否，则返回上述步骤S207；若是，则进行步骤S217；

S216、实时判断计时累积时长是否达到当前存储(即，第二个工艺步骤对应)的第二定时时长；

在步骤S216中，第二定时时长为在步骤S206中存储的与第二个工艺步骤对应的第二定时时长，即，10.1s。

若否，则返回上述步骤S210；若是，则进行步骤S217；

S217、控制电源关闭，并向计算机发送报警信号。

在上述步骤S212、步骤S215和步骤S216中，若计时累积时长达到各自当前存储的第二定时时长，则说明计算机出现信号处理延时或者故障，导致计算机无法准时关闭电源，此时处理器控制电源关闭，并向计算机发出报警信号，以中断工艺。

第二实施例

如图3所示，本实施例提供一种电源输出控制方法，应用于计算机侧，包括以下步骤：

S301、在当前的工艺步骤开始时，向处理器发送与当前的工艺步骤对应的第一信息，同时从零开始计时；

上述第一信息用于作为触发处理器开始计时的依据，例如，上述第一信息包括电源的第一功率值。若该第一功率值与处理器当前存储的第二功率值相等，则当第一个工艺步骤开始的同时，触发处理器开始计时。

上述处理器例如为上述第一实施例中采用的处理器。

S302、实时判断计时累积时长是否达到第一定时时长；

若达到，则进行步骤S303；若未达到，则返回步骤S302；

S303、判断是否完成所有的工艺步骤；若是，则流程结束；若否，则进行步骤S304；

S304、进行下一个工艺步骤；

针对下一个工艺步骤的处理过程与当前工艺步骤类似，此处不详述。

在进行上述步骤S302和步骤S303的过程中，还并列进行步骤S305和步骤S306；

S305、实时判断是否接收到处理器发送的报警信号；

若是，则进行步骤S306；若否，则返回步骤S305；

S306、向处理器发送电源关闭指令，此时中断工艺。

上述计算机可以为上位机，或者也可以为下位机。

在上述步骤S306中，当所有的工艺步骤均完成时，作为关闭计算机的一个辅助判断，计算机还可以在向处理器发送电源关闭指令之前，向处理器发送表示关闭的电源控制指令，例如为，PC Power on＝False。

上述电源控制指令例如为向处理器发送数值为零的第一功率值。对应的，处理器判断该第一功率值是否满足预设的电源关闭条件，即，判断第一功率值是否等于零；若满足，则控制电源关闭。

当然，在实际应用中，也可以将上述电源控制指令(PC Power on＝False)作为主要判断依据，而电源关闭指令(数值为零的第一功率值)作为辅助判断依据。所谓主要判断依据是指，当处理器接收到作为主要判断依据的关闭指令时，即刻关闭电源，而辅助判断依据仅作为一个依据。

在一些实施例中，在当前的工艺步骤开始之前，向处理器发送与当前的工艺步骤对应的第二信息，该第二信息包括电源的第二功率值和第二定时时长，该第二定时时长大于第一定时时长。这样，处理器能够在进行当前的工艺步骤之前，预先对上述第二信息进行存储，以能够在当前的工艺步骤开始时，与上述第一信息进行计时触发条件的判断。

如图4所示，为本实施例提供的电源输出控制方法的一个具体实施例，该实施例以下述工艺配置为例，具体地，工艺方法包括三个工艺步骤，其中，第一个工艺步骤对应的电源的第一功率值为1000W，第一定时时长为5s；第二个工艺步骤对应的电源的第一功率值为30000W，第一定时时长为10s；第三个工艺步骤对应的电源的第一功率值为20000W，第一定时时长为20s。另外，在本实施例中，定时器为两个，分别为第一定时器和第二定时器。

该电源输出控制方法包括以下步骤：

S401、在第一个工艺步骤开始之前，向处理器发送与第一个工艺步骤对应的第二信息；

其中，在与第一个工艺步骤对应的第二信息中，第二功率值等于第一功率值，即为1000W，第二定时时长为5.1s。

S402、向处理器发送表示开启的电源控制指令；

上述电源控制指令例如为，PC Power on＝Ture。只有当电源控制指令为开启时，在后续步骤中，处理器才会控制电源开启。步骤S402只是作为是否开启电源的一个辅助判断，在实际应用中，根据具体情况，该步骤S402也可以省去。

S403、在第一个工艺步骤开始的同时，向处理器发送与第一个工艺步骤对应的第一功率值，同时从零开始计时；并且，向处理器发送与第二个工艺步骤对应的第二信息；

其中，该第一功率值作为触发处理器对第一个工艺步骤开始计时的判断依据。与第一个工艺步骤对应的第一功率值为1000W。

在与第二个工艺步骤对应的第二信息中，第二功率值为30000W，第二定时时长为10.1s。

S404、实时判断计时累积时长是否达到第一定时时长；若是，则说明第一个工艺步骤完成，进行步骤S405；若否，则返回步骤S404；

S405、第二个工艺步骤开始的同时，向处理器发送与第二个工艺步骤对应的第一功率值，同时从零开始计时；并且，向处理器发送与第三个工艺步骤对应的第二信息；

其中，该第一功率值作为触发处理器对第二个工艺步骤开始计时的判断依据。与第二个工艺步骤对应的第一功率值为30000W。

在与第三个工艺步骤对应的第二信息中，第二功率值为20000W，第二定时时长为20.1s。

S406、实时判断计时累积时长是否达到第一定时时长；若是，则进行步骤S407；若否，则返回步骤S406；

S407、向处理器发送与第三个工艺步骤对应的第一功率值，同时从零开始计时；

该第一功率值作为触发处理器对第三个工艺步骤开始计时的判断依据。与第三个工艺步骤对应的第一功率值为20000W。

S408、实时判断计时累积时长是否达到第一定时时长；若是，则进行步骤S409；若否，则返回步骤S408；

S409、向处理器发送数值为零的第一功率值，此时处理器控制电源关闭，整个工艺完成。

在进行上述步骤S404至步骤S409的过程中，还并列进行步骤S410至步骤S413；

S410、实时判断是否接收到处理器发送的报警信号；若是，则进行步骤S413；若否，则返回步骤S410；

S411、实时判断是否接收到处理器发送的报警信号；若是，则进行步骤S413；若否，则返回步骤S411；

S412、实时判断是否接收到处理器发送的报警信号；若是，则进行步骤S413；若否，则返回步骤S412；

S413、向处理器发送数值为零的第一功率值，此时中断工艺。

在一些实施例中，还可以发出警报，以提示工艺中断。

综上所述，本发明上述各个实施例提供的电源输出控制方法，在计算机对电源定时的同时，利用处理器对电源定时，且使处理器对应的第二定时时长大于计算机对应的第一定时时长，这样，计算机的计时作为第一判断依据，即，当计算机的计时累积时长到达第一定时时长时，可以将处理器的计时在到达第二定时时长之前停止，从而可以正常进入下一工艺步骤，而一旦计算机出现信号处理延时或者故障时，处理器的计时累积时长将到达第一定时时长，此时处理器控制电源关闭，并向计算机发出报警信号，以中断工艺。这样，通过利用计算机和处理器双位计时，二者中的任意一个的计时到达定时时长，均能够控制电源关闭，从而可以避免在计算机出现信号处理延时或者故障时出现电源无法关闭的问题，从而可以提高电源控制精度，避免出现过渡沉积、晶片报废等的情况。

第三实施例

作为另一个技术方案，如图5所示，本实施例还提供一种半导体设备中的计算机1，其包括第一控制模块11和第一计时模块12。

其中，第一控制模块11用于在当前的工艺步骤开始时，向处理器发送与当前的工艺步骤对应的第一信息，同时控制第一计时模块12从零开始计时，且第一控制模块11实时判断计时累积时长是否达到第一定时时长，若达到第一定时时长，则判断是否完成所有的工艺步骤，若否，进行下一个工艺步骤；若是，则流程结束；以及，第一控制模块11还用于实时判断是否接收到处理器发送的报警信号；若接收到处理器发送的报警信号，则向处理器发送电源关闭指令。

第四实施例

作为另一个技术方案，如图6所示，本实施例还提供一种半导体设备中的处理器2，其包括第二控制模块21和第二计时模块22，其中。

第二控制模块21用于接收计算机1发送的与当前的工艺步骤对应的第一信息，并判断第一信息和预先存储的与当前的工艺步骤对应的第二信息是否满足预设的计时触发条件；第一信息包括电源的第一功率值；第二信息包括电源的第二功率值和第二定时时长；第二定时时长大于计算机1对电源定时所设定的第一定时时长；若满足，则控制电源输出第二功率值，并控制第二计时模块22从零开始计时，且第二控制模块21还用于实时判断计时累积时长是否达到第二定时时长；若达到，则控制电源关闭，并向计算机1发送报警信号。

上述处理器1可以包括可编辑逻辑计算机(Programmable Logic Controller，简称PLC)、数字信号处理器(Digital Signal Processor,简称DSP)或者指令集处理器(Advanced RISC Machine，简称ARM)等的具备定时器的编程功能的处理器。另外，处理器1与电源之间可以使用模块量接口或者数字量接口进行数据交互。

在一些实施例中，上述第二计时模块22包括至少两个定时器；第二控制模块21还用于按照调用规则从至少两个定时器中调用一个定时器进行计时，该调用规则包括按指定调用顺序循环调用各个定时器

在实际应用中，定时器的数量可以根据具体需要自由设定，例如，定时器为两个，分别为第一定时器和第二定时器，在这种情况下，在第一个工艺步骤开始时，调用第一定时器进行计时；在第二个工艺步骤开始时，停用第一定时器，同时调用第二定时器进行计时；在第三个工艺步骤开始时，停用第二定时器，同时调用第一定时器进行计时，如此反复。当然，定时器还可以为三个或者四个以上。

第五实施例

作为另一个技术方案，如图7和图8所示，本实施例还提供一种电源输出控制系统100，其包括上述第三实施例提供的计算机1，以及上述第四实施例提供的处理器2，如图8所示，计算机1与处理器2连接，二者通过现场总线进行通信；处理器2与至少一个电源102连接，处理器2可以使用模块量接口或者数字量接口与电源102进行数据交互。

如图8所示，电源102例如应用于向靶材101加载激励功率的激励电源。该激励电源例如为直流电源、中频电源、脉冲电源或者射频电源。当然，在实际应用中，电源102还可以应用于向基座加载偏压功率的偏压电源。

本实施例提供的电源输出控制系统100，采用本实施例提供的上述处理器和计算机，可以实现双位计时，处理器和计算机中的任意一个的计时到达定时时长，均能够控制电源关闭，从而可以避免在计算机出现信号处理延时或者故障时出现电源无法关闭的问题，从而可以提高电源控制精度，避免出现过渡沉积、晶片报废等的情况。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本申请的原理而采用的示例性实施方式，然而本申请并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本申请的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本申请的保护范围。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本说明书的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上仅是本申请的部分实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。

Claims (11)

1.一种半导体设备中的电源输出控制方法，其特征在于，包括：

接收计算机发送的与当前的工艺步骤对应的第一信息，并判断所述第一信息和预先存储的与当前的所述工艺步骤对应的第二信息是否满足预设的计时触发条件；所述第一信息包括电源的第一功率值；所述第二信息包括所述电源的第二功率值和第二定时时长；所述第二定时时长大于所述计算机对所述电源定时所设定的第一定时时长，且根据所述计算机的通信延时情况设定所述第一定时时长与第二定时时长的差值；

若满足，则控制所述电源输出所述第二功率值，并从零开始计时，且实时判断计时累积时长是否达到所述第二定时时长；

若达到，则控制所述电源关闭，并向所述计算机发送报警信号。

2.根据权利要求1所述的半导体设备中的电源输出控制方法，其特征在于，在所述接收所述计算机发送的与当前的工艺步骤对应的第一信息的步骤之前，还包括：

存储与当前的所述工艺步骤对应的所述第二信息。

3.根据权利要求2所述的半导体设备中的电源输出控制方法，其特征在于，所述存储与当前的所述工艺步骤对应的第二信息，具体包括：

接收并存储所述计算机在进行当前的所述工艺步骤之前发送的与当前的所述工艺步骤对应的所述第二信息，并在存储时覆盖原存储的所述第二信息。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的半导体设备中的电源输出控制方法，其特征在于，所述判断所述第一信息和预先存储的与当前的所述工艺步骤对应的第二信息是否满足预设的计时触发条件，具体包括：

判断所述第一功率值是否等于所述第二功率值；

若等于，则确定满足所述计时触发条件；

若不等于，则确定不满足所述计时触发条件。

5.根据权利要求4所述的半导体设备中的电源输出控制方法，其特征在于，在所述确定不满足所述计时触发条件之后，所述方法还包括：

判断所述第一功率值是否满足预设的电源关闭条件，若满足，则控制所述电源关闭。

6.根据权利要求1所述的半导体设备中的电源输出控制方法，其特征在于，所述从零开始计时，包括：

按照调用规则从至少两个定时器中调用一个定时器进行计时，所述调用规则包括按指定调用顺序循环调用各个所述定时器。

7.一种半导体设备中的电源输出控制方法，其特征在于，包括：

在当前的工艺步骤开始时，向处理器发送与当前的所述工艺步骤对应的第一信息，同时从零开始计时，且实时判断计时累积时长是否达到第一定时时长，以及，实时判断是否接收到所述处理器发送的报警信号；所述处理器中预先存储的与当前的所述工艺步骤对应的第二信息包括所述电源的第二功率值和第二定时时长，所述第二定时时长大于所述第一定时时长，且根据计算机的通信延时情况设定所述第一定时时长与第二定时时长的差值；

若接收到所述处理器发送的报警信号，则向所述处理器发送电源关闭指令；

若达到所述第一定时时长，则判断是否完成所有的工艺步骤，若否，进行下一个所述工艺步骤；若是，则流程结束。

8.根据权利要求7所述的半导体设备中的电源输出控制方法，其特征在于，所述方法还包括：

在当前的所述工艺步骤开始之前，向所述处理器发送与当前的所述工艺步骤对应的第二信息，所述第二信息包括电源的第二功率值和第二定时时长，所述第二定时时长大于所述第一定时时长。

9.一种半导体设备中的计算机，其特征在于，包括第一控制模块和第一计时模块，其中，

所述第一控制模块用于在当前的工艺步骤开始时，向处理器发送与当前的所述工艺步骤对应的第一信息，同时控制所述第一计时模块从零开始计时，且所述第一控制模块实时判断计时累积时长是否达到第一定时时长，若达到所述第一定时时长，则判断是否完成所有的工艺步骤，若否，进行下一个所述工艺步骤；若是，则流程结束；以及，所述处理器中预先存储的与当前的所述工艺步骤对应的第二信息包括电源的第二功率值和第二定时时长，所述第二定时时长大于所述第一定时时长，且根据所述计算机的通信延时情况设定所述第一定时时长与第二定时时长的差值；

所述第一控制模块还用于实时判断是否接收到所述处理器发送的报警信号；若接收到所述处理器发送的报警信号，则向所述处理器发送电源关闭指令。

10.一种半导体设备中的处理器，其特征在于，包括第二控制模块和第二计时模块，其中：

所述第二控制模块用于接收计算机发送的与当前的工艺步骤对应的第一信息，并判断所述第一信息和预先存储的与当前的所述工艺步骤对应的第二信息是否满足预设的计时触发条件；所述第一信息包括电源的第一功率值；所述第二信息包括所述电源的第二功率值和第二定时时长；所述第二定时时长大于所述计算机对所述电源定时所设定的第一定时时长，且根据所述计算机的通信延时情况设定所述第一定时时长与第二定时时长的差值；若满足，则控制所述电源输出所述第二功率值，并控制所述第二计时模块从零开始计时，且所述第二控制模块还用于实时判断计时累积时长是否达到所述第二定时时长；若达到，则控制所述电源关闭，并向所述计算机发送报警信号。

11.一种半导体设备中的电源输出控制系统，其特征在于，包括权利要求9所述的计算机，以及权利要求10所述的处理器，所述计算机与所述处理器连接，所述处理器与至少一个电源连接。

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