CN112123939A - 液体喷出头、液体喷出头的制造方法及液体喷出装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种易于制造的液体喷出头、液体喷出头的制造方法及液体喷出装置。一实施方式的具备基部的液体喷出头，所述基部具有：第一区域，具有第一电极；以及第二区域，与所述第一区域连续且具有多个沟槽，并且在所述沟槽的内表面具有与所述第一电极连接且具有变质部的第二电极。

Description

液体喷出头、液体喷出头的制造方法及液体喷出装置

技术领域

本发明的实施方式涉及一种液体喷出头、液体喷出头的制造方法及液体喷出装置。

背景技术

在具备多个压力室的液体喷出头中，已知一种共享模式共享壁型喷墨头，在预定的并列方向上交替具备与喷嘴连通的多个压力室和配置在这些压力室之间的多个空气室。这样的液体喷出头具备例如在基底基板的端部上构成压力室或空气室的多个沟槽，在这些沟槽的底部或基底基板的主表面形成有布线图案。

发明内容

本发明要解决的问题是提供一种易于制造的液体喷出头、液体喷出头的制造方法及液体喷出装置。

一实施方式涉及具备基部的液体喷出头，其特征在于，所述基部具有：第一区域，具有第一电极；以及第二区域，与所述第一区域连续且具有多个沟槽，并且在所述沟槽的内表面具有与所述第一电极连接且具有变质部的第二电极。

一实施方式涉及液体喷出头的制造方法，其特征在于，具备如下步骤：在第一区域中，通过蚀刻处理对电极进行图案化，形成第一电极，在与所述第一区域连续且具有多个沟槽的第二区域中，通过激光加工对电极进行图案化，形成与所述第一电极连接的第二电极。

一实施方式涉及液体喷出装置，其特征在于，具备：具备基部的液体喷出头，所述基部具有：第一区域，具有第一电极；以及第二区域，所述第二区域具有多个沟槽并且在所述沟槽的内表面具有与所述第一电极连接且具有变质部的第二电极；以及输送装置，沿着预定的输送通路输送介质。

附图说明

图1是表示第一实施方式的喷墨头的概略构成的立体图。

图2是表示切断同一喷墨头的一部分的内部概略构成的立体图。

图3是表示同一喷墨头的动作的说明图。

图4是表示同一喷墨头的动作的说明图。

图5是表示同一喷墨头的一部分构成的主视图。

图6是表示同一喷墨头的一部分构成的侧视图。

图7是表示放大同一喷墨头的一部分构成的主视图。

图8是表示放大同一喷墨头的一部分构成的主视图。

图9是表示同一喷墨头的制造方法的说明图。

图10是表示同一喷墨头的制造方法的说明图。

图11是表示同一喷墨头的制造方法的说明图。

图12是表示比较例的喷墨头的制造方法的说明图。

图13是表示使用同一喷墨头的喷墨打印机的构成的说明图。

图14是表示其他实施方式的喷墨头的构成的说明图。

附图标记说明

1…喷墨头；10…致动器基座；12…基板；13…层叠压电体；14…沟槽；14A…沟槽列；14a…第一沟槽；14b…第二沟槽；15…层叠压电元件；15a…压电元件；15b…压电元件；16…图案电极；17…布线图案电极；20…喷嘴板；21…喷嘴；30…盖板；31…切口部；32…盖片；40…壳体部件；51…柔性电缆；52…驱动IC芯片；53…电路基板；100…喷墨打印机；111…框体；112…介质供给部；112a…供纸盒；113…图像形成部；114…介质排出部；114a…出纸盘；115…输送装置；116…控制部；116a…CPU；133…连接流路；133a…供给流路；133b…回收流路；134…循环泵；C1…压力室；C2…空气室；C3…共用室。

具体实施方式

以下参照图1至图12，说明作为第一实施方式的液体喷出头的喷墨头1及作为液体喷出装置的喷墨打印机100。在各个图中为了进行说明，适当地放大、缩小或省略了构成来进行表示。图中的箭头X、Y、Z表示相互正交的三个方向。在本实施方式中，表示喷墨头1的第一方向沿X轴、第二方向沿Y轴、第三方向沿Z轴配置的例子。

图1是表示喷墨头1的概略构成的立体图，图2是表示切断喷墨头1的一部分后的内部概略构成的立体图。图3及图4是表示喷墨头的动作的说明图。图5是表示同一喷墨头的一部分构成的主视图，图6是侧视图。图7及图8是表示放大图5的A、B构成的主视图。

图1至图4所示的喷墨头1是所谓的侧射型共享模式共享壁型喷墨头。

喷墨头1具备致动器基座10、具有多个喷嘴21的喷嘴板20、作为盖部件的盖板30以及壳体部件40。

致动器基座10具备基板12以及作为压电部的层叠压电体13。

基板12构成为方形的板状。基板12优选为由PZT、陶瓷、玻璃、易切削陶瓷或者包括这些的材料构成。

层叠压电体13位于基板12的喷嘴板20一侧的端缘。层叠压电体13由两个压电部件层叠构成。压电部件由例如PZT(锆钛酸铅)压电陶瓷材料构成。此外，考虑到环境因素也可以使用KNN(铌酸钾钠)等无铅压电陶瓷作为压电部件。两个压电部件极化成极化方向相互相反，并通过粘接层粘接。

层叠压电体13的与喷嘴板20相对的端面上形成有包括在第一方向上排列的多个沟槽14的沟槽列14A。沿层叠压电体13的XZ面的形状为梳齿状。在相邻的沟槽14之间形成的支柱状的一部分构成为层叠压电元件15，该层叠压电元件15成为使沟槽14的容积改变的驱动部。换言之，层叠压电体13的多个层叠压电元件15沿一个方向排列，在相邻的层叠压电元件15之间形成有沟槽14。

沟槽列14A在第一方向上交替排列有构成压力室C1的多个第一沟槽14a和构成空气室C2的多个第二沟槽14b。多个沟槽14在第一方向上并列配置，沿第二方向延伸且相互平行配置。沟槽14a、14b分别形成在致动器基座10的第二方向的整个长度上。即，沟槽14a、14b在喷嘴板20一侧及盖板30一侧开口。在各沟槽14a、14b的内表面底部及两侧面形成有作为第一电极的图案电极16。在本实施方式中各沟槽14a、14b的底部为第二区域10b。

第一沟槽14a的第二方向的两端在作为第一部件的框架部40a的内侧开口，并与共用室C3连通。另外，在与第一沟槽14a相对的位置设有喷嘴21。即，第一沟槽14a构成与共用室C3连通且与喷嘴21连通的压力室C1。

第二沟槽14b的第二方向的两端部在框架部40a内被盖板30覆盖。第二沟槽14b被封闭，构成与共用室C3及压力室C1分离的空气室C2。

在致动器基座10的一端侧中，层叠压电元件15配置在多个沟槽14之间。即，多个层叠压电元件15沿第一方向并列。各层叠压电元件15具备第一压电元件15a以及在第一压电元件15a上层叠的第二压电元件15b。

图案电极16是由镍等导电性材料18构成为预定形状的导电膜。图案电极16形成于成为第二区域10b的沟槽14a、14b的底面部。图案电极16具有形成在作为压力室的第一沟槽14a上的共用电极以及形成在作为空气室的第二沟槽14b上的单独电极。单独电极在沟槽14b的底部分离，以便分别驱动两侧的PZT。

图案电极16与作为配置在第二区域10b中的第二电极的布线图案电极17连接。例如通过真空蒸镀法或无电解镀镍法等方法在整个表面形成导电性材料18后，通过激光加工除去一部分电极而对图案电极16进行图案化。需要说明的是，虽然在本实施方式中图案电极16的材料使用镍，但是本发明不仅限于此。图案电极16可以由例如金或铜等形成，或者图案电极16也可以层叠两种以上的导电性膜。

需要说明的是，通过激光加工被图案化的图案电极16具有因激光加工时的热量而生成的金属材料的残渣和氧化膜、碳化膜等的变质部。例如图案的边缘部分形成有由残渣引起的凸起部。在此，作为成为第一区域10a的表面的主表面和作为第二区域10b的沟槽14的底面部以预定的角度连续。例如在本实施方式中，作为第一区域10a的表面的主表面与作为第二区域10b的沟槽14的底面部正交。

布线图案电极17是由例如与图案电极16相同的镍等导电性材料18形成的具有预定的图案形状的导电膜。布线图案电极17形成在作为致动器基座10的第一区域10a的主表面上。布线图案电极17被图案化成引出配置在沟槽底部的共用电极及单独电极并引导至驱动电路等的安装部预定形状。第一区域10a比第二区域10b大、布线数量多且图案形状复杂。通过例如真空蒸镀法或无电解镀法等方法形成图案电极16时，同时形成导电性材料18，布线图案电极17通过PEP法被图案化成预定的图案形状。需要说明的是，基板12的Z方向另一侧的一部分露出到框架部件的外侧。因此，能够通过FPC等方式将驱动电路连接到配置在该部位的布线图案电极17上。

喷嘴板20例如由厚度为10μm～100μm的聚酰亚胺薄膜形成为方形板状。在喷嘴板20上形成有具有在厚度方向上贯通的多个喷嘴21的喷嘴列。喷嘴板20相对配置成覆盖致动器基座10的一端侧的沟槽列14A的第二方向上的开口。喷嘴21分别设置在与多个压力室C1对应的位置。即，喷嘴板20具有与由第一沟槽14a构成的与压力室C1连通的喷嘴21，并封闭第二沟槽14b的开口。

盖板30由例如陶瓷、玻璃、DER(干膜抗蚀剂)等材料构成。盖板30是具有多个切口部31的方形板状部件。盖板30分别设置在致动器基座10的两端面上。

盖板30是方形板状部件，与喷嘴板侧的一个缘部中的与第一沟槽14a相对的部位形成为梳齿状。盖板30的缘部上形成有作为开口的多个切口部31。即，盖板30具有多个切口部31以及配置在切口部31之间的凸状的多个盖片32。多个切口部31与多个盖片32交替排列。盖片32的喷嘴板20侧的端面构成喷嘴相对面。切口部31贯通形成在作为Y轴方向的盖板30的厚度方向上。切口部31配置在与第一沟槽14a对应的位置上。因此，第一沟槽14a的第二方向的两端未被盖板30覆盖并且在框架部40a的内部开口。因此，由第一沟槽14a构成的压力室C1与在盖板30外侧形成的共用室C3连通，墨水等液体通过切口部31流入压力室C1。

另一方面，盖片32配置在与第二沟槽14b对应的位置上。因此，第二沟槽14b的第二方向的两端开口被盖板30的盖片32封闭，防止墨水流入。

即，在致动器基座10的一端侧交替构成有与共用室C3连通的压力室C1和封闭的空气室C2。

壳体部件40一体地具备构成为方形框状的框架部40a以及封闭框架部40a开口的板状的盖部40b。

框架部40a由主要成分为钛酸铝的陶瓷材料构成。框架部40a包围致动器基座10的外周并且覆盖致动器基座10的一部分区域的外周。具体地说，框架部40a具备一对与致动器基座10的第一方向的端面接合的板状第一框架件41以及一对在作为致动器基座10外表面的两个主表面上以预定距离分开配置的板状第二框架件42。在框架部40a和由盖板30覆盖的致动器基座10之间形成共用室C3。共用室C3形成在框架部40a及盖部40b的内侧，并通过盖板30的切口部31与压力室C1连通。共用室C3的第二方向的中央配置有沿第一方向延伸的层叠压电体13。框架部40a发挥引导墨水等液体的引导功能。框架部40a在图1中上方一侧的开口边缘的端面形成为喷嘴板20相对配置的喷嘴相对面。喷嘴相对面形成沿XY的平坦的表面。喷嘴相对面与致动器基座10的喷嘴相对面为同一平面，并与喷嘴板20的外周接合。在作为框架部40a的图1中下方的另一侧(喷嘴板20的相反侧)的作为开口边缘的端缘设有盖部40b。

盖部40b与框架部40a一体构成。盖部40b由主要成分为钛酸铝的陶瓷材料构成，与例如框架部40a的原料相同。盖部40b是具有供给口和排出口的矩形板状部件，所述供给口使墨水从外部流入共用室C3，所述排出口将墨水从共用室C3排出到外部。在供给口连接有供给流路133a，排出口处连接有回收流路133b。盖部40b封闭框架部40a的开口一侧，构成共用室C3。

由喷嘴板20、框架部40a和盖部40b，覆盖作为致动器基座10的喷嘴板20侧的一部分的致动器部分。此外，在致动器基座10中喷嘴板20的相反侧，在框架部40a及盖部40b的外侧延伸的一部分布线图案电极17上安装有驱动电路等各种电子元件。

在以上述方式构成的喷墨头1的框架部40a的内部形成有与喷嘴21连通的多个压力室C1、由盖板30封闭的多个空气室C2以及与多个压力室C1连通的共用室C3。喷墨头1使墨水在通过形成于内部的压力室C1及共用室C3的流路中循环。

以下，参照图9至图11对本实施方式的喷墨头1的制造方法进行说明。图9是表示本实施方式的喷墨头1的制造方法中图案化处理顺序的说明图。图10是表示PEP法的图案化处理以及形成的图案形状的说明图。图11是表示激光加工的图案化处理以及形成的图案形状的说明图。

本实施方式的喷墨头1的制造方法首先形成不具有沟槽14的致动器基座10。例如将板厚方向上极化的两个板状压电部件层叠成极化方向相互交错，并且将该层叠体切割成所需的宽度及长度以形成层叠压电体13。

进一步地，在与构成层叠压电体13的压电部件不同材质的板状基板12上使用粘接剂等粘贴层叠压电体13、实施使用切割锯或切片机等的机械加工来成形具有预定形状外形的致动器基座10。需要说明的是，例如可以在预先形成具有多张厚度的块状基底部件后进行分割，制造具有预定形状的多个致动器基座10。

接着，通过机械加工在致动器基座10的层叠压电体13上形成多个沟槽14。进一步地，在包括各沟槽14a、14b内部的致动器基座10的外表面的预定位置，例如通过真空蒸镀法或无电解镀镍法等方法，涂布构成图案电极16和布线图案电极17的导电性材料18，除去导电性材料18的一部分来图案化成预定的图案形状。

在图案化处理中，如图9所示，首先，通过PEP法对第一区域10a进行图案化以形成布线图案电极17，接着，通过激光加工形成图案电极16。具体地说，如图10所示，在第一区域10a中通过真空蒸镀法或无电解镀镍法等方法涂布导电性材料18形成导电膜之后，涂布抗蚀剂101、通过曝光、显影剥离电极使剥离部18a露出，并且通过蚀刻处理沿预定的图案形状除去导电膜。

第一区域10a的图案化完成后，如图11所示，通过激光加工对第二区域10b进行图案化以形成图案电极16。具体地说，在构成空气室的沟槽14b的底部，在不需要电极的除去部18b例如扫描皮秒激光以除去电极，使电极分离以构成单独电极。其中，在除去了电极的除去部18b的周围，即在图案电极16的边缘部分，由于激光加工的热量而形成变质部19。变质部19具有例如由于在激光加工中对电极材料施加高热而产生的残渣导致金属层局部变厚的隆起部、氧化膜、碳化膜中的至少一个。需要说明的是，在第一区域10a的布线图案电极17上没有形成这种变质部。综上所述，分别以不同的方法对连续的第一区域10a和第二区域10b依次进行图案化。需要说明的是，在第一区域10a和第二区域10b的边界的角部，由于在激光加工之前已经通过PEP法除去了剥离部18a的电极，因此在边界部不会产生伴随激光加工的残渣。

接着，在致动器基座10的两个表面粘贴盖板30。例如在本实施方式中，切口部31配置在与第一沟槽14a相对的位置，第二沟槽14b被盖片32覆盖。

此外，在盖板30的外侧配置框架部40a，配置盖部40b以覆盖共用室C3，组装并接合固定这些框架部40a及盖部40b，从而构成壳体部件40。

进一步地，在致动器基座10粘接安装喷嘴板20以覆盖沟槽14a、14b。这时，喷嘴21与第一沟槽14a相对配置，喷嘴板20安装在封闭第二沟槽14b的位置。进一步地，如图1所示，将驱动IC芯片52和电路基板53经由柔性电缆51连接到基板12的主表面上形成的布线图案电极17，由此喷墨头1完成。

接着，参照图13对具有喷墨头1的喷墨打印机100进行说明。图13是表示喷墨打印机100的构成的说明图。如图13所示，喷墨打印机100具备框体111、介质供给部112、图像形成部113、介质排出部114、输送装置115、以及控制部116。

喷墨打印机100是如下液体喷出装置：沿着从介质供给部112起通过图像形成部113直至介质排出部114的预定输送通路A1，输送作为记录介质的喷出对象例如纸张P并喷出墨水等液体，由此对纸张P进行图像形成处理。

介质供给部112具备多个供纸盒112a。介质排出部114具备出纸盘114a。图像形成部113具备用于支承纸张的支承部117以及相互相对地设置在支承部117上方的多个头单元130。

支承部117具备以环状设置在进行形成图像的预定区域的输送带118、从背面支承输送带118的支承板119、以及设置在输送带118背面的多个带辊120。

头单元130具备多个喷墨头1、分别搭载在各个喷墨头1上的作为液体容器的多个墨水盒132、连接喷墨头1和墨水盒132的连接流路133、以及作为循环部的循环泵134。头单元130是使液体循环的循环型头单元。

在本实施方式中，作为喷墨头1具备青色、品红色、黄色、黑色的四色喷墨头1C、1M、1Y、1B，作为分别收容这些各种颜色的墨水的墨水盒132具备墨水盒132C、132M、132Y、132B。墨水盒132通过连接流路133与喷墨头1连接。连接流路133具备与喷墨头1的供给口连接的供给流路133a以及与喷墨头1的排出口连接的回收流路133b。

此外，在墨水盒132连结有未图示的泵等负压控制装置。并且，对应于喷墨头1和墨水盒132的液压头压力，利用负压控制装置对墨水盒132内进行负压控制，由此可将供给到喷墨头1的各喷嘴的墨水形成为预定形状的弯月面。

循环泵134是由例如压电泵构成的送液泵。循环泵134设置于供给流路133a。循环泵134通过布线连接到控制部116的驱动电路。CPU(Central Processing Unit)116a能够控制循环泵134。循环泵134使液体在具备喷墨头1和墨水盒132的循环流路中循环。

输送装置115沿着从介质供给部112的供纸盒112a通过图像形成部113直至介质排出部114的出纸盘114a的输送通路A1输送纸张P。输送装置115具备沿输送通路A1配置的多个引导板对121a～121h以及多个输送用辊122a～122h。

控制部116具备作为控制器的CPU116a、存储各种程序等的ROM(Read OnlyMemory)、临时存储各种可变数据和图像数据等的RAM(Random Access Memory)、以及输入来自外部的数据和向外部输出数据的接口部。

在喷墨头1及喷墨打印机100中，进行从喷嘴21喷出液体的驱动时，控制部116通过驱动电路经由布线图案电极17施加驱动电压。如果通过施加电压向驱动的压力室C1内的电极和两个相邻的空气室C2的电极提供电位差，则第一压电元件15a和第二压电元件15b向相互相反的朝向变形，由于两个压电元件的变形，驱动元件弯曲变形。例如，如图3所示，首先，通过使驱动的压力室C1向打开方向变形而使压力室C1内为负压，将墨水从切口部31引导到压力室C1。接着，如图4所示，通过使压力室C1向关闭方向变形来对压力室C1内进行加压，使墨水滴从喷嘴21喷出。

根据本实施方式的喷墨头1及喷墨打印机100，通过PEP法对第一区域10a进行图案化，形成没有变质部的布线图案电极17，然后在第二区域10b中通过激光加工进行图案化，形成具有变质部的图案电极16。因此，在具有与外部连接的驱动电路等的安装部的较大范围内作为复杂的布线形状的第一区域10a中，PEP(涂布抗蚀剂、曝光、显影、蚀刻、抗蚀剂剥离)法能够以高精度低成本的方式制造。另一方面，通过利用激光加工形成简单形状的图案电极16，能够通过简单且高速的处理进行低成本加工。

另外，在喷墨头1中，由于在激光加工之前通过PEP法除去了第一区域10a和第二区域10b的边界部位的电极，因此在边界部位很难形成变质部。例如作为比较对象，如图12所示，如果先进行激光加工，则在激光加工中对电极材料施加高热，因此产生毛刺而形成局部金属层变厚的凸起部、氧化层、或者在由多个金属构成的电极中形成合金层等变质部。因此，如果与PEP处理相比先实施激光加工，则PEP处理时边界部存在厚的区域和氧化膜，因此在与其他部分相同的条件下不能进行蚀刻，并且残渣残留会导致短路。由于要求电极材料具有密合性、导电性、耐腐蚀性等，因此通常层叠多个金属膜，在这种情况下，有时进一步通过激光形成合金层，使得蚀刻变得困难。因此，如果在激光加工后进行PEP法，则未被蚀刻而变成为残渣的金属膜增多，从而成为不良的原因。对此，在本实施方式的喷墨头1的制造方法中，在激光加工之前先通过PEP法除去电极，从而能够防止残渣的产生。

根据上述实施方式，能够提供一种易于制造的液体喷出头及液体喷出装置。

需要说明的是，本发明不仅限于上述实施方式，在实现阶段只要在不脱离其宗旨的范围内，均可以将构成要素变形而具体化。

在上述实施方式中，虽然图中举例表示了基板12的端缘部分配置有具有沟槽列14A的层叠压电体13，但本实施方式并不仅限于此。另外，喷嘴列的数量也不仅限于上述实施方式，可以作为两列以上的构成。

例如其他实施方式的喷墨头201，如图14所示，在基板21上形成有层叠压电体213。喷墨头201具备基座210、具有多个喷嘴221的喷嘴板220、以及框架部件240。在本实施方式中，第一区域10a为基板212的上表面，第二区域10b为基板212上形成的层叠压电体213的沟槽的底面。因此，在本实施方式中，第一区域10a和第二区域10b通过台阶连续且都面向同一方向。

基座210具备基板212以及设置在基板212上的层叠压电体213。层叠压电体213具有具备第一沟槽214a以及第二沟槽214b的两列沟槽列214A，还具有在第一方向上排列的多个压电元件部215。

基板212是一种具有供给口218a和排出口218b的矩形板状部件，所述供给口218a使墨水从外部流入共用室C3，所述排出口218b将墨水从共用室C3排出到外部。基座210上相对配置有喷嘴板220，基座210及喷嘴板220之间配置有框架部件240，从而在喷墨头201内形成共用室C3。

第一沟槽214a在作为第二方向的Y方向的两端开口，构成与共用室C3连通的压力室C1。第二沟槽214b在Y方向的两端部被封闭，构成空气室C2。沟槽214a、214b的内表面分别形成有图案电极16。具体地说，作为图案电极16，在第一沟槽214a的内壁形成有共用电极，在第二沟槽214b的内壁形成有单独电极。

在基板212上形成有布线图案电极217。在本实施方式中，作为布线图案电极217形成有共用布线和单独布线。共用布线在基板212上从第一沟槽214a延伸并连接到共用电极。单独布线在基板212上从第二沟槽214b延伸并连接到单独电极。

其他构成与第一实施方式涉及的喷墨头1相同。例如喷墨头201设置于图13所示的喷墨打印机100，供给口218a与供给流路133a连接，排出口218b与回收流路133b连接。

在本实施方式中，与上述第一实施方式相同，在通过PEP法对第一区域进行图案化后，通过激光加工对第二区域进行图案化，由此能够提供易于制造的液体喷出头及液体喷出装置。

上述实施方式中举例说明了所谓的侧射型喷墨头1，但是本发明不限于此。作为其它实施方式也可以应用于端部喷射型喷墨头。端部喷射型喷墨头的具备喷嘴的喷嘴板配置在致动器基座的第二方向的端部。其它构成与第一实施方式的喷墨头1相同。在本实施方式中也取得了与上述第一实施方式相同的效果。

另外，上述实施方式举例说明了在基板12上具备由压电部件构成的层叠压电体13的致动器基座10，但是本发明不仅限于此。例如也可以不使用基板仅由压电部件来形成致动器基座10。此外，也可以不用两个压电部件而作为一个压电部件。

上述实施方式中举例说明了所谓的侧射型喷墨头1，但是本发明不限于此。例如也可以应用于端部喷射型喷墨头。例如，也可以构成为利用作为第一部件的板状部件来封闭具有在两个不同方向开口的沟槽的梳齿状致动器基座的预定方向，所述预定方向与喷嘴板相对的面不同。

例如，喷出的液体不仅限于印刷用的墨水，也可以是喷出包括用于形成例如印刷线路板的布线图案的导电颗粒的液体的装置等。

此外，在上述实施方式中，举例说明了喷墨头用于喷墨记录装置等液体喷出装置的情况，但是本发明并不仅限于此，也可以用于例如3D打印机、工业制造机械、医疗用途等，能够实现小型轻量化和低成本化。

通过上述至少一个实施方式，能够提供易于制造的液体喷出头及液体喷出装置。

此外，虽然说明了几个实施方式，但这些实施方式只是作为示例而提出的，并非旨在限定发明的范围。这些实施方式能够以其他各种方式进行实施，能够在不脱离发明的宗旨的范围内进行各种省略、替换、变更。这些实施方式及其变形被包括在发明的范围和宗旨中，同样地被包括在权利要求书所记载的发明及其均等的范围内。

Claims (10)

1.一种液体喷出头，具备基部，其特征在于，

所述基部具有：

第一区域，具有第一电极；以及

第二区域，与所述第一区域连续且具有多个沟槽，并且在所述沟槽的内表面具有与所述第一电极连接且具有变质部的第二电极。

2.根据权利要求1所述的液体喷出头，其特征在于，

所述第一区域配置在所述基部的表面，

所述第二区域为在所述基部的与所述表面连续的面上形成的多个所述沟槽的底部，

多个所述沟槽的至少一部分构成压力室，

所述变质部具有金属材料的残渣、氧化膜、碳化膜、合金层中的至少任一方。

3.根据权利要求1所述的液体喷出头，其特征在于，

所述第一区域比所述第二区域大且布线数量多。

4.一种液体喷出头的制造方法，其特征在于，具备如下步骤：

在第一区域中，通过蚀刻处理对电极进行图案化，形成第一电极，

在与所述第一区域连续且具有多个沟槽的第二区域中，通过激光加工对电极进行图案化，形成与所述第一电极连接的第二电极。

5.根据权利要求4所述的液体喷出头的制造方法，其特征在于，

所述第一区域比所述第二区域大且布线数量多。

6.一种液体喷出装置，其特征在于，具备：

具备基部的液体喷出头，所述基部具有：第一区域，具有第一电极；以及第二区域，所述第二区域具有多个沟槽并且在所述沟槽的内表面具有与所述第一电极连接且具有变质部的第二电极；以及

输送装置，沿着预定的输送通路输送介质。

7.根据权利要求6所述的液体喷出装置，其特征在于，

所述第一区域配置在所述基部的表面，

所述第二区域为在所述基部的与所述表面连续的面上形成的多个所述沟槽的底部，

多个所述沟槽的至少一部分构成压力室，

所述变质部具有金属材料的残渣、氧化膜、碳化膜、合金层中的至少任一方。

8.根据权利要求6所述的液体喷出装置，其特征在于，

所述第一区域比所述第二区域大且布线数量多。

9.根据权利要求6所述的液体喷出装置，其特征在于，

所述液体喷出装置还具备框体、介质供给部以及介质排出部。

10.根据权利要求6所述的液体喷出装置，其特征在于，

所述液体喷出装置还具备控制部。

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