CN112103219A - 一种硅片插片机用的供片机构 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种硅片插片机用的供片机构，包括底板、C形支架、传送机构、取料机构、举升机构、固定盘、转动机构、供料机构、限位机构、换位机构，所述底板的上侧侧壁固定连接有用于对所述取料机构进行支撑的C形支架，所述底板靠近取料机构的位置固定连接有用于对硅片进行运输的所述传送机构，所述底板远离所述传送机构的位置通过支撑架固定连接有用于对所述转动机构提供支撑作用的固定盘。通过槽轮盘带动转盘转动，实现转盘上六个工位间的转换，从而提高硅片的生产效率；通过供料机构对料盒进行供料，可以减少工人的劳动强度，只需保证上料箱内保持充足的硅片即可，同时限位机构保证了供料机构供料时的精度。

Description

一种硅片插片机用的供片机构

技术领域

本发明涉及硅片生产制造设备领域，具体的说是一种硅片插片机用的供片机构。

背景技术

在现有的技术中单晶硅通过线切、脱胶清洗及碱腐工序后，需要手动作业将硅片插入到硅片装载装置中，以便进行下道清洗作业，手动分片、插片会造成硅片污染，并且在作业中极易发生破片，同时手工作业严重的减慢了生产效率，不能实现连续性的生产。

发明内容

本发明的目的在于提供一种硅片插片机用的供片机构，以解决实际生产中存在的上述技术问题。

为解决上述技术问题，本发明具体提供下述技术方案：一种硅片插片机用的供片装置，包括底板、C形支架、传送机构、取料机构、举升机构、固定盘、转动机构、供料机构、限位机构、换位机构，所述底板的上侧侧壁固定连接有用于对所述取料机构进行支撑的C形支架，所述底板靠近取料机构的位置固定连接有用于对硅片进行运输的所述传送机构，所述底板远离所述传送机构的位置通过支撑架固定连接有用于对所述转动机构提供支撑作用的固定盘，所述固定盘的侧壁转动连接有用于提供硅片的转动机构，所述固定盘的上侧侧壁固定连接有用于对转动机构进行供料的供料机构，所述底板与所述供料机构位于同一轴线的位置固定连接有用于对转动机构进行限位作用的限位机构，所述转动机构的上侧侧壁固定连接有多个对所述转动机构进行换位的换位机构。

具体的，所述取料机构包括驱动电机、槽轮盘、气缸、移动板、吸盘和滑槽，所述驱动电机固定连接于所述C形支架的上侧侧壁，所述驱动电机的输出端贯穿所述C形支架的上侧侧壁并与所述槽轮盘的上侧侧壁固定连接，所述槽轮盘的侧壁均匀开设有六个所述滑槽，相邻两个滑槽之间的所述槽轮盘的上侧侧壁均固定连接有所述气缸，所述气缸的伸缩端贯穿所述槽轮盘的侧壁并与所述移动板的上侧壁固定连接，所述吸盘贯穿所述移动板与所述槽轮盘并与外接气泵固定连接。

具体的，所述举升机构包括推杆电机、保持架和顶板，所述保持架固定连接于所述底板的上侧侧壁上，所述推杆电机固定连接于所述保持架的下侧壁，所述推杆电机的伸缩端贯穿所述保持架的顶部侧壁并与所述顶板的下侧壁固定连接设置，所述推杆电机并与控制器电性连接。

具体的，所述转动机构包括转盘、限位架、料盒和挡块，所述转盘与所述固定盘的侧壁转动连接设置，所述转盘的上侧面前其周向方向均匀设有六个所述限位架，所述转盘靠近所述限位架的侧壁开设有矩形开口，所述矩形开口的内侧侧壁滑动连接有所述料盒，所述料盒的两侧侧壁均固定连接有所述挡块。

具体的，所述供料机构包括电机、固定板、螺杆、推料块、上料箱、L形支撑架、阻尼器、固定杆、弹簧和挤压板，所述固定盘靠近所述取料机构的上侧侧壁固定连接有所述固定板，所述固定板的一侧侧壁固定连接有所述电机，所述电机的输出端贯穿所述固定板的侧壁并固定连接有所述螺杆，所述螺杆螺纹连接有所述推料块，所述推料块为矩形中空结构设置，所述固定盘的上侧侧壁通过所述L形支撑架固定连接有所述上料箱，所述固定盘靠近所述上料箱下端的侧壁上固定连接有所述阻尼器，所述推料块靠近所述电机的一侧侧壁固定连接有所述固定杆，所述固定杆的另一端插设于所述挤压板内部，所述固定杆的外侧侧壁套设有弹簧，所述弹簧的一端与所述挤压板的侧壁相抵，所述弹簧的另一端与所述推料块的侧壁相抵，所述推料块与所述上料箱的宽度相匹配。

具体的，所述限位机构包括固定块、支撑板、滑动杆、顶簧和卡块，所述固定块均匀设置在所述转盘的外侧侧壁上，且数量为6个，所述固定块与所述料盒的中心线位于同一直线上，所述底板靠近所述供料机构的位置固定连接有所述支撑板，所述支撑板靠近其上端的一侧侧壁开设有两个通孔，两个通孔内滑动连接有所述滑动杆，所述滑动杆靠近所述固定块的一端固定连接有所述卡块，所述滑动杆的外侧侧壁套设有顶簧，所述顶簧的一端与所述卡块的侧壁相抵，所述固定块、卡块与所述供料机构位于同一轴线设置，所述固定块与卡块均做有圆角处理，所述卡块靠近转盘的一侧设有与固定块相匹配的凹槽。

具体的，所述换位机构包括固定管、移动杆、肋板、滑杆、复位弹簧、移动块、斜块、斜槽、滑动块和伸缩杆，相邻两个限位架之间均设有固定管且固定管的下端与转盘的上侧壁固定连接，所述移动杆插设于所述固定管的内部，所述移动杆靠近其顶部的侧壁上固定连接有两个滑动块，所述转盘靠近所述固定管的上侧侧壁固定连接有所述肋板，所述肋板的上侧侧壁开设有滑孔，所述滑孔内滑动连接有所述滑杆，所述滑杆的一端固定连接有所述移动块，所述滑杆的外侧侧壁套设有所述复位弹簧，所述复位弹簧的一端与所述移动块的侧壁相抵，所述移动块为中空结构设置，所述移动块靠近两个滑动块的两侧侧壁均对称开设有所述斜槽，所述滑动块的一端插设在斜槽中并与其滑动连接，所述移动块靠近所述限位架的一侧侧壁一体成型有斜块，所述移动杆靠近其顶部的外侧侧壁均匀开设有四个通孔，四个通孔内分别滑动连接有所述伸缩杆，所述伸缩杆的水平高度高于所述移动块上侧侧壁的高度。

具体的，所述传送机构包括传送带、辊轮、皮带、传送电机，两个辊轮通过支撑架与底板之间转动连接设置，两个辊轮的外侧侧壁套设有传送带，所述底板的上侧侧壁固定连接有所述传送电机，其中一个所述辊轮通过皮带与所述传送电机的输出端进行传动连接。

具体的，所述限位架的一侧上端侧壁固定连接有第二橡胶条，所述转盘靠近所述限位架的上侧侧壁固定连接有抵板，所述抵板的侧壁滑动连接有滑动柱，所述滑动柱的一端固定连接有限位板，所述限位板远离所述限位架的一侧侧壁为斜面设置，所述滑动柱的外侧侧壁套设有伸缩弹簧，所述限位板的上端侧壁固定连接有第一橡胶条，所述第一橡胶条的水平高度低于所述第二橡胶条的水平高度。

与现有技术相比，本发明的技术方案具有如下优点。

1、本发明所述的一种硅片插片机用的供片装置，供料处的优点：供料机构与限位机构的配合使用，当上料箱中的硅片堆叠在阻尼器上，并通过推料块向限位架中推送时，挤压板先与限位板接触，由于限位板与抵板之间通过滑动柱滑动连接，所以随着挤压板向着限位架的方向移动，将使得限位板相背移动，此时硅片在推料块的推动下进入到料盒中，当推料完成后，推料块复位，接着挤压板复位，且随着推料块的回移，多个阻尼器依次上升至与推料块高度一致，当推料块完全复位后，上料箱中的硅片将完全落到阻尼器上，并挤压阻尼器，使其缓慢下降直至硅片的最下侧与固定盘上表面平齐，通过阻尼器的设置，使得硅片可以从推料块上缓慢的下落至固定盘上，避免硅片下落速度过快造成损坏，限位板的设置，使得转盘在转动的过程中，通过限位板可以避免硅片转动时从限位架中甩出；与此同时，在硅片推向限位架的过程中，由于固定块与卡块位于同一轴线上，使得推料块推动硅片的推力方向与固定块与卡块的受力方向一致，此时固定块与卡块抵紧，使得转盘被锁紧，转盘无法转动，从而提高硅片进入限位架中的精度。

2、本发明所述的一种硅片插片机用的供片装置，举升处的优点：举升机构与限位机构的配合使用，随着推杆电机推动顶板的不断上升，硅片被吸盘吸取，与此同时料盒不断上移，随着料盒的上移，料盒两端的挡块将与斜块相抵，并挤压斜块向肋板的方向移动，由于移动杆上对称设有滑动块，且滑动块与移动块上的斜槽滑动连接，使得随着斜块向肋板的方向移动时，移动杆将不断的上移，直至移动杆上插入到槽轮盘上开设的滑槽中，通过移动杆上的伸缩杆上升至槽轮盘上滑槽的上方被卡住，此时槽轮盘与转盘之间通过移动杆连接成一体，当硅片被吸盘吸完后，推杆电机反转带动顶板复位，驱动电机带动槽轮盘和与其通过移动杆卡接的转盘转动60°，使得下一个装满硅片的料盒转动至举升机构的上方，同时空的料盒转动至供料机构处，由于转盘转动的角度为60°，此时移动杆在转动60°后，可以从吸取机构中自动脱离，完成工位的切换，不需要人工参与，与此同时，固定块与料盒的中心线位于同一直线上，使得在举升时，转盘侧壁上的固定块与卡块相卡接，可以避免转盘转动，从而保证举升时，硅片稳定上移。

3、本发明所述的一种硅片插片机用的供片装置，吸盘取料的优点：举升机构与限位架的配合使用，随着推杆电机推动料盒不断的上升，当第一个硅片上升一个厚度时，硅片的右端与限位板上设置的第一橡胶条接触，并被向左端挤压，再上升一个硅片的厚度时，此时第一个硅片的左端与设置于限位架上的第二橡胶条接触，并被向右端挤压，而第二个硅片的右端与限位板上设置的第一橡胶条接触，并被向左端挤压，此时两个硅片受到不同方向的力，形成错开，从而使吸取时两个硅片是分开的，不会出现两个硅片同时被吸取的情况发生。

附图说明

图1为本发明提供的硅片插片机用的供片装置的一种较佳实施例的整体结构的左视结构示意图。

图2为本发明提供的硅片插片机用的供片装置的一种较佳实施例的整体结构的右视结构示意图。

图3为本发明提供的硅片插片机用的供片装置的一种较佳实施例的整体结构的前视结构示意图。

图4为本发明提供的硅片插片机用的供片装置的一种较佳实施例的整体结构的后视结构示意图。

图5为本发明提供的硅片插片机用的供片装置的一种较佳实施例的整体结构的俯视结构示意图。

图6为图1中的A处结构放大图。

图7为图2中的B处结构放大图。

图8为图3中的C处结构放大图。

图9为图8中的D处结构放大图。

其中：1底板、2 C形支架、3传送机构、301传送带、302辊轮、303皮带、304传送电机、4取料机构、401驱动电机、402槽轮盘、403气缸、404移动板、405吸盘、406滑槽、5举升机构、501推杆电机、502保持架、503顶板、6固定盘、7转动机构、701转盘、702限位架、703料盒、704挡块、8供料机构、801电机、802固定板、803螺杆、804推料块、805上料箱、806 L形支撑架、807阻尼器、808固定杆、809弹簧、810挤压板、9限位机构、901固定块、902支撑板、903滑动杆、904顶簧、905卡块、10换位机构、101固定管、102移动杆、103肋板、104滑杆、105复位弹簧、106移动块、107斜块、108斜槽、109滑动块、110伸缩杆、11第一橡胶条、12第二橡胶条、13抵板、14滑动柱、15限位板。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

如图1-9所示，本发明所述的一种硅片插片机用的供片装置，包括底板1、C形支架2、传送机构3、取料机构4、举升机构5、固定盘6、转动机构7、供料机构8、限位机构9、换位机构10，底板1的上侧侧壁固定连接有用于对取料机构4进行支撑的C形支架2，底板1靠近取料机构4的位置固定连接有用于对硅片进行运输的传送机构3，底板1远离传送机构3的位置通过支撑架固定连接有用于对转动机构7提供支撑作用的固定盘6，固定盘6的侧壁转动连接有用于提供硅片的转动机构7，固定盘6的上侧侧壁固定连接有用于对转动机构7进行供料的供料机构8，底板1与供料机构8位于同一轴线的位置固定连接有用于对转动机构7进行限位作用的限位机构9，转动机构7的上侧侧壁固定连接有多个对其进行换位的换位机构10。

参阅图1和图6，具体的，取料机构4包括驱动电机401、槽轮盘402、气缸403、移动板404、吸盘405和滑槽406，驱动电机401固定连接于C形支架2的上侧侧壁，驱动电机401的输出端贯穿C形支架2的上侧壁并与槽轮盘402的上侧壁固定连接，槽轮盘402的侧壁均匀开设有六个滑槽406，设置六个滑槽406的好处在于将槽轮盘402均分成6个部分，当槽轮盘402转动时，能够带动与其通过移动杆102卡接的转盘701转动60°，使得下一个装满硅片的料盒703转动至举升机构5的上方，同时空的料盒703转动至供料机构8处，由于转盘701转动的角度为60°，此时移动杆102在转动60°后，其运动轨迹刚好从取料机构4中自动脱离，从而完成工位的转换，此时槽轮盘402与转盘701脱开，断开连接的整个过程中不需要人工参与，实现自动化，相邻两个滑槽406之间的槽轮盘402的上侧侧壁均固定连接有气缸403，气缸403的伸缩端贯穿槽轮盘402的侧壁并与移动板404的上侧壁固定连接，吸盘405贯穿移动板404和槽轮盘402并与外接气泵固定连接，便于对硅片进行吸取。

参阅图1和图4，具体的，举升机构5包括推杆电机501、保持架502和顶板503，保持架502固定连接于底板1的上侧侧壁上，推杆电机501固定连接于保持架502的下侧壁，便于提高推杆电机501的稳定性，推杆电机501的伸缩端贯穿保持架502的顶部侧壁并与顶板503的下侧壁固定连接设置，通过推杆电机501推动顶板503的移动，从而实现料盒703对取料机构4的供料，推杆电机501并与控制器电性连接，便于推动料盒703对取料机构4进行供料，通过控制器控制顶板503的上移距离，使得最后一个硅片吸取结束后，推杆电机501反转带动顶板503复位，与此同时在举升的过程中，固定块901与料盒703的中心线位于同一直线上，使得料盒703被举升时，转盘701侧壁上的固定块901与卡块905相卡接，可以避免转盘701转动，从而保证举升时硅片稳定上移。

参阅图1，具体的，转动机构7包括转盘701、限位架702、料盒703和挡块704，转盘701与固定盘6的侧壁转动连接设置，转盘701的上侧面沿其周向方向均匀设有六个限位架702，便于料盒703的移动，转盘701靠近限位架702的侧壁开设有矩形开口，矩形开口的内侧侧壁滑动连接有料盒703，料盒703的两侧侧壁均固定连接有挡块704，设置挡块704，使得在料盒703的上升过程中，带动挡块704上升，当挡块704与斜块107接触后，将推动斜块107移动，进而为移动杆102提供动力，不需要添加额外的动力装置。

参阅图8，具体的，供料机构8包括电机801、固定板802、螺杆803、推料块804、上料箱805、L形支撑架806、阻尼器807、固定杆808、弹簧809和挤压板810，固定盘6靠近取料机构4的上侧侧壁固定连接有固定板802，固定板802的一侧侧壁固定连接有电机801，电机801通过螺杆803带动推料块804向限位架702移动，从而将上料箱805中堆叠在阻尼器807上的硅片推动到料盒703中，电机801的输出端贯穿固定板802的侧壁并固定连接有螺杆803，螺杆803螺纹连接有推料块804，推料块804为矩形中空结构设置，固定盘6的上侧侧壁通过L形支撑架806固定连接有上料箱805，固定盘6靠近上料箱805下端的侧壁上固定连接有阻尼器807，随着推料块804的回移，多个阻尼器807依次上升至与推料块804高度一致，当推料块804完全复位后，上料箱805中的硅片将完全落到阻尼器807上，并挤压阻尼器807，使其缓慢下降直至硅片的最下侧与固定盘6上表面平齐，通过阻尼器807的设置，使得硅片可以从推料块804上缓慢的下落至固定盘6上，避免硅片下落速度过快造成损坏，推料块804靠近电机801的一侧侧壁固定连接有固定杆808，固定杆808的另一端插设于挤压板810内部，固定杆808的外侧侧壁套设有弹簧809，弹簧809的一端与挤压板810的侧壁相抵，弹簧809的另一端与推料块804的侧壁相抵，推料块804与上料箱805的宽度相匹配。

参阅图2和图7，具体的，限位机构9包括固定块901、支撑板902、滑动杆903、顶簧904和卡块905，固定块901均匀设置在转盘701的外侧侧壁上，且数量为6个，可以使转盘701每转动60°都可以与卡块905相卡接，固定块901与料盒703的中心线位于同一直线上，使得在举升时，转盘701侧壁上的固定块901与卡块905相卡接，可以避免转盘701转动，从而保证举升时硅片稳定上移，底板1靠近供料机构8的位置固定连接有支撑板902，支撑板902靠近其上端的一侧侧壁开设有两个通孔，两个通孔内滑动连接有滑动杆903，滑动杆903靠近固定块901的一端固定连接有卡块905，滑动杆903的外侧侧壁套设有顶簧904，顶簧904的一端与卡块905的侧壁相抵，固定块901、卡块905与供料机构8位于同一轴线设置，固定块901与卡块905均做有圆角处理，卡块905靠近转盘701的一侧设有与固定块901相匹配的凹槽。

参阅图9，具体的，换位机构10包括固定管101、移动杆102、肋板103、滑杆104、复位弹簧105、移动块106、斜块107、斜槽108、滑动块109和伸缩杆110，相邻两个限位架702之间均设有固定管101且固定管101的下端与转盘701的上侧壁固定连接，移动杆102插设于固定管101的内部，移动杆102靠近其顶部的侧壁上固定连接有两个滑动块109，转盘701靠近固定管101的上侧侧壁固定连接有肋板103，肋板103的上侧侧壁开设有滑孔，滑孔内滑动连接有滑杆104，滑杆104的一端固定连接有移动块106，滑杆104的外侧侧壁套设有复位弹簧105，复位弹簧105的一端与移动块106的侧壁相抵，当复位弹簧105被压缩后，复位弹簧105的弹性便于对移动块106进行复位，移动块106为中空结构设置，移动块106靠近两个滑动块109的两侧侧壁均对称开设有斜槽108，由于这种方式的设置，使得随着斜块107向肋板103的方向移动时，移动杆102将不断的上移，便于滑动块109的滑动，从而使移动杆102进行移动，滑动块109的一端插设在斜槽108中并与其滑动连接，移动块106靠近限位架702的一侧侧壁一体成型有斜块107，移动杆102靠近其顶部的外侧侧壁均匀开设有四个通孔，便于伸缩杆110的滑动，四个通孔内分别滑动连接有伸缩杆110，通过移动杆102上的伸缩杆110上升至槽轮盘402上滑槽406的上方被卡住，此时槽轮盘402与转盘701之间通过移动杆102连接成一体，便于槽轮盘402带动转盘701进行工位的切换，伸缩杆110的水平高度高于移动块106上侧侧壁的高度，防止移动杆102从滑槽406内脱落。

参阅图1，具体的，传送机构3包括传送带301、辊轮302、皮带303、传送电机304，两个辊轮302通过支撑架与底板1之间转动连接设置，两个辊轮302的外侧侧壁套设有传送带301，底板1的上侧侧壁固定连接有传送电机304，其中一个辊轮302通过皮带303与传送电机304的输出端进行传动连接。

具体的，限位架702的一侧上端侧壁固定连接有第二橡胶条12，转盘701靠近限位架702的上侧侧壁固定连接有抵板13，抵板13的侧壁滑动连接有滑动柱14，滑动柱14的一端固定连接有限位板15，限位板15的设置，使得转盘701在转动的过程中，通过限位板15可以避免硅片转动时从限位架702中甩出，当推料块804向限位架702中推送时，挤压板810先与限位板15接触，由于限位板15与抵板13之间通过滑动柱14滑动连接，所以随着挤压板810向着限位架702的方向移动，将使得限位板15相背移动，此时硅片在推料块804的推动下进入到料盒703中，与此同时，在硅片推向限位架702的过程中，由于固定块901与卡块905位于同一轴线上，使得推料块804推动硅片的推力方向与固定块901与卡块905的受力方向一致，此时固定块901与卡块905抵紧，使得转盘701被锁紧，转盘701无法转动，从而提高硅片进入限位架702中的精度，限位板15远离限位架702的一侧侧壁为斜面设置，滑动柱14的外侧侧壁套设有伸缩弹簧，限位板15的上端侧壁固定连接有第一橡胶条11，第一橡胶条11的水平高度低于第二橡胶条12的水平高度，随着推杆电机501推动料盒703不断的上升，当第一个硅片上升一个厚度时，硅片的右端与限位板15上设置的第一橡胶条11接触，并被向左端挤压，再上升一个硅片的厚度时，此时第一个硅片的左端与设置于限位架702上的第二橡胶条12接触，并被向右端挤压，而第二个硅片的右端与限位板15上设置的第一橡胶条11接触，并被向左端挤压，此时两个硅片受到不同方向的力，形成错开，从而使吸取时两个硅片是分开的，不会出现两个硅片同时被吸取的情况发生。

以上仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (9)

1.一种硅片插片机用的供片机构，其特征在于：包括底板（1）、C形支架（2）、传送机构（3）、取料机构（4）、举升机构（5）、固定盘（6）、转动机构（7）、供料机构（8）、限位机构（9）、换位机构（10），所述底板（1）的上侧侧壁固定连接有用于对所述取料机构（4）进行支撑的C形支架（2），所述底板（1）靠近取料机构（4）的位置固定连接有用于对硅片进行运输的所述传送机构（3），所述底板（1）远离所述传送机构（3）的位置通过支撑架固定连接有用于对所述转动机构（7）提供支撑作用的固定盘（6），所述固定盘（6）的侧壁转动连接有用于提供硅片的转动机构（7），所述固定盘（6）的上侧侧壁固定连接有用于对转动机构（7）进行供料的供料机构（8），所述底板（1）与所述供料机构（8）位于同一轴线的位置固定连接有用于对转动机构（7）进行限位作用的限位机构（9），所述转动机构（7）的上侧侧壁固定连接有多个对所述转动机构（7）进行换位的换位机构（10）。

2.根据权利要求1所述的一种硅片插片机用的供片机构，其特征在于：所述取料机构（4）包括驱动电机（401）、槽轮盘（402）、气缸（403）、移动板（404）、吸盘（405）和滑槽（406），所述驱动电机（401）固定连接于所述C形支架（2）的上侧侧壁，所述驱动电机（401）的输出端贯穿所述C形支架（2）的上侧侧壁并与所述槽轮盘（402）的上侧侧壁固定连接，所述槽轮盘（402）的侧壁均匀开设有六个所述滑槽（406），相邻两个滑槽（406）之间的所述槽轮盘（402）的上侧侧壁均固定连接有所述气缸（403），所述气缸（403）的伸缩端贯穿所述槽轮盘（402）的侧壁并与所述移动板（404）的上侧壁固定连接，所述吸盘（405）贯穿所述移动板（404）与所述槽轮盘（402）并与外接气泵固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种硅片插片机用的供片机构，其特征在于：所述举升机构（5）包括推杆电机（501）、保持架（502）和顶板（503），所述保持架（502）固定连接于所述底板（1）的上侧侧壁上，所述推杆电机（501）固定连接于所述保持架（502）的下侧壁，所述推杆电机（501）的伸缩端贯穿所述保持架（502）的顶部侧壁并与所述顶板（503）的下侧壁固定连接设置，所述推杆电机（501）与控制器电性连接。

4.根据权利要求1所述的一种硅片插片机用的供片机构，其特征在于：所述转动机构（7）包括转盘（701）、限位架（702）、料盒（703）和挡块（704），所述转盘（701）与所述固定盘（6）的侧壁转动连接设置，所述转盘（701）的上侧面沿其周向方向均匀固定连接有六个所述限位架（702），所述转盘（701）靠近所述限位架（702）的侧壁开设有矩形开口，所述矩形开口的内侧侧壁滑动连接有所述料盒（703），所述料盒（703）的两侧侧壁均固定连接有所述挡块（704）。

5.根据权利要求1所述的一种硅片插片机用的供片机构，其特征在于：所述供料机构（8）包括电机（801）、固定板（802）、螺杆（803）、推料块（804）、上料箱（805）、L形支撑架（806）、阻尼器（807）、固定杆（808）、弹簧（809）和挤压板（810），所述固定盘（6）靠近所述取料机构（4）的上侧侧壁固定连接有所述固定板（802），所述固定板（802）的一侧侧壁固定连接有所述电机（801），所述电机（801）的输出端贯穿所述固定板（802）的侧壁并固定连接有所述螺杆（803），所述螺杆（803）螺纹连接有所述推料块（804），所述推料块（804）为矩形中空结构设置，所述固定盘（6）的上侧侧壁通过所述L形支撑架（806）固定连接有所述上料箱（805），所述固定盘（6）靠近所述上料箱（805）下端的侧壁上固定连接有所述阻尼器（807），所述推料块（804）靠近所述电机（801）的一侧侧壁固定连接有所述固定杆（808），所述固定杆（808）的另一端插设于所述挤压板（810）内部，所述固定杆（808）的外侧侧壁套设有弹簧（809），所述弹簧（809）的一端与所述挤压板（810）的侧壁相抵，所述弹簧（809）的另一端与所述推料块（804）的侧壁相抵，所述推料块（804）与所述上料箱（805）的宽度相匹配。

6.根据权利要求4所述的一种硅片插片机用的供片机构，其特征在于：所述限位机构（9）包括固定块（901）、支撑板（902）、滑动杆（903）、顶簧（904）和卡块（905），所述固定块（901）均匀设置在所述转盘（701）的外侧侧壁上，且数量为6个，所述固定块（901）与所述料盒（703）的中心线位于同一直线上，所述底板（1）靠近所述供料机构（8）的位置固定连接有所述支撑板（902），所述支撑板（902）靠近其上端的一侧侧壁开设有两个通孔，两个通孔内滑动连接有所述滑动杆（903），所述滑动杆（903）靠近所述固定块（901）的一端固定连接有所述卡块（905），所述滑动杆（903）的外侧侧壁套设有顶簧（904），所述顶簧（904）的一端与所述卡块（905）的侧壁相抵，所述固定块（901）、卡块（905）与所述供料机构（8）位于同一轴线设置，所述固定块（901）与卡块（905）均做有圆角处理，所述卡块（905）靠近转盘（701）的一侧设有与固定块（901）相匹配的凹槽。

7.根据权利要求4所述的一种硅片插片机用的供片机构，其特征在于：所述换位机构（10）包括固定管（101）、移动杆（102）、肋板（103）、滑杆（104）、复位弹簧（105）、移动块（106）、斜块（107）、斜槽（108）、滑动块（109）和伸缩杆（110），相邻两个限位架（702）之间均设有固定管（101）且固定管（101）的下端与转盘（701）的上侧壁固定连接，所述移动杆（102）插设于所述固定管（101）的内部，所述移动杆（102）靠近其顶部的侧壁上固定连接有两个滑动块（109），所述转盘（701）靠近所述固定管（101）的上侧侧壁固定连接有所述肋板（103），所述肋板（103）的上侧侧壁开设有滑孔，所述滑孔内滑动连接有所述滑杆（104），所述滑杆（104）的一端固定连接有所述移动块（106），所述滑杆（104）的外侧侧壁套设有所述复位弹簧（105），所述复位弹簧（105）的一端与所述移动块（106）的侧壁相抵，所述移动块（106）为中空结构设置，所述移动块（106）靠近两个滑动块（109）的两侧侧壁均对称开设有所述斜槽（108），所述滑动块（109）的一端插设在斜槽（108）中并与其滑动连接，所述移动块（106）靠近所述限位架（702）的一侧侧壁一体成型有斜块（107），所述移动杆（102）靠近其顶部的外侧侧壁均匀开设有四个通孔，四个通孔内分别滑动连接有所述伸缩杆（110），所述伸缩杆（110）的水平高度高于所述移动块（106）上侧侧壁的高度。

8.根据权利要求1所述的一种硅片插片机用的供片机构，其特征在于：所述传送机构（3）包括传送带（301）、辊轮（302）、皮带（303）、传送电机（304），两个辊轮（302）通过支撑架与底板（1）之间转动连接设置，两个辊轮（302）的外侧侧壁套设有传送带（301），所述底板（1）的上侧侧壁固定连接有所述传送电机（304），其中一个所述辊轮（302）通过皮带（303）与所述传送电机（304）的输出端进行传动连接。

9.根据权利要求4所述的一种硅片插片机用的供片机构，其特征在于：所述限位架（702）的一侧上端侧壁固定连接有第二橡胶条（12），所述转盘（701）靠近所述限位架（702）的上侧侧壁固定连接有抵板（13），所述抵板（13）的侧壁滑动连接有滑动柱（14），所述滑动柱（14）的一端固定连接有限位板（15），所述限位板（15）远离所述限位架（702）的一侧侧壁为斜面设置，所述滑动柱（14）的外侧侧壁套设有伸缩弹簧，所述限位板（15）的上端侧壁固定连接有第一橡胶条（11），所述第一橡胶条（11）的水平高度低于所述第二橡胶条（12）的水平高度。

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