CN1120992A - 自动基片装载装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种自动基片装载装置，包括其上放置有切成基片的晶片的一个晶片盛放部；装在晶片盛放部一侧、用以存放空盘和装满基片的盘用的一个盘装/卸部；从所述盘装/卸部取出空盘并当该空盘上装上预定数目的基片时将该盘装到盘装/卸部的一个盘传送部；以及用于将从晶片选出的基片传送到取自所述盘装/卸部的空盘上的一个基片传送部。

Description

自动基片装载装置

本发明涉及一种用于锯切晶片制造加工中完成的晶片并将其自动地装载在盘中的自动基片装载装置，尤其是一种只将合格的锯切基片选出并自动装入空盘、再将该装满基片的盘装入储仓的一种自动基片装载装置。

图1A，1B和2分别是一种普通基片装载装置的前视、平面和侧视图，参见图1A、1B及2，在基件1的顶部中央，载放锯切晶片2的转台3装置成可沿X和Y轴移动。用于分辨各个锯切晶片好坏的像机4装在转台的正上方。装在转台后边的是将合格基片传送至盘中、可作180°内旋转的一个拾器5。基件1后方，一个X轴自动装置7被装到安装架6上。Y轴自动装置8被连接到X轴自动装置上。带有许多(8个)盘9的一个盘基件10装于Y轴自动装置上。

切成单个基片的晶片2承载于转台3上，同时盘9放置在于盘基件10上形成的多个凹窝内。在此状态下，当通电以操纵该装置时，转台3便沿X和Y轴移动，转台正上方的像机4遂分辨锯切基片是好是坏。基片若是好的则被吸到拾器5上并逐一地装在盘9上。

当有一个基片装上盘9，该盘则由X和Y轴自动装置7和8移位，同时转台也移动。在此状态下，这样被认为是合格的其它的基片遂可顺序地转送到盘上。

全部基片装到基件10上的盘9上后，盛有基片的盘就由操作者从盘基件10分离并放至它处。空盘再装在盘基件上以使上述过程得以重复。

但在这种普通装置中，由于必得由操作者在盘基件上的盘中装满基片后以手工方式替换该盘，因此工时延长从而降低了生产率。

因此，为解决这个问题，本发明的目的是能提供一种能自动只选合格基片并将其放入空盘，而无需手工更换盘子的自动基片装载装置。

为实现本发明的目的，提供了一种自动基片装载装置，包括：将切成基片的晶片放置其上的一个晶片盛放部；装在该晶片盛放部一侧、用以装空盘及盛有基片的盘的一个盘装/卸部；用以从该盘装/卸部取出空盘及当在该空盘上装上预定数量的基片时将该盘装在该盘装/卸部的一个盘传送部；以及用以将从该晶片选出的基片传送到从盘装/卸部取出的空盘上的一个基片传送部。

晶片盛放部被装在一个基件上，并由一个X-Y自动装置控制协同其他构件进行操纵。待锯切成基片的晶片被放置在晶片盛放部上。

该盘装/卸部包括其中顺序存放有空盘的一个第一储仓；安装在第一储仓下方一侧用于分离第一储仓中最下面的空盘的第一输送器；装在该第一储仓下面用以就在第一输送器分离最下面的空盘之前托住位于最下面的空盘以上的空盘使之不自由掉落的一个第三缸；装在第一储仓一侧上用以盛放装满基片的盘的第二储仓；以及装在第二储仓下方一侧用以将盛有基片的盘推入到第二储仓内的一个第二输送器。

基片传送部包括：在一个预定旋转范围内侧向移动的一个拾取块，以及固定于该拾取块前端用于吸取并移动基片的一个拾器。

盘传送部包括：安装到基件上的一个X-Y自动装置；固定于X-Y自动装置上、当X-Y自动装置被驱动时作侧向移动、且其上装有来自盘装部的一个空盘的一个盘基件；以及以弹性方式安装、可移至该盘基件一侧并用以夹紧放置的空盘用的一个夹子。

下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细的说明，其中：

图1A和1B分别为一种普通基片装载装置的前视及平面视图；

图2为图1中装置的右侧视图；

图3为本发明的自动基片装载装置的前视图；

图4为图3装置的左视图，其中部分构件被省略；

图5A、5B和5C分别为本发明的晶片盛放部的平面图，主视图和左视图；

图6A和6B分别为本发明的盘装/卸部及盘传送部的平面视图及主视图；

图7为图6A、6B中重要构件的主体图；

图8A和8B为本发明像机的主视图和右视图；

图9A、9B和9C为基片传送部的平面视图，主视图及右视图，局部作剖视；以及

图10为用以解释基片传送部动力传输的一张简图。

以下将结合附图说明本发明的一个优选实施例。

参见图3及4，本发明的自动基片装载装置包括用以盛放一个锯切晶片2、装在基件1顶部中央的一个晶片盛放部11，其上顺序装载有空盘9和装有基片的盘9a的一个盘装/卸部12，用于将这些盘传送至该盘装/卸部或传送至装基片处的一个盘传送部13，用作鉴定装在晶片盛放部上的基片是好是坏的一个像机14，以及用以吸取合格基片并将其传送至安放在盘传送部上的盘上去的一个基片传送部15。本发明大略分作五部分。

下面参照图5A、5B和5C对晶片盛放部11作详细说明。

X-Y自动装置16装于基件1上。旋转架18固定于X-Y自动装置的轴17上。安装夹板19用螺栓20固定。拧紧螺栓20旋转架18就不颤动。在转架位置调整后，用以支承该转架使其不因自重而下降的一个基架21被安装到位于转架18下面的X-Y自动装置的轴上。该基架21的位置是由螺栓22的拧紧力来确定的。

伸展台23分为可动伸展台23a和固定伸展台23b，并被装于转架18之上。由步进电机24驱动旋转的螺杆25按于转架18，并与可动伸展台23a以螺纹连接。胀环27接于薄膜26，晶片2附着在薄膜上，胀环以固定方式装在固定伸展台23b上。当通过驱动步进马达降低可动伸展台23a时，胀环27张紧附着于框28上的薄膜。在此，与可动伸展台23a的边缘相接的螺杆25必得做成当步进电机24驱动时沿相同方向旋转。

参看图6A和6B，一个主支承件29装在基件1的前部(相对操作者方向)。顺序安放有空盘9的第一储仓30装在该主支承件的一侧。顺序安放装有基片的盘9a的一个第二储仓31则在主支承件的另一侧。

第一缸33由第一储仓30下面的支架32支承。第一传送器34装在第一缸33的活塞杆上。第一传送器由第一缸操纵抬升以使在第一储仓30内的空盘逐一地分离出来并将它们供给盘传送部13。第三缸35装在第一储仓另一侧下面，刚好在第一传送器分离最下面一个空盘之前动作以便托住最下面一个盘上面的空盘。所以，第三缸防止了从次最低位起的那些空盘因其自重而掉落。

第一储仓30下方相对两侧装有一对传感器36。它们用以检测，在第三缸35托往从次最低位起的空盘9的状态下当第一传送器34由第一缸33降下从第一储仓中分离出最低位空盘时，在该第一传送器上是否被装上了多于一个的盘子。为了这一操作，传送器36的安装位置必须位于当第一传送器34位于其最低行程点时装在该第一传送器上的空盘所在位置的正上方，换言之，若当第一传送器34位于最低行程点时，传感器36没检测到空盘，则可确定一个空盘被装上了该第一传送器。在此状态下，中央处理器(CPU)则继续执行后序程序。相反，如果传感器检测到一个空盘，则可确定在第一传送器上装上了多于一个的盘子，在此情况下，CPU则停止系统操作并以蜂鸣器或警示灯将此情况指示给操作者。

第二缸38由第二储仓31下方的支架37所支承。一个第二传送器39装在第二缸38的活塞杆上。该第二传送器由第二缸升降顺序将盛有基片的盘放进第二储仓31。防止装在第二储仓31内的盘9a掉落的挡块40借助于盘簧41弹性安装在第二储仓内部的下方，盘被装进第二储仓时，挡块40或隐或现。导向块42a和42b装在第一和第二储仓上，这样，第一和第二传送器34和39可稳定地作垂直的上下移动。装在导向块上的连接件43a及43b被固定在第一和第二传送器34和39上。

用于将空盘放入第一储仓30、将放有基片的盘放在第二储仓31中的盘传送部13被设置成可在基片传送部15与盘装/卸部12之间作往复运动。图7示出盘传送部和盘装/卸部的结构。

基件1上装有X-Y自动装置44。装到X-Y自动装置上的轴45上的是安放盘装部的空盘9的一个盘基件46。当X-Y自动装置44被驱动时，盘基件46在盘装/卸部12与基片传送部15之间往复移动。

在盘基件46顶部周边上设有限定空盘9位置的位置确定件46a。用来夹紧或松开所放置的空盘的夹子47用螺旋弹簧48可弹性移动地安装在盘基件的一侧，主支承件29亦即盘装/卸部的里边装有用于在装卸盘时撑开夹子47使盘松开的一个导轨49。夹子47的下端可与导轨直接接触。当然，最好是如本发明实施例一那样在夹子47下端装有轴承50使与导轨接触，这可减少摩擦阻力及噪音。

一个传感件51用螺旋弹簧弹性地装在盘基件46的一侧，从而暴露于该盘基件的顶部并位于位置确定件46a的里侧。当空盘装到该传感件上时，该传感件就压缩该螺旋弹簧并转动以触动一个传感器(未示出)。在这里，该传感件顶部处形成有一个斜面51a。这种设计结构旨在当来自第一储仓30的空盘装在盘基件上时使传感件在空盘重量的推压下易于转动。

以弹性方式把传感件51装到盘基件46上的螺旋弹簧52的弹性模数这样确定；空盘未曾装到盘基件46上时，传感件51位于位置确定件46a的里侧，而当空盘装在该传感件上时，该传感件因空盘重量从该位置确定件向外转动。

见图8A和8B，本体53装在基件1的一侧。一个调整架54通过固定件55装到本体上。该调整架上设置有像机56。像机56直接设置在晶体盛放部上方，并用控制钮57移上移下。当用像机56来确定基片是否合格时对晶片照明用的灯58通过一个灯持件59固定到像机56上。像机56下面设有用以控制像机放大倍数的一个延伸环60。用以控制灯亮度的灯亮度控制器61装在灯的上面。

见图9A-10，产生动力的伺服马达62装于支承像机14的各构件的本体53上方一侧。第一和第二皮带轮64和65装在位于该伺服马达一侧的第一轴63上，这样伺服马达轴与第一皮带轮64由第一定时皮带66相连接。装于第四轴67上的是第三皮带轮68，并由第二定时皮带69接于第二皮带轮65。伺服马达62转动时，第一及第四轴63和67沿相同方向转动。一个连杆70以偏心方式接到装在第四轴上的第三皮带轮上，并随第三皮带轮的转动而转动。该连杆的另一端用销73连接到一个以第二轴71为中心摆动的齿条式齿轮72上。

齿式条齿轮72与在第三轴74一端形成的一个小齿轮74a相啮合。臂75装在该第三轴的另一端。该臂的另一端装在一个由导轨76导向并作横向移动的导向件77的垂直槽77a内，并且可以作上下移动。在此，臂75的一端可直接连到垂直槽77a。但是为了减小当该臂开始横向(在基片吸起和基片放下位置)转动时的间隙，则可将两个辊子78装在臂75的一端，而且连接件79以相反方向地装在垂直槽77a的两侧边上。两个辊子分别与该连接件相接触。

一个拾取块80装到导向件77的一侧(朝向晶片盛放部)。与导轨76相接触的导辊81装于拾取块的上下部位。利用负压吸起并移动晶片盛放部基片的一个拾器82固定于拾取块前端。导轨76和导辊81接触面的载面最好是三角形的。这样设计的优点是通过增加导轨与导辊的接触面来预先防止该拾取块作左右移动时在导轨中的振动。

装在第一轴63一端的凸轮83在伺服马达62受驱时则转动，结果导轨76因凸轮大上直径差交替升降。这里的导轨76借助于导向装置平稳起落。

对于导向装置，特提出如下实施方案。导辊84装在导轨一端的上下侧上。为导轨导向用的导块85装于本体53。在导轨另一侧上，装有比该导轨升降距离长的一个升降件86。为升降件导向用的一对导辊87借助于支承件88装到本体上。类似于导轨76与导辊81的接触面，这里的导块85与导辊84的接触面载面最好也作成三角形。通过增加导块与导辊接触面，可防止导轨升降时的颤动。辊子89可转动地安装在与凸轮83相连的导轨76上，这样，在导轨通过凸轮的转动而升降时，可以使摩擦阻力为最小。

位于辊子89后面的本体53上装有一个杠杆90，杠杆90可以以轴91为中心作旋转。通过装到本体上的螺旋弹簧92可使杠杆90总是受到一个向下的压力。杠杆端部所在位置处的导轨上设置有与该杠杆相接触的另外一个辊子93。这为的是当导轨因导辊89与凸轮83的小直径端相接触而下降时，通过防止导轨产生冲击而将吸附在拾器82上的基片准确地置放在空盘9中。

为控制传输伺服马达62的力给第三皮带轮68的第二定时皮带69的张紧力，一个中间皮带轮94装在本体53上。该中间皮带轮位置可作调整。已知的一种碥码器95装于第四轴67的一端，用以在第四轴转动时检测拾器82的初始位置并控制其他各部。

下面将描述本发明的操作及效果。

首先，如图5A、5B和5C中所示。附着于薄膜26上同时也为框28所支承的晶片2被锯节成单个的基片。该框插装在属于晶片盛放部11的可动伸展台23a和胀环27之间。

当步进马达24受驱动，且与固定伸展台23b接合的四根螺杆25沿相同方向旋转时，可动伸展台23a下降。由于可动伸展台降下，位于可动伸展台23a与胀环27之间的薄膜26被胀环27顶起并张紧。这里带有锯切好的基片的薄膜与胀环27的顶面相接触。

在此状态下，当给控制器96通电时，如图6A、6B和7中所示盘传送部13的X-Y自动装置运转，结果装在轴45上的盘基件46移向盘装/卸部12的主支承件29。与盘基件连接的夹子47遂与导轮49接触。于是，借助于螺旋弹簧48弹性安装的夹子通过压缩螺旋弹簧而向外撑开。

连在盘基件46上的夹子47被撑开的同时，位置移至盘装部的第一储仓30下方，并由诸如传感器等的检测装置检测以使其移动停止，第三缸35动作以便托住次最低位的空盘9的侧边。当由架32支承的第一缸33动作时，第一传送器34装于其上的连接件43a受导向块42a的引导而稳定下降，这样位于第一储仓30底部的最低位的空盘就被降下同时因自身重量而被放置在第一传送器34上，并被放在盘基件46上的位置确定件46a上。

在此操作中，在空盘装在盘基件46上之后，第一传送器34继续下降为的是在盘基件46朝基片装载位置移动时不会引起干涉。如果盘基件46上装了多于一个的空盘，基片则不能被装载到下面的空盘上，在这种情况下，位于第一储仓30下方的一对相对的传感器36会检测到这种情况，并中止系统的操作。同时，为了采取紧急措施，通过蜂鸣器或警示灯把这种情况通知操纵者。

位于第一储仓30最低位的空盘9放在盘基件46上时，传感件51因该空盘的重量而转动从而触发传感器。这些传感器检测到空盘已放好，遂使X-Y自动装置44返回原位。如前所述，因在传感件51上作有斜面51a，当空盘被放在盘基件上时，它很容易定位于位置确定件46a的里侧。当该传感件转动时，螺旋弹簧52存留有压力。

在第一储仓30中的一个空盘被供至盘基件46后，降下的第一传送器34通过第一缸33的驱动返回原位。与此同时，第三缸35工作，结果第一储仓30内放置的空盘被放置在第一传送器34上。

此后，当X-Y自动装置44动作将盘基件46移到晶片盛放部11附近(至基片装载位置)时，夹子47从导轨49上脱开。当夹子47脱离导轨49时，由于螺旋弹簧48的弹力夹子回复初始状态。夹子47卡住空盘一侧遂使它不在盘基件上颤动。

盘基件46被移至基片装载位置后，伸展台23移至X-Y轴，而由晶片切成的基片由像机56照相。当基片由像机56认定为合格时，该伸展台停止驱动，而一个针(未示出)遂升起使认定合格的基片从薄膜26上分离。

为了用拾器82吸附与薄膜分离的基片，如图9A-10中所示，伺服马达62工作以通过第一定时皮带66传输力给装在第一轴63上的凸轮83。传输的力转动凸轮至使装在导轮76上的辊子89与凸轮的较小直径端接触。因此，因杠杆90的压力，导轨到达该最低行程点。此刻，拾器82则与被认为合格的基片顶部接触，以便通过负压吸住基片。

在此操作中，导轨76得以平稳升降是依仗于彼此相接的导辊84，导向块85，升/降件86以及导辊87。上述吸附基片的拾器的初始位置为，当第三轴74作顺时针方向转动时，臂75位于图9b中所示的右向最远处时所在的位置。

在拾器82吸住基片的状态下，伺服马达62继续受驱动以转动凸轮83。当辊子89逐渐地与凸轮的大直径端接触时，导轨76压缩与杠杆90弹性安装的螺旋弹簧92而上升。借此，基片遂与薄膜26彻底分离。在此操作中，伺服马达62的动力经由第二定时皮带69被传输给第三皮带轮68，从而使偏心安装在第三皮带轮上的连杆70作往复移动。接在连杆另一端的齿条式齿轮72沿顺时针方向以第二轴71为中心转动，同时与小齿轮74a相啮合。因此，臂75的一端以第三轴74为中心沿导向件77的垂直槽77a逆时针方向转动180°。装在导向件上的拾取块80由导辊81导引并侧向移至盘传送部。

当拾取块80借助于与导轨76接触的导辊81侧向移向晶片盛放部时，装在臂后部的辊子78与固定于垂直槽77a右边的连接件79相接触。反之，当该拾取块移向盘传送部时，装在臂75前部的辊子78与固定在垂直槽77a左边的连接件79相接触。这样，辊子沿垂直槽升或降，防止了操作中的误差。

在基片从晶片盛放部传送至盘传送部时，导轨76不动而处于静止，是由于凸轮83的大直径转动并连续与装在导轨上的辊子89保持接触。当臂75逆时针方向转动时，拾取块80移至图中的左端，由拾器82吸附的基片到达空盘凹部的上方，凸轮较小直径则开始接触辊子89，于是导轨76逐渐下降。当凸轮83继续转动时，导轨76到达最低行程点，由拾器82所吸附的基片位于空盘的凹部中，解除负压遂使由拾器82吸附的基片放至该凹部。如上所述，当拾器82从晶片盛放部吸起合格基片，将其移至盘传送部，并将吸附的基片盛放在盘凹部时，齿条式齿轮72通过连杆70作逆时针方向转动。臂75安装于其上的第三轴74开始顺时针方向转动，与上述相反，而返回原位。通过重复的操作，当合格基片装满空盘的凹部时，固定安装在第二储仓31上的第二缸38动作，使固定于连接件43b上的第二传送器39降下。这为的是防止盘基件46传送时可能引起的干涉。

X-Y自动装置44工作，移动固定于X-Y自动装置44上的盘基件46至主支承件29，这样装在盘基件上的夹子47就与导轨49接触、被撑开以松开盘子。

随着夹子47松开，当盘基件46移到位于第二储仓31正下方时，传感器(未示出)检测到该状态而中止X-Y自动装置44的驱动。与此同时，位于最低行程点处的第二传送器39由第二缸38的驱动而抬升，结果装于盘基件46上的盘通过第二传送器从该盘基件上分离并进入第二储仓31。此时，用螺旋弹簧41弹性安装在第二储仓下方的挡块40受到由第二传送器39抬升的盘9a的推压而回缩。在此状态下，当盘子脱离挡块40时，该挡块因弹力作用回复其原位，遂将盘子接纳于第二储仓31内。在盛有基片的盘被装进第二储仓31后，因盘重而转动的传感件51在螺旋弹簧52的弹力作用下返回原位，遂由传感器操作X-Y自动装置。X-Y自动装置44继续将盘基件46传送至第一储仓30的正下方后停止。通过这样的操作，放在第一储仓底部的空盘就可以装到该盘基件上。

至此，基片装载的一个循环已经描述完毕，其中，锯切晶片被放置在晶片盛放部11上，空盘装在第一储仓30内，第一储仓最低位空盘通过盘传送部13移至晶片盛放部附近，由像机14认定为合格的基片被选放进该空盘的相应凹处，然后盛有基片的盘被装进第二储仓。该循环反复进行直到放置在晶片盛放部上的所有基片被卸完，或是在第一储仓内的所有空盘被搬完。

如上所述，本发明在第一储仓内装了许多盘，并且将装有基片的盘子自动地装在第二储仓，遂提高了生产率以及使该系统自动化。

另外，由于拾器被降下以吸取放置在晶片盛放部的单个基片，再行抬升并侧向移到盘传送部，并在盘凹处上方位置处再一次降低，因此本发明可准确地将基片放进盘的凹处。

Claims (24)

1、一种自动基片装载装置，包括：

一个晶片盛放部，其上放置有锯切成基片的晶片；

一个盘装/卸部，被装在所述晶片盛放部的一侧，用以存放空盘及盛有基片的盘；

一个盘传送部，用于从所述盘装/卸部取出所述空盘以及当预定数量的基片被安放到所述空盘时将该盘装至所述盘装/卸部；和

一个基片传送部，用以把从所述晶片选出的基片传送至从所述盘装/卸部取出的一个空盘上。

2、按权利要求1所述的自动基片装载装置，其中，所述晶片盛放部包括：

装在一个基件上的一个X-Y自动装置：

一个旋转架，以可旋转方式装在所述X-Y自动装置的轴上，并且其位置由紧固在一个安装夹板上的螺栓的拧紧力确定；

装在轴上从而与所述旋转架的下端相连的一个基架，用以防止所述旋转架因其自重而掉落；

装于所述旋转架顶部的一个伸展台，该伸展台分为一个可动伸展台及固定伸展台；

与所述旋转架可转动地接合的螺杆，用以在步进电机受驱动时升降所述螺纹连接的可动伸展台；和

固定于所述固定伸展台上部、并与其上附着有所述晶片的一个薄膜相接触的一个胀环，在所述可动伸展台降下时将所述薄膜张紧。

3、按权利要求1所述的自动基片装载装置，其中所述盘装/卸部包括：

其中顺序存放有空盘的一个第一储仓；

装在所述第一储仓下方一侧、用于分离第一储仓中最低位空盘的一个第一传送器；

装于所述第一储仓下方、用于就在所述第一传送器分离最低位空盘之前托住位于最低位空盘以上的空盘使之不自由掉落的一个第三缸；

装于所述第一储仓一侧、用以存放盛有基片的盘的一个第二储仓；

装于所述第二储仓下方一侧、将盛有基片的盘向上推入所述第二储仓的一个第二传送器；和

弹性安装在所述第二储仓下方内部、能够伸出和回缩以便防止第二储仓的盘子掉落的一个挡块。

4、按权利要求3所述的自动基片装载装置，其中所述第一和第二传送器通过第一和第二缸升降，导向块安装在所述第一和第二储仓上，而连接件被固定在所述的第一和第二传送器上，当所述第一和第二传送器通过第一和第二缸作上下移动时所述连接件受所述导向块的引导。

5、按权利要求3所述的自动基片装载装置，其中安装在所述第二储仓下方内部的挡块因配有螺旋弹簧而呈弹性。

6、如权利要求3所述的自动基片装载装置，其中在所述第一储仓下方两侧装有传感器，用于当所述第一传送器到达最低行程点时检测在所述第一传送器上是否一次装上了多于一个的空盘。

7、按权利要求1所述的自动基片装载装置，其中，所述盘传送部包括：

固装于基件上的一个X-Y自动装置；

装于该X-Y自动装置上、当所述X-Y自动装置受驱动时侧向移动的一个盘基件，其上装有来自所述盘装部的一个空盘；

设置在所述盘基件顶部周边上、用以确定所装空盘的位置的一个位置确定件；

弹性安装、可移向所述盘基件一侧、用于夹紧所装空盘的一个夹子；和

设置在所述盘装/卸部上、用于当所述夹子的下端与之接触时将夹子撑开的导轨。

8、按权利要求3所述的自动基片装载装置，其中所述盘装/卸部由一个主支承件支承，而所述夹子与之相接触的导轨设置在所述主支承件内部。

9、按权利要求7所述的自动基片装载装置，其中所述夹子下端装有轴承，所述轴承与所述导轨相接触。

10、按权利要求7所述的自动基片装载装置，其中所述盘基件包括有检测装置，该检测装置有因空盘重量而转动的一个传感件和用于传感该传感件转动的一个传感器。

11、按权利要求10所述的自动基片装载装置，其中所述传感件的顶部形成有一个斜面。

12、按权利要求10所述的自动基片装载装置，其中，所述传感件用螺旋弹簧弹性安装，空盘未装在所述盘基件上时所述传感件的顶部在所述螺旋弹簧的弹力作用下位于位置确定件的里侧。

13、按权利要求12所述的自动基片装载装置，其中所述螺旋弹簧的弹性模量是这样确定的，即如果空盘未装在所述盘基件上，所述传感件位于位置确定件的里侧，而如果空盘装在盘基件上，所述传感件因所述空盘重力受到一个压力而转动。

14、按权利要求1所述的自动基片装载装置，其中所述基片传送部包括：

固装于所述基件一侧上的一个本体；

装于该本体并用以产生动力的一个伺服马达；

装于由所述伺服马达转动的第一轴一侧上的一个凸轮；

与所述凸轮接触并随该凸轮转动作上下移动、被安装在所述本体一侧上的导轨；

为所述导轨导向用的导向装置；

由所述伺服马达转动的一个连杆；

接于所述连杆一端并以第二轴为中心作往复运动的一个齿条式齿轮；

形成有与所述齿条式齿轮相啮合、将所述连杆的往复运动转换为180°旋转运动的小齿轮的一个第三轴；

一个臂，其一端装在所述第三轴上、而由所述导轨引导的另一端被装在一个导向件的垂直槽中上下移动；

其中的第一导辊装于所述导向件并与所述导轨的上下面接触的一个拾取块装配成当所述臂转动时拾取块能随所述导向件在所述臂的转动范围内沿侧向移动；和

装于所述拾取块前端、用以吸取并移动基片的一个拾器。

15、按权利要求14所述的自动基片装载装置，其中一个导向块由所述导向装置被固定在所述本体一端的上下侧，与所述导向块接触的一个第二导辊与所述导轨相连接，一对第三导辊以支承方式由一个支承件装在所述本体的另一侧并位于所述导轨的中间，以及固定于所述导轨上的一个升/降件被装在所述第三导辊之间。

16、按权利要求15所述的自动基片装载装置，其中所述导向块及第二导辊的接触表面截面是三角形。

17、按权利要求14所述的自动基片装载装置，其中一个第一辊子以可旋转方式装在与所述凸轮接触的导轨上，从而所述辊子与所述凸轮相接触。

18、按权利要求14所述的自动基片装载装置，其中受压力作用的一个杠杆弹性安装在所述主体上以使所述连接于导轨的辊子与所述凸轮紧密接触。

19、按权利要求18所述的自动基片装载装置，其中一个第二辊子装于所述导轨上结果所述杠杆端部与所述辊子接触。

20、按权利要求14所述的自动基片装载装置，其中所述导轨和第一导辊的接触表面的截面为三角形。

21、按权利要求14所述的自动基片装载装置，其中连接件方向相反地装在所述导向件的垂直槽的两侧，并且两个第三辊子与所述臂连接，从而与所述连接件相接触。

22、按权利要求14所述的自动基片装载装置，其中第一和第二皮带轮装于所述第一轴上，在所述本体的一侧设置有第四轴，与所述连杆偏心连接的一个第三皮带轮装在所述第四轴上，所述伺服马达轴和第一皮带轮由一个第一定时皮带相连接，而所述第二和第三皮带轮由一个第二定时皮带相连接，当所述伺服马达受驱动时所述第一和第四轴同向旋转。

23、按权利要求22所述的自动基片装载装置，其中一个编码器装于所述第四轴以检测所述拾器的初始位置。

24、按权利要求22所述的自动基片装载装置，其中一个中间皮带轮以可调整方式装于所述本体上以控制所述第二定时皮带的张紧力。

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