CN112088266A - 密封环 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够在较宽的旋转区域内在滑动面之间形成流体膜从而润滑性较高的密封环。一种密封环(1)，其对旋转轴(2)与壳体(3)之间的间隙进行轴封，其中，在密封环(1)的滑动面(S1)上设置有：动压槽(12)，其具有正压产生部(121)和负压产生部(122)；以及静压供给路(13)，其从内径侧向外径侧延伸且向被密封流体侧开口，在周向上按照正压产生部(121)、负压产生部(122)、静压供给路(13)的顺序进行配置。

Description

密封环

技术领域

本发明涉及一种用于对旋转轴与壳体之间的间隙进行轴封的密封环，特别涉及一种安装到环状槽即所谓填料函中使用的密封环。

背景技术

以往，密封环安装在旋转轴外周的环状槽中，并使密封环的滑动面相对于形成在旋转轴上的滑动面紧密接触并滑动，从而对旋转轴与壳体之间的间隙进行轴封，防止被密封流体的泄漏。

在密封环中，为了长期维持密封性，必须兼顾“密封”和“润滑”这样的相互矛盾的条件。特别是，近年来，为了应对环保等而寻求防止被密封流体的泄漏，并且提高了低摩擦化的要求以降低机械损失。低摩擦化可以通过利用旋转轴的旋转在滑动面之间产生动压并使被密封流体的流体膜介于滑动面之间的方法来实现。

作为利用旋转轴的旋转在滑动面之间产生动压的密封环，已知例如专利文献1所记载的密封环。专利文献1的密封环安装在设置于旋转轴外周的环状槽中，通过高压的被密封流体的压力而被按压向壳体侧和环状槽的一个侧壁面侧，使密封环的一个侧面侧的滑动面相对于环状槽的一个侧壁面侧的滑动面紧密接触并滑动。此外，在密封环的一个侧面侧的滑动面上，沿周向设置有多个向内径侧开口的动压槽，动压槽由周向中央的深槽和与深槽的周向两侧连续并沿周向延伸且底面朝向周向末端逐渐变浅地倾斜的浅槽构成。当旋转轴与密封环相对旋转时，从其内径侧向深槽内导入被密封流体，并且在与旋转轴的旋转方向相反方向侧的密封环的浅槽中产生负压，另一方面，在与该旋转方向相同方向侧的浅槽中，通过供给被导入到深槽内的被密封流体而产生正压。然后，正压通过由该浅槽的倾斜的底面产生的楔形作用而增大，动压槽整体上产生正压，从而得到使滑动面之间稍微远离的力即所谓浮力。通过使滑动面之间稍微远离，高压的被密封流体从它们的内径侧流入滑动面之间，并且从产生正压的旋转方向侧的浅槽向滑动面之间流出被密封流体，因此在滑动面之间形成流体膜，维持滑动面之间的润滑性。

现有技术文献

专利文献

专利文献：日本特开平9-210211号公报(第3页、图3)

发明内容

发明要解决的课题

在专利文献1的密封环中，旋转轴的滑动面相对于动压槽沿周向移动，在旋转轴旋转时，从深槽向旋转方向侧的浅槽充分地供给被密封流体并在滑动面之间形成流体膜，但是，特别是当用于高速旋转的旋转轴时，在周向上产生较大的正压且产生较大的负压，从而在产生负压的浅槽及其周边难以保持被密封流体，并且沿周向从该浅槽向深槽移动的被密封流体的供给量减少，不能从深槽向产生正压的旋转方向侧的浅槽充分地供给被密封流体，且动压槽整体上随着转速的增加正压不会升高，有可能无法形成充分的流体膜。

本发明是着眼于这样的问题而完成的，其目的在于提供一种能够在较宽的旋转区域内在滑动面之间形成流体膜从而润滑性较高的密封环。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题，本发明的密封环，

其对旋转轴与壳体之间的间隙进行轴封，其中，

在所述密封环的滑动面上设置有：动压槽，其具有正压产生部和负压产生部；以及静压供给路，其从内径侧向外径侧延伸且向被密封流体侧开口，

在周向上按照所述正压产生部、所述负压产生部、所述静压供给路的顺序进行配置。

由此，从导入高压的被密封流体的静压供给路向在周向上相邻的负压产生部供给被密封流体，从而在负压产生部及其周边保持被密封流体，并且从负压产生部向正压产生部充分地供给被密封流体，因此能够在较宽的旋转区域内在滑动面之间形成流体膜，从而能够提高密封环的润滑性。

也可以是，在由所述动压槽沿周向夹着的位置上设置有所述静压供给路。

由此，不论使密封环向哪个方向旋转，都能够从在周向上相邻的静压供给路向动压槽的负压产生部供给被密封流体。

也可以是，所述动压槽和所述静压供给路在所述滑动面的整个周向上交替地设置。

由此，从在周向上相邻的静压供给路向所有动压槽供给被密封流体，因此能够在滑动面之间的整个周向上均衡地产生浮力。

所述静压供给路是从内径侧形成至外径侧的槽。

由此，静压供给路是从滑动面的内径侧沿径向连续地开口的槽，因此能够向滑动面的较宽范围供给流体。

也可以是，所述静压供给路形成为内径侧的深度比外径侧的深度更深。

由此，从静压供给路的内径侧向外径侧沿径向形成被密封流体流，容易供给被密封流体。

也可以是，所述静压供给路的外径端形成在比所述动压槽的外径端更靠外径侧。

由此，能够从在周向上相邻的静压供给路向动压槽中的负压产生部可靠地供给被密封流体。

也可以是，多个所述静压供给路通过在外径侧沿周向延伸的连通槽连通。

由此，从内径侧导入至静压供给路的被密封流体通过连通槽被供给至滑动面的外径侧，因此能够进一步提高润滑性。

也可以是，所述连通槽为圆弧形。

由此，在连通槽内，被密封流体追随旋转轴的旋转方向，从而容易在连通槽的整个周向上供给被密封流体。

也可以是，所述连通槽为波形。

由此，能够使被密封流体从连通槽向滑动面的外径侧的较宽范围流出，且能够增大连通槽的面积，因此能够进一步提高润滑性。

也可以是，所有的所述静压供给路通过所述连通槽连通。

由此，被密封流体在整个周向上被均衡地供给至滑动面的外径侧，因此能够进一步提高润滑性。

也可以是，所述动压槽由向被密封流体侧开口的深槽和与所述深槽连续且沿周向延伸的浅槽构成。

由此，即使在高速旋转时也能够通过深槽向浅槽可靠地供给被密封流体。

也可以是，所述动压槽向被密封流体侧开口，且由周向中央的深槽和与所述深槽的周向两侧连续并沿周向延伸且底面朝向周向末端逐渐变浅地倾斜的浅槽构成。

由此，能够使密封环向两个方向旋转地使用。

也可以是，所述深槽与所述连通槽连通。

由此，从连通槽向深槽供给被密封流体，因此被密封流体被充分地供给到作为正压产生部的浅槽，在整个动压槽中更容易得到由正压产生的浮力。

附图说明

图1是以局部简略标记示出本发明的实施例1中的密封环的立体图；

图2是示出由实施例1中的密封环形成的旋转轴与壳体之间的间隙的轴封构造的剖视图；

图3是实施例1中的密封环的局部侧视图；

图4是图3的密封环的A-A剖视图；

图5是实施例1中的变形例A的密封环的局部侧视图；

图6(a)和(b)是实施例1中的变形例B、C的密封环的局部侧视图；

图7是实施例1中的变形例D的密封环的局部侧视图；

图8是实施例1中的变形例E的密封环的局部侧视图；

图9(a)～(c)是实施例1中的变形例F～H的密封环的局部侧视图；

图10是本发明的实施例2中的密封环的局部侧视图。

图11是本发明的实施例3中的密封环的局部侧视图。

图12(a)是图11的密封环的B-B剖视图，(b)是示出静压槽的变形例的剖视图。

图13(a)和(b)是实施例3中的变形例I、J的密封环的局部侧视图。

具体实施方式

以下，根据实施例对本发明的密封环的实施方式进行说明。

实施例1

参照图1至图4对实施例1的密封环进行说明。以下，以图2的纸面右侧为被密封流体侧L、纸面左侧为大气侧A进行说明。另外，对被密封流体侧L处的被密封流体的流体压力高于大气压的情况进行说明。此外，滑动面由平坦面和与该平坦面相比凹陷的槽构成，为了便于说明，在附图中，用白色标记示出构成滑动面的平坦面，用点标记示出构成滑动面的槽。

本实施例的密封环1通过对相对旋转的旋转机械的旋转轴2与壳体3之间进行轴封，将壳体3的内部分隔为被密封流体侧L和大气侧A(参照图2)，防止被密封流体从被密封流体侧L向大气侧A泄漏。另外，旋转轴2和壳体3由不锈钢等金属制材料形成。此外，被密封流体是以设置在旋转机械的机械室中的未图示的齿轮、轴承等的冷却和润滑为目的而使用的流体，例如是油。

如图1和图2所示，密封环1是PTFE等的树脂成型品，通过在周向上的一个部位上设置接缝部1a而呈C字形，安装在沿着旋转轴2外周设置的截面矩形的环状槽20上来使用。此外，密封环1呈截面矩形，通过作用于被密封流体侧L的侧面的被密封流体的流体压力被按压向大气侧A，从而使形成在大气侧A的侧面10(以下，有时也仅称为侧面10)侧的滑动面S1与环状槽20的大气侧A的侧壁面21(以下，有时也仅称为侧壁面21)侧的滑动面S2滑动自如地紧密接触。另外，密封环1通过作用于内周面的被密封流体的流体压力而受到扩展方向的应力并被按压向外径方向，从而使外周面11与壳体3的轴孔30的内周面31紧密接触。

另外，滑动面S1、S2分别构成密封环1的侧面10与旋转轴2的环状槽20的侧壁面21的实际的滑动区域。此外，在侧面10侧，滑动面S1的外径侧连接有非滑动面S1’，在侧壁面21侧，滑动面S2的内径侧连接有非滑动面S2’(参照图2)。

如图1至图4所示，形成于密封环1的侧面10侧的滑动面S1由平坦面16、沿周向设置的多个动压槽12以及分别设置于在周向上相邻的动压槽12、12之间的静压槽13(静压供给路)构成。另外，动压槽12和静压槽13在除了接缝部1a附近以外的滑动面S1的周向上等间隔地配置，并在整个周向上交替地设置。

平坦面16由以下部分构成：密封部16a，其位于外径侧，夹着接缝部1a连续相连成大致环状；以及润滑部16b，其位于内径侧，在周向上夹在动压槽12与静压槽13之间，并与密封部16a相连(参照图3)。

如图3和图4所示，动压槽12具有相应于旋转轴2的旋转而产生动压的功能，并向密封环1的内径侧(被密封流体侧)开口，且由设置于周向中央的深槽120和从深槽120开始与周向两侧连续并沿周向延伸的一对浅槽121、122(正压产生部、负压产生部)构成。另外，在图3和图4中，夹着深槽120以纸面右侧为浅槽121(正压产生部)、纸面左侧为浅槽122(负压产生部)进行说明。

特别是，如图4所示，深槽120形成为底面平坦，浅槽121、122形成为底面从深槽120侧分别向周向末端逐渐变浅的倾斜面。此外，深槽120的底面形成为比浅槽121、122的最深部更深，深槽120的深度形成为几十μm至几百μm，优选形成为100μm至200μm。

如图3和图4所示，与旋转轴2的旋转/停止无关，只要被密封流体的压力比大气压高，静压槽13就会向滑动面S1、S2之间供给被密封流体，其从侧面观察呈大致矩形形状，向密封环1的内径侧(被密封流体侧)开口且外径侧被封闭，并且形成为在径向上比动压槽12(深槽120和浅槽121、122)长。此外，静压槽13的底面13d形成为平坦且与平坦面16平行，静压槽13的深度形成为与深槽120的深度大致相同。另外，静压槽13的深度也可以形成为比深槽120的深度更深(至深度1mm左右)。此外，静压槽13的三个侧面13a、13b、13c均从底面13d正交地延伸(特别是参照图4)。

接着，对旋转轴2旋转时的滑动面S1、S2之间的流体膜的形成进行说明。另外，在此，以旋转轴2沿图3中的白色箭头所示的顺时针方向旋转的情况，换言之，以密封环1相对于旋转轴2的环状槽20沿图3中的逆时针方向相对旋转的情况为例进行说明。在旋转轴2与壳体3相对旋转时，侧面10侧的滑动面S1相对于侧壁面21侧的滑动面S2滑动。此时，在设置于滑动面S1的动压槽12的深槽120和静压槽13中，从内径侧导入被密封流体。另外，在与旋转轴2的旋转方向相反方向侧(图3中的纸面左侧)的密封环1的浅槽122(以下仅称为浅槽122)中产生负压，另一方面，在与该旋转方向相同方向侧(图3中的纸面右侧)的密封环1的浅槽121(以下仅称为浅槽121)中，供给被导入到深槽120内的被密封流体且通过由倾斜面产生的楔形作用而产生正压。并且，动压槽12整体上产生正压，从而得到使滑动面S1、S2之间稍微远离的力即所谓浮力。通过使滑动面S1、S2之间稍微远离，高压的被密封流体从它们的内径侧流入滑动面S1、S2之间，并且从产生正压的浅槽121向滑动面S1、S2之间流出被密封流体。进而，在动压槽12中，在产生负压的浅槽122上作用有将周围的滑动面S1、S2之间存在的被密封流体吸入的力，因此能够从在周向上相邻的静压槽13向浅槽122及其周边的润滑部16b供给被密封流体。

由此，从导入高压的被密封流体的静压槽13向在周向上相邻的作为负压产生部的浅槽122供给被密封流体，从而在浅槽122及其周边的润滑部16b中保持被密封流体，并且从深槽120和浅槽122向作为正压产生部的浅槽121充分地供给被密封流体，因此能够在较宽的旋转区域内在滑动面S1、S2之间形成流体膜，从而能够提高密封环1的润滑性。

此外，动压槽12中的作为负压产生部的浅槽122向内径侧(被密封流体侧)开口，从滑动面S1的内径侧也能够导入被密封流体，从而容易将被密封流体保持在浅槽122中。

此外，在动压槽12中的作为负压产生部的浅槽122中保持被密封流体并降低负压，从而在滑动面S1、S2之间，能够在与形成动压槽12的径向位置对应的周向上抑制了压力(正压和负压)的偏差的状态下产生动压，因此能够在防止由气蚀等引起的振动的同时提高密封环1的润滑性。

此外，静压槽13形成为在径向上比动压槽12(特别是浅槽122)长，因此能够从在周向上相邻的静压槽13向作为负压产生部的浅槽122可靠地供给被密封流体。进而，通过使静压槽13延伸至比动压槽12更靠外径侧的位置，能够将被密封流体供给至滑动面S1的外径侧(比动压槽12更靠外径侧)而在滑动面S1、S2之间形成流体膜，因此能够进一步提高密封环1的润滑性。

此外，通过在由动压槽12、12沿周向夹着的位置上设置静压槽13，不论使密封环1向哪个方向旋转，都能够从在周向上相邻的静压槽13向作为负压产生部的浅槽122可靠地供给被密封流体。进而，动压槽12和静压槽13在滑动面S1的整个周向上交替地设置，因此能够从在周向上相邻的静压槽13向所有的动压槽12供给被密封流体，因此能够在滑动面S1的整个周向上均衡地产生浮力。此外，除动压槽12之外还形成静压槽13，从而能够减小滑动面S1、S2之间的接触面积(平坦面16的面积)，并且在静压槽13内贮存被密封流体，促进滑动面S1、S2之间的润滑，因此能够抑制滑动面S1的磨损。

此外，静压槽13是从滑动面S1的内径侧到外径侧沿径向连续地开口的槽，因此被密封流体从静压槽13内追随旋转轴2的旋转方向而流出，由此能够向滑动面S1、S2之间的较宽范围供给被密封流体。此外，静压槽13的外径端形成在比动压槽12的外径端更靠外径侧，因此能够从在周向上相邻的静压槽13向动压槽12中的作为负压产生部的浅槽122可靠地供给被密封流体，并且能够向滑动面S1、S2之间的位于外径侧(比动压槽12更靠外径侧)的密封部16a供给被密封流体而在该密封部16a上形成流体膜，因此能够进一步提高密封环1的润滑性。

此外，动压槽12由向内径侧开口的周向中央的深槽120和与深槽120的周向两侧连续并沿周向延伸且底面朝向周向末端逐渐变浅地倾斜的浅槽121、122构成，因此能够使密封环1向两个方向旋转地使用，即使在高速旋转时也能够通过深槽120向浅槽121、122中的任一个可靠地供给被密封流体。

此外，密封环1为C字形，因此即使密封环1的周长因热胀冷缩而变化，也能够稳定地维持密封性能。

接着，对实施例1中的密封环1的变形例进行说明。作为实施例1中的密封环1的变形例A，如图5所示，静压槽13也可以形成为径向的长度与动压槽12大致相同。此外，作为实施例1中的密封环1的变形例B、C，如图6(a)或图6(b)所示，静压槽13的周向宽度也可以形成为周向长度小于径向长度的1/3的较小宽度、或者周向长度为径向长度的1倍以上的较大宽度。此外，作为实施例1中的密封环1的变形例D，如图7所示，静压槽13也可以在周向上相邻的动压槽12、12之间沿周向形成多个。此外，作为实施例1中的密封环1的变形例E，如图8所示，静压供给路113也可以不是槽，而是形成为在密封环1内呈大致L字形延伸的连通孔。详细而言，静压供给路113具有：开口部113a，其在滑动面S1的外径侧在周向上相邻的动压槽12、12之间向轴向开口；以及开口部113b，其在密封环1的内周面的轴向(厚度方向)大致中央处向内径方向开口。

此外，作为实施例1中的密封环1的变形例F～H，如图9(a)～图9(c)所示，动压槽12也可以自由地构成，例如，可以形成为T字形槽、瑞利台阶、螺旋槽等。

实施例2

接着，参照图10对实施例2的密封环进行说明。另外，对于与上述实施例中所示的构成部分相同的构成部分，标注相同的附图标记并省略重复的说明。

对实施例2中的密封环201进行说明。如图10所示，在本实施例中，形成于密封环201的侧面210的滑动面S1(参照图2)由平坦面216、沿周向设置的多个动压槽212以及分别设置于在周向上相邻的动压槽212、212之间的静压槽213(静压供给路)构成。

动压槽212向密封环201的内径侧(被密封流体侧)开口，且由设置于周向中央的深槽220和从深槽220开始与周向两侧连续并沿周向延伸的一对浅槽221、222(正压产生部、负压产生部)构成。此外，深槽220形成为在径向上比浅槽221、222长，并与静压槽213的径向长度大致相同。

由此，动压槽212的深槽220形成为与静压槽213的径向长度大致相同，从而被密封流体从静压槽213和动压槽212的深槽220的外径侧追随旋转轴2的旋转方向而流出，因此能够将被密封流体充分地供给到滑动面S1、S2之间的外径侧为止的较宽范围。进而，从导入高压的被密封流体的静压槽213内、特别是从外径侧追随旋转轴2的旋转方向而流出的被密封流体被供给到深槽220的外径侧，并且从深槽220和浅槽222向作为正压产生部的浅槽221充分地供给被密封流体，因此能够在较宽的旋转区域内在滑动面S1、S2之间形成流体膜，从而能够提高密封环201的润滑性。

实施例3

接着，参照图11和图12对实施例3的密封环进行说明。另外，对于与上述实施例中所示的构成部分相同的构成部分，标注相同的附图标记并省略重复的说明。

对实施例3中的密封环301进行说明。如图11所示，在本实施例中，形成于密封环301的侧面310的滑动面S1(参照图2)由平坦面316、沿周向设置的多个动压槽312以及分别设置于在周向上相邻的动压槽312、312之间的静压槽313(静压供给路)构成。

动压槽312向密封环301的内径侧(被密封流体侧)开口，且由设置于周向中央的深槽320和从深槽320开始与周向两侧连续并沿周向延伸的一对浅槽321、322(正压产生部、负压产生部)构成。此外，深槽320形成为在径向上比浅槽321、322长，并与静压槽313的径向长度大致相同。进而，沿周向设置有多个的所有的动压槽312的深槽320和静压槽313通过在外径侧沿周向延伸的圆弧形的连通槽314连通。另外，连通槽314形成在平坦面316的外径侧、且形成在夹着接缝部1a(参照图1)连续相连成大致环状的密封部316a的内径侧。

此外，如图12(a)所示，静压槽313与连通槽314形成为深度大致相同。另外，虽然为了便于说明而省略了图示，但动压槽312的深槽320也形成为与连通槽314的深度大致相同。

此外，通过设置连通槽314，能够使被密封流体向滑动面S1、S2之间的外径侧的较宽范围流出，能够提高密封环301的润滑性。进而，所有的深槽320与连通槽314连通，因此在连通槽314的整个周向上供给的被密封流体被供给到深槽320，因此被密封流体被充分地供给到作为正压产生部的浅槽321，在整个动压槽312中更容易得到由正压产生的浮力。

另外，如图12(b)所示，也可以是，静压槽313形成为内径侧的深度比外径侧的深度更深，连通槽314形成为与静压槽313的内径侧的深度大致相同。由此，被密封流体容易从静压槽313的内径侧向外径侧流动，因此被密封流体容易被导入到连通槽314内，能够进一步提高密封环301的润滑性。

此外，关于实施例1的密封环1中的静压槽13，可以形成为从内径侧到外径侧深度相同，也可以形成为内径侧的深度比外径侧的深度浅。

此外，作为实施例3中的密封环301的变形例I，如图13(a)所示，也可以是，连通槽314形成为在径向上从多个部位沿周向延伸(例如两条)。

此外，作为实施例3中的密封环301的变形例J，如图13(b)所示，也可以是，连通槽314形成为波形。由此，能够使被密封流体从连通槽314向滑动面S1的外径侧的较宽范围流出，且能够增大连通槽314的面积，因此能够进一步提高密封环301的润滑性。

以上，根据附图对本发明的实施例进行了说明，但具体的结构不限于这些实施例，即使有在不脱离本发明主旨的范围内的变更、追加，也包含在本发明中。

例如，也可以对上述实施例2应用上述实施例1的变形例A～E所示的静压槽的结构，还可以对上述实施例3应用上述实施例1的变形例B～E所示的静压槽的结构。

此外，设置在密封环的滑动面S1上的动压槽和静压槽的数量、形状可以适当地变更，以获得期望的动压效果。另外，对于导入被密封流体的动压槽的深槽、静压槽的设置位置、形状，可以根据滑动面的预计磨损程度适当地变更。

此外，静压槽的底面、侧面的形状不限于矩形形状，也可以自由地构成，侧面也可以从底面倾斜地延伸。

此外，密封环也可以构成为不设置接缝部1a的环状，其外形不限于从侧面侧观察的形状为圆形，也可以形成为多边形。

此外，密封环不限于截面矩形形状的密封环，例如，也可以为截面梯形形状、截面多边形形状的密封环，还可以为形成滑动面S1的侧面倾斜的密封环。

此外，也可以相对于旋转轴2的环状槽20的滑动面S2形成上述实施例所示的槽。

此外，虽然以油为例对被密封流体进行了说明，但被密封流体也可以为水、冷却液等液体，还可以为空气、氮气等气体。

符号说明

1～301：密封环；2：旋转轴；3：壳体；10：侧面；12：动压槽；13：静压槽(静压供给路)；16：平坦面；16a：密封部；16b：润滑部；20：环状槽；21：侧壁面；113：静压供给路；120：深槽；121：浅槽(正压产生部)；122：浅槽(负压产生部)；210：侧面；212：动压槽；213：静压槽(静压供给路)；216：平坦面；220：深槽；221：浅槽(正压产生部)；222：浅槽(负压产生部)；310：侧面；312：动压槽；313：静压槽(静压供给路)；314：连通槽；316：平坦面；316a：密封部；320：深槽；321：浅槽(正压产生部)；322：浅槽(负压产生部)；S1、S2：滑动面；S1’、S2’：非滑动。

Claims (13)

1.一种密封环，其对旋转轴与壳体之间的间隙进行轴封，其中，

在所述密封环的滑动面上设置有：动压槽，其具有正压产生部和负压产生部；以及静压供给路，其从内径侧向外径侧延伸且向被密封流体侧开口，

在周向上按照所述正压产生部、所述负压产生部、所述静压供给路的顺序进行配置。

2.根据权利要求1所述的密封环，其中，在由所述动压槽沿周向夹着的位置上设置有所述静压供给路。

3.根据权利要求1或2所述的密封环，其中，所述动压槽和所述静压供给路在所述滑动面的整个周向上交替地设置。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的密封环，其中，所述静压供给路是从内径侧形成至外径侧的槽。

5.根据权利要求4所述的密封环，其中，所述静压供给路形成为内径侧的深度比外径侧的深度更深。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的密封环，其中，所述静压供给路的外径端形成在比所述动压槽的外径端更靠外径侧。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的密封环，其中，多个所述静压供给路通过在外径侧沿周向延伸的连通槽连通。

8.根据权利要求7所述的密封环，其中，所述连通槽为圆弧形。

9.根据权利要求7所述的密封环，其中，所述连通槽为波形。

10.根据权利要求7至9中任一项所述的密封环，其中，所有的所述静压供给路通过所述连通槽连通。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的密封环，其中，所述动压槽由向被密封流体侧开口的深槽和与所述深槽连续且沿周向延伸的浅槽构成。

12.根据权利要求1至10中任一项所述的密封环，其中，所述动压槽向被密封流体侧开口，且由周向中央的深槽和与所述深槽的周向两侧连续并沿周向延伸且底面朝向周向末端逐渐变浅地倾斜的浅槽构成。

13.根据权利要求11或12所述的密封环，其中，所述深槽与所述连通槽连通。

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