CN112074728A - 荧光x射线分析系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够计算正确的测量时间的荧光X射线分析系统。通过对样品的表面照射1次X射线所产生的荧光X射线对所述样品进行分析，具有：作业执行部，执行表示处理条件的作业，处理条件是表示组合多个分析所需的动作而构成的测量条件的菜单与由该菜单所表示的测量条件所测量的样品相关联的条件；存储部，使各动作所需要的时间与各动作预先关联存储；计算部，当生成了作业时，基于存储部中存储的时间，对每个作业计算直到该作业的执行结束为止的时间；以及控制部，当作业被执行时，使动作所需的时间与该动作重新关联存储在所述存储部中，其中，当作业被执行时，计算部还基于存储部重新存储的时间计算直到作业的执行结束为止的时间。

Description

荧光X射线分析系统

技术领域

本发明涉及荧光X射线分析系统。

背景技术

在直到所指示的动作完成为止需要时间的装置中，存在测量直到该动作结束为止的时间的装置。

例如，专利文献1公开了一种X射线分析装置，在通过移动放置有样品的平台来仅测量样品的特定区域的X射线分析装置中，在存在多个移动路径时，模拟测量时间变短的路径。

专利文献2公开了一种扫描电子显微镜，具有根据计算出的出现率和测定条件、异物或缺陷个数计算测量时间的功能。

专利文献3公开了一种自动化学分析装置，当输入测量条件、测量开始的指示时，基于输入数据显示测量所需的时间及测量的剩余时间。

专利文献4公开了一种测量机，根据给出了的测量条件自动计算并显示直到测量完成为止的时间。

专利文献5公开了一种X射线分析装置，具备显示部，该显示部基于扫描模式、扫描范围等输入的测量条件，计算测量时间及测量结束预定时刻，并根据该计算出的结果显示测量结束预定时刻。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2012-189399号公报

专利文献2:日本特开2001-338601号公报

专利文献3:日本特开昭59-061779号公报

专利文献4:日本特开平05-107051号公报

专利文献5:日本特开昭63-08148号公报

发明内容

发明所要解决的课题

上述专利文献1至5中记载的各装置分别基于预先设定的时间来计算时间。因此，计算出的时间未考虑设备的个体差异、经时变化，并非正确的时间。特别是在荧光X射线分析系统中，直到真空度达到一定值为止的时间等变化较大，无法高精度地计算测量时间。

本发明是鉴于上述课题而作出的，其目的在于提供一种荧光X射线分析系统，其能够对每个荧光X射线分析系统计算反映了该荧光X射线分析系统的状态的正确的测量时间。

用于解决课题的方案

技术方案1所述的荧光X射线分析系统，通过对样品的表面照射1次X射线所产生的荧光X射线而对所述样品进行分析，其特征在于，具有：作业执行部，执行表示处理条件的作业，所述处理条件是表示组合多个所述分析所需的动作而构成的测量条件的菜单与由该菜单(recipe)所表示的测量条件所测量的所述样品相关联的条件；存储部，使各所述动作所需要的时间与各动作预先关联存储；计算部，当生成了所述作业时，基于所述存储部中存储的时间，对每个所述作业，计算直到该作业的执行结束为止的时间，以及控制部，当所述作业被执行时，使所述动作所需的时间与该动作重新关联存储在所述存储部中，其中，当所述作业被执行时，所述计算部还基于所述存储部重新存储的时间计算直到所述作业的执行结束为止的时间。

技术方案2所述的荧光X射线分析系统，在技术方案1所述的荧光X射线分析系统中，其特征在于，所述存储部使所述菜单所表示的测量条件中包含的一系列动作的执行所需的时间与该菜单预先关联存储，当生成了所述作业时，所述计算部基于预先与所述菜单关联存储的时间，对每个所述作业，计算直到该作业的执行结束为止的时间，当所述菜单所表示的测量条件中包含的一系列动作被执行时，所述控制部使该一系列动作的执行所需的时间与该菜单重新关联存储在所述存储部中，在所述菜单所表示的测量条件被执行时，所述计算部还基于所述存储部重新存储的时间计算直到所述作业的执行结束为止的时间。

技术方案3所述的荧光X射线分析系统，在技术方案2所述的荧光X射线分析系统中，其特征在于，所述作业在所述存储部中存储1个或多个，当存储的所述作业被复制而生成了新的所述作业时，所述控制部使与作为复制源的所述作业关联的时间与该新的所述作业关联存储在所述存储部中。

技术方案4所述的荧光X射线分析系统，在技术方案3所述的荧光X射线分析系统中，其特征在于，所述控制部还在所述复制的作业改变时，评价改变的程度，根据评价，控制使得将在与作为复制源的所述作业关联的时间上加上基于改变的校正而得到的时间存储在所述存储部中，或者，将基于预先与所述菜单关联存储的时间与改变后的作业的内容而计算出的时间存储在所述存储部中。

技术方案5所述的荧光X射线分析系统，在技术方案1至4中任一项所述的荧光X射线分析系统中，其特征在于，所述计算部基于所述存储部最近存储的多个所述时间的中间值计算直到所述作业的执行结束为止的时间。

技术方案6所述的荧光X射线分析系统，在技术方案1至4中任一项所述的荧光X射线分析系统中，其特征在于，所述计算部基于所述存储部最近存储的多个所述时间的平均值计算直到所述作业的执行结束为止的时间。

技术方案7所述的荧光X射线分析系统，在技术方案1至6中任一项所述的荧光X射线分析系统中，其特征在于，还具有显示部，显示直到所述作业的执行结束为止的时间。

发明的效果

根据技术方案1、2、5及6所述的发明，能够针对每个荧光X射线分析系统计算反映了该荧光X射线分析系统的状态的准确的测量时间。此外，例如，当将该荧光X射线分析系统并入生产线时，通过减少该生产线中包括的其他装置的等待时间，能够提高生产效率。

根据技术方案3、4所述的发明，能够在重新生成了作业时计算正确的测量时间。

根据技术方案7所述的发明，用户能够容易地辨认测量时间。

附图说明

图1是示意性地示出本发明实施方式的荧光X射线分析系统的图。

图2是示出信息处理部的功能结构的图。

图3是示出动作表的一例的图。

图4是示出菜单表的一例的图。

图5是示出作业管理表的一例的图。

图6是示出作业表的一例的图。

图7是示出菜单制作画面的一例的图。

图8是示出作业制作画面的一例的图。

图9是示出作业执行画面的一例的图。

具体实施方式

以下，作为示例，使用VPD一体型全反射荧光X射线分析装置说明用于实施本发明的优选实施的方式(以下称为实施方式)。图1示意性地示出了本发明的荧光X射线分析系统100。

荧光X射线分析系统100具有样品保管装置102、传送装置104和荧光X射线分析装置106。荧光X射线分析装置106具有载入锁定部108、对准器部110、VPD(Vapor PhaseDecomposition)部112、测量部114、快门116、信息处理部118和显示部120。

样品保管装置102保管作为测量对象的样品128。具体地，例如，样品保管装置102配置有载体。载体例如是收纳一批样品128的收纳器，配置在样品存储装置102的内部。例如，在载具上放置一批25个Si基板等样品128。样品保管装置102例如收纳2批分量的载体。

传送装置104传送作为测量对象的样品128。具体地，例如，传送装置104具有能够改变高度的底座部、移动底座部的轨道部、载置样品128的手臂部、伸缩的伸缩部。传送装置104通过底座部、轨道部和伸缩部的动作，在样品保管装置102和荧光X射线分析装置106之间传送样品128。

另外，传送装置104还可以配置在荧光X射线分析装置106内部。配置在荧光X射线分析装置106内部的传送装置104在载入锁定部108、对准器部110、VPD部112和测量部114之间传送样品128。

载入锁定部108使样品128的放置环境从真空到大气压或者从大气压到真空进行变化。具体地，例如，样品128经由载入锁定部108从对准器部110或VPD部112传送到测量部114。载入锁定部108通过真空泵(未图示)从载入锁定部108的内部排出空气，将样品128放置在真空环境。此外，载入锁定部108在将样品128从载入锁定部108传送到样品保管装置102之前，通过将空气注入到载入锁定部108内部，将样品128放置在大气压环境中。

对准器部110进行样品128的对位。具体地，为了使VPD处理中的液滴的回收位置不偏离，对准器部110使对准器部110的底座与样品128对位。

VPD单元112是回收样品128中包含的被测量物的装置。具体地，例如，对样品128是作为被测量物的杂质和该杂质附着在表面上的基板的情况进行说明。

首先，VPD部112暴露于溶解附着在基板表面的杂质等的气体中，溶解杂质等。接下来，VPD部112将液滴从喷嘴滴到基板上，并且使所滴下的液滴在基板表面上移动，将被测量物取入到液滴中。接着，VPD部112在将被测量物回收到液滴中后，在基板的预先设定的位置使液滴从喷嘴分离。由此，取入被测量物的液滴留在基板上的规定位置。被测量物的回收不仅可以对基板表面的整个面进行，也可以对基板表面的指定部分、斜面部(基板的边缘部)进行。接下来，VPD部112使液滴干燥，使被测量物保持在基板的表面上。

由此，将附着在基板表面的被测量物集中在一处。通过VPD处理，即使被测量物是微量的，也能够进行荧光X射线分析。另外，虽然VPD部112具有进行气相分解的气相分解部、回收液滴的液滴回收部，但是在图1中以简化描述。

测量部114通过在样品128的表面上以全反射临界角以下的微小角度照射一次X射线而根据产生的荧光X射线来分析样品128。具体地，测量部114具有X射线源122、样品台124和检测器126。

X射线源122将产生荧光X射线的一次X射线照射在样品128的表面上。样品台124放置作为测量对象的样品128。样品台124进行样品128的对位。检测器126是Si(Li)或SDD等检测器。检测器126配置在样品128之上(附图上的靠前侧)。例如，检测器126测量荧光X射线的强度，并输出具有与所测量的荧光X射线的能量相应的波高值的脉冲信号。此外，检测器126的输出由多通道分析器等计数器(未图示)根据波高值来计数。此外，分析部(未示出)根据计数器的计数结果，通过校准线法、FP(基本参数)方法对样品128中包含的元素进行定量分析。

快门116被配置在各部的边界上。具体地，快门116被配置在朝向载入锁定部108的传送装置104的面、朝向VPD部112的传送装置104的面、和载入锁定部108与测量部114的边界上。快门116在各个部分之间传送样品128的定时打开。由此，测量部114保持真空状态。此外，防止VPD部112内部的气体流入对准器部110、载入锁定部108。

信息处理部118控制荧光X射线分析装置106的各部的动作。具体地，例如，信息处理部118是PC(Personal Computer)，并且控制测量部114的动作、快门116的开闭等。

图2是示出信息处理部118的功能结构的框图。信息处理部118包括作业执行部202、存储部204、计算部206和控制部208。

作业执行部202执行作业。具体地，作业执行部202执行表示处理条件的作业，该处理条件关联表示组合多个分析所需的动作而构成的测量条件的菜单(recipe)与由该菜单所表示的测量条件所测量的样品128。

作业是将被指定为载体内的测量对象的一个或多个样品128与表示各样品128的测量条件的菜单相关联的一系列的处理的执行条件。作业在存储部204中存储1个或多个。菜单例如是图4所示的VPD处理、X射线测量的测量条件。

存储部204将各动作所需的时间与该各动作预先关联存储。具体地，存储部204例如是主存储部(例如RAM)和辅助存储部(例如，非易失性半导体存储器、硬盘驱动器或固态驱动器)。此外，存储部204存储程序、后述的各种表。

图3是表示存储部204中存储的动作表的一例的图。如图3所示，工作表包括动作ID字段、动作字段、参数字段和处理时间字段。另外，处理时间字段至少包括处理时间1字段，根据荧光X射线分析设备106的状态包括处理时间2字段至处理时间n字段。

动作ID字段表示唯一识别各动作的信息。例如，如图3所示，与传送1对应的动作ID是“0”，与VPD处理1对应的动作ID是“9”。

动作字段表示荧光X射线分析系统100执行的动作的上级类别。具体地，图3中的传送1至传送8表示在样品保管装置102、载入锁定部108、对准器部110、VPD部112及测量部114之间传送样品128的动作。传送9表示在测量点之间移动样品128的动作。VPD处理1至VPD处理4表示将样品128暴露在气体中溶解回收的操作。测量1至测量5表示测量部114执行用于分析样品128中包括的元素的各动作。

参数字段表示由荧光X射线分析系统100执行的操作的下级类别。具体地，如图3所示，与“传送1”相关联的参数字段是“样品保管装置102至对准器部110”。同样地，与“传送2”相关联的参数字段是“对准器部110至载入锁定部108”。与“传送3”相关联的参数字段是“对准器部110至VPD部112”。与“传送4”相关联的参数字段是“VPD部112至载入锁部108”。与“传送5”相关联的参数字段是“VPD部112至测量部114”。与“传送6”相关联的参数字段是“载入锁定部108至测量部114”。与“传送7”相关联的参数字段是“载入锁定部108至样品保管装置102”。与“传送8”相关联的参数字段是“测量部114至载入锁定部108”。与“传送9”相关联的参数字段是“测量点之间”。

在此，与“传送1”至“传送8”相关联的各参数表示传送时的起点和终点。此外，与“传送9”相关联的参数表示当针对一个样品128的测量位置是多个时，从一个测量点向另一个测量点的传送。

与“VPD处理1”相关联的参数字段是暴露于溶解样品128的气体中溶解的气相分解处理。与“VPD处理2”相关联的参数字段是从喷嘴向基板滴下液滴并使滴下的液滴在基板表面上移动，将被测量物取入到液滴中的扫描回收处理。与“VPD处理3”相关联的参数字段是干燥液滴并使样品128保持在基板的表面上的干燥处理。与“VPD处理4”相关联的参数字段是清洗回收样品128的喷嘴的处理。

与“测量1”相关联的参数字段是在样品128的指定位置处进行的X射线测量。与“测量2”相关联的参数字段是接通X射线源122的电源的处理。与“测量3”相关联的参数字段是在X射线源122的电源接通之后执行的逐步最大化(设定)功率的老化处理(斜坡上升)。与“测量4”相关联的参数字段是关闭X射线源122的电源的处理。与“测量5”相关联的参数字段是使X射线源122的电源逐步最小化功率的处理(斜坡下降)。

组合了动作字段与参数字段的信息是表示与各动作ID相关联的动作的内容的信息。另外，存储部204也可以将动作字段与参数字段存储为一个字段。

处理时间字表示作为各动作所需时间的处理时间。具体地，处理时间1字段表示预先与各动作关联存储的时间。例如，处理时间“25”作为设计值预先与动作ID“0”相关联。这表示预先设定25秒的值作为从样品保管装置102向对准器部110输送所需的时间。此外，预先设定的时间也可以是测试运转时的实际值。

此外，处理时间2字段至处理时间n字段表示在执行动作时，该动作所需的时间的实际值。例如，在执行从与动作ID“0”对应的样品保管装置102向对准器部110的传送动作时，需要23秒。此时，与动作ID“0”相关联，将值“23”存储在处理时间2字段。

另外，存储在处理时间2字段至处理时间n字段中的时间是包括伴随动作执行的处理所需时间的时间。例如，伴随传送动作，有时进行快门116的开闭、抽真空等处理。此时，在处理时间字段中，存储包含该处理所需时间的动作处理时间。特别是在制作荧光X射线分析系统100时初始设定时和将荧光X射线分析系统100设置在实际的使用场所时，抽真空时间由于真空配管、处理等原因而有很大的不同。此外，抽真空时间在经年变化、维护前后也有很大的不同。

可以在每当荧光X射线分析系统100执行动作表的各个动作时添加处理时间字段。此外，也可以在每当荧光X射线分析系统100多次执行动作表的各个动作时增加处理时间字段。处理时间字段可以根据需要增加。此外，当处理时间字段达到预定数量时，可以不增加到该数量。此时，当处理时间字段达到预定数量之后，实际值从旧处理时间字段开始依次覆盖存储。

此外，与X射线测量动作相关联的动作ID可以是多个。具体而言，在制作了多个后述的菜单的情况下，根据各菜单所表示的测量条件，执行X射线测量这一动作所需的时间不同。因此，在制作了n个菜单时，参数字段中也可以设定“X射线测量1”、“X射线测量2”(中间省略)“X射线测量n”的值。在与各参数字段相关联的处理时间字段中，设定各自对应的菜单所表示的测量条件所对应的时间。

存储部204还将菜单所表示的测量条件中包含的一系列动作的执行所需的时间与该菜单关联存储。具体而言，例如，存储部204存储图4所示的菜单表。

图4是示出存储在存储部204中的菜单表的一例的图。各菜单表将固有的菜单ID及后述的菜单处理时间关联存储。此外，菜单表包含动作ID字段及多个菜单参数字段。在动作ID字段及多个菜单参数字段中设定的各值，通过用户在后述的菜单制作画面700中输入各值来设定。

在此，菜单所表示的测量条件包括X射线测量所需的各个动作，但不包括传送样品128的动作。此外，当指定了进行VPD处理时，菜单所表示的测量条件包括VPD处理的各动作和与X射线测量相关的各动作。

此外，测量动作不仅是测量对样品128照射X射线而产生的荧光X射线的强度的动作，还可以包括中心强度校正测量动作。另外，中心强度校正测量动作是将各个测量点的晶片表面的倾斜根据平台(stage)的角度调整，并且与将来自基板的荧光X射线强度作为基准的强度相匹配的动作。即使在样品128的表面具有弯曲等的情况下，也能够通过中心强度校正测量动作来校正其影响。

动作ID字段表示与包含用户设定的测量条件的动作相关联的动作ID。具体而言，与气相分解相关的动作包括气相分解处理、扫描回收处理、干燥处理、喷嘴清洗处理等。因此，与该动作相关联的“9”到“12”的动作ID被设定为动作ID字段。

此外，为了执行X射线测量的动作，需要设定X射线管电压、X射线管电流等条件。因此，与该动作相关联的“13”的动作ID被设定为动作ID字段。例外，在菜单表的动作ID字段中也可以设定上述以外的动作ID。

菜单参数字段是用户针对各动作设定的信息。具体地，例如，当用户将气相分解处理时间设定为“100”秒时，与动作ID“9”相关联，将值“100”设定到菜单参数1字段。当用户将在VPD处理中进行扫描回收的范围设定为整体时，与动作ID“10”相关联，将值“整体”设定到菜单参数1字段。当用户将干燥处理时间设定为“100”秒时，与动作ID“11”相关联，将值“100”设定到菜单参数1字段。当用户将喷嘴洗净时间设定为“100”秒时，与动作ID“12”相关联，将值“100”设定到菜单参数1字段。

此外，在动作ID字段中设定的一个动作ID也可以与多个菜单参数字段相关联。此外，菜单表也可以包括菜单参数1字段至菜单参数n字段。具体地，例如，如图4所示，可以将菜单参数1字段的值“X射线管电压(kV)”及“X射线管电流(mA)”与动作ID“13(X射线测量)”相关联。

在此，例如，当用户将X射线管电压设定为“100”kV时，与菜单参数1字段“X射线管电压(kV)”相关联，将值“100”设定到菜单参数2字段。此外，当用户将X射线管电流设定为“100”mA时，与菜单参数1字段“X射线管电流(mA)”的相关联，将值“100”设定到菜单参数2字段。

同样地，例如，对于动作ID“13(X射线测量)”，可以将菜单参数1字段的值“激发线(分光元件选择)”、“X射线照射角度(deg)”、“计数时间”及“测量坐标”相关联。

具体地，例如，测量部114包括n个分光元件，对各分光元件关联“1”至“n”的值。当用户选择了与“1”相关联的分光元件时，与菜单参数1字段“激发线(分光元件选择)”相关联，将值“1”设定到菜单参数2字段。

此外，当用户将X射线的照射角度设定为“0.5”度时，与菜单参数1字段“X射线照射角度(deg)”相关联，将值“0.5”设定到菜单参数2字段。当用户将计数时间设定为“100”秒时，与菜单参数1字段“计数时间”相关联，将值“100”设定到菜单参数2字段。在此，计数时间是对检测器126检测到的荧光X射线的数量进行计数的时间。

当用户将样品上的xy坐标系的测量位置设定为“0，0”时，与菜单参数1字段“测量坐标”相关联，将值“0，0”设定到菜单参数2字段。另外，基板的中心对应于菜单参数2“0，0”(在xy坐标系中x坐标及y坐标为“0”)。此外，当用户设定了多个测量坐标时，与菜单参数1字段“测量坐标”相关联，表示设定的坐标的值被设定到菜单参数3字段以后。

基于用户设定的菜单参数字段的值，由计算部206计算菜单处理时间。具体而言，计算部206基于菜单表中包含的各测量条件、和动作表中包含的各处理时间，计算用于执行该菜单所表示的测量条件所需的时间。另外，在图4中只记载了一个菜单处理时间，但也可以是多个。如后所述，在执行作业时追加菜单处理时间。

存储部204还存储用于管理各作业的作业管理表。图5是表示存储部204中存储的作业管理表的一例的图。如图5所示，各作业管理表将固有的作业ID及后述的作业处理时间关联存储。作业ID表示唯一识别各作业的信息。此外，作业管理表还包括狭缝字段、动作ID/菜单ID字段和处理时间字段。

狭缝字段表示配置有作为测量对象的样品128的狭缝的编号。具体地，例如，将说明配置在样品保管装置102内部的载体具有25个狭缝的情况。当用户指定依次交换配置在狭缝1至25中的样品128并测量时，则狭缝字段从上方开始依次设置值“1”、“2”、“3”、“4”、(中间省略)、“25”。

动作ID字段表示识别对配置在对应的狭缝中的样品128执行的动作的动作ID。动作ID字段主要设置表示与样品128的传送有关的动作的动作ID。

菜单ID字段表示与对配置在对应的狭缝中的样品128执行的测量条件相关联的菜单ID。在后述的作业制作画面800中用户指定了菜单ID时，菜单ID字段设定被指定的菜单ID。

具体地，将说明如下情况：基于对编号“1”至“25”的狭缝中配置的样品128按顺序关联了菜单ID“1”至“25”的菜单进行分析。此外，由菜单ID“1”和“4”相关联的菜单所表示的测量条件包括与VPD处理和X射线测量有关的测量条件。由与菜单ID“2”、“3”和“25”相关联的菜单所表示的测量条件不包括VPD处理，仅包括与X射线测量相关的测量条件。

此时，对于配置在编号“1”的狭缝中的样品128，依次进行从样品保管装置102向对准器部110的传送(动作ID“0”)、从对准器部110向VPD部112的传送(动作ID“2”)、VPD处理、从VPD部112向测量部114的传送(动作ID“4”)、X射线测量、从测量部114向载入锁定部108的传送(动作ID“7”)、以及从载入锁定部108向样品保管装置102的传送(动作ID“6”)。

在此，当进行从载入锁定部108向样品保管装置102传送(动作ID“6”)时，并行进行对配置在编号“2”的狭缝中的样品128的各动作。因此，对于配置在编号“1”的狭缝中的样品128，表示单独执行的动作的动作ID是“0，2，4，7”。

因此，与狭缝的编号“1”相关联，与用于进行VPD处理及X射线测量所需的动作相关联的值“0、2、4、7”设定在动作ID字段中。此外，与狭缝的编号“1”相关联，将值“1”设定在菜单ID字段中。

同样地，对于配置在编号“2”的狭缝中的样品128，进行从样品保管装置102向载入锁定部108的传送、从载入锁定部108向测量部114的传送、X射线测量、从测量部114向载入锁定部108的传送、以及从载入锁定部108向样品保管装置102的传送。

在此，当进行从样品保管装置102向载入锁定部108的传送时，并行地进行对配置在编号“1”的狭缝中的样品128的各动作。此外，当进行从载入锁定部108向样品保管装置102的传送时，并行地进行对配置在编号“3”的狭缝中的样品128的各动作。因此，对于配置在编号“2”的狭缝中的样品128，表示单独执行的动作的动作ID是“5，7”。

因此，与狭缝的编号“2”相关联，与用于进行X射线测量所需的动作相关联的值“5、7”设定在动作ID字段中。此外，与狭缝的编号“2”相关联，将值“2”设定在菜单ID字段中。

同样地，表示对于编号“3”至“25”的狭缝中配置的样品128单独执行的动作的动作ID，与各狭缝的编号相关联而设定在动作ID字段中。具体地，与狭缝的编号“3”相关联，与用于进行X射线测量所需的动作相关联的值“5，7”被设定在动作ID字段中，该值与进行X射线测量所需的动作相关联。此外，与狭缝的编号“3”相关联，将值“3”设定在菜单ID字段中。

此外，与狭缝的编号“4”相关联，与用于进行VPD处理及X射线测量所需的动作相关联的值“5，7”被设定在动作ID字段中。此外，与狭缝的编号“4”相关联，将值“4”设定在菜单ID字段中。

此外，与狭缝的编号“25”相关联，与用于进行X射线测量所需的动作相关联的值“5，7，6”被设定在动作ID字段中。此外，与狭缝的编号“25”相关联，将值“25”设定在菜单ID字段中。另外，编号“25”的狭缝中配置的样品128单独进行从载入锁定部108向样品保管装置102的传送(动作ID“6”)，将值“6”设定在菜单ID字段中。

处理时间字段表示当执行由相关联的动作ID或菜单ID所表示的动作或测量条件时所需的时间。具体而言，计算部206基于动作表计算在动作ID字段中设定的值所表示的动作的执行所需的时间。此外，计算部206基于动作表计算在菜单ID字段中设定的值所表示的测量条件的执行所需的时间。

例如，与动作表中包含的动作ID“0，2，4，7”相关联，在处理时间1字段中设定值“25”、“20”、“25”、“20”。因此，狭缝的编号“1”与对应的动作ID“0，2，4，7”相关联，将值“90”设定在处理时间字段中。狭缝的编号“1”与对应的菜单ID“1”相关联，将值“6000”设定到处理时间字段。同样地，与狭缝的编号“2”至“25”相关联，设定将各个操作或测量条件所需的时间相加而获得的值。

作业处理时间表示执行对应的作业时所需的时间。具体地，与作业ID相关联的工作处理时间是将作业管理表中包含的处理时间字段的值相加后的时间。例如，与作业ID“0”相关联的作业处理时间是“50000”。

存储部204还存储与各作业相关联的作业表。当用户生成作业时，作业表由控制部208自动生成。作业表是将执行了各作业时进行的动作按执行的顺序表示的表。图6是存储在存储部204中的作业表的一例。

如图6所示，作业表包括No.字段、动作ID字段、作业参数字段和处理时间字段。下面使用图6描述如下情况：对于配置在编号“1”至“25”的狭缝中的样品128，按顺序执行与菜单ID“1”至“25”相关联的菜单所表示的测量条件。

No.字段表示包含在作业中的各动作的执行顺序。具体而言，与No.字段“1”对应的动作在执行该作业时第一个被执行。另外，当对多个样品128连续进行X射线测量时，有时多个No.字段对应的多个动作并行执行。

动作ID字段与动作表中包含的动作ID字段相同。工作参数字段与菜单表中包含的菜单参数字段相同。动作ID字段参照作业管理表及菜单表，设定与依次执行的动作相关联的动作ID。同样，作业参数字段参照作业管理表和菜单表，设定与动作ID相关联的菜单参数字段。

具体地，No.字段图6所示的No.字段“1”和“2”对应的动作是传入动作。与No.字段“3”至“6”和“9”至“11”对应的动作是菜单所表示的测量条件中包含的动作。与No.字段“3”至“6”对应的动作是VPD处理相关的动作。与No.字段“9”至“11”对应的动作是与X射线测量相关的动作。与No.字段“27”和“28”对应的动作是关闭斜坡向下及X射线源122的电源的动作。与No.字段“29”和“30”对应的动作是传出动作。

处理时间字段表示当执行由相关联的动作ID表示的动作时所需的时间。处理时间字段的值基于相关联的动作ID和图3所示的动作表来设定。

在此，返回到图2的说明。计算部206在生成了作业时，基于预先存储在存储部204中的时间，按每个作业计算直到该作业的执行结束为止的时间。具体地，例如，以生成了图6所示的作业表为例说明。此时，计算部206对作业表中包含的处理时间字段的值进行合计，作为该作业的执行所需的时间来计算。计算出的值作为图6所示的作业管理表的作业处理时间字段的值存储在存储部204中(参照图5)。

在此，如上所述，有时并行执行与多个No.字段对应的多个动作。因此，当存在并行执行的动作时，计算部206也可以仅使与其一个动作相关联的处理时间包含在该作业的执行所需的时间中从而计算作业处理时间。根据该方法能够算出更准确的作业处理时间。

具体而言，作业管理表包括为了传入样品128所需的动作(以下称为传入动作)、包含在菜单所表示的测量条件中的各动作、以及为了传出样品128所需的动作(以下称为传出动作)。

当作为测量对象的样品128是多个时，对于第一个样品128，需要考虑从样品保管装置102向对准器部110传送的时间。然而，第二个之后的样品128在测量其之前的样品128之间从样品保管装置向对准器部110传送。因此，计算部206不考虑对第二个以后的样品128传入所需的时间，而计算作业处理时间。

此外，需要考虑最后的样品128从载入锁定部108向样品保管装置102传送的时间。然而，在测量下一样品128之间，最后以外的样品128从载入锁定部108向样品保管装置102传送。因此，计算部206除了最后的样品128以外，不考虑传出所需的时间而计算作业处理时间。由此，计算部206能够计算正确的作业处理时间。另外，在图5所示的作业管理表中包含的处理时间字段中，设定了考虑到上述并行执行的动作的处理时间不包含在作业处理时间中的值。

控制部208包括至少一个微处理器(CPU)，执行作业。此外，控制部208在执行了作业时，将动作所需的时间与该动作相关联地重新存储在存储部204中。具体而言，控制部208根据存储部204所存储的测量用程序，计测所执行的各动作所需的时间。控制部208执行将计测的时间追加到动作表所包含的处理时间字段的处理。

例如，说明为执行了传入动作(动作ID“0”)、菜单ID为“0”的菜单所表示的测量条件所包含的各动作、传出动作(动作ID“6”)。控制部208计测出传入动作、菜单表示的测量条件中包含的全部动作、传出动作所需的时间分别为23秒、5000秒及22秒。

控制部208在与动作表的传入动作对应的处理时间2字段(与动作ID为“0”的动作对应的处理时间2字段)中追加值“23”。控制部208将分别计测的值追加到由菜单ID“0”表示的测量条件所包含的各动作的动作ID中。控制部208在与动作表的传出动作对应的处理时间2字段(与动作ID为“6”的动作对应的处理时间2字段)中追加“22”的值。

控制单元208可以在每当执行各动作时追加上述处理时间字段，也可以在当执行多次操作时追加上述处理时间字段。此外，控制部208可以在每当执行作业时追加菜单处理时间，也可以当执行多次作业时追加上述菜单处理时间。

此外，控制部208也可以更新或追加包含在进度表中的进度处理时间。在上述情况下，控制部208也可以与菜单ID“0”相关联，将菜单处理时间“5000”追加到菜单表中。

此外，控制部208也可以基于在动作表的处理时间2字段中设定的值，追加或更新包含在作业管理表中的处理时间字段和作业处理时间。控制部208可以基于在动作表的处理时间2字段中设定的值来更新或追加作业表中包括的处理时间字段的值。

计算部206还在执行了菜单所表示的测量条件中包含的各动作时，基于存储部204新存储的时间，计算直到作业的执行结束为止的时间。具体而言，对更新后的作业管理表中包含的处理时间字段的值进行合计，计算直到作业的执行结束为止的时间。即，计算部206根据各动作的处理时间的实际值，计算直到作业的执行结束为止的时间。

另外，在过去的实际值为1个的情况下，如上所述计算部206计算的值与过去的实际值相同。在过去的实绩值为多个的情况下，计算部206可以基于过去多次的实际值来计算。

具体而言，计算部206也可以基于存储部204最近存储的多个时间的平均值，计算直到各动作结束为止的时间。例如，计算部206可以基于过去5次的实际值的平均值，计算直到作业的执行结束为止的时间。

此外，为了除去偶发性地偏差较大的实际值，计算部206也可以基于存储部204最近存储的多个时间的中间值，计算出直到各动作结束为止的时间。例如，计算部206也可以基于过去3次的实际值的中间值，计算直到作业的执行结束为止的时间。

存储部204可以将菜单所表示的测量条件中包含的一系列动作的执行所需的时间与该菜单预先关联存储。然后，计算部206也可以在生成了作业的情况下，基于与菜单相关联的预先存储的时间，按每个作业算出直到该作业的执行结束为止的时间。具体而言，例如，计算部206也可以利用图5所示的作业表所包含的处理时间，计算直到该作业的执行结束为止的时间。

具体而言，例如，基于图5所示的作业管理表生成了图6所示的作业表。此时，计算部206计算图5所示的作业管理表中包含的作业处理时间作为该作业的执行所需的时间。计算出的值也可以作为图6所示的作业管理表的作业处理时间字段的值存储在存储部204中(参照图5)。

此外，当菜单所表示的测量条件中包含的一系列动作被执行了时，控制部208可以将执行该一系列动作所需的时间与该菜单相关联地重新存储在存储部204中。然后，计算部206还可以在执行了菜单所表示的测量条件时，基于存储部204新存储的时间，计算直到作业的执行结束为止的时间。

当测量多个样品128时，对于不同的样品128并行执行不同的动作。因此，一个菜单所包含的所有动作的执行所需的时间与该菜单所包含的各动作所需的时间的总和不一定相同。此外，菜单处理时间是连续执行多个动作时的实际时间。因此，与基于与包含在菜单中的各动作相关联的各个动作处理时间计算作业处理时间相比，能够计算更准确的时间。

此外，控制部208也可以在执行了包含VPD处理的菜单所表示的测量条件的情况下，将仅该VPD处理所需的时间存储在存储部204中。当VPD处理时间比测量时间短时，计算部206也可以不考虑VPD处理时间而对第二个以后的样品128计算作业处理时间。

显示部120显示直到由菜单所表示的测量条件的执行结束为止的时间。具体而言，例如，显示部120是液晶显示器等显示装置。显示部120在用户制作菜单、作业时，显示计算部206计算出的值。

图7是表示菜单制作画面700的图。如图7所示，菜单制作画面700包括测量位置图字段702、测量坐标字段704、菜单菜单字段706和菜单处理时间字段708。用户观看菜单制作画面700并制作菜单。

在测量位置图字段702中，显示表示作为测量对象的样品128的位置的图。具体地，当样品128是圆形的基板时，显示如图7所示的圆形。用户通过将鼠标指针对准并点击等方法指定基板上的测量位置。在图7中，第一次指定基板的中央，第二次指定基板右上部，第三次指定基板的左下部作为测量位置。

在测量坐标字段704中，用坐标显示作为测量对象的样品128的位置。具体而言，如图7所示，用户指定的测量点的坐标按测量顺序显示。用户可以通过在测量坐标字段704中输入数值来指定测量位置。在图7中，第一次指定x坐标为“0”且y坐标为“0”的位置。第二次指定x坐标为“50”且y坐标为“50”的位置。第3次指定x坐标为“-50”且y坐标为“-50”的位置。

在菜单菜单字段706中，显示与菜单制作有关的各项目。具体而言，例如，如图7所示，显示确定是否进行VPD处理的复选框。此外，为了设定VPD处理的条件，显示用于设定VPD处理的条件的“气相分解处理”按钮、“扫描回收处理”按钮、“干燥处理”按钮、“喷嘴清洗处理”按钮等。

此外，在菜单菜单字段706中，在进行X射线测量时，显示用于追加测量点的“插入”按钮、用于删除一次指定的测量点的“删除”按钮。此外，显示用于设定X射线测量条件的“X射线管电压”按钮、“X射线管电流”按钮、“激发线(分光元件选择)”按钮、“X射线照射角度”按钮、“计数时间”等。

在菜单处理时间字段708中，显示基于用户指定的条件计算出的菜单处理时间。例如，计算部206通过上述方法计算菜单处理时间。在菜单处理时间字段708中，将该计算出的值显示为菜单处理时间。在菜单处理时间字段708中，显示每当用户改变条件时随时重新计算出的值。另外，该时间不包含传入时间及传出时间。虽然在图7中未记载，但也可以与图8同样地进行用于进行菜单的复制、保存等的显示。

图8是表示作业制作画面800的图。如图8所示，作业制作画面800包括作业列举字段802、作业处理时间字段804和作业菜单字段806。用户观看作业制作画面800并制作作业。

在作业列举字段802中，显示用户制作的作业或正在制作的作业。具体地，显示作业ID、狭缝、菜单ID、处理时间等。

作业ID是唯一识别用户制作中的作业的信息。狭缝是表示放置了指定为测量对象的样品128的狭缝编号的字段。过程ID是唯一识别用户制作的菜单的信息。处理时间是与菜单ID相关联的菜单处理时间。

用户通过在作业列举字段802中指定狭缝的编号和菜单ID来制作作业。具体而言，例如，用户与作业ID“0”相关联，指定狭缝编号“1”和菜单ID“1”。同样，用户按照测量顺序指定多个狭缝编号、菜单ID。由此，生成与图5以及图6所示的作业ID“0”相关联的作业管理表及作业表。处理时间字段是与指定的菜单ID相关联的菜单处理时间。

在作业处理时间字段804中，显示基于用户指定的条件计算出的作业处理时间。例如，在上述示例的情况下，计算部206计算图5或图6所示的作业处理时间。在作业处理时间字段804中，显示该计算出的值。在作业处理时间字段804中，显示每当用户改变条件时随时重新计算出的值。

在作业菜单字段806中，显示与作业的制作有关的项目。具体而言，如图8所示，显示用于重新制作作业的“重新”按钮。显示用于编辑已经制作的作业的“编辑”按钮。显示用于复制已经制作的作业的“复制”按钮。显示用于删除已经制作的作业的“删除”按钮。

当作业被重新制作时，计算部206计算该作业的作业处理时间。具体而言，控制部208在作业被重新生成时，基于存储部204中存储的时间，按每个作业计算直到该作业的执行结束为止的时间。

控制部208在存储的作业被复制并生成新的作业时，将与作为复制源的作业相关联的时间与该新作业相关联，存储在存储部204中。具体而言，计算部206在已经制作的作业被复制时，将与作为复制源的作业相关联的作业处理时间计算为通过复制而生成的作业处理时间。例如，当作为复制源的作业处理时间为“50000”时，计算部206将通过复制生成的作业处理时间计算为“50000”。控制部208将该时间存储在存储部204中。

控制部208还在复制的作业被改变时，评价改变的程度，根据评价进行控制，将在与作为复制源的作业相关联的时间上加上基于改变的校正而得到的时间存储在存储部204中，或者，将基于与各动作相关联而预先存储的时间和改变后的作业的内容而计算出的时间存储在存储部204中。

具体而言，控制部208对复制的作业所包含的动作中被改变的动作的数量进行评价。例如，如果在复制的作业中包含的动作中被改变的动作是预先设定的数量即7个以下，则计算部206计算出加上了基于改变的校正的处理时间。另一方面，当复制的作业中包含的动作中被改变的动作超过7个时，计算部206基于与各动作相关联而预先存储的各自的时间和改变后的作业的内容而计算处理时间。

例如，以进行了如下改变的具体例进行说明，即，作为复制源的作业(作业ID“0”)表示的处理条件包含VPD处理，从复制的作业(作业ID“1”)表示的处理条件中删除VPD处理的改变。此外，与作为复制源的作业相关联的作业处理时间为50000。

用户在图8所示的作业制作画面800中，通过点击“复制”按钮，将作业ID“0”所表示的作业设成作为复制源的作业，制作作业ID“1”所表示的作业。此时，计算部206将通过复制生成的作业处理时间计算为“50000”。

接下来，用户在图8所示的作业制作画面800中，将作业ID“1”所表示的作业中包含的菜单ID从“0”变为“1”。在此，仅在由菜单ID“0”所表示的菜单包括与VPD处理相关的动作，由菜单ID“1”所表示的菜单不包括与VPD处理相关的动作这一方面不同。此时，由作业ID“1”表示的作业是从由作业ID“0”表示的作业删除由动作ID“2”、“4”和“9”至“12”表示的动作，并且追加由动作ID“1”表示的动作的作业。

在上述改变的过程中，被改变的动作为7个。因此，计算部206从与作业ID“0”相关联的处理时间“50000”中减去与动作ID“2”、“4”以及“9”至“12”相关联的动作处理时间，计算作业处理时间。进而，计算部206在该处理时间上加上由动作ID“1”所表示的动作的动作处理时间，计算作业处理时间。控制部208将该作业处理时间与作业ID“1”相关联地存储在存储部204中。

另一方面，当改变的动作超过7个时，计算部206基于图4所示的菜单处理时间和改变后的作业中包含的各动作来计算处理时间。该计算方法与新制作作业时的计算方法相同。

另外，改变计算方法的基准不限于上述。例如，在只改变了测量点的坐标、配置样品128的狭缝编号时，则可以评价为该动作没有改变。如上所述，通过根据改变的程度计算作业处理时间，能够更接近实际值，计算出正确的作业处理时间。

接下来，说明作业的执行。图9是表示作业执行画面900的图。如图9所示，作业执行画面900包括剩余时间字段902、样品状态字段904和测量状态字段906。

剩余时间字段902显示处理正在执行的作业所需时间的剩余时间。具体而言，计算部206每当执行包含在作业中的各动作时，计算从作业处理时间减去处理结束了的动作的处理时间而得到的时间。剩余时间字段902显示该时间。另外，剩余时间字段902如图9所示，可以用进度条显示作业处理时间整体中剩余时间的比例，也可以用数值显示计算出的剩余时间。

在样品状态字段904中，显示配置在各狭缝中的样品128的状态。具体而言，在样品状态字段904中，对于每个狭缝中配置的样品128，显示正在执行的作业的作业ID、样品128的状态等。例如，样品128的状态是由测量部114测量的状态、样品128待机的位置等的状态。

当样品128在测量中时，在测量状态字段906中显示测量中的位置。具体地，如图9所示，显示在x坐标为“50”且y坐标为“50”的位置进行测量。

接着，对执行了图6所示的作业ID“0”时的一系列动作进行说明。首先，配置在放置在样品保管装置102中的载体的狭缝1中的样品128向对准器部110传送(No.字段“1”)。样品128在对准器部110中进行对位处理。

接下来，传送装置104将样品128从对准器部110传送到VPD部112(No.字段“2”)。VPD部112依次执行气相分解处理、扫描回收处理、干燥处理和喷嘴清洗处理(No.字段“3至6”)。

接下来，传送装置104将样品128从VPD部112传送到载入锁定部108(No.字段“7”)。在样品128被配置在载入锁定部108内部的状态下，载入锁定部108的内部被设置为真空。在载入锁定部108的内部变成真空之后，将样品128传送到测量部114(No.字段“8”)。

接下来，配置在测量部114的X射线源122的电源被接通(No.字段“9”)。将施加到X射线源122的功率逐步上升到设定值，进行老化直到射出的1次X射线稳定(No.字段“10”)。

经过用于老化的时间后，进行X射线测量(No.字段“11”)。另外，在本工程中，包括样品台124移动样品128以使样品128的测量位置(x坐标“0”、y坐标“0”)成为一次X射线的照射位置的工序、使用中心位置的强度进行在测量位置的照射角度的校正的测量、以及用于取得实际数据的测量。

然后，对多个狭缝配置的样品128进行传送、VPD处理和X射线测量。在对最后的样品128进行X射线测量之后，逐步降低施加到X射线源122的功率(No.字段“27”)。在施加到X射线源122的功率充分下降之后，X射线源122的电源被关闭(No.字段“28”)。

接下来，样品128从测量部114被传送到载入锁定部108(“No.字段“29”)。该工序包括在载入锁定内部配置样品128的状态下使载入锁定的内容成为大气压的工序。此外，传送装置104将样品128从载入锁定部108传送到配置在样品保管装置102中的载体的狭缝1(No.字段“30”)。

计算部206每当执行上述各工序，或每到规定的时间，计算执行中的作业的处理所需的时间的剩余时间。剩余时间字段902显示该剩余时间。由此，用户能够确认进菜单的进展情况和直到支撑结束为止的时间。此外，当将荧光X射线分析系统100和其他装置组合构成一个系统时，通过荧光X射线分析系统100向其他装置通知剩余时间，能够减少其他系统的待机时间。

本发明使用VPD一体型全反射荧光X射线分析装置进行了说明，但也可以是通常的波长分散型荧光X射线分析装置等。此外，不限于上述实施例或变形例，可以进行各种变形。上述结构、作业是一个示例，并不限定于此。也可以用与上述实施例中所示的结构实质上相同的结构、发挥相同作用效果的结构或实现相同目的的结构来替换。例如，上述动作表、菜单表、作业表、菜单制作画面700、作业制作画面800、作业执行画面900是一个示例，也可以用达成相同目的的结构来替换。

符号说明

100荧光X射线分析系统、102样品保管装置、104传送装置、106荧光X射线分析装置、108载入锁定部、110对准器部、112VPD部、114测量部、116快门、118信息处理部、120显示部、122X射线源、124样品台、126检测器、128样品、202作业执行部、204存储部、206计算部、208控制部、700菜单制作画面、702测量位置图字段、704测量坐标字段、706菜单菜单字段、708菜单处理时间字段、800作业制作画面、802作业列举字段、804作业处理时间字段、806作业菜单字段、900作业执行画面，902剩余时间字段、904样品状态字段、906测量状态字段。

Claims (7)

1.一种荧光X射线分析系统，通过对样品的表面照射1次X射线所产生的荧光X射线而对所述样品进行分析，其特征在于，具有：

作业执行部，执行表示处理条件的作业，所述处理条件是表示组合多个所述分析所需的动作而构成的测量条件的菜单与由该菜单所表示的测量条件测量的所述样品相关联的条件；

存储部，使各所述动作所需要的时间与各动作预先关联存储；

计算部，当生成了所述作业时，基于所述存储部中存储的时间，对每个所述作业，计算直到该作业的执行结束为止的时间；以及

控制部，当所述作业被执行时，使所述动作所需的时间与该动作重新关联而重新存储在所述存储部中，

其中，当所述作业被执行时，所述计算部还基于所述存储部重新存储的时间计算直到所述作业的执行结束为止的时间。

2.根据权利要求1所述的荧光X射线分析系统，其特征在于，

所述存储部使所述菜单所表示的测量条件中包含的一系列动作的执行所需的时间与该菜单预先关联存储，

当生成了所述作业时，所述计算部基于预先与所述菜单关联存储的时间，对每个所述作业，计算直到该作业的执行结束为止的时间，

当所述菜单所表示的测量条件中包含的一系列动作被执行时，所述控制部使该一系列动作的执行所需的时间与该菜单重新关联存储在所述存储部中，

在所述菜单所表示的测量条件被执行时，所述计算部还基于所述存储部重新存储的时间计算直到所述作业的执行结束为止的时间。

3.根据权利要求2所述的荧光X射线分析系统，其特征在于，

所述作业在所述存储部中存储1个或多个，

所述控制部在所存储的所述作业被复制而生成了新的所述作业时，使与作为复制源的所述作业相关联的时间与该新的所述作业关联存储在所述存储部中。

4.根据权利要求3所述的荧光X射线分析系统，其特征在于，

所述控制部进而在所述复制出的作业发生了改变时，评价改变的程度，根据评价进行控制，以使得将在与作为复制源的所述作业相关联的时间上加上基于改变的校正而得到的时间存储在所述存储部中，或者，将基于预先与所述菜单关联存储的时间与改变后的作业的内容而计算出的时间存储在所述存储部中。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的荧光X射线分析系统，其特征在于，

所述计算部基于所述存储部最近存储的多个所述时间的中间值计算直到所述作业的执行结束为止的时间。

6.根据权利要求1～4中任一项所述的荧光X射线分析系统，其特征在于，

所述计算部基于所述存储部最近存储的多个所述时间的平均值计算直到所述作业的执行结束为止的时间。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的荧光X射线分析系统，其特征在于，

还具有显示部，其显示直到所述作业的执行结束为止的时间。

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