CN112018023A - 定位装置和定位方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供定位装置和定位方法。本发明的一个方式的定位装置包括：载置基片的载置台；从下方保持上述载置台的保持部；使上述载置台相对于上述保持部升降的升降销；和对准器，其从下方支承上述保持部，使上述保持部相对于上述升降销的相对位置变化，在上述保持部和上述对准器中形成有上述升降销能够贯通的贯通孔。本发明能够将作为检查对象的基片定位。

Description

定位装置和定位方法
技术领域
本发明涉及定位装置和定位方法。
背景技术
已知有一种检查装置，其能够在共用的输送机械臂或者移动台对配置于检查室内的多个检查单元中的一者进行基片的输送的期间，用其它检查单元进行对其它基片的检查(例如，参照专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2016-46285号公报
发明内容
发明要解决的技术问题
本发明提供能够对检查对象的基片进行定位的技术。
用于解决技术问题的技术方案
本发明的一个方式的定位装置包括：载置基片的载置台；从下方保持上述载置台的保持部；使上述载置台相对于上述保持部升降的升降销；和对准器，其从下方支承上述保持部，使上述保持部相对于上述升降销的相对位置变化，在上述保持部和上述对准器中形成有上述升降销能够贯通的贯通孔。
发明效果
依照本发明，能够对检查对象的基片进行定位。
附图说明
图1是表示检查系统的整体构成的一例的图。
图2是表示壳体的一例的图。
图3是用于说明防错位机构的截面图。
图4是用于说明防错位机构的俯视图。
图5是将图3的一部分放大表示的图。
图6是表示壳体中的防泄漏机构的一例的图。
图7是表示壳体中的防泄漏机构的另一例的图。
图8是用于说明图7的防泄漏机构的动作的一例的图。
图9是表示壳体的另一例的图。
图10是表示壳体中的定位装置的动作的一例的图。
图11是用于说明第一温度调节机构的图。
图12是用于说明第二温度调节机构的图。
图13是表示测试器的一例的图。
图14是表示过驱动量调节机构的一例的图。
图15是表示过驱动量调节机构的另一例的图。
图16是表示维护辅助功能的一例的流程图。
图17是用于说明维护辅助功能的一例的图。
附图标记说明
11 晶片
12 探针卡
12b 探针
13 载置台
14 保持件
15 盘
215a 对准器
215p 升降销。
具体实施方式
下面，参照附图，对本发明的例示的实施方式进行说明，上述实施方式并非限定性的。在所有的附图中，对相同或者相应的部件或者零件标注相同或者相应的附图标记，并省略重复的说明。
首先，对一实施方式的检查系统的整体构成进行说明。检查系统是对形成于被检查体的多个被检查器件(DUT：Device Under Test)施加电信号来检查器件的各种电特性的系统。被检查体例如是半导体晶片(以下称为“晶片”。)等的基片。
图1是表示检查系统的整体构成的一例的图。如图1所示，检查系统1包括多个检查单元100、输送系统200和管理装置300。
多个检查单元100在同一平面内在左右方向(图1的X方向)和前后方向(图1的Y方向)上并排配置。各检查单元100具有多个检查装置110和冷却器120。
各检查装置110接收由后述的盒单元220输送的壳体(shell)10，检测形成于晶片11的各DUT的电特性。各检查装置110包括控制检查装置110的整体的动作的控制器116。关于壳体10在后文说明。
冷却器120通过对设置于多个检查装置110的工作台111(参照图12)的致冷剂流路供给冷却水等致冷剂，来冷却工作台111。在图1的例子中，相对于4个检查装置110，设置1个冷却器120。但是，也可以对每一个检查装置110设置一个冷却器120。
输送系统200包括多个装载单元210和多个盒单元220。
多个装载单元210在同一平面内在前后方向(图1的Y方向)上并排配置。各装载单元210包括FOUP存放器211、探针卡存放器212、针研磨部213、壳体存放器214、装卸部215和输送部216。
FOUP存放器211是保管收纳多个晶片11的输送容器(FOUP：Front OpeningUnified Pod(前开式晶片输送盒))的区域。在FOUP存放器211设置有例如保管FOUP的多个保管架。FOUP从检查系统1的外部被送入FOUP存放器211中。FOUP存放器211构成为能够用后述的输送部216的输送装置216a进行存取。
探针卡存放器212是保管多个探针卡12的区域。在探针卡存放器212中设置有例如保管探针卡12的多个保管架。探针卡12从检查系统1的外部被送入探针卡存放器212中。探针卡存放器212构成为能够用后述的输送部216的输送装置216a进行存取。
针研磨部213是研磨探针卡12的探针12b的前端且修复附着有尘埃等的探针12b的区域。在针研磨部213设置有例如用于研磨探针12b的前端的针研磨盘。针研磨部213构成为能够用后述的输送部216的输送装置216a进行存取
壳体存放器214是保管多个壳体10的区域。在壳体存放器214中设置有例如保管壳体10的多个保管架。在壳体存放器214中保管在装卸部215中形成的壳体10和在检查单元100中检查结束的壳体10。壳体存放器214构成为能够用后述的输送部216的输送装置216a和盒单元220进行存取。
装卸部215是形成晶片11与探针卡12成为一体的壳体10且能够将壳体10分离为晶片11与探针卡12的区域。在装卸部215中，在使晶片11吸附保持于载置台13的状态下用对准器215a(参照图10)进行定位，使多个DUT的电极各自接触探针卡12的对应的探针12b并与之连接，形成壳体10。另外，在装卸部215中，使作为壳体10形成为一体的晶片11与探针卡12分离。装卸部215构成为能够用后述的输送部216的输送装置216a进行存取。
输送部216是在各区域间输送壳体10、晶片11和探针卡12的区域。在输送部216中设置有输送壳体10、晶片11和探针卡12的输送装置216a。输送装置216a保持壳体10、晶片11和探针卡12并在各区域间进行输送它们。例如，输送装置216a在装卸部215与壳体存放器214之间输送壳体10。此外，输送装置216a在FOUP存放器211与装卸部215之间输送晶片11。另外，输送装置216a在探针卡存放器212、针研磨部213与装卸部215之间输送探针卡12。
多个盒单元220是分别保存多个壳体10并对多个检查单元100供给壳体10的移动式的单元。在图1的例子中，多个盒单元220分别在装载单元210的壳体存放器214与检查装置110的工作台111之间输送壳体10。盒单元220例如为自动输送车(AGV：Automated GuidedVehicle)。盒单元220例如沿铺设于地面的磁带等的感应线225自行行驶。
管理装置300基于由测位装置(未图示)测量的多个盒单元220的位置信息，控制多个盒单元220的动作。管理装置300基于例如由测位装置测量的多个盒单元220的位置信息，决定使哪一个盒单元220去往检查装置110。作为一例，使位于最接近作为对象的检查装置110的场所的盒单元220去往检查装置110。另外，对于所决定的盒单元220，管理装置300计算输送壳体10时的最佳路径，使盒单元220按该最佳路径进行动作。另外，也可以为，管理装置300获取保存在各盒单元220的保存部221中的壳体10的数量，基于所获取的壳体10的数量来控制多个盒单元220的动作。作为一例，优先使所获取的壳体10的数量多的盒单元220动作。
测位装置只要能够测量多个盒单元220各自的位置信息即可，其种类没有特别的限定。作为测位装置，例如可以是在感应线225上设置有多个的、能够检测出盒单元220通过的位置检测传感器。另外，作为测位装置，例如可以是搭载于各盒单元220的、接收来自以GPS卫星为代表的GNSS(Global Navigation Satellite System：全球导航卫星系统)卫星的测位信号来获取盒单元220的位置信息的GNSS接收器。
下面，对壳体10的结构例进行说明。图2是表示壳体10的一例的图。
如图2所示，壳体10是具有晶片11、探针卡12、载置台13和保持件14的结构体。
在晶片11的表面形成有多个DUT(未图示)。
探针卡12是配线部件的一例，具有基部12a和多个探针12b。基部12a是在上表面具有多个端子(未图示)的板状的部件。多个探针12b是接触部的一例，设置于基部12a的下表面，能够接触形成于晶片11的DUT的电极。
载置台13在上表面载置晶片11。载置台13例如是真空吸盘，吸附并保持晶片11。在载置台13的内部设置有调节载置于上表面的晶片11的温度的温度调节部13a。温度调节部13a例如可以为帕尔贴元件。
保持件14是第二保持部的一例，经由密封部件16a设置于载置台13上。保持件14具有包围晶片11的圆环形状，保持探针卡12的外周部。在探针卡12与保持件14的接触面设置有密封部件16b。
壳体10在被吸附于检查装置110的工作台111的状态下用定位销(未图示)进行定位，探针卡12的上表面的多个端子与设置于检查装置110的多个端子电连接。此外，在探针卡12的上表面也设置有密封部件16c。
在以上所说明的一个实施方式的检查系统1中，仅在一个地方(例如，装载单元210)进行精密的定位(对准)，在相同的地方(例如，装载单元210)完成壳体10。由此，对检查装置或试验装置等、多个装置间的晶片11(壳体10)的输送(handling：操作)变得容易。
另外，壳体10通过用密封部件16a、16b密封并将内部减压，来维持形成于晶片11的DUT与探针卡12的探针12b接触的状态。并且，通过将壳体10的内部抽真空，能够将内部维持为减压状态。但是，由于壳体10通过盒单元220在装载单元210的壳体存放器214与检查装置110的工作台111之间被输送，因此始终将壳体10的内部抽真空是比较困难的。因此，例如通过后述的“(2)防泄漏机构”使壳体10的内部比外部低压，由此将壳体10的内部维持为减压状态。
另外，壳体10的上部件(例如，保持件14)与下部件(例如，载置台13)的水平方向的错位，例如通过后述的“(1)防错位机构”来防止。
另外，壳体10中的过驱动量例如由后述的“(5)过驱动量调节机构”管理。此外，所谓过驱动量，是指在将晶片11推压到探针卡12时，从探针12b最开始接触形成于晶片11的DUT的电极的位置进一步被压入的压接量。
另外，在形成壳体10时进行的晶片11(各DUT的电极)与探针卡12(探针12b)的定位，例如通过后述的“(3)定位装置”实现。这时，定位能够利用电动机的驱动。另外，在检查系统1中，除了该电动机之外还可以利用各种电动机。为了保护这些电动机等，各电动机例如通过后述的“(6)维护辅助功能”来管理。
另外，对于壳体10，例如通过该后述的“(4)温度调节机构”进行输送时和检查时的温度管理。
以下，对上述的(1)～(6)详细地进行说明。
(1)防错位机构
参照图3～图5，对防止壳体10的载置台13与保持件14的水平方向的错位的机构(以下称为“防错位机构”。)进行说明。图3和图4分别是用于说明防错位机构的截面图和俯视图。图5是将图3的一部分放大表示的图。
如图3所示，防错位机构17包括定位销17a和通用套管(universal socket)17b。
定位销17a例如如图4所示，沿保持件14的周向配置有多个(例如8个)。各定位销17a固定于载置台13的上表面。
通用套管17b例如如图4所示，在水平方向上设置于与定位销17a对应的位置。即，通用套管17b沿保持件14的周向配置有多个(例如8个)。各通用套管17b固定于保持件14。
各通用套管17b例如如图5的(a)所示，包括套管17b1、多个弹簧17b2和多个销17b3。
套管17b1固定于保持件14。套管17b1具有下端开放的有顶的圆筒形状，具有比定位销17a大的形状以使得在俯视时覆盖定位销17a。套管17b1收纳多个弹簧17b2，并且将多个弹簧17b2的各自的上端固定。
多个弹簧17b2的各自的上端固定于套管17b1的顶面。在多个弹簧17b2的各自的下端安装有销17b3，构成为当将对应的销17b3向上方按压时收缩。
多个销17b3的各自的上端被固定于弹簧17b2的下端。各销17b3具有比定位销17a小的直径。
这样的通用套管17b中，如图5的(b)所示，多个销17b3的一部分被定位销17a向上方按压时，与被向上方按压的销17b3对应的弹簧17b2收缩，而该销17b3向上方移动。另一方面，与没有被定位销17a按压的销17b3对应的弹簧17b2不收缩，因此该销17b3并没有向上方移动。由此，在定位销17a起到了在水平方向上偏移的力的情况下，定位销17a的侧面也与没有被按压的销17b3接触。因此，定位销17a向水平方向的移动被限制。如此一来，定位销17a能够由通用套管17b定位。
(2)防泄漏机构
参照图6，对使壳体10的内部比外部低压来防止壳体10的内部的泄漏的机构(以下称为“防泄漏机构”。)的一例进行说明。图6是表示壳体10的防泄漏机构的一例的图。
如图6所示，防泄漏机构18包括减压用流路18a、注射器型活塞18b和弹簧18c。
减压用流路18a是形成于载置台13的内部的气体流路，使壳体10的内部与外部连通。
注射器型活塞18b具有注射器18b1和活塞18b2。注射器型活塞18b通过注射器18b1的排出口18b3与减压用流路18a内连通，且活塞18b2相对于注射器18b1移动，来使壳体10的内部的体积增减，使壳体10的内部的压力变化。
弹簧18c的一端被固定，另一端安装于活塞18b2。弹簧18c构成为当壳体10的内部的压力上升时，与压力相应地收缩。
依照上述的防泄漏机构18，在壳体10的内部的压力上升了的情况下，弹簧18c收缩且活塞18b2被拉伸，由此使壳体10的内部的体积增加，能够维持壳体10的内部的减压状态。
参照图7，对防泄漏机构的另一例进行说明。图7是表示壳体10中的防泄漏机构的另一例的图。
如图7所示，防泄漏机构19包括减压用流路19a、旋转体19b和杆19c。
减压用流路19a是形成于载置台13的内部的气体流路，使壳体10的内部与外部连通。
旋转体19b以在载置台13的侧面用密封部件19d维持气密的状态下相对于载置台13能够旋转的方式设置。在旋转体19b的内部，形成有能够与减压用流路19a连通的气体流路19e。旋转体19b通过相对于载置台13旋转来切换减压用流路19a与气体流路19e的连通状态。此外，在图7中，表示了减压用流路19a与气体流路19e连通的状态。
杆19c以在气体流路19e内维持气密的状态下能够移动的方式设置。在减压用流路19a与气体流路19e连通的状态下，当压入杆19c时壳体10的内部的压力变高，当拉拽杆19c时壳体10的内部的压力变低。另外，在减压用流路19a与气体流路19e不连通的状态下，当压入杆19c时，气体流路19e内的气体通过载置台13与旋转体19b的间隙而被排出到壳体10的外部。
参照图8，对防泄漏机构19的动作的一例进行说明。图8是用于说明图7的防泄漏机构19的动作的一例的图，表示当壳体10的内部的压力上升了时进行的动作的一例。
首先，当壳体10的内部的压力上升时，如图8的(a)所示，在使减压用流路19a与气体流路19e连通的状态下进行拉拽杆19c的动作。由此，壳体10的内部的体积增加，能够维持壳体10的内部的真空压(减压状态)。此外，该拉拽动作可以由操作者进行，也可以由控制部进行。在该拉拽动作由控制部进行的情况下，控制部利用压力传感器监视壳体10的内部的压力，当压力超过了阈值的情况下可以以拉拽杆19c的方式控制，当经过了规定时间的情况下也可以以拉拽杆10c的方式控制。
接着，如图8的(b)所示，当杆19c的位置到达拉拽极限时，如图8的(c)所示，使旋转体19b向第一方向(例如向右旋转)旋转，阻断减压用流路19a与气体流路19e的连通状态。该旋转动作例如在将杆19c的位置固定了的状态下进行。该旋转动作可以由操作者进行，也可以由控制部进行。
接着，如图8的(d)所示，在使旋转体19b的旋转停止了的状态下进行将杆19c压入的动作。由此，气体流路19e内的气体通过载置台13与旋转体19b的间隙而被排出到壳体10的外部。之后，使旋转体19b向与第一方向相反的第二方向(例如向左旋转)旋转，使减压用流路19a与气体流路19e连通。该旋转动作例如在将杆19c的位置固定了的状态下进行。
依照上述的防泄漏机构19，在壳体10的内部的压力上升了的情况下，通过拉拽杆19c来使壳体10的内部的体积增加，能够维持壳体10的内部的减压状态。另外，通过反复进行旋转体19b的旋转动作和杆19c的移动，无论多少次都能够恢复壳体10内的真空压。
(3)定位装置
参照图9和图10，说明在形成壳体10时进行晶片11与探针卡12的定位的机构(以下称为“定位装置”。)。
首先，参照图9，对壳体10的结构例进行说明。图9是表示壳体10的另一例的图。
如图9所示，壳体10是包括晶片11、探针卡12、载置台13、保持件14和保持盘(plate)15的结构体。
在晶片11的表面形成有多个DUT(未图示)。
探针卡12是配线部件的一例，包括基部12a和多个探针12b。基部12a是在上表面具有多个端子(未图示)的板状的部件。多个探针12b是接触部的一例，设置在基部12a的下表面，能够与形成于晶片11的DUT的电极接触。
载置台13在其上表面载置晶片11。在载置台13的内部，设置有调节载置于上表面的晶片11的温度的温度调节部(未图示)。温度调节部13a例如为珀尔帖元件。
保持件14被定位并经由密封部件(未图示)设置于保持盘15上。换言之，保持件14与保持盘15的位置关系始终一定。保持件14具有包围晶片11的圆环形状，保持探针卡12的外周部。在探针卡12与保持件14的接触面设置有密封部件(未图示)。
保持盘15是保持部的一例，从下方保持载置台13。在保持盘15设置有后述的升降销215p能够贯通的多个(例如3个以上)的贯通孔15a。
下面，参照图10，说明由定位装置进行的定位动作的一例。以下说明的由定位装置进行的定位动作，例如在装载单元210的装卸部215中进行。图10是表示壳体10中的定位装置的动作的一例的图。
首先，如图10的(a)所示，由设置于装卸部215的对准器215a支承保持盘15时，使用设置于装卸部215的摄像机215b来获取形成于晶片11的DUT的电极的位置信息。
接着，如图10的(b)所示，通过使设置于装卸部215的升降销215p上升，来将载置有晶片11的载置台13抬起，使载置台13从保持盘15离开。
接着，如图10的(c)所示，通过使对准器215a在水平方向上移动，来改变对准器215a与载置台13之间的水平方向上的相对位置。对准器215a的水平方向上的移动量，基于使用摄像机215b获取的DUT的电极的位置信息和探针卡12的探针12b的位置信息来决定。
接着，如图10的(d)所示，通过使升降销215p下降，来将载置有晶片11的载置台13载置在对准器215a上。
接着，如图10的(e)所示，在保持盘15上，将保持有探针卡12的保持件14安装在由定位销决定的位置，将由探针卡12、保持件14和保持盘15形成的空间减压。由此，形成于晶片11的多个DUT的电极各自与探针卡12的对应的探针12b接触，形成晶片11与探针卡12成为一体的壳体10。
依照上述定位装置，在使用了壳体10的系统中，能够将晶片11与探针卡12定位。
(4)温度调节机构
参照图11，对在输送壳体10时作为调节晶片11的温度的机构(以下，称为“第一温度调节机构”。)发挥作用的盒单元220进行说明。图11是用于说明第一温度调节机构的图。
如图11所示，盒单元220包括保存部221、交接部222和驱动部223。
保存部221保存多个壳体10。保存部221例如包含多个载置台221a，在各载置台221a上载置壳体10。保存部221是能够将内部维持在规定温度的恒温槽，对保存于保存部221内的多个壳体10的温度进行调节。
交接部222在保存部221与多个检查单元100之间进行壳体10的交接。交接部222例如包括多关节臂等的输送机械臂(未图示)。输送机械臂在保存部221与壳体存放器214之间交接壳体10的位置保持壳体10并将壳体10从一者转移到另一者。另外，输送机械臂在保存部221与检查单元100之间交接壳体10的位置保持壳体10并将壳体10从一者转移到另一者。
驱动部223驱动盒单元220。驱动部223例如包括行驶用的车轮、使车轮或输送机械臂动作的电动机、驱动电动机的电池。另外，也可以为驱动部223以能够进行例如非接触供电或基于轨道的供电的方式包含受电部。
依照上述的盒单元220，在检查单元100中与室温不同的温度下进行检查的情况下，在用盒单元220输送壳体10的期间能够调节壳体10(晶片11)的温度。因此，能够缩短在检查单元100中调节晶片的温度所需的时间。其结果是，能够缩短从壳体10被输送到检查单元100起至开始晶片11的检查的时间。
参照图12和图13，对在检查形成于壳体10的晶片11的各DUT的电特性时作为调节晶片11的温度的机构(以下称为“第二温度调节机构”。)发挥作用的检查装置110进行说明。图12是用于说明第二温度调节机构的图。图13是表示测试器的一例的图。
如图12所示，检查装置110包括工作台111、测试器112、中间连接部件113和升降机构115。
工作台111载置由盒单元220输送来的壳体10。工作台111构成为通过升降机构115能够在其与盒单元220之间交接壳体10的位置(由点划线表示的位置)、以及使壳体10与中间连接部件113接触而进行检查的位置(由实现表示的位置)之间升降。工作台111包括主体111a、致冷剂流路111b和加热器111c。主体111a例如在俯视时具有与壳体10大致相同的大小。致冷剂流路111b埋设于主体111a中，通过使来自冷却器120的致冷剂循环来冷却壳体10。加热器111c埋设在主体111a中，利用从电源(未图示)供给的电功率而发热，由此对壳体10进行加热。像这样，工作台111在用检查装置110检查形成于壳体10的晶片11的各DUT的电特性时，作为调节晶片11的温度的第二温度调节机构发挥作用。
测试器112包括测试器主板112a、多个检查电路板112b和框体112c。测试器主板112a水平地设置，在底部设置有多个端子(未图示)。多个检查电路板112b以竖立设置于测试器主板112a的槽缝中的状态安装。框体112c收纳检查电路板112b。
中间连接部件113是用于将测试器112与探针卡12电连接的部件，具有伸缩组件框(pogo frame)113a和伸缩组件(pogo block)113b。
伸缩组件框113a由高强度且刚性高、热膨胀系数小的材料，例如NiFe合金构成。伸缩组件框113a具有在厚度方向上贯通的多个长方形的插嵌孔，伸缩组件113b被插嵌在该插嵌孔内。
伸缩组件113b相对于伸缩组件框113a被定位，将测试器112中的测试器主板112a的端子与探针卡12中的基部12a的端子连接。
在测试器主板112a与伸缩组件框113a之间设置有密封部件114。并且，通过将测试器主板112a与中间连接部件113之间的空间抽真空，测试器主板112a经由密封部件114被吸附于中间连接部件113。另外，在伸缩组件框113a与探针卡12之间也设置有密封部件(未图示)。并且，通过将中间连接部件113与探针卡12之间的空间抽真空，探针卡12经由密封部件被吸附于中间连接部件113。
依照上述的检查装置110，当从盒单元220接收壳体10时，在将壳体10吸附于工作台111的状态下用升降机构115使壳体10向上方移动。这时，设置于中间连接部件113的下表面的定位销113c与设置于探针卡12的上表面的定位孔12c卡合，由此能够进行探针卡12与测试器112的定位。由此，探针卡12的上表面的多个端子经由中间连接部件113与设置于测试器112的多个端子电连接。这时，晶片11经由载置台13和保持盘15与工作台111接触，因此通过热传导被在致冷剂流路111b中循环的致冷剂冷却，和/或者通过加热器111c的发热而被加热。
(5)过驱动量调节机构
参照图14，对调节过驱动量的机构(以下称为“过驱动量调节机构”)的一例进行说明。图14是表示过驱动量调节机构的一例的图。
如图14所示，过驱动量调节机构20包括垫片(shim plate)20a和固定具20b。
垫片20a在探针卡12与保持件14之间沿保持件14的周向设置有多个，调节探针卡12与保持件14的间隙的高度。垫片20a例如是片状部件，通过调节其片厚，在探针卡12与保持件14之间形成与垫片20a的片厚对应的间隙。
固定具20b在探针卡12与保持件14之间夹着垫片20a的状态下，将探针卡12固定于保持件14。固定具20b例如可以是螺纹件。
依照上述的过驱动量调节机构20，通过调节垫片20a的片厚，晶片11的表面与探针卡12的基部12a的下表面之间的距离L1变化，能够调节过驱动量。例如，通过使垫片20a的片厚增厚，能够增大晶片11的表面与探针卡12的基部12a的下表面之间的距离L1，减小过驱动量。另一方面，通过使垫片20a的片厚减薄，能够缩短晶片11的表面与探针卡12的基部12a的下表面之间的距离L1，增大过驱动量。
参照图15，对过驱动量调节机构的另一例进行说明。图15是表示过驱动量调节机构的另一例的图。
如图15所示，过驱动量调节机构21包括压电致动器21a和电源供给部21b。
压电致动器21a固定于保持件14，经由电源供给部21b被施加电压，由此使其产生微小的(例如，纳米～微米区域的)伸展的变化。当压电致动器21a伸展时，载置台13的上表面与保持件14的下表面之间的距离变化。
电源供给部21b通过与设置于外部的电压供给端子(未图示)连接，来对压电致动器21a施加电压。
依照上述的过驱动量调节机构21，将保持有探针卡12的保持件14载置在载置有晶片11的载置台13上时，经由电源供给部21b对压电致动器21a施加电压，压电致动器21a被驱动。这时，通过使对压电致动器21a施加的电压变化，而压电致动器21a的伸展量变化，载置台13的上表面与保持件14的下表面之间的距离变化。其结果是，晶片11的表面与探针卡12的基部12a的下表面之间的距离L1变化，能够调节过驱动量。
例如，当对压电致动器21a施加的电压增大时，压电致动器21a的伸展量变大。其结果是，晶片11的表面与探针卡12的基部12a的下表面之间的距离L1变长，过驱动量变小。另一方面，当减小对压电致动器21a施加的电压时，压电致动器21a的伸展量变小。其结果是，晶片11的表面与探针卡12的基部12a的下表面之间的距离L1缩短，过驱动量变大。
(6)维护辅助功能
参照图16和图17，对辅助(协助)检查装置110的维护时期的判断的功能(以下称为“维护辅助功能”。)进行说明。以下说明的维护辅助功能由例如检查装置110的控制器116实施。但是，该维护辅助功能也可以由例如检查系统1的管理装置300来实施。图16是表示维护辅助功能的一例的流程图。
在步骤S1中，控制器116基于使工作台111移动规定距离的指令，开始进行电动机的驱动。
在步骤S2中，控制器116判断使工作台111移动规定距离时的电动机的驱动是否包含匀速运动。在步骤S2中，当判断为电动机的驱动包含匀速运动时，行进到步骤S3。另一方面，在步骤S2中，当判断为电动机的驱动不包含匀速运动时，结束处理。
在步骤S3中，控制器116判断电动机的驱动速度是否是一定的。在步骤S3中，当判断为电动机的驱动速度是一定的时，行进到步骤S4。另一方面，在步骤S3中，当判断为电动机的驱动速度不是一定的(＝加速中)时，反复进行步骤S3直至电动机的驱动速度成为一定的。
在步骤S4中，控制器116获取电动机的转矩数据(torque data)。在一个例子中，所获取的转矩数据经由控制器116被发送到其它管理系统，因此能够判断检查装置110的状态。另外，在另一例子中，控制器116基于所获取的电动机的转矩数据，来判断将电动机的驱动传递到工作台111的线性导轨或滚珠丝杠的磨损或加注润滑脂维护(grease upmaintenance)时期。
在步骤S5中，控制器116判断电动机的驱动速度是否是一定的。在步骤S5中，当判断为电动机的驱动速度是一定的时，返回到步骤S4。另一方面，在步骤S5中，当判断为电动机的驱动速度不是一定的(＝减速中)时，结束处理。
图17是用于说明维护辅助功能的一例的图。图17中，横轴表示时间[msec]，第一(左侧)纵轴表示电动机的转速[10-2rpm]，第二(右侧)纵轴表示电动机的转矩[％]。另外，图17中，用实线表示电动机的转速的测量结果，用虚线表示电动机的转矩的测量结果。
如图17所示，电动机从开始驱动起加速规定时间(0～40msec)，在经过规定时间后，进行规定时间(40～150msec)的匀速的旋转，之后，以规定时间(150～200msec)减速、停止。
但是，在驱动电动机的期间始终获取电动机的转矩数据等来进行监视时，数据量变得庞大，有时成为通信延迟的原因。因此，在一实施方式中，控制器116实施上述的维护辅助功能。即，控制器116在电动机不以匀速旋转的期间停止获取电动机的转矩数据，仅在电动机以匀速旋转的期间获取电动机的转矩数据。由此，能够抑制数据量变得庞大。此外，关于维护辅助功能，只要是使用了电动机的系统，无论哪种系统都能够应用，例如，能够用于判断通常的检查装置等的维护时期。
以上，对(1)～(6)的机构和功能进行了详细说明，上述的(1)～(6)的机构和功能可以以1个以上单独地使用，也可以将2个以上组合使用。
本发明所公开的实施方式的全部内容均为例示，不应理解为限定性的内容。上述的实施方式只要不脱离附加的权利要求的范围及其主旨，就能够以各种各样的形态进行省略、置换和改变。

Claims (7)

1.一种定位装置，其特征在于，包括：
载置基片的载置台；
从下方保持所述载置台的保持部；
使所述载置台相对于所述保持部升降的升降销；和
对准器，其从下方支承所述保持部，使所述保持部相对于所述升降销的相定位置变化，
在所述保持部和所述对准器中形成有所述升降销能够贯通的贯通孔。
2.如权利要求1所述的定位装置，其特征在于：
包括配线部件，其相对于所述保持部设置在预先决定的位置，具有能够与形成于所述基片的多个器件的电极电接触的接触部。
3.如权利要求2所述的定位装置，其特征在于：
所述配线部件是具有与所述多个器件的电极接触的探针的探针卡。
4.如权利要求2或3所述的定位装置，其特征在于：
包括第二保持部，其将所述配线部件相对于所述保持部的位置始终保持为一定。
5.如权利要求1～4中任一项所述的定位装置，其特征在于：
所述载置台为真空吸盘。
6.一种定位方法，其将载置有基片的载置台相对于保持部进行定位，所述定位方法的特征在于，包括：
将载置有所述基片的所述载置台载置到所述保持部上的步骤；
用对准器从下方支承载置于所述保持部上的所述载置台的步骤；
使所述载置台从所述保持部向上方离开的步骤；和
在使所述载置台从所述保持部向上方离开了的状态下，使所述对准器在水平方向上移动来使所述载置台相对于所述保持部的相对位置变化的步骤。
7.如权利要求6所述的定位方法，其特征在于，包括：
在所述使相对位置变化的步骤后实施的、使所述载置台向下方移动以将其载置在所述保持部上的步骤；和
相对于所述保持部在预先决定的位置配置配线部件的步骤，所述配线部件具有能够与形成于所述基片的多个器件的电极电接触的接触部。
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