CN111971415A - 真空处理装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种能够在真空处理装置中抑制在运送基板保持器时产生粉尘的技术，所述真空处理装置，具有以相对于铅垂面的投影形状呈连续的环状的方式形成的运送路径，并沿着该运送路径运送多个基板保持器。在本发明中，在具有以相对于铅垂面的投影形状呈连续的环状的方式形成的运送路径并形成有单一的真空环境气体的真空槽2内，具有安装在第一驱动部36上的防下垂构件35，第一驱动部36设置在该运送路径的相对于运送方向的外侧。防下垂构件35的行驶滚轮54被引导部17引导支撑来进行行驶，引导部17设置在回程侧运送部33c的下方并沿着第二运送方向P2延伸，回程侧运送部33c位于基板保持器运送机构3的下方侧，第一驱动部36与基板保持器11的第一被驱动部12接触，从而沿着运送路径向第二运送方向P2驱动基板保持器11。

Description

真空处理装置
技术领域
本发明涉及一种真空处理装置的技术，该真空处理装置在真空中对被基板保持器保持的基板的两面进行通过成膜等真空处理。
背景技术
以往，已知一种真空处理装置，该真空处理装置将多个被处理基板载置在托盘等基板保持器上，来一边通过一边进行成膜等处理，近年来，还提出了一种具有环状的运送路径的真空处理装置。
图22是示出现有技术的真空处理装置的整体的概略结构图。
如图22所示，该真空处理装置101具有与真空排气装置101a连接并形成单一的真空环境气体的真空槽102。
在真空槽102的内部设置有基板保持器运送机构103，基板保持器运送机构103沿着运送路径连续运送多个保持基板(未图示)的基板保持器111。
其中，在基板保持器运送机构103中，隔着规定的距离平行地配置有如下结构体，该结构体在使旋转轴线相平行的状态下隔着规定距离配置的一对驱动轮131、132上架设有连续的运送驱动构件133，由此，形成相对于铅垂面呈连续的环状的运送路径。
在基板保持器运送机构103上，设置有导入基板保持器111的基板保持器导入部130A、使基板保持器111折返来运送的运送折返部130B以及排出基板保持器111的基板保持器排出部130C。
在真空槽102内，在基板保持器运送机构103的上部设置有第一处理区域104且在基板保持器运送机构103的下部设置有第二处理区域105，运送驱动构件133的上侧的去程侧运送部133a以沿着第一运送方向P1直线地通过第一处理区域104的方式构成，下侧的回程侧运送部133c以沿着第二运送方向P2直线地通过第二处理区域105的方式构成。
并且，在基板保持器运送机构103的运送折返部130B的附近设置有方向转换机构140，方向转换机构140在维持基板保持器111的上下关系的状态下对基板保持器111进行从第一运送方向P1到第二运送方向P2的方向转换。
另一方面，在与真空槽102内的基板保持器运送机构103的驱动轮131相邻的位置，设置有基板运入运出机构106。
该基板运入运出机构106具有支撑部162，支撑部162设置在驱动杆161的前(上)端部，驱动杆161在铅垂上下方向上被升降机构160驱动，在设置于该支撑部162上的运送机器人164上支撑上述基板保持器111来使基板保持器111在铅垂上下方向上移动。
并且，使用该运送机器人164，从基板运入运出机构106对基板保持器运送机构103的基板保持器导入部130A交接基板保持器111，且由基板运入运出机构106接收从基板保持器运送机构103的基板保持器排出部130C排出的基板保持器111。
图23是示出以往的基板保持器运送机构的概略结构图。
如图23所示，在基板保持器运送机构103的一对运送驱动构件133上，以隔开规定间隔的方式分别设置有多个第一驱动部136，该多个第一驱动部136相对于环状的运送驱动构件133的运送方向向外侧(以下称为“运送方向外侧”)突出。
第一驱动部136形成为例如J形钩形状(以使运送方向上游侧的突部136b的高度比运送方向下游侧的突部136a的高度高的方式而形成有槽部的形状)，第一驱动部136与被基板保持器支撑机构118支撑的基板保持器111的第一被驱动部112接触，从而在第一运送方向P1或第二运送方向P2上驱动该基板保持器111。
在该运送驱动构件133的回程侧运送部133c的下方，设置有用于防止回程侧运送部133c下垂并进行引导的直线状的引导部117，第一驱动部136的运送方向上游侧的突部136b的前端部(下端部)一边与引导部117接触一边移动，由此防止回程侧运送部133c的下垂。
但是，在现有技术中，存在以下问题，即，第一驱动部136的运送方向上游侧的突部136b的前端部与引导部117接触而产生粉尘，会对真空处理产生影响。
另外，还期望缩短从基板保持器运送机构103的基板保持器排出部130C排出的基板保持器111向基板运入运出机构106交接的时间。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2007-031821号公报
发明内容
发明要解决的问题
本发明是考虑到这样的现有技术的问题而完成的，其目的在于，提供一种在沿着运送路径运送多个基板保持器的真空处理装置中能够抑制在运送基板保持器时产生粉尘的技术，其中，所述运送路径以相对于铅垂面的投影形状呈连续的环状的方式形成。
另外，本发明的其他目的在于，提供一种能够缩短从基板保持器运送机构的基板保持器排出部排出的基板保持器向基板运入运出机构交接的时间的技术。
用于解决问题的手段
为了实现上述目的而完成的本发明的真空处理装置，具有：真空槽，形成有单一的真空环境气体，第一处理区域以及第二处理区域，设置在所述真空槽内，在由基板保持器保持的基板上进行规定的真空处理，运送路径，以使相对于铅垂面的投影形状呈连续的环状的方式形成，用于运送所述基板保持器，和基板保持器运送机构，沿着所述运送路径运送具有第一被驱动部以及第二被驱动部的多个所述基板保持器；所述运送路径，具有：第一运送部，在使导入的所述基板保持器水平的状态下，沿着所述运送路径在第一运送方向上运送所述基板保持器，第二运送部，在使所述基板保持器水平的状态下，沿着所述运送路径在与所述第一运送方向相反的方向的第二运送方向上运送并排出所述基板保持器，和运送折返部，从所述第一运送部朝向所述第二运送部折返来运送所述基板保持器；所述第一运送部通过所述第一处理区域以及所述第二处理区域中的一个区域，且所述第二运送部通过所述第一处理区域以及所述第二处理区域中的另一个区域；所述基板保持器运送机构，相对于该运送路径的运送方向在外侧具有多个第一驱动部，所述第一驱动部与所述基板保持器的第一被驱动部接触并沿着所述运送路径驱动该基板保持器；在所述运送路径的运送折返部的附近，设置有方向转换机构，所述方向转换机构具有：多个第二驱动部，所述第二驱动部与所述基板保持器的第二被驱动部接触而分别在所述第一运送方向以及所述第二运送方向上驱动该基板保持器，和第一方向转换路径以及第二方向转换路径，用于以使该基板保持器从所述第一运送方向向所述第二运送方向进行方向转换的方式分别对所述基板保持器的第一被驱动部以及第二被驱动部进行引导并运送；使所述基板保持器运送机构的第一驱动部与所述方向转换机构的第二驱动部同步动作，沿着所述方向转换机构的第一方向转换路径以及第二方向转换路径分别对所述基板保持器的第一被驱动部以及第二被驱动部进行引导并运送，从而在维持所述基板保持器的上下关系的状态下，将所述基板保持器从所述运送路径的第一运送部交接到第二运送部；设置有防下垂构件，所述防下垂构件组装在所述基板保持器运送机构的第一驱动部上，在所述防下垂构件的相对于所述运送方向的外侧的部分，具有能够以在与该运送方向正交的方向上延伸的旋转轴线为中心旋转的行驶滚轮，所述防下垂构件用于防止构成所述运送路径的第二运送部的运送驱动构件的下垂；在位于所述基板保持器运送机构的下方侧的所述运送路径的第二运送部的下方，设置有在所述第二运送方向上延伸的引导部；所述防下垂构件在所述行驶滚轮被所述引导部引导并支撑的状态下沿着所述运送路径的第二运送部行驶，且所述基板保持器运送机构的第一驱动部与所述基板保持器的第一被驱动部接触，来沿着所述运送路径向第二运送方向驱动该基板保持器。
在本发明的真空处理装置中，所述运送驱动构件为传送链。
在本发明的真空处理装置中，在所述防下垂构件的第一驱动部上设置有驱动面，所述驱动面向下方延伸，并与所述基板保持器的第一被驱动部接触，来在运送方向上驱动该第一被驱动部，在所述引导部上设置有上方倾斜部，所述上方倾斜部以朝向第二运送方向并向斜上方延伸的方式形成。
在本发明的真空处理装置中，所述第一处理区域以及所述第二处理区域用于在真空中进行成膜。
在本发明的真空处理装置中，所述基板保持器构成为，在与所述第一运送方向以及所述第二运送方向正交的方向上排列并保持多个成膜对象基板。
发明的效果
在本发明中，在具有以使相对于铅垂面的投影形状呈连续的环状的方式形成的运送路径并形成有单一的真空环境气体的真空槽内，使安装在第一驱动部上的防下垂构件的行驶滚轮沿着引导部行驶，该第一驱动部设置在该运送路径的相对于运送方向的外侧，该引导部设置在第二运送部的下方并沿着第二运送方向延伸，第二运送部位于基板保持器运送机构的下方侧，且使基板保持器运送机构的第一驱动部与基板保持器的第一被驱动部接触，来沿着运送路径向第二运送方向驱动基板保持器，因此，能够防止构成运送路径的第二运送部的运送驱动构件(例如传送链)的下垂，且与现有技术相比，能够抑制在运送基板保持器时产生粉尘。
在本发明中，在防下垂构件的第一驱动部上设置有驱动面，该驱动面向下方延伸，并与所述基板保持器的第一被驱动部接触，来在运送方向上驱动该第一被驱动部，在引导部上设置有上方倾斜部，该上方倾斜部朝向第二运送方向并向斜上方延伸，在该情况下，在沿着引导部在第二运送方向上移动防下垂构件时，利用通过引导部的上方倾斜部，来使防下垂构件的行驶滚轮进而第一驱动部相对于基板保持器的第一被驱动部的高度位置逐渐向上方移动，由此，能够在运送路径的第二运送部的直线部分解除第一驱动部的驱动面与基板保持器的第一被驱动部的接触。
其结果，根据本发明，不使防下垂构件的第一驱动部与基板保持器的第二被驱动部接触，便能够使基板保持器沿着第二运送部向第二运送方向移动，因此，与现有技术(例如，防下垂构件的第一驱动部沿着由链轮形成的圆弧状的轨迹向斜上方移动的情况)相比，能够缩短解除防下垂构件的第一驱动部与基板保持器的第一被驱动部的接触的动作时的移动距离，或者能够缩短该动作时间，由此，能够大幅加快从基板保持器运送机构排出基板保持器的时机。另外，在该排出时，也能够同时避免基板保持器的第二被驱动部与防下垂构件的第一驱动部的驱动面的干涉。
另一方面，在本发明中，在基板保持器以在与该运送方向正交的方向上排列并保持多个基板的方式构成的情况下，与例如现有技术那样的对在基板的运送方向上排列并保持多个基板的基板保持器进行运送并处理的情况相比，能够减小基板保持器的长度以及随之产生的剩余空间，因此，能够实现真空处理装置的进一步的省空间化。
附图说明
图1是示出本发明的真空处理装置的实施方式的整体的概略结构图。
图2中的(a)、(b)示出本实施方式的基板保持器运送机构以及方向转换机构的基本结构，图2中的(a)是俯视图，图2中的(b)是主视图。
图3中的(a)、(b)示出本实施方式所使用的基板保持器的结构，图3中的(a)是俯视图，图3中的(b)是主视图。
图4是示出本实施方式的方向转换机构的结构的主视图。
图5中的(a)～(d)示出本实施方式的设置于运送驱动构件的第一驱动部的结构，图5中的(a)是从运送方向下游侧观察时的侧视图，图5中的(b)是主视图，图5中的(c)是从运送方向上游侧观察时的侧视图，图5中的(d)是立体图。
图6中的(a)～(d)示出本实施方式所使用的行驶构件，图6中的(a)是从运送方向下游侧观察时的侧视图，图6中的(b)是主视图，图6中的(c)是从运送方向上游侧观察时的侧视图，图6中的(d)是立体图。
图7中的(a)～(c)示出本实施方式所使用的防下垂构件的结构，图7中的(a)是从运送方向下游侧观察时的侧视图，图7中的(b)是主视图，图7中的(c)是立体图。
图8中的(a)、(b)示出安装在运送驱动构件上的防下垂构件，图8中的(a)是主视图，图8中的(b)是图8中的(a)的A-A线剖视图。
图9是示出本实施方式的引导部的安装结构的局部剖视图。
图10是示出本实施方式的基板保持器运送机构的概略结构图。
图11是示出本实施方式的真空处理装置的动作的说明图(其1)。
图12是示出本实施方式的真空处理装置的动作的说明图(其2)。
图13是示出本实施方式的真空处理装置的动作的说明图(其3)。
图14中的(a)、(b)是示出本实施方式的基板保持器运送机构的动作的说明图(其1)。
图15中的(a)～(c)是示出本实施方式的基板保持器运送机构以及方向转换机构的动作的说明图(其1)。
图16中的(a)～(c)是示出本实施方式的基板保持器运送机构以及方向转换机构的动作的说明图(其2)。
图17中的(a)、(b)是示出本实施方式的基板保持器运送机构的动作的说明图(其2)。
图18中的(a)～(d)是示出将本实施方式的防下垂构件的第一驱动部与基板保持器的第一被驱动部的接触解除的动作的说明图。
图19是示出本实施方式的真空处理装置的动作的说明图(其4)。
图20是示出本实施方式的真空处理装置的动作的说明图(其5)。
图21是示出本实施方式的真空处理装置的动作的说明图(其6)。
图22是示出现有技术的真空处理装置的整体的概略结构图。
图23是示出以往的基板保持器运送机构的概略结构图。
具体实施方式
以下，参照附图，详细说明本发明的实施方式。
图1是示出本发明的真空处理装置的实施方式的整体的概略结构图。
另外，图2中的(a)、(b)示出本实施方式的基板保持器运送机构以及方向转换机构的基本结构，图2中的(a)是俯视图，图2中的(b)是主视图。
进而，图3中的(a)、(b)示出本实施方式所使用的基板保持器的结构，图3中的(a)是俯视图，图3中的(b)是主视图。
进而，图4是示出本实施方式的方向转换机构的结构的主视图。
如图1所示，本实施方式的真空处理装置1具有与真空排气装置1a连接并形成单一的真空环境气体的真空槽2。
在真空槽2的内部，设置有沿着运送路径运送后述的基板保持器11的基板保持器运送机构3。
该基板保持器运送机构3以连续运送保持基板10的多个基板保持器11的方式构成。
其中，基板保持器运送机构3具有直径相同的圆形的第一驱动轮31以及第二驱动轮32，第一驱动轮31以及第二驱动轮32由例如链轮(sprocket)等构成，从驱动机构(未图示)传递旋转驱动力来进行动作，这些第一驱动轮31以及第二驱动轮32在使各自的旋转轴线平行的状态下隔着规定距离配置。
并且，在第一驱动轮31以及第二驱动轮32上，架设有由例如传送链(Conveyorchain)等构成的连续的运送驱动构件33。
而且，在这些第一驱动轮31以及第二驱动轮32上架设有运送驱动构件33的结构体隔着规定的距离而平行地配置(参照图2中的(a))，通过这一对运送驱动构件33形成相对于铅垂面呈连续的环状的运送路径。
在本实施方式中，在构成运送路径的运送驱动构件33中的上侧的部分，形成有去程侧运送部(第一运送部)33a和折返部33b，去程侧运送部(第一运送部)33a从第一驱动轮31向第二驱动轮32移动并将基板保持器11在第一运送方向P1上运送，折返部33b通过第二驱动轮32的周围的部分的运送驱动构件33将基板保持器11的运送方向折返而转换为相反方向，而且，在运送驱动构件33中的下侧的部分形成有回程侧运送部(第二运送部)33c，回程侧运送部(第二运送部)33c从第二驱动轮32向第一驱动轮31移动并将基板保持器11在第二运送方向P2上运送。
本实施方式的基板保持器运送机构3构成为，位于各运送驱动构件33的上侧的去程侧运送部33a与位于各运送驱动构件33的下侧的回程侧运送部33c分别相向，并在铅垂方向上重合。
另外，在基板保持器运送机构3上，设置有导入基板保持器11的基板保持器导入部30A、使基板保持器11折返来运送的运送折返部30B以及排出基板保持器11的基板保持器排出部30C。
其中，在运送折返部30B的附近，设置有后述的方向转换机构40。
在真空槽2内设置有第一处理区域4以及第二处理区域5。
在本实施方式中，在真空槽2内，在基板保持器运送机构3的上部，设置有具有例如溅射源4T的第一处理区域4，在基板保持器运送机构3的下部，设置有具有例如溅射源5T的第二处理区域5。
在本实施方式中，上述运送驱动构件33的去程侧运送部33a以在水平方向上直线地通过上述第一处理区域4的方式构成，回程侧运送部33c以在水平方向上直线地通过上述第二处理区域5的方式构成。
并且，在基板保持器11通过构成运送路径的这些运送驱动构件33的去程侧运送部33a以及回程侧运送部33c的情况下，以水平状态运送被基板保持器11保持的多个基板10(参照图2中的(a))。
在真空槽2内的基板保持器运送机构3的附近的位置，例如在与第一驱动轮31相邻的位置，设置有基板运入运出机构6，基板运入运出机构6用于在与基板保持器运送机构3之间交接、接收基板保持器11。
本实施方式的基板运入运出机构6具有支撑部62，支撑部62设置在驱动杆61的前(上)端部，驱动杆61被升降机构60在例如铅垂上下方向上驱动。
在本实施方式中，在基板运入运出机构6的支撑部62上设置有运送机器人64，在该运送机器人64上支撑上述基板保持器11并使基板保持器11在铅垂上下方向上移动，且通过运送机器人64与基板保持器运送机构3之间进行基板保持器11的交接。
在该情况下，如后所述，从基板运入运出机构6向基板保持器运送机构3的去程侧运送部33a的基板保持器导入部30A交接基板保持器11(将该位置称为“基板保持器交接位置”)，且从基板保持器运送机构3的回程侧运送部33c的基板保持器排出部30C取出基板保持器11(将该位置称为“基板保持器取出位置”)。
在真空槽2的例如上部，设置有基板运入运出室2A，基板运入运出室2A用于向真空槽2内运入基板10且从真空槽2中运出基板10。
该基板运入运出室2A经由连通口2B设置在例如上述基板运入运出机构6的支撑部62的上方的位置，在例如基板运入运出室2A的上部，设置有能够打开和关闭的盖部2a。
并且，如后所述，将运入基板运入运出室2A内的处理前的基板10a交接至基板运入运出机构6的支撑部62的运送机器人64上的基板保持器11并由该基板保持器11来保持，且将已处理的基板10b从基板运入运出机构6的支撑部62的运送机器人64上的基板保持器11向例如真空槽2的外部的大气中运出。
此外，在本实施方式的情况下，在基板运入运出机构6的支撑部62的上部的缘部，设置有例如O型圈等密封构件63，密封构件63用于在运入以及运出基板10时将基板运入运出室2A与真空槽2内的环境气体隔离。
在该情况下，使基板运入运出机构6的支撑部62朝向基板运入运出室2A侧上升，使支撑部62上的密封构件63紧贴真空槽2的内壁，来堵住连通口2B，由此，使基板运入运出室2A内的环境气体相对于真空槽2内的环境气体隔离。
如图2中的(a)、(b)所示，在本实施方式的基板保持器运送机构3的一对运送驱动构件33上，以向运送驱动构件33的运送方向外侧突出的方式，分别隔开规定间隔地设置有多个后述的防下垂构件35。
防下垂构件35分别具有后述的行驶构件50和第一驱动部36，第一驱动部36与由以下说明的基板保持器支撑机构18支撑的基板保持器11的后述的第一被驱动部12接触，从而在第一运送方向P1或第二运送方向P2上驱动该基板保持器11。
在一对运送驱动构件33的内侧，设置有对运送的基板保持器11进行支撑的一对基板保持器支撑机构18。
基板保持器支撑机构18例如由多个滚轮等能够旋转的构件构成，分别设置在运送驱动构件33的附近。
在本实施方式中，在运送驱动构件33的去程侧运送部33a的上方附近，设置有去程侧基板保持器支撑机构18a，且在运送驱动构件33的回程侧运送部33c的下方附近，设置有回程侧基板保持器支撑机构18c，以对被运送的基板保持器11的下表面的两缘部进行支撑的方式来进行配置。
此外，去程侧基板保持器支撑机构18a设置到后述的方向转换机构40的第一方向转换路径51的进入口的附近，回程侧基板保持器支撑机构18c设置到后述的方向转换机构40的第二方向转换路径52的排出口的附近。
本实施方式所使用的基板保持器11用于在基板10的两面上进行真空处理，由具有开口部的托盘状的构件构成。
如图2中的(a)以及图3中的(a)所示，本实施方式的基板保持器11设置有多个保持部14，多个保持部14形成为例如长条矩形的平板状，在该基板保持器11的长度方向即与第一运送方向P1以及第二运送方向P2正交的方向(以下称为“与运送方向正交的方向”)上，多个保持部14使例如矩形的多个基板10排成一列来分别对多个基板10进行保持。
其中，在各保持部14上，设置有例如矩形的开口部，开口部以与各基板10相同的大小以及形状使各基板10的两面全部露出，通过未图示的保持构件来保持各基板10。
在本发明中，虽然没有特别限定，但从减少设置面积且提高处理能力的观点来看，优选基板保持器11如本实施方式那样构成为，在与运送方向正交的方向上使多个基板10排成一列并对多个基板10分别进行保持。
但是，从提高处理效率的观点来看，也能够在与运送方向正交的方向上将多个基板10排列成多列。
另一方面，在基板保持器11的长度方向的两端部，在第二运送方向P2侧的端部，分别设置有第一被驱动部12，另外，在第一运送方向P1侧的端部，分别设置有第二被驱动部13。
这些第一被驱动部12以及第二被驱动部13分别由轴构件构成，该轴构件以在基板保持器11的长度方向即与第一运送方向P1以及第二运送方向P2正交的方向上延伸的旋转轴线为中心形成圆形截面(参照图3中的(a)、(b))。
在本实施方式中，以第二被驱动部13的长度比第一被驱动部12的长度长的方式来确定第一被驱动部12和第二被驱动部13的尺寸。
具体来说，如图2中的(a)所示，以如下的方式来确定第一被驱动部12以及第二被驱动部13的尺寸，即，在将基板保持器11配置在基板保持器运送机构3上的情况下，基板保持器11的两侧部的第一被驱动部12与基板保持器运送机构3的第一驱动部36接触，且在将基板保持器11配置在后述的方向转换机构40上的情况下，第二被驱动部13与后述的第二驱动部46接触。
在一对运送驱动构件33的第一运送方向P1侧，设置有结构相同的一对方向转换机构40。
在本实施方式的情况下，一对方向转换机构40在第一运送方向P1以及第二运送方向P2上分别配置在一对运送驱动构件33的外侧的位置。
另外，这一对方向转换机构40被设置成，使各自的第二运送方向P2侧的部分与各运送驱动构件33的第一运送方向P1侧的部分稍微重叠。
如图4所示，本实施方式的方向转换机构40具有第一引导构件41、第二引导构件42以及第三引导构件43，这些第一～第三引导构件41～43从第一运送方向P1的上游侧以该顺序配置。
在本实施方式中，第一～第三引导构件41～43分别配置在一对运送驱动构件33的外侧附近的位置，而且，在第一～第三引导构件41～43的外侧附近的位置，分别配置有后述的运送驱动构件45。
此外，在图2中的(b)中，省略了方向转换机构40的一部分，且忽略构件的重合关系而明确地示出了在运送方向上的构件间的位置关系。
如图2中的(a)以及图4所示，第一～第三引导构件41～43由例如板状的构件构成，分别朝向铅垂方向设置。
其中，第一引导构件41的第一运送方向P1侧的部分形成为朝向第一运送方向P1侧凸的曲面形状，另外，第二引导构件42的第二运送方向P2侧的部分形成为朝向第一运送方向P1侧凹的曲面形状。
在第一以及第二引导构件41、42中，第一引导构件41的第一运送方向P1侧的部分与第二引导构件42的第二运送方向P2侧的部分形成为相同的曲面形状，这些部分以设置有比基板保持器11的第一被驱动部12的直径稍大的间隙而相向的方式接近配置。另外，设置有通过该间隙来对基板保持器11的第一被驱动部12进行引导的第一方向转换路径51。
另外，第二引导构件42的第一运送方向P1侧的部分形成为朝向第一运送方向P1侧凸的曲面形状，另外，第三引导构件43的第二运送方向P2侧的部分形成为朝向第一运送方向P1侧凹的曲面形状。
在第二引导构件42以及第三引导构件43中，第二引导构件42的第一运送方向P1侧的部分与第三引导构件43的第二运送方向P2侧的部分形成为相同的曲面形状，这些部分以设置比基板保持器11的第二被驱动部13的直径稍大的间隙而相向的方式接近配置。另外，设置有通过该间隙来对基板保持器11的第二被驱动部13进行引导的第二方向转换路径52。
另外，通过这样的结构，第一方向转换路径51与第二方向转换路径52形成为相同的曲面形状。
而且，在本实施方式中，以第一转换路径51以及第二方向转换路径52的各部分在水平方向上的距离与基板保持器11的第一被驱动部12以及第二被驱动部13之间的距离相同的方式，确定第一方向转换路径51以及第二方向转换路径52的尺寸。
另外，在本实施方式中，第一方向转换路径51的上侧的口是基板保持器11的第一被驱动部12的进入口，其高度位置是比由去程侧基板保持器支撑机构18a支撑的基板保持器11的第二被驱动部13的高度位置低的位置(参照图2中的(b))。
而且，第一方向转换路径51的下侧的口是基板保持器11的第一被驱动部12的排出口，其高度位置是比由回程侧基板保持器支撑机构18c支撑的基板保持器11的第二被驱动部13的高度位置高的位置(参照图2中的(b))。
另外，第二方向转换路径52的上侧的口是基板保持器11的第二被驱动部13的进入口，其高度位置是与由去程侧基板保持器支撑机构18a支撑的基板保持器11的第二被驱动部13的高度位置相同的位置(参照图2中的(b))。
另一方面，第二方向转换路径52的下侧的口是基板保持器11的第二被驱动部13的排出口，其高度位置是与由回程侧基板保持器支撑机构18c支撑的基板保持器11的第二被驱动部13的高度位置相同的位置(参照图2中的(b))。
本实施方式的方向转换机构40具有由例如一对链轮和架设在这一对链轮上的传送链构成的运送驱动构件45，该运送驱动构件45以相对于铅垂面呈连续的环状的方式构成。
该运送驱动构件45以使其折返部分的曲率半径与基板保持器运送机构3的运送驱动构件33的折返部33b的曲率半径相同的方式构成。
另外，运送驱动构件45的上侧的部分被驱动为在第一运送方向P1上移动，运送驱动构件45的下侧的部分被驱动为在第二运送方向P2上移动。
在运送驱动构件45上，隔着规定间隔地设置有多个第二驱动部46，多个第二驱动部46向运送驱动构件45的外侧突出。
在第二驱动部46中，在运送驱动构件45的外侧的部分形成有凹部，该凹部的缘部与基板保持器11的第二被驱动部13接触，从而沿着第二方向转换路径52支撑并驱动该基板保持器11。
另外，以如下方式设定运送驱动构件45的路径以及第二驱动部46的尺寸，即，如后所述，在本实施方式的第二驱动部46到达第二方向转换路径52的进入口以及排出口的位置的情况下，其凹部侧的端部从第二方向转换路径52退避(参照图2中的(b))。
在本实施方式中，如后所述，控制运送驱动构件33和方向转换机构40的运送驱动构件45的动作，使第二驱动部46与设置在运送驱动构件33上的防下垂构件35的第一驱动部36同步地动作。
并且，在本实施方式中，以如下方式分别设定第一驱动部36及第二驱动部46和第一方向转换路径51及第二方向转换路径52的形状及尺寸，即，通过防下垂构件35的第一驱动部36在第一运送方向P1上驱动基板保持器11，使第一被驱动部12以及第二被驱动部13进入第一方向转换路径51以及第二方向转换路径52内，在该情况下，一边保持基板保持器11的上下关系，一边通过第一驱动部36以及第二驱动部46来支撑第一被驱动部12以及第二被驱动部13进行移动，并从第一方向转换路径51以及第二方向转换路径52顺畅地排出基板保持器11。
另一方面，在第一引导构件41与第二引导构件42的下方，在第一方向转换路径51的排出口的附近，设置有交接构件47，交接构件47用于将基板保持器11从方向转换机构40顺畅地交接到基板保持器支撑机构18的回程侧基板保持器支撑机构18c。
该交接构件47，由例如在水平方向上延伸的细长的构件构成，在其第二运送方向P2侧的端部，以旋转轴48为中心在上下方向上旋转移动，该旋转轴48被设置在回程侧基板保持器支撑机构18c的下方的位置并在第一运送方向P1以及第二运送方向P2上延伸。另外，在交接构件47中，第一运送方向P1侧的部分被未图示的弹性构件向上方施力。
在交接构件47的上部，在第一方向转换路径51的排出口的第二运送方向P2侧的附近的部分，设置有形成为曲面形状的交接部47a，交接部47a与第一方向转换路径51连续且与基板保持器支撑机构18的回程侧基板保持器支撑机构18c连续(参照图2中的(b))。
另外，在交接构件47的上部，在第一运送方向P1侧的部分设置有倾斜面47b，倾斜面47b朝向第一运送方向P1向下侧倾斜。该倾斜面47b被设置在与第二方向转换路径52的排出口相向的高度位置。
图5中的(a)～(d)示出本实施方式所使用的第一驱动部的结构，图5中的(a)是从运送方向下游侧观察时的侧视图，图5中的(b)是主视图，图5中的(c)是从运送方向上游侧观察时的侧视图，图5中的(d)是立体图。
如图5中的(a)～(d)所示，本实施方式的第一驱动部36形成为例如J形钩形状(以使运送方向下游侧的第一突部36a的高度低于运送方向上游侧的第二突部36b的高度的方式而形成有槽部36c的形状)。
该槽部36c以在与运送方向正交的方向(宽度方向)上延伸的方式形成。另外，在该槽部36c的相对于运送方向的内侧，设置有螺丝孔36f，螺丝孔36f在与运送方向正交的方向上延伸并贯穿第一驱动部36。
另一方面，在本实施方式中，在第一突部36a的上部设置有限位部36d。
该限位部36d以在与第一突部36a以及第二突部36b正交的方向上延伸的方式形成，其运送方向外侧的部分形成为平面状。
在本实施方式中，以如下方式设定第一驱动部36的各部分的形状以及尺寸，即，第一驱动部36的第二突部36b的运送方向外侧的端部相对于限位部36d的运送方向外侧的端部(表面)位于运送方向外侧。
另外，在第一驱动部36的第二突部36b的第一突部36a侧，设置有驱动面36e，驱动面36e与基板保持器11的第一被驱动部12接触并驱动基板保持器11。
该驱动面36e以在与运送方向正交的方向上延伸的方式形成为平面状。
图6中的(a)～(d)示出本实施方式所使用的行驶构件，图6中的(a)是从运送方向下游侧观察时的侧视图，图6中的(b)是主视图，图6中的(c)是从运送方向上游侧观察时的侧视图，图6中的(d)是立体图。
本实施方式的行驶构件50具有主体框架50a，主体框架50a由例如不锈钢等金属构成且宽度形成得比上述第一驱动部36的宽度宽。
在该主体框架50a中，在其运送方向下游侧的部分设置有保持第一驱动部36的保持框架部50b。
保持框架部50b具有分别在运送方向上延伸的一对板状的部分，这一对板状的部分隔着与第一驱动部36的宽度相等的间隔而设置。
在主体框架50a的保持框架部50b上，固定螺丝53朝向与运送方向正交的方向贯穿保持框架部50b的螺丝孔52a而被安装，该固定螺丝53由用于固定第一驱动部36的螺栓构成。
另一方面，在主体框架50a的运送方向上游侧，设置有滚轮保持框架部55，滚轮保持框架部55用于保持以下说明的行驶滚轮54。
该滚轮保持框架部55具有一对板状的框架，该一对板状的框架以分别在向运送方向上延伸且向运送方向外侧突出的方式形成，该滚轮保持框架部55的一对框架隔着与第一驱动部36的宽度相等的间隔而设置。
在主体框架50a的滚轮保持框架部55上，由螺栓构成的固定螺丝56朝向与运送方向正交的方向贯穿滚轮保持框架部55而被安装，在该固定螺丝56上，圆柱状的行驶滚轮54以在与运送方向正交的方向上延伸的旋转轴线O为中心旋转(参照图6中的(a)、(b))。
作为该行驶滚轮54，可以使用例如滚子轴承等。
图7中的(a)～(c)示出本实施方式所使用的防下垂构件的结构，图7中的(a)是从运送方向下游侧观察时的侧视图，图7中的(b)是主视图，图7中的(c)是立体图。
如图7中的(a)～(c)所示，本实施方式的防下垂构件35由图5中的(a)～(d)所示的第一驱动部36与图6中的(a)～(d)所示的行驶构件50组装而成。
在该情况下，使第一驱动部36的第一突部36a朝向运送方向下游侧来将第一驱动部36配置在行驶构件50的主体框架50a的一对保持框架部50b之间，使固定螺丝53贯穿行驶构件50的螺丝孔52a以及第一驱动部36的螺丝孔36f(参照图5中的(a)、(c))，通过该固定螺丝53和螺母57将第一驱动部36与主体框架50a的保持框架部50b固定。
在本实施方式中，以如下方式设定行驶构件50以及第一驱动部36的各部分的形状以及尺寸，即，是行驶构件50的行驶滚轮54的运送方向外侧的端部相对于第一驱动部36的第二突部36b的运送方向外侧的端部位于运送方向外侧。
此外，如后所述，在行驶构件50的保持框架部50b与第一驱动部36的两侧面之间，插入并固定有例如板状的安装构件58，该安装构件58用于将防下垂构件35安装在运送驱动构件33上。
图8中的(a)、(b)示出安装在运送驱动构件上的防下垂构件，图8中的(a)是主视图，图8中的(b)是图8中的(a)的A-A线剖视图。
图9是示出本实施方式的引导部的安装结构的局部剖视图。
图10是本实施方式中的基板保持器运送机构的概略结构图。
如图8中的(a)、(b)所示，本实施方式所使用的运送驱动构件33由一般的传送链构成，具有外侧链节部33d、内侧链节部33e以及滚轮33f，滚轮33f通过未图示的销以及衬套以能够旋转的方式安装在外侧链节部33d与内侧链节部33e的连结部分。
另外，在上述防下垂构件35的一对安装构件58的相对于运送方向的内侧的部分，分别固定有在例如运送方向外侧上延伸的板状的连结构件59，并且，该一对连结构件59的相对于运送方向的内侧的部分，分别固定在运送驱动构件33的外侧链节部33d的一对板的运送方向外侧的部分，由此，防下垂构件35以将行驶滚轮54配置在运送方向外侧的状态下安装在运送驱动构件33上。
如图8中的(a)、(b)所示，在本实施方式中，在防下垂构件35位于运送驱动构件33的下部即回程侧运送部33c时，行驶滚轮54位于回程侧运送部33c的下方，行驶滚轮54的下端部配置在防下垂构件35的最低的位置。
在本实施方式中，通过设置在运送驱动构件33的回程侧运送部33c的下方的引导部17，来引导并支撑防下垂构件35的行驶滚轮54。
如图10所示，该引导部17以在运送方向上延伸的方式形成，如图9所示，在其两侧部设置有在铅垂方向上延伸的防脱落用的引导壁部。
在本实施方式中，设置有板状的基台18e，基台18e以相对于保持构件18d在运送方向上延伸的方式朝向水平方向被固定，保持构件18d用于对基板保持器支撑机构18的由例如滚轮构成的回程侧基板保持器支撑机构18c进行保持并以在运送方向上延伸的方式立设，在该基台18e上固定有例如L字形状的安装构件17A，且在固定在该安装构件17A上的支撑构件17B的水平面上固定有引导部17。
另外，如图9以及图10所示，该引导部17以使其支撑面位于基板保持器支撑机构18的回程侧基板保持器支撑机构18c的支撑部的下方的方式设置。
另一方面，如图10所示，本实施方式的引导部17设置有行驶部17a、上方倾斜部17b以及接触解除部17c，该行驶部17a朝向第二运送方向P2而在水平方向上延伸，该上方倾斜部17b与行驶部17a连结并朝向斜上方倾斜，该接触解除部17c与该上方倾斜部17b连结并在水平方向上延伸。
稍后描述这些上方倾斜部17b和接触解除部17c的细节，它们是用于将基板保持器11的第一被驱动部12与防下垂构件35的第一驱动部36的接触解除的构件。
以下，参照图11～图21说明本实施方式的真空处理装置1的动作。
在本实施方式中，首先，如图11所示，使基板运入运出机构6的支撑部62上的密封构件63紧贴真空槽2的内壁，来使基板运入运出室2A内的环境气体相对于真空槽2内的环境气体隔离，在该状态下，在换气至大气压力之后，打开基板运入运出室2A的盖部2a。
此后，使用未图示的运送机器人，来将处理前的基板10a安装在基板运入运出机构6的支撑部62的运送机器人64上的基板保持器11上来进行保持。
并且，如图12所示，在关闭基板运入运出室2A的盖部2a并真空排气至规定的压力后，使基板运入运出机构6的支撑部62下降至上述的基板保持器交接位置，使基板保持器11的高度位于与运送驱动构件33的去程侧运送部33a相同的高度位置。
而且，如图13所示，通过设置在基板运入运出机构6的支撑部62的运送机器人64来将基板保持器11配置到基板保持器运送机构3的基板保持器导入部30A。
在该情况下，以使基板保持器11的第一被驱动部12配置在防下垂构件35的第一驱动部36的槽部36c(参照图5)内的方式，对第一被驱动部12进行定位并将其载置在去程侧基板保持器支撑机构18a上，但在该动作时，有时由于防下垂构件35的移动滞后而产生时机的偏离，从而无法将第一被驱动部12配置在第一驱动部36的槽部36c内。
但是，在本实施方式中，如上所述，在防下垂构件35的第一驱动部36上设置有限位部36d，因而在防下垂构件35的移动滞后的情况下，如图14中的(a)所示，第一驱动部36的限位部36d的第一运送方向P1侧的前端部以朝向上方而使其上表面的运送方向上游侧(后方侧)的部分变低的方式倾斜，因而基板保持器11的第一被驱动部12与第一驱动部36的限位部36d的上表面抵接，基板保持器11在该位置停止，使运送驱动构件33稍微动作，由此，能够将第一被驱动部12顺畅地配置在第一驱动部36的槽部36c内。
此后，在该状态下，如图14中的(b)所示，使基板保持器运送机构3的运送驱动构件33的去程侧运送部33a向第一运送方向P1移动。
由此，利用运送驱动构件33的去程侧运送部33a上的第一驱动部36，在第一运送方向P1上驱动基板保持器11的第一被驱动部12，在运送驱动构件33的去程侧运送部33a上朝向运送折返部30B运送基板保持器11。
在该情况下，在通过图11所示的第一处理区域4的位置时，对由基板保持器11保持的处理前的基板10a的第一处理区域4侧的第一面进行规定的真空处理(例如通过溅射进行的成膜)。
图15中的(a)～(c)以及图16中的(a)～(c)是示出本实施方式中的基板保持器运送机构以及方向转换机构的动作的说明图。
在本实施方式中，使安装在运送驱动构件33上的防下垂构件35的第一驱动部36在第一运送方向P1上移动，由此，如图15中的(a)所示，使到达基板保持器运送机构3的运送折返部30B的基板保持器11进一步向第一运送方向P1移动，将基板保持器11的第二被驱动部13配置在方向转换机构40的第二方向转换路径52的进入口的位置。
在该情况下，控制运送驱动构件45的动作，以使方向转换机构40的第二驱动部46位于基板保持器11的第二被驱动部13的下方。
并且，驱动运送驱动构件33使防下垂构件35的第一驱动部36在第一运送方向P1上移动，且驱动方向转换机构40的运送驱动构件45使第二驱动部46在第一运送方向P1上移动。在该情况下，以使防下垂构件35的第一驱动部36与第二驱动部46的动作同步的方式进行控制。
由此，如图15中的(b)所示，基板保持器11的第一被驱动部12以及第二被驱动部13分别被防下垂构件35的第一驱动部36和第二驱动部46支撑并驱动，并分别在第一方向转换路径51以及第二方向转换路径52内朝向下方移动。
此外，在该过程中，基板保持器11的第一被驱动部12在第一方向转换路径51内不会同时接触，但会接触第一引导构件41的缘部和第二引导构件42的缘部，另外，第二被驱动部13在第二方向转换路径52内不会同时接触，但会接触第二引导构件42的缘部和第三引导构件43的缘部。在该情况下，维持基板保持器11的上下关系。
并且，从第一被驱动部12以及第二被驱动部13分别通过第一方向转换路径51以及第二方向转换路径52的中间部分的附近开始，在维持基板保持器11的上下关系的状态下，第一被驱动部12以及第二被驱动部13的运送方向被分别转换为与第一运送方向P1相反方向的第二运送方向P2。
此外，在该过程中，基板保持器11的第一被驱动部12在第一方向转换路径51内不会同时接触，但会与第一引导构件41的缘部和第二引导构件42的缘部接触，另外，第二被驱动部13在第二方向转换路径52内不会同时接触，但会与第二引导构件42的缘部和第三引导构件43的缘部接触。
而且，若继续驱动基板保持器运送机构3的运送驱动构件33和方向转换机构40的运送驱动构件45，则如图15中的(c)所示，基板保持器11的第一被驱动部12经由第一方向转换路径51的排出口以及交接构件47的交接部47a而被配置在交接构件47的上方的位置，且基板保持器11的第二被驱动部13被配置在第二方向转换路径52的排出口的位置，此后，如图16中的(a)所示，基板保持器11被交接至基板保持器支撑机构18的回程侧基板保持器支撑机构18c。
另外，防下垂构件35被上述引导部17的行驶部17a支撑。
其中，从防下垂的角度考虑，引导部17的行驶部17a也可以仅设置在运送驱动构件33的下垂成为问题的位置，在该情况下，也存在着在向上述回程侧基板保持器支撑机构18c交接的同时，防下垂构件35不受引导部17的行驶部17a支撑的情况。
此外，在图15中的(c)所示的时间点，方向转换机构40的第二驱动部46未与基板保持器11的第二被驱动部13接触，基板保持器11通过防下垂构件35的第一驱动部36与第一被驱动部12的接触所产生的驱动而向第二运送方向P2移动。
另外，通过进一步地驱动基板保持器运送机构3的运送驱动构件33，如图16中的(b)所示，基板保持器11的第二被驱动部13与交接构件47的倾斜面47b接触，从而使交接构件47向下方旋转移动，如图16中的(c)所示，基板保持器11的第二被驱动部13通过交接构件47的上方，而使基板保持器11向第二运送方向P2移动。
此外，交接构件47在该过程之后，通过未图示的弹性构件的作用力返回到原来的位置。
此后，如图17中的(a)所示，使运送驱动构件33的回程侧运送部33c在第二运送方向P2上移动，通过由防下垂构件35的第一驱动部36在相同方向上驱动第一被驱动部12，来朝向基板保持器排出部30C运送基板保持器11。
在该情况下，在通过图11所示的第二处理区域5的位置时，对由基板保持器11保持的处理前的基板10a的第二处理区域5侧的第二面进行规定的真空处理(例如通过溅射进行的成膜)。
并且，若使运送驱动构件33的回程侧运送部33c在第二运送方向P2上移动，并通过第一驱动部36在相同方向上驱动第一驱动部36，则在基板保持器11即将到达基板保持器排出部30C之前，如图17中的(b)所示，防下垂构件35的第一驱动部36与第一被驱动部12的接触被解除，由此，基板保持器11失去推进力。
图18中的(a)～(d)是示出将本实施方式中的防下垂构件的第一驱动部与基板保持器的第一被驱动部的接触解除的动作的说明图。
若使运送驱动构件33的回程侧运送部33c在第二运送方向P2上移动，则如图18中的(a)所示，在防下垂构件35的第一驱动部36的第二突部36b的第二运送方向P2侧的驱动面36e与基板保持器11的第一被驱动部12接触的状态下，基板保持器11在第二运送方向P2上移动。
在图18中的(a)所示的位置，防下垂构件35的行驶滚轮54与引导部17的行驶部17a接触，防下垂构件35沿着行驶部17a在水平方向上移动。
若从该状态起使运送驱动构件33的回程侧运送部33c在第二运送方向P2上移动，则基板保持器11在回程侧基板保持器支撑机构18c上在第二运送方向P2上移动，另一方面，如图18中的(b)所示，防下垂构件35的行驶滚轮54移动到引导部17的上方倾斜部17b上并向第二运送方向P2的斜上方移动，由此，防下垂构件35的第一驱动部36也向第二运送方向P2的斜上方移动。
若接着使运送驱动构件33的回程侧运送部33c在第二运送方向P2上移动，则防下垂构件35的第一驱动部36相对于基板保持器11的第一被驱动部12的高度位置逐渐向上方移动，如图18中的(c)所示，在防下垂构件35的行驶滚轮54移动到引导部17的接触解除部17c上的时间点，防下垂构件35的第一驱动部36的第二突部36b的下端部位于基板保持器11的第一被驱动部12的上部的上方，因此，第一驱动部36的第二突部36b的驱动面36e与基板保持器11的第一被驱动部12的接触被完全解除。
其结果，如图18中的(d)所示，不使防下垂构件35的第一驱动部36的第二突部36b与基板保持器11的第二被驱动部13接触，便能够使基板保持器11沿着回程侧运送部33c向第二运送方向P2水平移动。
根据这样的本实施方式，与现有技术(例如防下垂构件35的第一驱动部36沿着由链轮形成的圆弧状的轨迹向斜上方移动的情况)相比，能够缩短解除防下垂构件35的第一驱动部36与基板保持器11的第一被驱动部12的接触的动作时的移动距离，或者能够缩短该动作时间，由此，能够大幅加快将基板保持器11从基板保持器运送机构3排出并向基板运入运出机构6交接的时机。另外，在该排出时，也能够同时避免基板保持器11的第二被驱动轴13与防下垂构件35的第一驱动部36的第二突部36b(驱动面36e)的前端部的干涉。
在进行了以上的动作之后，通过图19所示的基板运入运出机构6的运送机器人64使基板保持器11在第二运送方向P2上移动并离开第一驱动部36。
而且，使用基板运入运出机构6的运送机器人64来进行基板保持器11的取出动作，如图19所示，将基板保持器11与运送机器人64一起配置在支撑部62上。
此后，如图20所示，使基板运入运出机构6的支撑部62上升，使支撑部62上的密封构件63紧贴真空槽2的内壁，来使基板运入运出室2A内的环境气体相对于真空槽2内的环境气体隔离，在该状态下，换气至大气压力。
另外，如图21所示，打开基板运入运出室2A的盖部2a，使用未图示的运送机器人，将已处理的基板10b从基板保持器11取出至大气中。
此后，返回到图11所示的状态，通过重复上述动作，来对多个基板10的各自的两面进行上述的真空处理。
在以上所述的本实施方式中，在具有以使相对于铅垂面的投影形状呈连续的环状的方式形成的运送路径并形成有单一的真空环境气体的真空槽2内，使组装在第一驱动部36上的防下垂构件35的行驶滚轮54沿着引导部17行驶，该第一驱动部36设置在该运送路径的相对于运送方向的外侧，该引导部17设置在运送驱动构件33的回程侧运送部33c的下方并沿着第二运送方向P2延伸，运送驱动构件33的回程侧运送部33c位于基板保持器运送机构3的下方侧，使第一驱动部36与基板保持器11的第一被驱动部12接触，来沿着运送路径向第二运送方向P2驱动基板保持器11，因此，能够防止构成运送路径的第二运送部的运送驱动构件33的回程侧运送部33c(例如传送链)的下垂，且与现有技术相比，能够抑制在运送基板保持器11时产生粉尘。
另外，在本实施方式中，基板保持器11以在与该运送方向正交的方向上排列并保持多个基板10的方式构成，因此，与现有技术那样的对在基板的运送方向上排列并保持多个基板的基板保持器进行运送并处理的情况相比，能够减小基板保持器的长度以及随之产生的剩余空间，因此，能够实现真空处理装置的进一步的省空间化。
此外，本发明并不受上述实施方式的限定，能够进行各种变更。
例如在上述实施方式中，虽然基板保持器运送机构3以及方向转换机构40由一对链轮和架设在这一对链轮上的传送链构成，但也可以使用例如使用了带或轨道的环状形状的运送驱动机构。
而且，基板保持器支撑机构18也可以使用带或轨道而不使用滚轮来构成。
另外，第一驱动部36以及第二驱动部46的形状不受上述实施方式限定，只要能够与基板保持器11的第一被驱动部12以及第二被驱动部13切实地接触并支撑驱动，能够采用各种形状。
而且，在上述实施方式中，作为真空中的处理，以进行溅射的装置为例进行了说明，但本发明并不受其限制，例如，能够适用于进行等离子处理、离子注入处理、蒸镀处理、化学气相生长处理、聚焦离子束处理、蚀刻处理等各种处理的真空处理装置。
在该情况下，在第一处理区域4以及第二处理区域5中也能够设置进行不同处理的处理源。
而且，本发明不仅能够适用于上述实施方式那样的将处理前的基板10a运入真空槽2内并将已处理的基板10b从真空槽2运出的情况，还能够适用于将处理前的基板10a与基板保持器11一起运入真空槽2内，将已处理的基板10b与基板保持器11一起从真空槽2中运出的情况。
附图标记说明
1：真空处理装置、
2：真空槽、
3：基板保持器运送机构、
4：第一处理区域、
4T：溅射源、
5：第二处理区域、
5T：溅射源、
6：基板运入运出机构、
10：基板、
11：基板保持器、
12：第一被驱动部、
13：第二被驱动部、
17：引导部、
17a：行驶部、
17b：上方倾斜部、
17c：接触解除部、
30A：基板保持器导入部、
30B：运送折返部、
30C：基板保持器排出部、
31：第一驱动轮、
32：第二驱动轮、
33：运送驱动构件(运送路径)、
33a：去程侧运送部(第一运送部)、
33b：折返部、
33c：回程侧运送部(第二运送部)、
35：防下垂构件、
36：第一驱动部、
36a：第一突部、
36b：第二突部、
36e：驱动面、
40：方向转换机构、
41：第一引导构件、
42：第二引导构件、
43：第三引导构件、
45：运送驱动构件、
46：第二驱动部、
51：第一方向转换路径、
52：第二方向转换路径。

Claims (5)

1.一种真空处理装置，其特征在于，
具有：
真空槽，形成有单一的真空环境气体，
第一处理区域以及第二处理区域，设置在所述真空槽内，在由基板保持器保持的基板上进行规定的真空处理，
运送路径，以相对于铅垂面的投影形状呈连续的环状的方式形成，用于运送所述基板保持器，和
基板保持器运送机构，沿着所述运送路径运送具有第一被驱动部以及第二被驱动部的多个所述基板保持器；
所述运送路径，具有：
第一运送部，在使导入的所述基板保持器水平的状态下，沿着所述运送路径在第一运送方向上运送所述基板保持器，
第二运送部，在使所述基板保持器水平的状态下，沿着所述运送路径在与所述第一运送方向相反的方向的第二运送方向上运送并排出所述基板保持器，和
运送折返部，从所述第一运送部朝向所述第二运送部折返来运送所述基板保持器；
所述第一运送部通过所述第一处理区域以及所述第二处理区域中的一个区域，且所述第二运送部通过所述第一处理区域以及所述第二处理区域中的另一个区域；
所述基板保持器运送机构，相对于该运送路径的运送方向在外侧具有多个第一驱动部，所述第一驱动部与所述基板保持器的第一被驱动部接触并沿着所述运送路径驱动该基板保持器；
在所述运送路径的运送折返部的附近，设置有方向转换机构，所述方向转换机构，具有：
多个第二驱动部，所述第二驱动部与所述基板保持器的第二被驱动部接触而分别在所述第一运送方向以及所述第二运送方向上驱动该基板保持器，和
第一方向转换路径以及第二方向转换路径，用于以使该基板保持器从所述第一运送方向向所述第二运送方向进行方向转换的方式分别对所述基板保持器的第一被驱动部以及第二被驱动部进行引导并运送；
使所述基板保持器运送机构的第一驱动部与所述方向转换机构的第二驱动部同步动作，沿着所述方向转换机构的第一方向转换路径以及第二方向转换路径分别对所述基板保持器的第一被驱动部以及第二被驱动部进行引导并运送，从而在维持所述基板保持器的上下关系的状态下，将所述基板保持器从所述运送路径的第一运送部交接到第二运送部；
设置有防下垂构件，所述防下垂构件组装在所述基板保持器运送机构的第一驱动部上，在所述防下垂构件的相对于所述运送方向的外侧的部分，具有能够以在与该运送方向正交的方向上延伸的旋转轴线为中心旋转的行驶滚轮，所述防下垂构件用于防止构成所述运送路径的第二运送部的运送驱动构件的下垂；
在位于所述基板保持器运送机构的下方侧的所述运送路径的第二运送部的下方，设置有在所述第二运送方向上延伸的引导部；
所述防下垂构件在所述行驶滚轮被所述引导部引导并支撑的状态下沿着所述运送路径的第二运送部行驶，且所述基板保持器运送机构的第一驱动部与所述基板保持器的第一被驱动部接触，来沿着所述运送路径向第二运送方向驱动该基板保持器。
2.根据权利要求1所述的真空处理装置，其特征在于，
所述运送驱动构件为传送链。
3.根据权利要求1或2所述的真空处理装置，其特征在于，
在所述防下垂构件的第一驱动部上设置有驱动面，所述驱动面向下方延伸，并与所述基板保持器的第一被驱动部接触，来在运送方向上驱动该第一被驱动部，
在所述引导部上设置有上方倾斜部，所述上方倾斜部以朝向第二运送方向并向斜上方延伸的方式形成。
4.根据权利要求1或2所述的真空处理装置，其特征在于，
所述第一处理区域以及所述第二处理区域用于在真空中进行成膜。
5.根据权利要求1至4中的任一项所述的真空处理装置，其特征在于，
所述基板保持器构成为，在与所述第一运送方向以及所述第二运送方向正交的方向上排列并保持多个成膜对象基板。
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