CN111908144B - 一种硅片盒输送线上的堆叠装置 - Google Patents

一种硅片盒输送线上的堆叠装置 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种硅片盒输送线上的堆叠装置，包括矩形的底板，底板后侧的中部成型有矩形的槽孔，槽孔内插接有堆叠板，槽孔四周的底板上插接固定有若干杆立柱，立柱的上端插接固定有矩形的顶板，顶板的中部成型有与堆叠板相对的矩形过孔，矩形过孔相对的两侧壁上成型有贯穿顶板外侧壁的插槽，顶板的插槽内插接有型的托板，托板的上端面上抵靠有“回”字形的固定座，立柱的上端插接固定在固定座上；所述堆叠板的后端成型有竖向的型支架板，型支架板穿过顶板的矩形过孔和固定座固定连接有竖直的升降气缸，升降气缸的活塞杆穿过型支架板固定在固定座上。

Description

一种硅片盒输送线上的堆叠装置
技术领域
本发明涉及硅片热处理设备的技术领域，更具体地说涉及一种硅片盒输送线上的堆叠装置。
背景技术
现市面上硅片热处理方式大多为将硅片从前道线获取硅片并将硅片放置于硅片盒中，通过人力将多个硅片盒推入热处理装置进行热处理，在热处理结束后将经过热处理的硅片从硅片盒中取出，将硅片流入下一工序，同时将取完硅片的空硅片盒搬回，继续将未处理的硅片置于空硅片盒内。为了节省人力，空硅片盒搬运采用输送带输送，即在热处理设备的结束端与热处理设备起始端之间设有逆向流动的输送带，将空硅片盒安放在输送带上，即可以输送回热处理设备的起始端，采用输送带输送虽然方便，但需要人工将空硅片盒堆叠在安放支架上，也较为费劲，所以需要一种能实现可自动堆叠的安放支架。
发明内容
本发明的目的就是针对现有技术之不足，而提供了一种硅片盒输送线上的堆叠装置，其提出的机械结构能实现空硅片盒堆叠，可以减轻工人的劳动强度。
为实现上述目的，本发明采用的技术方案如下：
一种硅片盒输送线上的堆叠装置，包括矩形的底板，底板后侧的中部成型有矩形的槽孔，槽孔内插接有堆叠板，槽孔四周的底板上插接固定有若干杆立柱，立柱的上端插接固定有矩形的顶板，顶板的中部成型有与堆叠板相对的矩形过孔，矩形过孔相对的两侧壁上成型有贯穿顶板外侧壁的插槽，顶板的插槽内插接有型的托板，托板的上端面上抵靠有“回”字形的固定座，立柱的上端插接固定在固定座上；所述堆叠板的后端成型有竖向的型支架板，L型支架板穿过顶板的矩形过孔和固定座后固定连接有竖直的升降气缸，升降气缸的活塞杆穿过型支架板固定在固定座上；
所述托板外侧壁的两端插接有型的限位杆，限位杆插接固定在顶板上，限位杆上插套有压簧，压簧的两端分别压靠在限位杆的头部和托板上，托板的上端面成型有直角梯形状的驱动块，驱动块和固定座的侧壁之间插设有若干直径逐渐递增的滚轮，滚轮的两侧抵靠在固定座的侧壁和驱动块的斜面上；所述固定座的后侧插套有“匚”字形的驱动支架，驱动支架的两端成型有向前延伸的斜支杆，斜支杆上插接固定有若干定位柱,滚轮插套在定位柱上；所述驱动支架的中部固定有纵向的驱动气缸，驱动气缸的活塞杆穿过驱动支架固定在固定座的后端面上。
优选的，所述驱动气缸两侧的驱动支架上插接有型的导向杆，导向杆的前端插接固定在固定座上。
优选的，所述底板的长度大于顶板的长度，底板的宽度等于顶板的宽度，底板的后端面和顶板的后端面相齐平，底板的前端伸出顶板外并设有导向侧板，导向侧板有两块并固定在底板两侧的上端面上，导向侧板由前侧的斜导流板和后侧直线型的侧挡板组成。
优选的，所述顶板上矩形过孔的长度大于底板上槽孔的长度，矩形过孔的宽度大于槽孔的宽度，矩形过孔的长度和宽度分别等于固定座内孔的长度和宽度；所述导向侧板上侧挡板的内侧壁和矩形过孔的内侧壁相齐平。
优选的，所述托板的上端面和顶板的上端面相齐平，托板之间的间距大于堆叠板的宽度。
优选的，所述托板的外侧边弯折成型有水平的加固板，加固板抵靠在顶板的下端面上。
优选的，所述固定座的两侧设有防护支架，防护支架由两根相对的型框架和若干支撑柱组成，支撑柱的上端固定在型框架上，支撑柱的下端插接固定在固定座上。
优选的，所述的立柱上插套有下套管和上套管，上套管的两端抵靠在底板和顶板上，下套管的下端面和立柱的下端面相齐平，下套管的上端抵靠在底板上。
本发明的有益效果在于：其提出的机械结构能实现空硅片盒堆叠，可以减轻工人的劳动强度。
附图说明
图1为本发明立体的结构示意图；
图2为本发明侧视的结构示意图；
图3为本发明正视的结构示意图；
图4为本发明俯视的结构示意图。
图中：1、底板；1a、槽孔；2、立柱；3、顶板；3a、矩形过孔；3b、插槽；4、托板；4a、加固板；4b、驱动块；5、固定座；6、堆叠板；6a、L型支架板；7、升降气缸；8、防护支架；8a、支撑柱；8b、L型框架；9、导向侧板；9a、斜导流板；9b、侧挡板；10、限位杆；11、压簧；12、驱动支架；12a、斜支杆；13、定位柱；14、滚轮；15、驱动气缸；16、导向杆；17、上套管；18、下套管；19、支撑板。
具体实施方式
实施例：见图1至4所示，一种硅片盒输送线上的堆叠装置，包括矩形的底板1，底板1后侧的中部成型有矩形的槽孔1a，槽孔1a内插接有堆叠板6，槽孔1a四周的底板1上插接固定有若干杆立柱2，立柱2的上端插接固定有矩形的顶板3，顶板3的中部成型有与堆叠板6相对的矩形过孔3a，矩形过孔3a相对的两侧壁上成型有贯穿顶板3外侧壁的插槽3b，顶板3的插槽3b内插接有L型的托板4，托板4的上端面上抵靠有“回”字形的固定座5，立柱2的上端插接固定在固定座5上；所述堆叠板6的后端成型有竖向的L型支架板6a，L型支架板6a穿过顶板3的矩形过孔3a和固定座5后固定连接有竖直的升降气缸7，升降气缸7的活塞杆穿过L型支架板6a固定在固定座5上；
所述托板4外侧壁的两端插接有T型的限位杆10，限位杆10插接固定在顶板3上，限位杆10上插套有压簧11，压簧11的两端分别压靠在限位杆10的头部和托板4上，托板4的上端面成型有直角梯形状的驱动块4b，驱动块4b和固定座5的侧壁之间插设有若干直径逐渐递增的滚轮14，滚轮14的两侧抵靠在固定座5的侧壁和驱动块4b的斜面上；所述固定座5的后侧插套有“匚”字形的驱动支架12，驱动支架12的两端成型有向前延伸的斜支杆12a，斜支杆12a上插接固定有若干定位柱13,滚轮14插套在定位柱13上；所述驱动支架12的中部固定有纵向的驱动气缸15，驱动气缸15的活塞杆穿过驱动支架12固定在固定座5的后端面上。
所述驱动气缸15两侧的驱动支架12上插接有T型的导向杆16，导向杆16的前端插接固定在固定座5上。
所述底板1的长度大于顶板3的长度，底板1的宽度等于顶板3的宽度，底板1的后端面和顶板3的后端面相齐平，底板1的前端伸出顶板3外并设有导向侧板9，导向侧板9有两块并固定在底板1两侧的上端面上，导向侧板9由前侧的斜导流板9a和后侧直线型的侧挡板9b组成。
所述顶板3上矩形过孔3a的长度大于底板1上槽孔1a的长度，矩形过孔3a的宽度大于槽孔1a的宽度，矩形过孔3a的长度和宽度分别等于固定座5内孔的长度和宽度；所述导向侧板9上侧挡板9b的内侧壁和矩形过孔3a的内侧壁相齐平。
所述托板4的上端面和顶板3的上端面相齐平，托板4之间的间距大于堆叠板6的宽度。
所述托板4的外侧边弯折成型有水平的加固板4a，加固板4a抵靠在顶板3的下端面上。
所述固定座5的两侧设有防护支架8，防护支架8由两根相对的L型框架8b和若干支撑柱8a组成，支撑柱8a的上端固定在L型框架8b上，支撑柱8a的下端插接固定在固定座5上。
所述的立柱2上插套有下套管17和上套管18，上套管18的两端抵靠在底板1和顶板3上，下套管17的下端面和立柱2的下端面相齐平，下套管17的上端抵靠在底板1上。
所述堆叠板6的下端面上固定有若干支撑板19。
工作原理：本发明为硅片盒输送线上的堆叠装置，其输送带将空硅片盒输送至底板1上，通过底板1上的导向侧板9进行纠偏，正对进入堆叠板6的上侧，然后启动升降气缸7带动空硅片盒上升抵靠到托板4上，再启动驱动气缸15，驱动气缸15实现驱动支架12向前推进，利用斜面结构实现托板4相固定座5两侧移动，从而托板4上侧的空硅片盒与托板4脱离堆叠在堆叠板6上的空硅片盒上，同时升降气缸7持续驱动所有的空硅片盒上移，当升降气缸7行程结束时，空硅片盒位于托板4的上侧，驱动气缸15复位，带动托板4复位，然后升降气缸7复位，堆叠板6下降穿过托板4之间到起始为，而堆叠板6上的空硅片盒则为托板4所承托；同时也实现了空硅片盒从下至上方式的堆叠。
所述实施例用以例示性说明本发明，而非用于限制本发明。任何本领域技术人员均可在不违背本发明的精神及范畴下，对所述实施例进行修改，因此本发明的权利保护范围，应如本发明的权利要求所列。

Claims (8)

1.一种硅片盒输送线上的堆叠装置，包括矩形的底板(1)，其特征在于：底板(1)后侧的中部成型有矩形的槽孔(1a)，槽孔(1a)内插接有堆叠板(6)，槽孔(1a)四周的底板(1)上插接固定有若干杆立柱(2)，立柱(2)的上端插接固定有矩形的顶板(3)，顶板(3)的中部成型有与堆叠板(6)相对的矩形过孔(3a)，矩形过孔(3a)相对的两侧壁上成型有贯穿顶板(3)外侧壁的插槽(3b)，顶板(3)的插槽(3b)内插接有L型的托板(4)，托板(4)的上端面上抵靠有“回”字形的固定座(5)，立柱(2)的上端插接固定在固定座(5)上；所述堆叠板(6)的后端成型有竖向的L型支架板(6a)，L型支架板(6a)穿过顶板(3)的矩形过孔(3a)和固定座(5)后固定连接有竖直的升降气缸(7)，升降气缸(7)的活塞杆穿过L型支架板(6a)固定在固定座(5)上；
所述托板(4)外侧壁的两端插接有T型的限位杆(10)，限位杆(10)插接固定在顶板(3)上，限位杆(10)上插套有压簧(11)，压簧(11)的两端分别压靠在限位杆(10)的头部和托板(4)上，托板(4)的上端面成型有直角梯形状的驱动块(4b)，驱动块(4b)和固定座(5)的侧壁之间插设有若干直径逐渐递增的滚轮(14)，滚轮(14)的两侧抵靠在固定座(5)的侧壁和驱动块(4b)的斜面上；所述固定座(5)的后侧插套有“匚”字形的驱动支架(12)，驱动支架(12)的两端成型有向前延伸的斜支杆(12a)，斜支杆(12a)上插接固定有若干定位柱(13),滚轮(14)插套在定位柱(13)上；所述驱动支架(12)的中部固定有纵向的驱动气缸(15)，驱动气缸(15)的活塞杆穿过驱动支架(12)固定在固定座(5)的后端面上。
2.根据权利要求1所述的一种硅片盒输送线上的堆叠装置，其特征在于：所述驱动气缸(15)两侧的驱动支架(12)上插接有T型的导向杆(16)，导向杆(16)的前端插接固定在固定座(5)上。
3.根据权利要求1所述的一种硅片盒输送线上的堆叠装置，其特征在于：所述底板(1)的长度大于顶板(3)的长度，底板(1)的宽度等于顶板(3)的宽度，底板(1)的后端面和顶板(3)的后端面相齐平，底板(1)的前端伸出顶板(3)外并设有导向侧板(9)，导向侧板(9)有两块并固定在底板(1)两侧的上端面上，导向侧板(9)由前侧的斜导流板(9a)和后侧直线型的侧挡板(9b)组成。
4.根据权利要求3所述的一种硅片盒输送线上的堆叠装置，其特征在于：所述顶板(3)上矩形过孔(3a)的长度大于底板(1)上槽孔(1a)的长度，矩形过孔(3a)的宽度大于槽孔(1a)的宽度，矩形过孔(3a)的长度和宽度分别等于固定座(5)内孔的长度和宽度；所述导向侧板(9)上侧挡板(9b)的内侧壁和矩形过孔(3a)的内侧壁相齐平。
5.根据权利要求4所述的一种硅片盒输送线上的堆叠装置，其特征在于：所述托板(4)的上端面和顶板(3)的上端面相齐平，托板(4)之间的间距大于堆叠板(6)的宽度。
6.根据权利要求5所述的一种硅片盒输送线上的堆叠装置，其特征在于：所述托板(4)的外侧边弯折成型有水平的加固板(4a)，加固板(4a)抵靠在顶板(3)的下端面上。
7.根据权利要求1所述的一种硅片盒输送线上的堆叠装置，其特征在于：所述固定座(5)的两侧设有防护支架(8)，防护支架(8)由两根相对的L型框架(8b)和若干支撑柱(8a)组成，支撑柱(8a)的上端固定在L型框架(8b)上，支撑柱(8a)的下端插接固定在固定座(5)上。
8.根据权利要求1所述的一种硅片盒输送线上的堆叠装置，其特征在于：所述的立柱(2)上插套有下套管(17)和上套管(18)，上套管(18)的两端抵靠在底板(1)和顶板(3)上，下套管(17)的下端面和立柱(2)的下端面相齐平，下套管(17)的上端抵靠在底板(1)上。
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