CN111834283B - 一种晶圆抓取机械手 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种晶圆抓取机械手，包括机械手固定板，所述机械手固定板的右端中部成型有弧形槽，弧形槽的左侧壁的中部成型有向左延伸的中心通槽，中心通槽的前后两个内侧壁上均固定有中部导向槽，伸缩臂插套在中心通槽中，伸缩臂的前后两个侧壁上成型有导向凸起条，导向凸起条插套在对应的中部导向槽中。本发明通过伸缩臂伸缩可以将抓取板伸入抓取处进行接料，其伸缩臂体积小，方便伸入抓取处抓取，而且其可以自动将晶圆提升，方便后续其他机械手抓取，非常方便。
Description
技术领域
本发明涉及半导体制作技术领域，更具体的说涉及一种晶圆抓取机械手。
背景技术
现有的半导体加工中，其晶圆加工设备中，其需要将晶圆进行多次抓取和输送，现有的抓取方式最常用的是真空吸盘吸附，其效果好，但是，在一些抓取机构中，无法安装真空吸盘时，就只能采用托盘方式托起晶圆，其一般是需要整个机械手移动，而机械手由于体积过大，抓取并不方便。
发明内容
本发明的目的就是针对现有技术之不足，而提供一种晶圆抓取机械手，它通过伸缩臂伸缩可以将抓取板伸入抓取处进行接料，其伸缩臂体积小，方便伸入抓取处抓取，而且其可以自动将晶圆提升，方便后续其他机械手抓取，非常方便。
本发明的技术解决措施如下：
一种晶圆抓取机械手，包括机械手固定板，所述机械手固定板的右端中部成型有弧形槽，弧形槽的左侧壁的中部成型有向左延伸的中心通槽，中心通槽的前后两个内侧壁上均固定有中部导向槽，伸缩臂插套在中心通槽中，伸缩臂的前后两个侧壁上成型有导向凸起条，导向凸起条插套在对应的中部导向槽中；
所述机械手固定板的底面固定有无杆气缸，无杆气缸的滑动块固定在伸缩臂的左端底面上；
所述伸缩臂的右侧壁上固定有抓取板，抓取板的顶面的左部和右部均成型有向上延伸的弧形阻挡部，晶圆放置在抓取板上并处于两个弧形阻挡部之间，晶圆的左部处于弧形槽中；
所述弧形槽的内侧壁的下部固定有下水平支撑板，抓取板处于下水平支撑板的顶面上方，抓取板的底面靠近下水平支撑板的顶面。
所述下水平支撑板的底面固定有多个推动气缸，推动气缸的推杆插套在下水平支撑板上具有的导向通孔中，推动气缸的推杆的上部插套在抓取板的中部成型有的上通孔中，推动气缸的推杆的顶端对着晶圆。
所述导向通孔的内侧壁上固定有导向套，推动气缸的推杆插套在导向套中，推动气缸的推杆的外侧壁紧贴导向套的内侧壁。
所述推动气缸的推杆的顶端固定有弹性块。
所述机械手固定板的左侧壁上固定有竖直连接板。
所述中心通槽的右端内侧壁成型有内凹槽，内凹槽与弧形槽相通，内凹槽的内侧壁上成型有过渡导向槽，过渡导向槽的左端与中部导向槽相通，伸缩臂的右端的前后两个侧壁成型有延伸部，延伸部插套在内凹槽中，延伸部的外侧壁上成型有过渡凸起部，过渡凸起部插套在过渡导向槽中。
所述弧形阻挡部的内侧壁的下部成型有底部延伸凸起部，晶圆的边部压靠在底部延伸凸起部的顶面上。
本发明的有益效果在于：其通过伸缩臂伸缩可以将抓取板伸入抓取处进行接料，其伸缩臂体积小，方便伸入抓取处抓取，而且其可以自动将晶圆提升，方便后续其他机械手抓取，非常方便。
附图说明
图1为本发明的局部俯视图；
图2为本发明的局部剖视图；
图3为图2的局部放大图；
图4为图1的局部剖视状态的结构示意图。
具体实施方式
实施例：见图1至4所示，一种晶圆抓取机械手，包括机械手固定板10，所述机械手固定板10的右端中部成型有弧形槽11，弧形槽11的左侧壁的中部成型有向左延伸的中心通槽12，中心通槽12的前后两个内侧壁上均固定有中部导向槽13，伸缩臂20插套在中心通槽12中，伸缩臂20的前后两个侧壁上成型有导向凸起条21，导向凸起条21插套在对应的中部导向槽13中；
所述机械手固定板10的底面固定有无杆气缸30，无杆气缸30的滑动块固定在伸缩臂20的左端底面上；
所述伸缩臂20的右侧壁上固定有抓取板22，抓取板22的顶面的左部和右部均成型有向上延伸的弧形阻挡部23，晶圆100放置在抓取板22上并处于两个弧形阻挡部23之间，晶圆100的左部处于弧形槽11中；
所述弧形槽11的内侧壁的下部固定有下水平支撑板14，抓取板22处于下水平支撑板14的顶面上方，抓取板22的底面靠近下水平支撑板14的顶面。
进一步的说，所述下水平支撑板14的底面固定有多个推动气缸15，推动气缸15的推杆插套在下水平支撑板14上具有的导向通孔141中，推动气缸15的推杆的上部插套在抓取板22的中部成型有的上通孔221中，推动气缸15的推杆的顶端对着晶圆100。
进一步的说，所述导向通孔141的内侧壁上固定有导向套142，推动气缸15的推杆插套在导向套142中，推动气缸15的推杆的外侧壁紧贴导向套142的内侧壁。
进一步的说，所述推动气缸15的推杆的顶端固定有弹性块1。
进一步的说，所述机械手固定板10的左侧壁上固定有竖直连接板2。
进一步的说，所述中心通槽12的右端内侧壁成型有内凹槽16，内凹槽16与弧形槽11相通，内凹槽16的内侧壁上成型有过渡导向槽161，过渡导向槽161的左端与中部导向槽13相通，伸缩臂20的右端的前后两个侧壁成型有延伸部24，延伸部24插套在内凹槽16中，延伸部24的外侧壁上成型有过渡凸起部241，过渡凸起部241插套在过渡导向槽16中。
进一步的说，所述弧形阻挡部23的内侧壁的下部成型有底部延伸凸起部231，晶圆100的边部压靠在底部延伸凸起部231的顶面上。
本实施例其可以安装固定在输送机械人的机械手的连接端处，其可以通过无杆气缸30的滑动块推动，将伸缩臂20向右移动，伸入抓取处，将晶圆100接收放置到底部延伸凸起部231的顶面上，并处于两个弧形阻挡部23之间，然后，通过无杆气缸30的滑动块回缩，将抓取板22回缩使得晶圆100的左部处于弧形槽11中，完成抓取；
当其他机械手需要从此抓取板22取料时，通过所有推动气缸15的推杆推动，使得弹性块1提升，将晶圆100提升，方便其他机械手抓取，本实施例中其下水平支撑板14的中部的前后左右设置有四个推动气缸15，保证晶圆100提升稳定。
Claims (4)
1.一种晶圆抓取机械手，包括机械手固定板(10)，其特征在于：所述机械手固定板(10)的右端中部成型有弧形槽(11)，弧形槽(11)的左侧壁的中部成型有向左延伸的中心通槽(12)，中心通槽(12)的前后两个内侧壁上均固定有中部导向槽(13)，伸缩臂(20)插套在中心通槽(12)中，伸缩臂(20)的前后两个侧壁上成型有导向凸起条(21)，导向凸起条(21)插套在对应的中部导向槽(13)中；
所述机械手固定板(10)的底面固定有无杆气缸(30)，无杆气缸(30)的滑动块固定在伸缩臂(20)的左端底面上；
所述伸缩臂(20)的右侧壁上固定有抓取板(22)，抓取板(22)的顶面的左部和右部均成型有向上延伸的弧形阻挡部(23)，晶圆(100)放置在抓取板(22)上并处于两个弧形阻挡部(23)之间，晶圆(100)的左部处于弧形槽(11)中；
所述弧形槽(11)的内侧壁的下部固定有下水平支撑板(14)，抓取板(22)处于下水平支撑板(14)的顶面上方，抓取板(22)的底面靠近下水平支撑板(14)的顶面；
所述下水平支撑板(14)的底面固定有多个推动气缸(15)，推动气缸(15)的推杆插套在下水平支撑板(14)上具有的导向通孔(141)中，推动气缸(15)的推杆的上部插套在抓取板(22)的中部成型有的上通孔(221)中，推动气缸(15)的推杆的顶端对着晶圆(100)；
所述推动气缸(15)的推杆的顶端固定有弹性块(1)；
所述弧形阻挡部(23)的内侧壁的下部成型有底部延伸凸起部(231)，晶圆(100)的边部压靠在底部延伸凸起部(231)的顶面上；
通过无杆气缸(30)的滑动块推动，将伸缩臂(20)向右移动，伸入抓取处，将晶圆(100)接收放置到底部延伸凸起部(231)的顶面上，并处于两个弧形阻挡部(23)之间，然后，通过无杆气缸(30)的滑动块回缩，将抓取板(22)回缩使得晶圆(100)的左部处于弧形槽(11)中，完成抓取；当其他机械手需要从此抓取板(22)取料时，通过所有推动气缸(15)的推杆推动，使得弹性块(1)提升，将晶圆(100)提升。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆抓取机械手，其特征在于：所述导向通孔(141)的内侧壁上固定有导向套(142)，推动气缸(15)的推杆插套在导向套(142)中，推动气缸(15)的推杆的外侧壁紧贴导向套(142)的内侧壁。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆抓取机械手，其特征在于：所述机械手固定板(10)的左侧壁上固定有竖直连接板(2)。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆抓取机械手，其特征在于：所述中心通槽(12)的右端内侧壁成型有内凹槽(16)，内凹槽(16)与弧形槽(11)相通，内凹槽(16)的内侧壁上成型有过渡导向槽(161)，过渡导向槽(161)的左端与中部导向槽(13)相通，伸缩臂(20)的右端的前后两个侧壁成型有延伸部(24)，延伸部(24)插套在内凹槽(16)中，延伸部(24)的外侧壁上成型有过渡凸起部(241)，过渡凸起部(241)插套在过渡导向槽(161)中。
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