CN111656069A

CN111656069A - 隔膜阀

Info

Publication number: CN111656069A
Application number: CN201980009597.7A
Authority: CN
Inventors: 土田理彩子; 斋藤绚香
Original assignee: Sekisui Chemical Co Ltd
Current assignee: Sekisui Chemical Co Ltd
Priority date: 2018-02-01
Filing date: 2019-02-01
Publication date: 2020-09-11
Also published as: TW201934913A; KR20200070366A; WO2019151499A1; JPWO2019151499A1

Abstract

在隔膜阀(10)中，阀主体(11)具有入口侧流路(241)、出口侧流路(242)、连通部(243)、第1面(31)、第2面(32)、入口侧肋部(51)及出口侧肋部(52)。连通部(243)将入口侧流路(241)与出口侧流路(242)连通。在第1面(31)，形成有与连通部(243)对向的开口(31a)。第2面(32)隔着入口侧流路(241)及出口侧流路(242)而与第1面(31)对向。入口侧肋部(51)设置于第2面(32)，且沿着入口侧流路(241)形成。出口侧肋部(52)设置于第2面(32)，且沿着出口侧流路(242)形成。在入口侧肋部(51)，形成有凹部(51a)。在出口侧肋部(52)，形成有凹部(52a)。

Description

隔膜阀

本发明涉及一种隔膜阀。

背景技术

在水处理、化学、食品等设备中的配管线路，设置有隔膜阀，利用隔膜阀进行配管中流动的流体的控制(例如参照专利文献1)。

此种隔膜阀于两端连接有配管，且将配管设置于设备。隔膜阀通过将隔膜压接于间隔壁而成为流路封闭的状态，且通过使隔膜自间隔壁离开而成为流路打开的状态。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-278308号公报

发明内容

发明所解决的技术问题

然而，因于隔膜阀的两端连接有配管，故存在因配管的拉伸力等外力施加至隔膜阀，导致长期耐久性能降低的情况。

本发明的目的在于提供一种长期耐久性能提高的隔膜阀。

解决问题的技术手段

为达成所述目的，第1发明的隔膜阀具备阀主体、隔膜、阀帽及驱动机构。阀主体具有入口侧流路、出口侧流路、连通部、第1面、第2面、入口侧肋部及出口侧肋部。连通部将入口侧流路与出口侧流路连通。第1面形成有与连通部对向的开口。第2面隔着入口侧流路及出口侧流路，与第1面对向。入口侧肋部设置于第2面，且沿着入口侧流路形成。出口侧肋部设置于第2面，且沿着出口侧流路形成。隔膜以盖住开口的方式配置于第1面。阀帽以覆盖隔膜的方式固定于阀主体。驱动机构以将连通部封闭或打开的方式驱动隔膜。在入口侧肋部与出口侧肋部的至少一者处形成有凹部。

通过如此地于沿着流路形成的肋部形成凹部，而即便于对隔膜阀施加外力的情况时，也可将阀主体中产生的应力分散。

即，通过设置肋部而发挥增强阀主体的效果，但存在应力集中于肋部附近的情况，因而可通过如上所述地形成凹部而将应力分散。

第2发明的隔膜阀是如第1发明的隔膜阀，其中于凹部形成有第1倾斜端部及第2倾斜端部。第1倾斜端部以朝向第2倾斜端部侧而接近第1面的方式倾斜，第2倾斜端部以朝向第1倾斜端部侧而接近第1面的方式倾斜，且由第1倾斜端部及第2倾斜端部形成的角度为110度以上且170度以下。

通过如此地将由第1倾斜端部及第2倾斜端部形成的角度设为110度以上且170度以下，而即便于对隔膜阀施加外力的情况时，也可将阀主体中产生的应力分散。

通过设置肋部而发挥增强阀主体的效果，但存在应力集中于肋部附近的情况，因而可通过如上所述地形成第1倾斜端部及第2倾斜端部而将应力分散。

因此，可提高隔膜阀的长期耐久性能。

第3发明的隔膜阀是如第1或第2发明的隔膜阀，其中凹部设置于入口侧肋部及出口侧肋部两者处。

由此，可遍及隔膜阀的沿着阀主体的流路的整体将应力分散。

第4发明的隔膜阀是如第1或第2发明的隔膜阀，其中第1倾斜端部与第2倾斜端部通过弯曲的端部而连续地相连。

由此，可进一步发挥将应力分散的效果。

第5发明的隔膜阀是如第1～4中任一发明的隔膜阀，其中驱动机构具有杆、压缩机及驱动部。杆支撑于阀帽处。压缩机安装于杆，且与隔膜连接。驱动部驱动杆。驱动部是手动式、空气驱动式或电动驱动式。

如此，可通过手动、空气或电动将杆驱动，将流路封闭或打开。

发明效果

根据本发明，可提供一种长期耐久性能提高的隔膜阀。

附图说明

图1是本发明的实施方式的隔膜阀的立体图。

图2是图1的隔膜阀的局部截面图。

图3是自上方观察图1的阀主体所得的立体图。

图4是自下方观察图1的阀主体所得的立体图。

图5是图1的阀主体的正视图。

图6是图1的阀主体的仰视图。

图7是图6的AA'间的箭示截面图。

图8(a)是图7的S部放大图，(b)是图7的T部放大图。

图9(a)是表示流路封闭的状态的示意截面图，(b)是表示流路打开的状态的示意截面图。

图10是用以说明(a)～(c)实施例中产生的应力的截面构成图。

图11是表示实施例的判定结果的表格的图。

具体实施方式

以下，对于本发明的实施方式的隔膜阀，一面参照图式，一面进行说明。

<1.构成>

图1是本发明的实施方式的隔膜阀10的外观立体图。图2是本实施方式的隔膜阀10的局部截面构成图。

如图1及图2所示，本实施方式的隔膜阀10具备阀主体11、隔膜12、阀帽13及驱动机构14。在阀主体11的两端连接有配管，在阀主体11形成有供流体流动的流路24。隔膜12将流路24打开或隔断。阀帽13以覆盖隔膜12的方式安装于阀主体11。驱动机构14，其一部分配置于阀帽13内，且驱动隔膜12。

(阀主体11)

图3是自下述第1面31侧观察阀主体11所得的立体图。图4是自下述第2面32侧观察阀主体11所得的立体图。图5是阀主体11的正视图，图6是阀主体11的仰视图。此外，图7是图6的AA'间的箭示截面图。

阀主体11可由PVC(聚氯乙烯)、HT(耐热氯乙烯管)、PP(聚丙烯)、或PVDF(聚偏二氟乙烯)、聚苯乙烯、ABS(Acrylonitrile-butadiene-styrene，丙烯腈-丁二烯-苯乙烯)树脂、聚四氟乙烯、全氟烷基乙烯基醚共聚物、聚氯三氟乙烯等树脂、或铁、铜、铜合金、黄铜、铝、不锈钢等金属、或陶瓷等形成。

如图3所示，阀主体11具有第1端部21、第2端部22、中央部23及流路24。

第1端部2、第2端部22与中央部23一体形成，如图7所示，流路24遍及第1端部21、中央部23及第2端部22而形成。

(第1端部21、第2端部22)

如图3及图4所示，第1端部21与第2端部22以隔着中央部23的方式配置，且与中央部23相连。

如图3所示，第1端部21具有：第1凸缘部211，其连接配管；以及第1连接部212，其使第1凸缘部211与中央部23相连。如图4所示，第1凸缘部211具有第1凸缘面213且可供配管连接，该第1凸缘面213形成有供流体流入至阀主体11的入口24a。

此外，如图4所示，第2端部22具有：第2凸缘部221，其连接配管；以及第2连接部222，其使第2凸缘部221与中央部23相连。如图3所示，第2凸缘部221具有第2凸缘面223且可供配管连接，该第2凸缘面223形成有供流体自阀主体11排出的出口24b。

如图3、4所示，第1凸缘部211与第2凸缘部221对向配置，且如图7所示，第1凸缘面213与第2凸缘面223以相互对向且平行的方式形成。此外，入口24a的位置与出口24b的位置也对向。

(中央部23、流路24)

如图5所示，中央部23设置于第1端部21与第2端部22之间。中央部23具有第1面31、第2面32、壁部33(参照图7)及肋部34。

如图3所示，第1面31是大致平面状，且相对于第1凸缘面213与第2凸缘面223垂直地形成。在第1面31的中央，形成有开口31a。开口部31a，其周缘弯曲地形成。需要说明的是，将沿着连接入口24a至出口24b的线的方向设为第1方向X，将与第1方向X垂直且与第1面31平行的方向设为第2方向Y。第1方向X也可称为沿着与第1凸缘面213及第2凸缘面223垂直的直线的方向。

如图5所示，第2面32是隔着流路24，与第1面31对向的面。第2面32沿着流路24的形状形成。第2面32是与中央部23的配置阀帽13的侧为相反侧的面。

如图7所示，流路24自入口24a形成至出口24b为止，壁部33朝向第1面31突出地形成于流路24的中央。壁部33以于流路24形成倾斜的方式使得流路24的内表面朝向第1面31缓缓隆起而形成。所述开口31a形成于与壁部33对应的位置。下述隔膜12压接于壁部33的第1面31侧的前端部33a。

流路24具有：入口侧流路241，其自第1端部21的入口24a形成至壁部33为止；出口侧流路242，其自第2端部22的出口24b形成至壁部33为止；以及连通部243，其将入口侧流路241与出口侧流路242连通。

如图7所示，入口侧流路241的与第1面31垂直的方向的宽度随着朝向壁部33而变窄。另一方面，入口侧流路241的与第1面31平行的方向的宽度(图7中的与纸面垂直的方向)随着朝向壁部33而变宽。

出口侧流路242自第2凸缘部221的出口24b形成至壁部33为止。如图7所示，出口侧流路242的与第1面31垂直的方向的宽度随着朝向壁部33而变窄。另一方面，出口侧流路242的与第1面31平行的方向的宽度(图7中的与纸面垂直的方向)随着朝向壁部33而变宽。

连通部243是流路24中的壁部33的第1面31侧的部分，且将入口侧流路241与出口侧流路242连通。

如图4所示，第2面32具有：入口侧弯曲部321，其沿着入口侧流路241；以及出口侧弯曲部322，其沿着出口侧流路242。由该入口侧弯曲部321及出口侧弯曲部322形成图7所示的壁部33的朝第1面31侧的突出。

(肋部34)

如图4及图6所示，肋部34与第1面31垂直地自第2面32突出而形成。肋部34具有第1肋部41及第2肋部42。

如图4及图6所示，第1肋部41沿着第1方向X，自第2面32的入口侧弯曲部321形成至出口侧弯曲部322为止。此外，第1肋部41设置于中央部23的第2方向Y上的中央。

第2肋部42沿着第2方向Y形成，且设置于中央部23的第1方向X上的中央。

此外，自第1面31的第2方向Y的两端的各者朝向第2面32侧而形成有外缘部35，第2肋部42自一外缘部35形成至另一外缘部35为止。

如图6所示，第1肋部41及第2肋部42是于各自的中央即中央部43在俯视图中呈十字状交叉。在该中央部43，如图4所示，朝向第1面31形成有螺栓孔43a。

第1肋部41具有：入口侧肋部51，其以中央部43为基准设置于入口24a侧；以及出口侧肋部52，其以中央部43为基准设置于出口24b侧。

入口侧肋部51沿着入口侧流路241设置。可以说入口侧肋部51沿着与第1凸缘面213及第2凸缘面223垂直的方向形成。

如图4及图7所示，在入口侧肋部51形成有凹部51a。通过该凹部51a缓和因外力产生的应力。图8(a)是图7的S部放大图。如图8(a)所示，入口侧肋部51于凹部51a具有第1倾斜端部511、第2倾斜端部512、及将第1倾斜端部511与第2倾斜端部512之间相连的弯曲端部513。第1倾斜端部511与第2倾斜端部512于沿着第2方向Y观察的情况时形成为直线状。

自中央部43朝向第1端部21依次配置有第1倾斜端部511、弯曲端部513及第2倾斜端部512。

第1倾斜端部511以自中央部43朝向第1端部21侧而接近第1面31的方式倾斜。第2倾斜端部512以自中央部43侧朝向第1端部21侧而远离第1面31的方式倾斜。

此外，可以说第1倾斜端部511以朝向第2倾斜端部512侧而接近第1面31的方式倾斜，且第2倾斜端部512以朝向第1倾斜端部511侧而接近第1面31的方式倾斜。

弯曲端部513使第1倾斜端部511与第2倾斜端部512无阶差地连续相连。

如图8(a)所示，由正视图中沿着第1倾斜端部511的直线L1与沿着第2倾斜端部512的直线M1形成的角θ1设定为110度以上且170度以下。

出口侧肋部52沿着出口侧流路242设置于较中央部43更靠第2端部22侧且第2面32上。出口侧肋部52可以说沿着与第1凸缘面213及第2凸缘面223垂直的方向形成。

如图4及图7所示，在出口侧肋部52，形成有凹部52a。通过该凹部52a缓和因外力产生的应力。图8(b)是图7的T部放大图。出口侧肋部52于凹部52a具有第1倾斜端部521、第2倾斜端部522、及将第1倾斜端部521与第2倾斜端部522之间相连的弯曲端部523。第1倾斜端部521与第2倾斜端部522于沿着第2方向Y观察的情况(前视)时形成为直线状。

自中央部43朝向第2端部22依次配置有第1倾斜端部521、弯曲端部523及第2倾斜端部522。

第1倾斜端部521以自中央部43朝向第2端部22侧而接近第1面31的方式倾斜。第2倾斜端部522以自中央部43侧朝向第2端部22侧而远离第1面31的方式倾斜。

此外，可以说第1倾斜端部521以朝向第2倾斜端部522侧而接近第1面31的方式倾斜，且第2倾斜端部522以朝向第1倾斜端部521侧而接近第1面31的方式倾斜。

如图8(b)所示，由正视图中沿着第1倾斜端部521的直线L2与沿着第2倾斜端部522的直线M2形成的角θ2设定为110度以上且170度以下

(隔膜12)

隔膜12的材质只要为橡胶状的弹性体即可，并无特别限定。例如可列举乙烯丙烯橡胶、异戊二烯橡胶、氯丁二烯橡胶、氯磺化橡胶、腈橡胶、苯乙烯丁二烯橡胶、氯化聚乙烯、氟橡胶、EPDM(乙烯/丙烯/二烯橡胶)及PTFE(聚四氟乙烯)等作为优选的材料。此外，也可对隔膜12嵌入强度较高的增强布，增强布较理想为尼龙制。该增强布于隔膜阀关闭时隔膜12受到流体压时可防止隔膜12的变形或破损，因而优选。

如图2所示，隔膜12以盖住开口31a的方式配置于第1面31。隔膜12的外周缘部121被下述阀帽13与阀主体11夹住。

隔膜12利用下述驱动机构14移动至下方，且抵接于壁部33的前端部33a，由此将连通部243封闭，从而使流路24关闭。此外，隔膜12利用驱动机构14移动至上方，自前端部33a离开，由此将流路24打开。

(阀帽13)

阀帽13可与阀主体11同样，由PVC(聚氯乙烯)、HT(耐热氯乙烯管)、PP(聚丙烯)、或PVDF(聚偏二氟乙烯)、聚苯乙烯、ABS树脂、聚四氟乙烯、全氟烷基乙烯基醚共聚物、聚氯三氟乙烯等树脂、或、铁、铜、铜合金、黄铜、铝、不锈钢等金属、或陶瓷等形成。

如图1及图2所示，阀帽13通过螺栓100等而固定于阀主体11的第1面31。阀帽13以通过隔膜12而覆盖开口31a的方式而设置。即，阀帽13具有与第1面31对应的开口13a，且于与开口13a对向的位置具有配置下述套筒62及杆63的贯通孔13b。

(驱动机构14)

驱动机构14具有压缩机61、套筒62、杆63及把手64。

压缩机61由PVDF(聚偏二氟乙烯)等形成，且与隔膜12连接。在隔膜12埋入有卡合部件65，卡合部件65朝阀主体11的相反侧(非接触液面侧)突出。卡合部件65突出的部分卡合于压缩机61，将压缩机61与隔膜12连接。

套筒62支撑于阀帽13的贯通孔13b。在套筒62的内侧，形成有螺纹形状。

杆63配置于套筒62的内侧，且与形成于套筒62的内侧的螺纹形状螺合。在杆63的配置于阀帽13的内侧的端处，固定有压缩机61。压缩机61于阀主体11侧与隔膜12卡合，且于阀主体11的相反侧与杆63固定。

把手64嵌合于杆63的位于阀帽13的外侧的部分的外周部。

<2.操作>

接着，对本实施方式的隔膜阀10的操作进行说明。图9(a)及图9(b)是示意性地表示隔膜12的操作的图。

当自图9(a)所示的流路24被打开的状态，使把手64朝将流路24关闭的方向旋转时，随着把手64旋转，杆63下降(参照图2)。固定于杆63的端处的压缩机61也与杆63的下降一同地下降。

通过压缩机61的下降，如图9(b)所示，使得隔膜12朝第2面32侧凸状地弯曲，压接于壁部33的前端部33a。

由此，成为隔膜阀10的流路24被隔断的状态。

另一方面，当使把手64朝打开方向旋转时，杆63随着把手64旋转而上升。压缩机61也与杆63的上升一同地上升，从而使得与压缩机61卡合的隔膜12的中央部如图9(a)所示地上升。

由此，成为隔膜阀10的流路24打开的状态。

<3.实施例>

在将所述θ1及θ2变更为100°、110°、140°、170°、180°的情况时，对阀主体11中产生的应力进行分析，在3种状态下进行判定。作为第1状态，对将隔膜12压抵于壁部33时阀主体11中产生的应力进行判定。作为第2状态，对因隔膜阀10的自重导致阀主体11中产生的应力进行判定。作为第3状态，对第1凸缘部211与第2凸缘部221被配管拉伸时阀主体11中产生的应力进行判定。

图10(a)是表示第1状态下施加至阀主体11的应力的图。利用F1表示将隔膜12压抵于壁部33时的力。通过F1，在阀主体11的第1面31侧，产生第1方向X上的朝向内侧的应力F2，在入口侧肋部51及出口侧肋部52，产生朝向外侧的应力F3。

图10(b)是表示第2状态下施加至阀主体11的应力的图。利用F1表示将螺栓插入至中央部43的螺栓孔43a而将阀主体11固定于特定的位置时施加至阀主体11的力。通过F1，在阀主体11的第1面31侧产生第1方向X上的朝向外侧的应力F2，在入口侧肋部51及出口侧肋部52，产生朝向内侧的应力F3。

图10(c)是表示第3状态下施加至阀主体11的应力的图。利用F1表示第1凸缘部211及第2凸缘部221被配管拉伸的力。利用F1，在阀主体11的第1面31侧产生第1方向X上的朝向外侧的应力F2，在入口侧肋部51及出口侧肋部52产生朝向内侧的应力F3。

通过分析而求出F2与F3的大小，进行是否良好的判定。F2的大小与F3的大小为正比关系，因而仅将F2设为判断基准。图11是表示所述实施例的判定结果的图。在第1状态下，将应力为400MPa以下的情况判定为良好，在第2状态下，将应力为2MPa以下的情况判定为良好，在第3状态下，将应力为50MPa以下的情况判定为良好。

如图所示，在θ1及θ2为110°以上且170°的情况下，在所述3种状态的任一状态下，均判定成为良好的结果。

<4.特征等>

(4-1)

本实施方式的隔膜阀10具备阀主体11、隔膜12、阀帽13及驱动机构14。阀主体11具有入口侧流路241、出口侧流路242、连通部243、第1面31、第2面32、入口侧肋部51及出口侧肋部52。连通部243将入口侧流路241与出口侧流路242连通。在第1面31，形成有与连通部243对向的开口31a。第2面32隔着入口侧流路241及出口侧流路242而与第1面31对向。入口侧肋部51设置于第2面32，且沿着入口侧流路241形成。出口侧肋部52设置于第2面32，且沿着出口侧流路242形成。隔膜12以盖住开口31a的方式配置于第1面31。阀帽13以覆盖隔膜12的方式固定于阀主体11。驱动机构14以将连通部243封闭或打开的方式驱动隔膜12。在入口侧肋部51，形成有凹部51a。在出口侧肋部52，形成有凹部52a。

通过如此地在沿着流路24形成的第1肋部41处形成凹部51a、52a，而即便于对隔膜阀10施加外力的情况时，也可使阀主体11中产生的应力分散。

即，通过设置肋部而发挥增强阀主体的效果，但存在应力集中于肋部附近的情况，因而通过如所述方式形成凹部51a、52a，可使应力分散。

因此，可提高隔膜阀10的长期耐久性能。

(4-2)

在本实施方式的隔膜阀10中，在凹部51a形成有第1倾斜端部511及第2倾斜端部512。第1倾斜端部511以朝向第2倾斜端部512侧而接近第1面31的方式倾斜，第2倾斜端部512以朝向第1倾斜端部511侧而接近第1面31的方式倾斜，由第1倾斜端部511及第2倾斜端部512形成的角度θ1为110度以上且170度以下。在凹部52a，形成有第1倾斜端部521及第2倾斜端部522。第1倾斜端部521以朝向第2倾斜端部522侧而接近第1面31的方式倾斜，第2倾斜端部522以朝向第1倾斜端部521侧而接近第1面31的方式倾斜，由第1倾斜端部521与第2倾斜端部522形成的角度θ2为110度以上且170度以下。

如此地将由第1倾斜端部511、521与第2倾斜端部512、522形成的角度θ1、θ2设为110度以上且170度以下，由此，即便于对隔膜阀10施加外力的情况时，也可将阀主体11中产生的应力分散。

即，通过设置肋部而发挥增强阀主体的效果，但存在应力集中于肋部附近的情况，因而通过如所述方式形成第1倾斜端部511、521及第2倾斜端部512、522，可将应力分散。

因此，可提高隔膜阀10的长期耐久性能。

(4-3)

在本实施方式的隔膜阀10中，在入口侧肋部51设置有凹部51a，在出口侧肋部52设置有凹部52a。

由此，可遍及隔膜阀10的沿着阀主体11的流路24的整体而分散应力。

(4-4)

在本实施方式的隔膜阀10中，第1倾斜端部511与第2倾斜端部512通过弯曲端部513而连续地相连。此外，第1倾斜端部521与第2倾斜端部522通过弯曲端部523(弯曲的端部的一例)而连续地相连。

由此，可进一步发挥将应力分散的效果。

(4-5)

在本实施方式的隔膜阀10中，驱动机构14具有杆63、压缩机61及把手64(驱动部的一例)。杆63支撑于阀帽13处。压缩机61安装于杆63，且与隔膜连接12。把手64驱动杆63。把手64为手动式。

如此，可通过手动而驱动杆63，从而将流路24隔断或打开。

其他实施方式

以上，对本发明的一实施方式进行了说明，但本发明并不限定于所述实施方式，可于不脱离发明的主旨的范围内进行各种变更。

(A)

在所述实施方式中，在入口侧肋部51与出口侧肋部52两者处形成有凹部，但也可仅于一者形成有凹部。即便于此情况时，也可发挥利用至少设置有凹部的侧的凹部来缓和应力的效果。

(B)

在所述实施方式的隔膜阀10中，设置有手动式的把手64作为驱动部的一例，但也可利用空气驱动式或电动驱动式的驱动部驱动杆63。

(C)

在所述实施方式的隔膜阀10中，设置有壁部33，但也可不设置壁部33，总之只要可利用隔膜12将流路24封闭或打开即可。

(D)

在所述实施方式的隔膜阀10中，在第1倾斜端部511与第2倾斜端部512之间形成有弯曲端部513，在第1倾斜端部521与第2倾斜端部522之间形成有弯曲端部523，但也可不形成弯曲端部513、523的两者或一者而使得倾斜端部彼此直接相连。

此外，第1倾斜端部511与第2倾斜端部512之间及/或第1倾斜端部521与第2倾斜端部522之间也可利用直线地形成的端部相连，而非利用弯曲端部相连。

工业实用性

本发明的隔膜阀发挥长期耐久性能提高的效果，在使用设备等时较为有用。

符号说明

10 隔膜阀

11 阀主体

12 隔膜

13 阀帽

14 驱动机构

24 流路

31 第1面

31a 开口

32 第2面

51 入口侧肋部

51a 凹部

52 出口侧肋部

52a 凹部

241 入口侧流路

242 出口侧流路

243 连通部

511 第1倾斜端部

512 第2倾斜端部

521 第1倾斜端部

522 第2倾斜端部

Claims

1.一种隔膜阀，其具备：

阀主体，其具有入口侧流路、出口侧流路、将所述入口侧流路与所述出口侧流路连通的连通部、形成有与所述连通部对向的开口的第1面、隔着所述入口侧流路及所述出口侧流路而与所述第1面对向的第2面、设置于所述第2面且沿着所述入口侧流路形成的入口侧肋部、及设置于所述第2面且沿着所述出口侧流路形成的出口侧肋部；

隔膜，其以盖住所述开口的方式配置于所述第1面；

阀帽，其以覆盖所述隔膜的方式固定于所述阀主体；以及

驱动机构，其驱动所述隔膜，以将所述连通部隔断或打开，其中，

在所述入口侧肋部与所述出口侧肋部的至少一肋部处形成有凹部。

2.根据权利要求1所述的隔膜阀，其中，

所述肋部在所述凹部具有第1倾斜端部及第2倾斜端部，

所述第1倾斜端部以朝向所述第2倾斜端部侧而接近所述第1面的方式倾斜，所述第2倾斜端部以朝向所述第1倾斜端部侧而接近所述第1面的方式倾斜，由所述第1倾斜端部与所述第2倾斜端部形成的角度为110度以上且170度以下。

3.根据权利要求1或2所述的隔膜阀，其中，

所述凹部设置于所述入口侧肋部及所述出口侧肋部两者处。

4.根据权利要求2所述的隔膜阀，其中，

所述第1倾斜端部与所述第2倾斜端部通过弯曲的端部而连续地相连。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的隔膜阀，其中，

所述驱动机构具有：

杆，其支撑于所述阀帽处；

压缩机，其安装于所述杆，且与所述隔膜连接；以及

驱动部，其驱动所述杆，

所述驱动部是手动式、空气驱动式或电动驱动式。