JP2021127816A - ダイヤフラムバルブ - Google Patents

Abstract

【課題】低い軸荷重で止水を行うことができ、長期耐久性を向上することが可能なダイヤフラムバルブを提供すること。【解決手段】ダイヤフラムバルブ１０では、隔膜１２は、ボディ１１に配置され、当接部３３ａに接触することにより流路２４を閉塞する。隔膜１２は、周縁リブ４４と、止水リブ４３と、を有する。周縁リブ４４は、外周縁部４２のボディ１１側に周方向に設けられ、ボディ１１に接触する。止水リブ４３は、隔膜１２のボディ１１側であって周縁リブ４４の内側に当接部３３ａに沿って形成されている。止水リブ４３は、端部４７と、中央部４８とを、有する。端部４７は、両端の各々に設けられ周縁リブ４４に接続する。中央部４８は、端部４７の間に設けられている。端部４７は、中央部４８から周縁リブ４４に向かうに従って幅が広くなるように形成されている。【選択図】図７Ａ

Description

本発明は、ダイヤフラムバルブに関する。

水処理、化学、食品などのプラントにおける配管ラインには、ダイヤフラムバルブが設けられており、ダイヤフラムバルブによって、配管を流れる流体の制御が行われる。

ダイヤフラムバルブは、その両端に配管が接続されてプラントに設置される。ダイヤフラムバルブは、隔膜がボンネットとボディによって固定され、ハンドルを回すことでステムに軸力が発生し、その軸力をコンプレッサで応力分散させることで隔膜を動作させる構造である（例えば、特許文献１参照）。隔膜が仕切壁の当接部に圧接されることにより流路が閉鎖した状態とされ、隔膜が仕切壁の当接部から離間されることにより流路が開放された状態となる。

隔膜は、ダイヤフラムバルブ内において液体が漏れる内漏れ（流路が閉塞されずに漏れが発生すること）と、ダイヤフラムバルブ外に流体が漏れる外漏れを防止する。内漏れは、隔膜が仕切壁の当接部に圧接されて止水され、外漏れは、隔膜の周縁部がボディとボンネットで挟まれて圧縮されることによって止水される。

特開２０１７−１８０７９７号公報

しかしながら、バルブを閉めたときにコンプレッサから隔膜に与えられる軸荷重は、隔膜の当接部に沿った両端に向かうほど弱くなるため、隔膜が揺動した際にその両端が浮き上がりやすく、止水するために必要な止水面圧に与えられずに止水性能が低下することがある。

一方、両端における止水性能の低下を抑制するためにコンプレッサから隔膜に与える軸荷重を大きくすると隔膜内部で発生する応力が大きくなるため、長期耐久性能が低下する。

本発明の目的は、低い軸荷重で止水を行うことができ、長期耐久性を向上することが可能なダイヤフラムバルブを提供することができる。

第１の発明にかかるダイヤフラムバルブは、弁本体と、隔膜と、蓋部と、を有する。弁本体は、内部に形成された流路に設けられた当接部を有する。隔膜は、弁本体に配置され、当接部に接触することにより流路を閉塞する。蓋部は、隔膜の周縁部を弁本体との間で挟むことによって隔膜を固定する。隔膜は、第１凸部と、第２凸部と、を有する。第１凸部は、周縁部の弁本体側に周方向に設けられ、弁本体に接触する。第２凸部は、隔膜の弁本体側であって第１凸部の内側に当接部に沿って形成されている。第２凸部は、端部と、中央部とを、有する。端部は、両端の各々に設けられ第１凸部に接続する。中央部は、端部の間に設けられている。端部は、中央部から第１凸部に向かうに従って幅が広くなるように形成されている。
このように、第２凸部から第１凸部に向かうに従って幅が広くなるように第２凸部の端部を形成することによって、第２凸部の両端の接触面積を増やすことができる。これにより、隔膜揺動時にも第２凸部の端部が弁本体と接触することができ、第２凸部と弁本体の間で発生する面圧ばらつきを抑制することができる。

このため、第２凸部の両端に合わせて軸荷重を大きくする必要がなく止水に必要な軸荷重を低減することができ、隔膜内部で発生する応力も抑制できるので、長期耐久性能を向上させることが可能となる。

第２の発明にかかるダイヤフラムバルブは、第１の発明にかかるダイヤフラムバルブであって、端部の中央部との接続部の幅をＡとし、端部の第１凸部との接続部の幅をＢとすると、２．１≦Ｂ／Ａ≦４．２を満たす。

ここで、Ｂ／Ａの値が２．１よりも小さくなると、隔膜の揺動に対して弁本体と隔膜を接触させ続けることが出来ずに漏れが発生するおそれがある。一方、Ｂ／Ａの値が大きすぎると接触面積が大きくなりすぎてしまうため、大きな軸力与えなければならず隔膜に応力集中が発生し、繰り返し耐久性能が低下するおそれがある。

そのため、Ｂ／Ａを２．１以上４．２以下に設定することで、止水性能と繰り返し耐久性能の双方を両立させることができる。

第３の発明にかかるダイヤフラムバルブは、第１または第２の発明にかかるダイヤフラムバルブであって、端部の幅方向の両端は、平面視において、端部の内側に向かって凸に湾曲するように形成されている。

これにより、止水性能を向上させることができる。
第４の発明にかかるダイヤフラムバルブは、第１または第２の発明にかかるダイヤフラムバルブであって、端部の幅方向の両端は、平面視において直線状に形成されている。

これにより、止水性能を向上させることができる。
第５の発明にかかるダイヤフラムバルブは、第１〜４のいずれかの発明にかかるダイヤフラムバルブであって、隔膜は、第１層と、第２層と、を有する。第１層は、弁本体側に配置され、熱可塑性樹脂を含む。第２層は、第１層の弁本体とは反対側に配置され、弾性体で形成されている。

このように弁本体と当接する第１層に熱可塑性樹脂を含む隔膜では、第１層が圧縮によって変形し難いため、中央凸部の両端における荷重が弱くなりやすいが、上記発明の構成とすることによって、中央凸部の両端の接触面積を増やすことができる。このため、止水に必要な軸荷重を低減することができ、隔膜内部で発生する応力も抑制させることができることにより、長期耐久性能を向上させることが可能となる。

本発明によれば、低い軸荷重で止水を行うことができ、長期耐久性を向上することが可能なダイヤフラムバルブを提供することができる。

本発明にかかる実施の形態の流路構造を用いたダイヤフラムバルブの斜視図。 図１のダイヤフラムバルブの部分断面図。 図１のボディを上方から視た斜視図。 （ａ）図３のＥＥ´間の矢示断面図、（ｂ）図４（ａ）のＦ部拡大図。 図２の隔膜、コンプレッサ、ステムおよびスリーブの関係を示す図。 （ａ）図２の隔膜を表側から視た斜視図、（ｂ）図２の隔膜を裏側から視た斜視図。 図６の隔膜の底面図。 図７ＡのＧＧ´間の矢視断面図。 図７ＢのＪ部拡大図。 図７ＢのＫ部拡大図。 図７ＡのＱＱ´間の部分拡大断面図。 図７ＡのＬ部拡大図。 図１のＨＨ´間の部分断面図。 （ａ）図３のボディの開口部近傍を示す平面図、（ｂ）図９（ａ）のボディに隔膜を載置した状態を示す平面図。 図８のＭ部拡大図。 （ａ）図１のボンネットを上方から視た斜視図、（ｂ）図１２（ａ）のボンネットを下方から視た斜視図。 （ａ）流路が閉鎖された状態を示す模式断面図、（ｂ）流路が開放された状態を示す模式断面図。 （ａ）本発明にかかる実施の形態の変形例における隔膜を示す平面図、（ｂ）図１３（ａ）のＮ部拡大図。 本発明にかかる実施の形態の変形例における隔膜の構成を示す部分断面図。 本発明にかかる実施の形態の変形例における隔膜およびボディを示す部分断面図。

以下、本発明にかかる実施の形態におけるダイヤフラムバルブについて説明する。
＜構造＞
（ダイヤフラムバルブ１０の概要）
図１は、本発明にかかる実施の形態１のダイヤフラムバルブ１０の外観斜視図である。図２は、本実施の形態のダイヤフラムバルブ１０の部分断面構成図である。

本実施の形態のダイヤフラムバルブ１０は、図１および図２に示すように、ボディ１１（弁本体の一例）と、隔膜１２と、ボンネット１３（蓋部の一例）と、駆動機構１４と、を備えている。ボディ１１の両端に配管が接続されボディ１１には流体が流れる流路２４が形成されている。隔膜１２は、流路２４を開放または遮断する。ボンネット１３は、隔膜１２を覆うようにボディ１１に取付けられている。駆動機構１４は、その一部がボンネット１３内に配置されており、隔膜１２を駆動する。

（ボディ１１）
図３は、ボディ１１を後述する第１面３１側から視た斜視図である。図４（ａ）は、図３のＥＥ´間におけるボディ１１の矢示断面図である。図４（ｂ）は、図４（ａ）のＦ部拡大図である。

ボディ１１は、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）、ＨＴ（耐熱塩化ビニル管）、ＰＰ（ポリプロピレン）、またはＰＶＣＦ（ポリフッ化ブニリデン）、ポリスチレン、ＡＢＳ樹脂、ポリテトラフルオロエチレン、パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、ポリクロロトリフロオロエチレン等の樹脂、または、鉄、銅、銅合金、真鍮、アルミニウム、ステンレス等の金属、または磁器などによって形成することができる。

ボディ１１は、図３に示すように、第１端部２１と、第２端部２２と、中央部２３と、流路２４と、を有する。

第１端部２１と第２端部２２と中央部２３は、一体的に形成されており、流路２４は、図４（ａ）に示すように、第１端部２１、中央部２３および第２端部２２にわたって形成されている。

（第１端部２１、第２端部２２）
第１端部２１と第２端部２２は、図３および図４（ａ）に示すように、中央部２３を挟むように配置されており、中央部２３と繋がっている。

第１端部２１は、図３に示すように、流体がボディ１１に流入する入口２４ａが形成されたフランジ２１３を有し、配管が接続可能である。

また、第２端部２２は、図４（ａ）に示すように、ボディ１１から流体が排出される出口２４ｂが形成されたフランジ２２３を有し、配管が接続可能である。

フランジ２１３とフランジ２２３は、互いに対向して平行になるように形成されている。また、入口２４ａの位置と出口２４ｂの位置も対向している。フランジ２１３とフランジ２２３は、ボディ１１に対して別部品であってもよい。

なお、入口２４ａから出口２４ｂを結ぶ線に沿った方向を第１方向Ｘ（流体の流通方向Ｘともいえる）とし、第１方向Ｘに対して垂直且つ第１面３１と平行な方向を第２方向Ｙ（幅方向Ｙともいえる）とする。第１方向Ｘは、フランジ２１３とフランジ２２３に対して垂直な直線に沿った方向ともいえる。また、後述するステム６３、コンプレッサ６１または隔膜１２の移動方向が矢印Ｚ（第１方向Ｘおよび第２方向Ｙに垂直な方向）で示されている。

（中央部２３）
中央部２３は、図３に示すように、第１端部２１と第２端部２２の間に設けられている。中央部２３は、第１面３１と、第２面３２（図４（ａ）参照）と、壁部３３（図４（ａ）参照）と、縁リブ３４と、外側リブ３５と、内側リブ３６と、複数のボルト孔３７と、を有する。

第１面３１は、図３に示すように、略平面状であり、フランジ２１３とフランジ２２３の円形状側面に対して垂直に形成されている。第１面３１の中央には、開口部３１ａが形成されている。開口部３１ａは、その周縁が円形状に形成されている。

縁リブ３４は、図３、図４（ａ）および図４（ｂ）に示すように断面四角形状であり、開口部３１ａの縁に沿って第１面３１から上方（Ｚ方向上向き）に突出して形成されている。縁リブ３４は、図３に示すように、第１リブ部分３４１と、第２リブ部分３４２と、を有する。第１リブ部分３４１は、平面視において開口部３１ａの縁に沿って円弧状に形成されている。第２リブ部分３４２は、平面視において開口部３１ａの縁に沿って円弧状に形成されている。円弧状の第１リブ部分３４１の両端と、円弧状の第２リブ部分３４２の両端の各々の間には、所定の間隔３４ａが設けられている。二つの間隔３４ａは、等長であり、幅方向Ｙに対向して設けられている。間隔３４ａには、隔膜１２をボディ１１に配置した際に、後述する隔膜１２の止水リブ４３の端部４７が通る。

外側リブ３５は、図３および図４（ｂ）に示すように、隔膜１２の外周にわずかな隙間を空けて沿うように第１面３１から上方（Ｚ方向上向き）に突出して形成されている。外側リブ３５は、開口部３１ａの縁全体に亘って形成され、ほぼ円形状である。

上方から見ると、外側リブ３５は、図３に示すように、円形状部３５１と、突出形状部３５２を有する。円形状部３５１は、開口部３１ａの外側であって縁リブ３４から所定の距離を空けて外側リブ３５に沿って形成されている。突出形状部３５２は、円形状部３５１から外側に突出しており、概ね四角形状の外周をなぞるように形成されている。この突出形状部３５２の内側には、後述する図５に示す隔膜１２の突出部４５が配置される。

内側リブ３６は、図４（ｂ）に示すように、外側リブ３５の縁リブ３４側（外側リブ３５の内側ともいえる）に第１面３１から突出して外側リブ３５に沿って形成されている。内側リブ３６は、外側リブ３５と一体的に形成されている。言い換えると、内側リブ３６は、第１面３１から垂直（Ｚ方向上向き）に立ち上がる側面と、その上端から繋がる水平な上面とを備える。外側リブは、内側リブの上面から垂直に立ち上がる内側側面と、その上端から繋がる水平な上面と、この上面の外端から垂直に垂れ下がる外側側面とを備える。内側リブ３６は、外側リブ３５よりも低く形成されている。内側リブ３６は、外側リブ３５の載置面３１１近傍に段差状に形成されている。よって、内側リブ３６と外側リブ３５とで、断面が２段の階段状となっている。

第１面３１は、図４（ｂ）に示すように、内側リブ３６と縁リブ３４の間に、隔膜１２の外周縁部４２（後述する）が載置される載置面３１１を有する。

ボルト孔３７は、第１面３１の開口部３１ａの周囲であって、外側リブ３５よりもＹ方向外側に４つ形成されており、後述するボンネット１３のボルト孔１３４（図１１（ｂ）参照）と対向し、ボルト１００（図１参照）が挿入され、ボンネット１３がボディ１１に固定される。

第２面３２は、図４（ａ）に示すように、流路２４を挟んで第１面３１に対向する面である。第２面３２は、流路２４の形状に沿って形成されている。第２面３２は、中央部２３のボンネット１３が配置される側とは反対側の面である。

（流路２４）
流路２４は、図４（ａ）に示すように、入口２４ａから出口２４ｂまで形成されている、壁部３３は、流路２４の中央に第１面３１に向かって突出して形成されている。壁部３３は、流路２４に傾斜を形成するように、流路２４の内面が第１面３１に向かって緩やかに盛り上がって形成されている。上述の開口部３１ａは、流路２４の途中に設けられている。また、開口部３１ａは、壁部３３に対応する位置に形成されている。

壁部３３の第１面３１側の先端である当接部３３ａには、後述する隔膜１２の止水リブ４３が圧接する。当接部３３ａは、流通方向Ｘに対して垂直な平面において開口部３１ａ側に凹状に湾曲して形成されている。

流路２４は、図４（ａ）に示すように、第１端部２１の入口２４ａから当接部３３ａまで形成されている入口側流路２４１と、第２端部２２の出口２４ｂから当接部３３ａまで形成されている出口側流路２４２と、入口側流路２４１と出口側流路２４２を連通する連通部２４３とを有する。

入口側流路２４１は、その内周面が湾曲して形成されており、図４（ａ）に示すように、第１面３１と垂直な方向（駆動方向Ｚ）の幅が壁部３３に向かうに従って狭くなっている。一方、入口側流路２４１は、第１面３１と平行な方向の幅（図４（ａ）における紙面に対して垂直な方向）は壁部３３に向かうに従って広くなっている。

出口側流路２４２は、その内周面が湾曲して形成されており、図４（ａ）に示すように、第１面３１と垂直な方向の幅が壁部３３に向かうに従って狭くなっている。一方、出口側流路２４２は、第１面３１と平行な方向の幅（図４（ａ）における紙面に対して垂直な方向）は壁部３３に向かうに従って広くなっている。

連通部２４３は、流路２４のうち壁部３３の第１面３１側の部分であり、入口側流路２４１と出口側流路２４２とを連通する。

第２面３２は、図４（ａ）に示すように、入口側流路２４１に沿った入口側湾曲部３２１と、出口側流路２４２に沿った出口側湾曲部３２２とを有する。この入口側湾曲部３２１と出口側湾曲部３２２によって図４（ａ）に示す壁部３３の第１面３１側への突出が形成されている。

なお、第２面３２には、補強用のリブ３８（図４（ａ）参照）が設けられている。
（隔膜１２）
隔膜１２が後述する駆動機構１４によって下方に移動し、壁部３３の当接部３３ａに当接することによって連通部２４３を閉鎖して流路２４が閉じられる。また、隔膜１２が駆動機構１４によって上方に移動し、当接部３３ａから隔膜１２が離間することによって流路２４が開放される。

隔膜１２は、図２に示すように、開口部３１ａを塞ぐように第１面３１に配置されている。

図５は、隔膜１２、ならびに後述するコンプレッサ６１、スリーブ６２およびステム６３等を示す斜視図である。図５には、隔膜１２、コンプレッサ６１、スリーブ６２およびステム６３の中心軸Ｏが示されている。この中心軸Ｏは、第１面３１に対して垂直であり、隔膜１２、後述するコンプレッサ６１およびステム６３の駆動方向（Ｚ方向）と一致する。

図６（ａ）は、隔膜１２を表側（ボディ１１と反対側）から視た斜視図である。図６（ｂ）は、隔膜１２を裏側（ボディ１１側）から視た斜視図である。図７Ａは隔膜１２の底面図であり、図７Ｂは、図７ＡのＧＧ´間の矢視断面図である。図７Ｃは、図７ＡのＪ部拡大図である。図７Ｄは、図７ＡのＫ部拡大図である。図７Ｅは、図７ＡのＱＱ´間の矢視断面図であって端部４７の部分拡大図である。図７Ｆは、図７ＡのＬ部拡大図である。図８は、図１のＨＨ´間の矢視断面図である。

図６（ａ）および図６（ｂ）に示すように、隔膜１２は、隔膜部４１と、外周縁部４２（周縁部の一例）と、止水リブ４３（第２凸部の一例）と、周縁リブ４４（第１凸部の一例）と、突出部４５と、を有する。

（隔膜部４１）
隔膜部４１は、後述する駆動機構１４によって上下動される。隔膜部４１は、上面視で円形状の部分球体であり、ボディ１１の開口部３１ａに対応する。

隔膜部４１の当接部３３ａ側の面４１ａには、図７Ａおよび図７Ｂに示すように、ボディ１１の壁部３３の当接部３３ａに向かって突出し、凸条である止水リブ４３が形成されている。隔膜部４１の面４１ａと反対側の面４１ｂの中央部には、図６及び図７Ｂに示すように、ボンネット１３側に向かって突出した肉厚部であるボルト支持部４６が形成されている。ボルト支持部４６には、図６（ａ）に示すように後述する隔膜ボルト６５が挿入される。

（止水リブ４３）
止水リブ４３は、図７Ａに示すように、第２方向Ｙに沿って円形状の隔膜部４１の直径となる位置に形成されており、当接部３３ａに沿っている。止水リブ４３は、その幅方向（長手方向）の両端において周縁リブ４４に交わっている。

本実施の形態では、止水リブ４３は、面４１ａ側の根元部分の厚みが最も厚く、ボディ１１側の先端に向かうに従って厚みが薄くなるよう形成されている。

止水リブ４３は、図７Ａに示すように、端部４７と、中央部４８と、を有する。端部４７は、止水リブ４３の両端部分であり、周縁リブ４４に接続されている。中央部４８は、端部４７の間に設けられている。

中央部４８は、Ｘ方向における幅は略一定に形成されている。中央部４８は、図７Ｃに示すように、側面４８ｃと、側面４８ｄと、先端面４８ｅと、を有する。側面４８ｃは、中央部４８の出口２４ｂ側の側面である。側面４８ｄは、中央部４８の入口２４ａ側の側面である。側面４８ｃと側面４８ｄは、周縁リブ４４の外側に向かって突出するように若干湾曲して形成されている。詳細には、側面４８ｃは、出口２４ｂ側に向かって突出するように若干湾曲している。側面４８ｄは、入口２４ａ側に向かって突出するように若干湾曲している。なお、側面４８ｃと側面４８ｄは、湾曲しておらず直線状であってもよい。

先端面４８ｅは、側面４８ｃと側面４８ｄのボディ１１側の端を繋ぐように設けられている。先端面４８ｅは、円弧状に形成されている方が好ましいが、厳密な円弧状に限らなくてもよく、少なくともボディ１１側に凸に湾曲している方が好ましい。本実施の形態では、先端面４８ｅは、円弧の中央が当接部３３ａに対向して接触可能なように配置されている。

端部４７は、中央部４８と周縁リブ４４を繋ぐように設けられている。端部４７は、止水リブ４３の両端に設けられ、中央部４８と周縁リブ４４を繋ぐ。端部４７の形状については、後段にて詳述する。

（外周縁部４２、突出部４５）
外周縁部４２は、円環状であり、隔膜部４１の外周に水平方向に延びるように鍔状に形成されている。外周縁部４２は、図２に示すように、ボンネット１３とボディ１１によって挟まれている。

突出部４５は、図７Ａおよび図７Ｂに示すように、概ね四角形状であり、外周縁部４２から水平方向外側に向かって突出して形成されている。この突出する向きは、止水リブ４３の伸び方向（長手方向）と直交する。

（周縁リブ４４）
周縁リブ４４は、図７Ａおよび図７Ｂに示すように、外周縁部４２のボディ１１側の面４２ａに周方向に沿って一周に亘って形成されており、図８に示すように、載置面３１１に当接する。周縁リブ４４は、ボディ１１側に向かって突出している。

周縁リブ４４は、図７Ｂに示すように面４２ａにおいて外周縁部４２の外周側の端面４２ｃから所定の間隔を空けて内側に設けられている。面４２ａは、周縁リブ４４よりも内周側の第１面部４２ａ１と、周縁リブ４４よりも外周側の第２面部４２ａ２と、を有している。

本実施の形態では、周縁リブ４４は、面４２ａ側の根元部分の厚みが最も厚く、ボディ１１側の先端に向かうに従って厚みが薄くなるよう形成されている。

周縁リブ４４は、周方向に沿って設けられており、止水リブ４３を取り囲むように形成されている。止水リブ４３は、周縁リブ４４の内側に形成されているともいえる。

周縁リブ４４は、図７Ｄに示すように、側面４４ｃと、側面４４ｄと、先端面４４ｅとを有する。側面４４ｃは、周縁リブ４４の内周側の側面である。側面４４ｄは、周縁リブ４４の外周側の側面である。側面４４ｃと側面４４ｄは、周縁リブ４４の外側に向かって突出するように若干湾曲して形成されている。詳細には、側面４４ｃは、内周側に向かって突出するように若干湾曲している。側面４４ｄは、外周側に向かって突出するように若干湾曲している。なお、側面４４ｃと側面４４ｄは、湾曲しておらず直線状であってもよい。

先端面４４ｅは、側面４４ｃと側面４４ｄを繋ぐように形成されている。先端面４４ｅは、ボディ１１側に突出するように湾曲している。先端面４４ｅは、円弧状に形成されている方が好ましいが、厳密な円弧状に限らなくてもよく、少なくともボディ１１側に凸に湾曲している方が好ましい。

先端面４４ｅは、円弧の中央が載置面３１１に対向して接触可能なように配置されている。

（端部４７）
図７Ａに示すように、止水リブ４３の両端の端部４７は、双方とも同様の形状であるため一方について説明する。

端部４７は、面４１ａおよび面４２ａからボディ１１方向に向かって突出して設けられている。端部４７は、面４１ａから面４２ａに亘って設けられている。端部４７は、中央部４８から周縁リブ４４に向かうに従って幅が広くなるように形成されている。なお、隔膜１２がボディ１１に載置された際には、端部４７は、間隔３４ａ（図３参照）を通って配置される。

端部４７は、図７Ｅおよび図７Ｆに示すように、出口２４ｂ側の側面４７ｃと、入口２４ａ側の側面４７ｄと、側面４７ｃと側面４７ｄを繋ぐ先端面４７ｅと、を有する。なお、図７Ｅは、端部４７の拡大断面図である。

側面４７ｃは、端部４７の出口２４ｂ側の側面である。側面４７ｃは、面４１ａおよび面４２ａからボディ１１側に向かって立ち上がるよう形成されている。側面４７ｃは、中央部４８の側面４８ｃと、周縁リブ４４の側面４４ｃとを繋ぐ。側面４７ｃは、端部４７の内側に向かって凸に湾曲して形成されている。

図７Ｆにおいて、側面４７ｃの周縁リブ４４の側面４４ｃとの接続部分が４７ｃ１として示され、側面４７ｃの中央部４８の側面４８ｃとの接続部分が４７ｃ２として示されている。接続部分４７ｃ１は、平面視において曲線である側面４４ｃと曲線である側面４７ｃを接続する変曲点である。接続部分４７ｃ２は、平面視において直線である側面４８ｃと曲線である側面４７ｃとの接続点である。

側面４７ｄは、端部４７の入口２４ａ側の側面である。側面４７ｄは、面４１ａおよび面４２ａからボディ１１側に向かって立ち上がるよう形成されている。側面４７ｄは、中央部４８の側面４８ｄと、周縁リブ４４の側面４４ｃとを繋ぐ。側面４７ｄは、平面視において端部４７の内側に向かって湾曲して形成されている。

図７Ｆにおいて、側面４７ｄの周縁リブ４４の側面４４ｃとの接続部分が４７ｄ１として示され、側面４７ｄの中央部４８の側面４８ｄとの接続部分が４７ｄ２として示されている。接続部分４７ｄ１は、平面視において曲線である側面４４ｄと曲線である側面４７ｄを接続する変曲点である。接続部分４７ｄ２は、平面視において直線である側面４８ｄと曲線である側面４７ｄとの接続点である。

先端面４７ｅは、側面４７ｃと側面４７ｄの間を繋ぎ、中央部４８の先端面４８ｅと周縁リブ４４の先端面４４ｅの間を繋ぐように設けられている。

図７Ｆに示すように、端部４７の中央部４８との接続部４７ｂの幅をＡとし、端部４７の周縁リブ４４との接続部４７ａの幅をＢとすると、Ｂ／Ａは、２．１≦Ｂ／Ａ≦４．２を満たす方が好ましい。なお、幅とは、それぞれの接続部において、Ｘ方向における端部４７の最も大きい厚みであり、端部４７の面４１ａ、４２ａから立ち上がる根元部分である。また、接続部４７ａの幅Ｂは、接続部分４７ｃ１と接続部分４７ｄ１の間隔に相当する。また、接続部４７ｂの幅Ａは、接続部分４７ｃ２と接続部分４７ｄ２の間隔に相当する。幅Ａは、中央部４８の幅と一致している。

（第１隔膜層２１０、第２隔膜層２２０）
図７Ａおよび図７Ｂに示すように、隔膜１２は、第１隔膜層２１０（第１層の一例）と、第２隔膜層２２０（第２層の一例）と、を有している。第１隔膜層２１０に隔膜ボルト６５（連結部の一例）が挿入されている。隔膜ボルト６５は、第１隔膜層２１０から第２隔膜層２２０を貫通して駆動機構１４側（当接部３３ａと反対側）に突出している。

第１隔膜層２１０は、隔膜１２の当接部３３ａ側を形成しており、接液面を形成している。第２隔膜層２２０は、隔膜１２の当接部３３ａの反対側を形成している。

第１隔膜層２１０の材質は、熱可塑性樹脂であり、例えば、フッ素系樹脂を用いることができる。フッ素系樹脂としては、例えば、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）またはＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン）を用いることができる。

第２隔膜層２２０の材質は、ゴム状の弾性体であれば良く、特に限定されるものではない。また、第１隔膜層２１０の材質とは異なるものが好ましい。例えば、エチレン・プロピレンゴム、イソプレンゴム、クロロプレンゴム、クロロスルフォン化ゴム、ニトリルゴム、スチレンブタジエンゴム、塩素化ポリエチレン、フッ素ゴム、ＥＰＤＭ（エチレン・プロピレン・ジエンゴム）等が好適な材料として挙げられる。また、第２隔膜層２２０には強度の高い補強布がインサートされていても良く、補強布はナイロン製であることが望ましい。これは、ダイヤフラムバルブの閉時に隔膜１２に流体圧がかかったときに隔膜１２の変形や破損を防止することが可能となるため好ましい。なお、エチレン・プロピレン・ジエンゴムを用いる場合には、他のゴムと比べ耐薬品性が高く、ＥＰＭなどと比較して加硫しやすいため容易に高強度の隔膜を得ることができる。

また、第２隔膜層２２０を設けることによって、ダイヤフラムバルブの駆動機構１４からの力を第１隔膜層２１０に分散して伝達することができる。このため、第１隔膜層２１０だけの場合よりも低い軸力（ハンドル６４の回転によってステム６３を介してコンプレッサ６１によって隔膜１２に付与される力）で高い圧縮力を得て止水することができる。

第１隔膜層２１０は、図７Ｂに示すように、止水リブ４３、隔膜部４１の面４１ａ側の部分４１ｆ、外周縁部４２の面４２ａ側の部分４２ｆ、および周縁リブ４４を形成している。

第２隔膜層２２０は、ボルト支持部４６を含む隔膜部４１の面４１ｂ側の部分４１ｓ、および外周縁部４２の面４２ｂ側の部分４２ｓを形成している。

外周縁部４２において、第１隔膜層２１０の部分４２ｆの面４２ａと反対側の面４２ｆｂは略平面に形成されている。外周縁部４２において、第２隔膜層２２０の部分４２ｓの第１隔膜層２１０側の面４２ｓａは略平面に形成されている。面４２ｆｂと面４２ｓａは、互いに平面で接触している。

隔膜部４１のうち第１隔膜層２１０の部分４１ｆの面４１ａと反対側の面４１ｆｂには、ボルト支持部４６に対応した凸部４１ｆｄが形成されている。凸部４１ｆｄに隔膜ボルト６５が挿入されている。

隔膜部４１のうち第２隔膜層２２０の部分４１ｓの面４１ｂと反対側の面４１ｓａには、凸部４１ｆｄに対応した凹部４１ｓｄが形成されている。

なお、第１隔膜層２１０と第２隔膜層２２０の間は、接着されていてもよいし、接着されていなくてもよい。

（ボディ１１への隔膜１２の配置）
図９（ａ）は、ボディ１１の第１面３１を示す平面図である。図９（ｂ）は、ボディ１１に隔膜１２を載置した状態を示す平面図である。

外側リブ３５の内側に位置されるように隔膜１２がボディ１１に載置される。隔膜１２の周縁リブ４４が、内側リブ３６と縁リブ３４の間の載置面３１１に配置される。また、突出部４５が、外側リブ３５の突出形状部３５２の内側に配置されるように隔膜１２が載置される。

外側リブ３５の突出形状部３５２によって、隔膜１２の周方向における位置ズレが防止され、隔膜１２の止水リブ４３を当接部３３ａに沿った位置に合わせることができる。

図１０は、図８のＭ部拡大断面図である。図１０に示すように、ボディ１１とボンネット１３によって外周縁部４２が挟持されて隔膜１２が保持されている。

図８および図１０に示すように、隔膜１２をボディ１１に配置した際には、隔膜１２の周縁リブ４４に径方向において対向するように内側リブ３６が配置されている。外周縁部４２の外周側の端面４２ｃの外側にボディ１１の外側リブ３５が配置されている。また、Ｚ方向において第２面部４２ａ２に対向するように、ボディ１１の内側リブ３６が配置されている。なお、径方向は、軸Ｏに対して垂直であって、軸Ｏに向かう若しくは軸Ｏから遠ざかる方向である。

図１０に示すように、周縁リブ４４の先端面４４ｅがボディ１１の載置面３１１に接触している。このように湾曲した先端面４４ｅが載置面３１１に接触することにより、隔膜１２の揺動時における応力集中の発生を低減することができる。

なお、未使用時など内圧がかかっていないとき、外周縁部４２において、隔膜１２がボディ１１に接しているのは、先端面４４ｅだけである。周縁リブ４４は、内側リブ３６、外側リブ３５と隙間を空けており、接していない。

また、周縁リブ４４のうち先端面４４ｅを形成する先端部分だけでは、ボディ１１とボンネット１３によって挟持固定される際に与えられるボンネット１３からの圧縮力を受け過ぎるため、側面４４ｃ、４４ｄ形成する基端部分を設けることによって剛性を高めることができる。

縁リブ３４は、隔膜１２が上下動作した場合であっても隔膜１２に接触しない高さに形成されている。縁リブ３４と隔膜１２の間に間隔Ｓが設けられているため、周縁リブ４４は、流路２４に面している（曝されているともいえる）。このため、周縁リブ４４は、ダイヤフラムバルブ１０内で内圧が発生した際に、内圧によって外周側に広がるように変形して、内側リブ３６の内周面３６ａに接触し止水される。このため、内側リブ３６の内周面３６ａは、断面視において平面である方が好ましい。

（ボンネット１３）
ボンネット１３は、ボディ１１と同様に、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）、ＨＴ（耐熱塩化ビニル管）、ＰＰ（ポリプロピレン）、またはＰＶＣＦ（ポリフッ化ブニリデン）、ポリスチレン、ＡＢＳ樹脂、ポリテトラフルオロエチレン、パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、ポリクロロトリフロオロエチレン等の樹脂、または、鉄、銅、銅合金、真鍮、アルミニウム、ステンレス等の金属、または磁器などによって形成することができる。

図１１（ａ）は、ボンネット１３の外観を示す斜視図である。図１１（ｂ）は、ボンネット１３を下方から視た斜視図である。図に示すように、ボンネット１３は、本体部１３１と、ボディ１１に固定される固定部１３２と、を有する。

本体部１３１は、ドーム状であって、その広がった端１３１ａに開口１３ａを有する。開口１３ａは、第１面３１の開口部３１ａに対応する。また、本体部１３１は、その窄まった部分に貫通孔１３ｂを有する。貫通孔１３ｂは、開口１３ａに対向して形成されており、後述するスリーブ６２およびステム６３が配置される。

固定部１３２は、端１３１ａから外側に向かって広がるように形成されており、図１２（ｂ）に示すように、複数のボルト孔１３４と、外側底面１３５と、内側底面１３６と、接続面１３７と、を有する。

ボルト孔１３４は、固定部１３２に４つ形成されており、ボディ１１のボルト孔３７と対向し、ボルト１００（図１参照）が挿入され、ボンネット１３がボディ１１に固定される。

外側底面１３５は、固定部１３２のボディ１１側であって、外周に沿った部分である。内側底面１３６は、外側底面１３５の内側であって開口１３ａの縁から形成されている。外側底面１３５と内側底面１３６は、ボディ１１のＺ方向に対して略垂直に形成されている。接続面１３７は、外側底面１３５の内周側の端と内側底面１３６の外周側の端を繋ぐ。接続面１３７は、Ｚ方向に沿って形成されている。内側底面１３６は、外側底面１３５よりも貫通孔１３ｂ側（ボディ１１と反対側）に位置している。

図１０に示すように、隔膜１２の外周縁部４２は、ボディ１１と反対側の面４２ｂが内側底面１３６に接触するように配置されている。ボディ１１の外側リブ３５は、Ｚ方向において内側底面１３６に対向して配置されている。外側リブ３５は、接続面１３７の内周側に位置している。

隔膜１２の外周縁部４２は、ボディ１１の載置面３１１とボンネット１３の内側底面１３６によって挟まれて圧縮される。

（駆動機構１４）
駆動機構１４は、図２に示すように、コンプレッサ６１と、スリーブ６２と、ステム６３と、ハンドル６４と、隔膜ボルト６５と、を有する。

（コンプレッサ６１）
コンプレッサ６１は、隔膜１２を当接部３３ａに押圧する。コンプレッサ６１は、ＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン）等によって形成されており、隔膜１２と連結されている。隔膜１２には隔膜ボルト６５が埋め込まれており、隔膜ボルト６５は、ボディ１１の反対側（非接液面側）に突出している。隔膜ボルト６５の突出した部分がコンプレッサ６１に係合されて、コンプレッサ６１と隔膜１２は連結されている。

図８に示すように、コンプレッサ６１の当接部３３ａ側の面の中央には凹部６１ｃが形成されており、隔膜１２のボルト支持部４６が挿入される。

（スリーブ６２、ステム６３、ハンドル６４）
スリーブ６２は、図２に示すように、ボンネット１３の貫通孔１３ｂに支持されている。スリーブ６２の内側にはネジ形状が形成されている。

ステム６３は、スリーブ６２の内側に配置されており、スリーブ６２の内側に形成されたネジ形状と螺合している。ステム６３の両端のうちボンネット１３の内側に配置される端には、コンプレッサ６１が固定されている。コンプレッサ６１は、ボディ１１側において隔膜１２と係合され、ボディ１１と反対側においてステム６３と固定されている。

ハンドル６４は、ステム６３のボンネット１３の外側に位置する部分の外周部に嵌合されている。

＜動作＞
次に、本実施の形態のダイヤフラムバルブ１０の動作について説明する。図１２（ａ）および図１２（ｂ）は、隔膜１２の動作を模式的に示す図である。

図１２（ａ）に示すような流路２４が開放されている状態から、流路２４を閉じる方向にハンドル６４を回転させると、ハンドル６４の回転に従って、ステム６３が下降する（図２参照）。ステム６３の下降とともに、ステム６３の端に固定されたコンプレッサ６１も下降する。

コンプレッサ６１の下降により、隔膜１２は、図１２（ｂ）に示すように、第２面３２側に凸に湾曲し、壁部３３の当接部３３ａに圧接される。

これによって、ダイヤフラムバルブ１０の流路２４が遮断された状態となる。
一方、ハンドル６４を開方向に回転させると、ハンドル６４の回転に従ってステム６３が上昇する。ステム６３の上昇とともにコンプレッサ６１も上昇し、コンプレッサ６１と係合された隔膜１２の中央部が図１２（ａ）に示すように上昇する。

これによって、ダイヤフラムバルブ１０の流路２４が開放された状態となる。
（他の実施の形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

（Ａ）
上記実施の形態では、端部４７の側面４７ｃと側面４７ｄが平面視において湾曲して形成されているが、これに限らず平面視において直線状に形成されていてもよい。

図１３（ａ）は、直線上の側面１０４７ｃと側面１０４７ｄを有する端部１０４７が設けられた隔膜１０１２を示す平面図である。図１３（ｂ）は、図１３（ａ）のＮ部拡大図である。

隔膜１０１２の止水リブ１０１３は、中央部４８と、中央部４８の両端に設けられた端部１０４７と、を有する。端部１０４７の側面１０４７ｃは、中央部４８の側面４８ｃと周縁リブ４４の側面４４ｃを平面視において直線状に繋ぐ。端部１０４７の側面１０４７ｄは、中央部４８の側面４８ｄと周縁リブ４４の側面４４ｃを平面視において直線状に繋ぐ。

なお、図１３（ａ）および図１３（ｂ）に示す側面１０４７ｃ、１０４７ｄは、平面視において１つの直線で形成されているが、複数の直線で形成されていてもよいし、直線と曲線が混在していてもよい。

また、端部１０４７の周縁リブ４４との接続部が１０４７ａと示され、端部１０４７の中央部４８との接続部が１０４７ｂと示されている。端部１０４７の先端面が１０４７ｅと示されている。側面１０４７ｃの側面４４ｃとの接続部分が１０４７ｃ１と示され、側面１０４７ｃの側面４８ｃとの接続部分が１０４７ｃ２と示されている。また、側面１０４７ｄの側面４４ｃとの接続部分が１０４７ｄ１と示され、側面１０４７ｄの側面４８ｄとの接続部分が１０４７ｄ２と示されている。

接続部１０４７ａの幅（接続部分１０４７ｃ１と接続部分１０４７ｄ１の間隔）をＢとし、接続部１０４７ｂの幅（接続部分１０４７ｃ２と接続部分１０４７ｄ２の間隔）をＡとすると、Ｂ／Ａは、２．１≦Ｂ／Ａ≦４．２を満たす方が好ましい。

（Ｂ）
上記実施の形態では、第１隔膜層２１０の外周縁部４２における部分４２ｆの厚みが一定ではないが、厚みが一定になるように隔膜が形成されていてもよい。図１４は、外周縁部２０４２の厚みが一定の隔膜２０１２を示す部分断面図である。

外周縁部２０４２のうち第１隔膜層２２１０の部分２０４２ｆにおけるボディ１１側の面２０４２ａの反対側の面２０４２ｆｂには、Ｚ方向において周縁リブ４４に対応した凹部２０４２ｆｃが形成されている。このように、周縁リブ４４に対応して凹部２０４２ｆｃが形成されているため、第１隔膜層２２１０の外周縁部２０４２の部分２０４２ｆは均一の厚みに形成されている。外周縁部２０４２の厚みを均一にすることによって、外周縁部２０４２の形状を所望の形状に作成し易くでき、個体による止水性能の差を低減することができる。

外周縁部２０４２のうち第２隔膜層２２２０の部分２０４２ｓの第１隔膜層２２１０側の面２０４２ｓａには、第１隔膜層２２１０の凹部２０４２ｆｃに嵌合する凸部２０４２ｓｃが形成されている。

このように第１隔膜層２２１０の凹部２０４２ｆｃと第２隔膜層２２２０の凸部２０４２ｓｃが嵌合することにより、第１隔膜層２２１０と第２隔膜層２２２０がフローしてずれることを抑制することができる。なお、第１隔膜層２２１０および第２隔膜層２２２０のいずれか一方を用意し、インサート成形で他方の層を一方の層に一体的に設け、ひいては凹部２０４２ｆｃと凸部２０４２ｓｃが嵌合している状態としてもよい。

また、図７Ｂに示す面４１ｆｂおよび面４２ｆｂに端部４７に対応する凹部が形成されていてもよい。この場合、面４１ｓａおよび面４２ｓａには、凹部に嵌合する凸部が形成される。

また、隔膜部４１のうち凸部４１ｆｄ以外の部分（図７Ｂ参照）で、面４１ｆｂに止水リブ４３に対応する凹部が形成されていてもよい。この場合、隔膜部４１のうち第２隔膜層２２０の部分４１ｓの第１隔膜層２１０側の面４１ｓａには、凹部に嵌合する凸部が形成される。これにより、第１隔膜層２１０は、凸部４１ｆｄの部分を除いて厚みが一定に形成され、隔膜１２を所望の形状に形成しやすくできる。

（Ｃ）
上記実施の形態では、端面４２ｃから所定間隔を空けて周縁リブ４４が設けられているが、所定間隔を空けずに端面４２ｃに沿って周縁リブが設けられていてもよい。

図１５は、ダイヤフラムバルブ３０１０の部分拡大断面図である。図１５が図示する部分は、図１０が図示する部分と同じである。

ダイヤフラムバルブ３０１０の隔膜３０１２では、位置が異なるものの周縁リブ３０４４の形状は実施の形態の周縁リブ４４と同様であり、周縁リブ３０４４は、実施の形態と同様に、内周側の側面３０４４ｃと、外周側の側面３０４４ｄと、側面３０４４ｃと側面３０４４ｄを繋ぐ先端面３０４４ｅを有している
周縁リブ３０４４の外周側の側面３０４４ｄは、外周縁部４２の端面４２ｃと隔膜３０１２の径方向における位置が同じである。周縁リブ３０４４の外周側の側面３０４４ｄは、外周縁部４２の端面４２ｃからボディ１１側に伸びて形成されている。側面３０４４ｄは、端面４２ｃと同一面上に形成されている。このため、外周縁部４２の面３０４２ａは、周縁リブ３０４４の外側に実施の形態のような面部分を有していない。

また、図１５に示すように、ボディ３０１１には、ボディ１１と異なって内側リブ３６が設けられていない。外側リブ３５が、周縁リブ３０４４に対向するように配置されている。内圧が発生した場合には、周縁リブ３０４４が外側に広げられ、外側リブ３５の根元部分に接触して止水される。

（Ｄ）
上記実施の形態では、止水リブ４３および周縁リブ４４は、線対称に形成されているが、対称でなくてもよい。

（Ｅ）
上記実施の形態では、ボディ１１に縁リブ３４が設けられているが、縁リブ３４が設けられていなくてもよい。

（Ｆ）
上記実施の形態１では、内側リブ３６と外側リブ３５は繋がって段差状に形成されているが、繋がっていなくてもよい。内側リブ３６が外側リブ３５とは別に独立した凸部として設けられていてもよい。

（Ｇ）
上記実施の形態では、隔膜１２の外周縁部４２は外周が円形状であるが、これにかぎられるものではなく、四角形状であってもよい。

また、上記実施の形態では、隔膜１２の突出部４５は、四角形状であるが、これに限られるものではなく、要するに隔膜１２の回転方向への位置ズレを規制できさえすればよい。

（Ｈ）
上記実施の形態では、隔膜１２は二層で形成されているが、これに限られるものではなく、例えば一層で形成されていてもよい。一層の場合には、ゴム状の弾性体で形成してもよい。

（Ｉ）
上記実施の形態のダイヤフラムバルブ１０では、駆動部の一例として手動式のハンドル６４が設けられているが、空気駆動式または電気駆動式の駆動部によってステム６３が駆動されてもよい。

次に、実施例を用いて上述した実施の形態について更に詳細に説明する。
上述した実施の形態の隔膜１２のＢ／Ａの値を変化させて止水リブ４３における止水面圧の最大値と最小値の差圧を算出した。以下の表１に結果を示す。

差圧が８ＭＰａ以下の場合、止水面圧の差が少ないため非常に良好とし、差圧が８ＭＰａより大きく１４ＭＰａ以下の場合に良好とし、差圧が１４ＭＰａより大きく２０ＭＰａ以下の場合に許容範囲とし、止水することが出来ない場合に不良とした。

Ｂ／Ａ＝１とした比較例１では、止水することが出来なかった。
Ｂ／Ａ＝２とした実施例１では、差圧が１２．４ＭＰａとなり、良好であった。

Ｂ／Ａ＝２．１とした実施例２では、差圧が７．８ＭＰａとなり、非常に良好であった。

Ｂ／Ａ＝２．５とした実施例３では、差圧が６．７ＭＰａとなり、非常に良好であった。

Ｂ／Ａ＝３とした実施例４では、差圧が６．５ＭＰａとなり、非常に良好であった。
Ｂ／Ａ＝３．５とした実施例５では、差圧が６．６ＭＰａとなり、非常に良好であった。

Ｂ／Ａ＝４とした実施例６では、差圧が６．８ＭＰａとなり、非常に良好であった。
Ｂ／Ａ＝４．２とした実施例７では、差圧が７．４ＭＰａとなり、非常に良好であった。

Ｂ／Ａ＝４．３とした実施例８では、差圧が１３．３ＭＰａとなり、良好であった。
Ｂ／Ａ＝５とした実施例９では、差圧が１８．４ＭＰａとなり、許容範囲内であった。

以上の結果より、２．１≦Ｂ／Ａ≦４．２が好ましいことがわかる。

本発明のダイヤフラムバルブは、低い圧縮力で止水を行うことができ、長期耐久性を向上することが可能な効果を有し、プラント等に利用可能である。

１０ ：ダイヤフラムバルブ
１１ ：ボディ（弁本体の一例）
１２ ：隔膜
３３ａ ：当接部
４２ ：外周縁部（周縁部の一例）
４３ ：止水リブ（第２凸部の一例）
４４ ：周縁リブ（第１凸部の一例）
４７ ：端部
４８ ：中央部

Claims (5)

1. 内部に形成された流路に設けられた当接部を有する弁本体と、
   前記弁本体に配置され、前記当接部に接触することにより前記流路を閉塞する隔膜と、
   前記隔膜の周縁部を前記弁本体との間で挟むことによって前記隔膜を固定する蓋部と、を備え、
   前記隔膜は、
   前記周縁部の前記弁本体側に周方向に設けられ、前記弁本体に接触する第１凸部と、
   前記隔膜の前記弁本体側であって前記第１凸部の内側に前記当接部に沿って形成された第２凸部と、を有し、
   前記第２凸部は、両端の各々に設けられ前記第１凸部に接続する端部と、前記端部の間に設けられた中央部と、を有し、
   前記端部は、前記中央部から前記第１凸部に向かうに従って幅が広くなるように形成されている、
   ダイヤフラムバルブ。
2. 前記端部の前記中央部との接続部の幅をＡとし、
   前記端部の前記第１凸部との接続部の幅をＢとすると、
   ２．１≦Ｂ／Ａ≦４．２を満たす、
   請求項１に記載のダイヤフラムバルブ。
3. 前記端部の幅方向の両端は、平面視において、前記端部の内側に向かって凸に湾曲するように形成されている、
   請求項１または２に記載のダイヤフラムバルブ。
4. 前記端部の幅方向の両端は、平面視において直線状に形成されている、
   請求項１または２に記載のダイヤフラムバルブ。
5. 前記隔膜は、
   前記弁本体側に配置され、熱可塑性樹脂を含む第１層と、
   前記第１層の前記弁本体とは反対側に配置され、弾性体で形成された第２層と、有する、
   請求項１〜４のいずれか１項に記載のダイヤフラムバルブ。

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