CN111511956B - 防附着部件和真空处理装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供能够抑制在真空处理时从配置于放电空间的防附着部件产生的微粒的技术。本发明是防止在真空处理时产生的物质向真空槽内附着的防附着部件(30)，具备框状的防附着主体部件(10)和保持防附着主体部件(10)的保持部件(20)。防附着主体部件(10)具有在基板的周围设置的板状的第一至第四构成部件1‑4，并且第一至第四构成部件1‑4在与真空槽内的放电空间相向的面相反侧的面上分别设有第一至第四勾挂部，第一至第四勾挂部用于勾挂并安装于在保持部件(20)设置的第一至第四钩部。

Description

防附着部件和真空处理装置
技术领域
本发明涉及在例如溅射装置等真空处理装置中使用的防附着部件的技术。
背景技术
以往，在这种真空处理装置中，为了在进行溅射等真空处理时防止成膜材料等相对于真空槽内的壁面等的附着，设有板状的防附着部件。
该防附着部件设置在例如溅射装置那样的进行等离子体处理的放电空间的基板附近。
在该情况下，防附着部件在真空槽内朝向与基板平行的方向安装于例如框状的保持部件。
以往，这样的防附着部件使用多个螺栓安装于保持部件。
但是，在安装于保持部件的防附着部件中，存在各种问题。
即，在溅射等成膜时，对于防附着部件也附着成膜材料。此时，在螺栓的表面也附着成膜材料，成为微粒产生的原因。因此，对各螺栓安装用于防止成膜材料附着的帽，但是附着于该帽的成膜材料也成为微粒产生的原因。
另外，由于防附着部件使用多个螺栓从放电空间侧相对于保持部件被安装，因而因放电时的热引起的防附着部件的伸长而在与保持部件之间产生摩擦，由此产生微粒。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平4-78132号公报；
专利文献2：日本特开平10-060624号公报；
专利文献3：日本特开2004-315948号公报；
专利文献4：国际公开2006-067836号公报。
发明内容
发明要解决的问题
本发明是考虑到这样的现有技术的问题而作出的，其目的在于提供能够抑制在真空处理时从配置于放电空间的防附着部件产生的微粒的技术。
用于解决问题的方案
为了实现上述目的而作出的本发明是防止在真空处理时产生的物质向真空槽内附着的防附着部件，具备：框状的防附着主体部件；以及保持前述防附着主体部件的保持部件，前述防附着主体部件具有在处理对象物的周围设置的多个板状的构成部件，并且前述多个构成部件在与前述真空槽内的放电空间相向的面相反侧的面上分别设置有勾挂部，该勾挂部用于勾挂并安装于在前述保持部件设置的多个钩部。
在本发明中，在以下情况下也是有效的：前述防附着主体部件的各构成部件形成为细长形状，该各构成部件的勾挂部具有：固定用勾挂部，其在该防附着主体部件被前述保持部件保持的状态下，勾挂于在前述保持部件的钩部设置的固定用钩，使得前述各构成部件不沿长度方向移动；以及移动用勾挂部，其在前述各构成部件能够沿长度方向移动的状态下勾挂于在前述保持部件的钩部设置的移动用钩，前述固定用勾挂部设置在该各构成部件的中央部分，并且前述移动用勾挂部相对于前述固定用勾挂部设置在该构成部件的两端部侧。
在本发明中，在以下情况下也是有效的：在前述防附着主体部件的各构成部件的周缘部，设置有向与前述真空槽的放电空间相向的面侧延伸的等离子体屏蔽用的壁部。
在本发明中，在以下情况下也是有效的：在前述防附着主体部件的各构成部件的周缘部，以相对于前述等离子体屏蔽用的壁部向外侧延伸的方式设置有相对于前述保持部件的安装部。
另外，本发明是构成为对配置在防附着部件附近的处理对象物进行既定的真空处理的真空处理装置，具备：真空槽；以及前述防附着部件，其设置在前述真空槽内，防止在真空处理时产生的物质向真空槽内附着，前述防附着部件具有框状的防附着主体部件和保持前述防附着主体部件的保持部件，前述防附着主体部件具有在处理对象物的周围设置的多个板状的构成部件，前述多个构成部件在与前述真空槽内的放电空间相向的面相反侧的面上分别设有勾挂部，该勾挂部用于勾挂并安装于在前述保持部件设置的多个钩部。
在本发明中，在以下情况下也是有效的；构成为具有配置有溅射靶材的前述真空槽，对配置在前述防附着部件附近的处理对象物进行溅射。
发明效果
在本发明中，由于在防附着主体部件的多个板状的构成部件中的、与真空槽内的放电空间相向的面相反侧的面上，分别设有勾挂部，该勾挂部用于勾挂并安装于在保持部件设置的多个钩部，因而不需要为了使防附着本体部件被保持部件保持而像现有技术那样使用多个带盖的螺栓。
其结果是，根据本发明，能够减少防附着部件的放电空间侧的面的凹凸部而减小其表面积，因而能够抑制在真空处理时附着的成膜材料等从防附着部件的表面剥离所引起的微粒的产生。
在本发明中，防附着主体部件的各构成部件形成为细长形状，该各构成部件的勾挂部具有：固定用勾挂部，其在该防附着主体部件被保持部件保持的状态下，勾挂于在保持部件的钩部设置的固定用钩，使得各构成部件不沿长度方向移动；以及移动用勾挂部，其在各构成部件能够沿长度方向移动的状态下勾挂于在保持部件的钩部设置的移动用钩，固定用勾挂部设置在该各构成部件的中央部分，并且移动用勾挂部相对于固定用勾挂部设置在该构成部件的两端部侧，在该情况下，在多个构成部件因溅射等真空处理时的热而伸长的情况下，防附着主体部件的移动用勾挂部在勾挂于保持部件的移动用钩的状态下，能够分别沿多个构成部件的长度方向移动。
其结果是，根据本发明，在多个构成部件分别因真空处理时产生的热而伸长的情况下，以各构成部件的中央部分为基准向两端部侧均等地伸长，因而能够抑制真空处理时的防附着部件的翘曲、变形。
另外，在本发明中，由于在防附着主体部件的各构成部件的周缘部设置有向与真空槽的放电空间相向的面侧延伸的等离子体屏蔽用的壁部的情况下，能够使附着在防附着部件的放电空间侧的面的成膜材料等物质的量减少，因而能够进一步抑制该物质从防附着部件的表面剥离所引起的微粒的产生。
进而，在本发明中，在防附着主体部件的各构成部件的周缘部，以从等离子体屏蔽用的壁部向外侧延伸的方式，设置有相对于保持部件的安装部，在该情况下，即使在安装部中使用螺钉将防附着主体部件安装于保持部件的情况下，在真空处理时产生的物质也被设于防附着主体部件的等离子体屏蔽用的壁部屏蔽，能够防止防附着主体部件向安装部的附着，因而能够进一步抑制该物质从防附着部件的表面剥离所引起的微粒的产生。
附图说明
图1是示出作为本发明所涉及的真空处理装置的例子的溅射装置的内部结构的概要结构图。
图2(a)、(b)是示出本发明所涉及的防附着部件的防附着主体部件的例子的概要结构图，图2(a)是从放电空间侧观察的主视图，图2(b)是从放电空间侧的相反侧观察的主视图。
图3(a)、(b)是示出该防附着主体部件的例子的概要结构图，图3(a)是从放电空间侧观察的主视图，图3(b)是图3(a)的A-A线剖视图。
图4是示出在本发明中使用的保持部件的例子的主视图，是从放电空间侧观察的图。
图5(a)是示出防附着主体部件的第一及第二构成部件中的固定用勾挂部和保持部件的第一及第二框部中的固定用钩的结构的说明图，图5(b)是示出防附着主体部件的第一及第二构成部件中的移动用勾挂部和保持部件的第一及第二框部中的移动用钩的结构的说明图。
图6(a)至(d)是示出使防附着主体部件的第一和第二构成部件被保持部件的第一和第二框部保持的情况下的主要部分的结构和动作的剖视图。
图7(a)是示出防附着主体部件的第三及第四构成部件中的固定用勾挂部和保持部件的第三及第四框部中的固定用钩的结构的说明图，图7(b)是示出防附着主体部件的第三及第四构成部件中的移动用勾挂部和保持部件的第三及第四框部中的移动用钩的结构的说明图。
图8(a)至(d)是示出使防附着主体部件的第三和第四构成部件被保持部件的第三和第四框部保持的情况下的主要部分的结构和动作的剖视图。
图9是示出本发明所涉及的防附着部件的例子的主视图，是从放电空间侧观察的图。
图10是图9的B-B线立体剖视图。
具体实施方式
以下，参照附图详细地说明本发明的实施方式。
图1是示出作为本发明所涉及的真空处理装置的例子的溅射装置的内部结构的概要结构图。
图2(a)、(b)是示出本发明所涉及的防附着部件的防附着主体部件的例子的概要结构图，图2(a)是从放电空间侧观察的主视图，图2(b)是从放电空间侧的相反侧观察的主视图。
另外，图3(a)是示出该防附着主体部件的例子的概要结构图，图3(a)是从放电空间侧观察的主视图，图3(b)是图3(a)的A-A线剖视图。
如图1所示，本例的防附着主体部件10构成在作为真空处理装置的溅射装置40中使用的防附着部件30，以在真空槽6内的基板8(处理对象物)附近被后述的保持部件20保持的状态配置。
在此，在本例中，将基板8及溅射靶材(以下称为“靶材”)7朝向大致铅垂方向相向配置，防附着主体部件10以与基板8和靶材7之间的放电空间9相向的方式设置。
在具有这样的结构的溅射装置40中，在基板8与靶材7之间导入溅射气体，对靶材7施加负电压而产生等离子体放电。
由此，带负电荷的靶材7由等离子体中的离子溅射，通过从靶材7表面飞出的溅射粒子在基板8上形成膜。
图2(a)示出防附着主体部件10的表侧面，在图2(b)中示出防附着主体部件10的背侧面。
如图2(a)、(b)所示，本例的防附着主体部件10具有例如直线板状的第一至第四构成部件1-4，形成为具有开口部10a的矩形框状。
本例的防附着主体部件10由例如铝(Al)、不锈钢、钛(Ti)构成，通常以朝向铅垂方向的状态配置。
在此，防附着主体部件10具有：配置在上下侧且沿水平方向延伸的第一构成部件1及第二构成部件2；在第一构成部件1及第二构成部件2之间配置在左右侧且沿铅垂方向延伸的第三构成部件3及第四构成部件4。
以下，将防附着主体部件10的第一构成部件1及第二构成部件2的长度方向适当地称为“X轴方向”，将第三构成部件3及第四构成部件4的长度方向适当地称为“Z轴方向”。
考虑到真空处理时的热引起的伸长，这些第一至第四构成部件1-4在相邻的部件的两端部彼此设置若干间隙而配置。
第一至第四构成部件1-4中的第一构成部件1和第二构成部件2、以及第三构成部件3和第四构成部件4形成为关于通过防附着主体部件10的中心点的直线呈线对称的形状而配置。
而且，第一至第四构成部件1-4通过后述的机构被勾挂并保持在保持部件20。
另外，在第一至第四构成部件1-4各自的周缘部，设置有等离子体屏蔽壁(等离子体屏蔽用的壁部)1c、2c、3c、4c，其形成为朝向第一至第四构成部件1-4的图1所示的放电空间9侧(表面侧)例如垂直地延伸。
在本例的第一至第四构成部件1-4的背侧面，设置有用于将第一至第四构成部件1-4分别勾挂并保持在保持部件20的勾挂部1A、2A、3A、4A。
在此，第一及第二构成部件1、2的勾挂部1A、2A分别具有后述的固定用勾挂部1a和移动用勾挂部1b，这些固定用勾挂部1a和移动用勾挂部1b沿着第一及第二构成部件1、2的长度方向(X轴方向)例如直线状地排列设置成一列。
另一方面，第三和第四构成部件3、4的勾挂部3A、4A分别具有后述的固定用勾挂部1a、上方侧移动用勾挂部1ba和下方侧移动用勾挂部1bb，这些固定用勾挂部1a、上方侧移动用勾挂部1ba和下方侧移动用勾挂部1bb沿第三和第四构成部件3、4的长度方向例如直线状地排列设置成一列。
在本发明中优选地，分别在第一及第二构成部件1、2的中央部分设置固定用勾挂部1a，并且相对于该固定用勾挂部1a在第一及第二构成部件1、2的两端部侧设置移动用勾挂部1b。
另外，在本发明中优选地，分别在第三及第四构成部件3、4的中央部分设置固定用勾挂部1a，并且相对于该固定用勾挂部1a在第三及第四构成部件3、4的两端部侧设置上方侧移动用勾挂部1ba、下方侧移动用勾挂部1bb。
在本发明的情况下，虽然未特别限定，但是从防止防附着部件30的翘曲的观点及减少各端部相对于固定位置的移动量的观点出发，优选地，相对于在第一至第四构成部件1-4的中央部分设置的固定用勾挂部1a，以分别关于与第一至第四构成部件1-4的长度方向正交的直线(未图示)呈线对称的方式设置多个移动用勾挂部1b(上方侧移动用勾挂部1ba、下方侧移动用勾挂部1bb)。
在本例中，分别在第一至第四构成部件1-4的中央部分设置一个固定用勾挂部1a，并且相对于固定用勾挂部1a在第一至第四构成部件1-4的两端部侧的成为该线对称的位置，设置多个(在本例中分别为两个)移动用勾挂部1b(上方侧移动用勾挂部1ba、下方侧移动用勾挂部1bb)。
另外，设置于第一至第四构成部件1-4的固定用勾挂部1a及移动用勾挂部1b(上方侧移动用勾挂部1ba、下方侧移动用勾挂部1bb)形成为例如长方体形状，分别具有同等的宽度及长度。
另一方面，在第一至第四构成部件1-4的周缘部，以分别从等离子体屏蔽壁1c-4c向外侧延伸(突出)的方式设置有多个安装部5，其用于例如使用螺栓将第一至第四构成部件1-4安装于保持部件20。
图4是示出在本发明中使用的保持部件的例子的主视图，是从放电空间侧观察的图。
在本例中，保持部件20固定在图1所示的溅射装置40内，在保持部件20的放电空间9侧安装有防附着主体部件10的第一至第四构成部件1-4。
如图4所示，本例的保持部件20形成为矩形框状。
该保持部件20使用刚性高的板材一体地形成，设有开口部20a，该开口部20a具有比上述防附着主体部件10的外径稍大的外径，并且具有比防附着主体部件10的开口部10a稍大的内径。
保持部件20由与防附着主体部件10的第一至第四构成部件1-4对应的第一至第四框部11-14构成。即，在保持部件20的上下设有沿水平方向延伸的第一框部11及第二框部12，在第一框部11及第二框部12之间，在保持部件20的左右设有沿铅垂方向延伸的第三框部13及第四框部14。
以下，将防附着主体部件20的第一框部1及第二框部12的长度方向适当地称为“X轴方向”，将第三框部13及第四框部14的长度方向适当地称为“Z轴方向”。
在保持部件20的第一至第四框部11-14的图1所示的放电空间9侧的面，即表侧面，设有与防附着主体部件10的第一至第四构成部件1-4的勾挂部1A-4A对应的第一至第四钩部11A-14A。
在本例中，在保持部件20的上侧的第一框部11设置有第一钩部11A，并且在下侧的第二框部12设置有第二钩部12A。
另一方面，在保持部件20的从图1所示的放电空间9侧观察时左侧的第三框部13设有第三钩部13A，并且在从该放电空间9侧观察时右侧的第四框部14设有第四钩部14A。
保持部件20的第一至第四钩部11A-14A分别具有后述的固定用钩11a和移动用钩11b，这些固定用钩11a和移动用钩11b沿着保持部件20的第一至第四框部11-14的长度方向例如直线状地排列设置成一列。
在本发明中优选地，分别在保持部件20的第一至第四框部11-14的中央部分设置固定用钩11a，并且相对于该固定用钩11a在第一至第四框部11-14的两端部侧设置移动用钩11b。
在本发明的情况下，虽然未特别限定，但从防止防着部件30的翘曲的观点出发，优选地，相对于在上述第一至第四框部11-14的中央部分设置的固定用钩11a，以分别关于第一至第四框部11-14的长度方向呈线对称的方式设置多个移动用钩11b。
在本例中，分别在第一至第四框部11-14的中央部分设有一个固定用钩11a，并且相对于固定用钩11a在第一至第四框部11-14的两端部侧的成为该线对称的位置，设有多个(在本例中分别为两个)移动用钩11b。
这些固定用钩11a和移动用钩11b分别设置在与上述防附着主体部件10的固定用勾挂部1a和移动用勾挂部1b(上方侧移动用勾挂部1ba、下方侧移动用勾挂部1bb)对应的位置。
图5(a)是示出防附着主体部件的第一及第二构成部件中的固定用勾挂部和保持部件的第一及第二框部中的固定用钩的结构的说明图，图5(b)是示出防附着主体部件的第一及第二构成部件中的移动用勾挂部和保持部件的第一及第二框部中的移动用钩的结构的说明图。
图6(a)至(d)是示出使防附着主体部件的第一和第二构成部件被保持部件的第一和第二框部保持的情况下的主要部分的结构和动作的剖视图。
如图4及图5(a)、(b)所示，在本例中，保持部件20的第一及第二框部11、12中的固定用钩11a和移动用钩11b分别配置于在保持部件20的第一及第二框部11、12设置的固定用钩用凹部21a和移动用钩用凹部21b内。
这些固定用钩用凹部21a和移动用钩用凹部21b形成为：对于保持部件20的第一及第二框部11、12各自的X轴方向的长度，都是下方侧的部分的长度比上方侧的部分的长度更长。
而且，固定用钩11a和移动用钩11b都配置在固定用钩用凹部21a和移动用钩用凹部21b的下方侧的部分。
此外，第一及第二框部11、12的固定用钩11a形成为例如长方体形状，在其上部形成有例如以高度朝向固定用钩用凹部21a的底部侧变低的方式倾斜的平面状的支承面11a1(参照图6(a))。
另外，第一及第二框部11、12的移动用钩11b形成为例如长方体形状，在其上部，例如在远离移动用钩用凹部21b的底部的一侧的部分，形成有向上方突出的钩突部11b1(参照图6(b))。
另外，在该移动用钩11b的钩突部11b1与移动用钩用凹部21b的底部之间，形成有平坦的支承部11b2。
在本例中，防附着主体部件10的第一及第二构成部件1、2中的固定用勾挂部1a和移动用勾挂部1b构成为：在使防附着主体部件10被保持部件20保持的情况下，在保持部件20的第一及第二框部11、12中，都配置在固定用钩用凹部21a和移动用钩用凹部21b的上方侧部分(参照图5(a)、(b))。
在此，防附着主体部件10的第一和第二构成部件1、2的固定用勾挂部1a如图5(a)所示，其X轴方向的长度(d1)设定成在保持部件20的第一和第二构成部件1、2中的固定用钩用凹部21a的上方侧的部分中为X轴方向的长度(d)以下，分别能够插入(压入)固定用钩用凹部21a内(d1≤d)。
由此，防附着主体部件10的第一及第二构成部件1、2的固定用勾挂部1a在分别配置于保持部件20的第一及第二框部11、12的固定用钩用凹部21a内的情况下，分别以紧贴状态与固定用钩用凹部21a的X轴方向两侧的壁部21ah接触，由此成为在固定用钩用凹部21a内不能分别沿X轴方向移动的状态。
在此，防附着主体部件10的第一及第二构成部件1、2的固定用勾挂部1a在其下部分设置有能够与上述第一及第二框部11、12的固定用钩11a的支承面11a1紧贴的平面状的抵接面1a1(参照图6(a))。
另一方面，上述防附着主体部件10的第一和第二构成部件1、2的移动用勾挂部1b如图5(b)所示，其X轴方向的长度(d2)设定为分别小于保持部件20的第一及第二框部11、12中的移动用钩用凹部21b的上方侧的部分的X轴方向的长度(D)(d2＜D)。
由此，防附着主体部件10的第一及第二构成部件1、2的移动用勾挂部1b在配置于保持部件20的第一及第二框部11、12的移动用钩用凹部21b内的情况下，在各移动用勾挂部1b的X轴方向的两端部与移动用钩用凹部21b的上方侧的两侧的壁部21bh之间形成有间隙21，因而成为如下状态：分别不与移动用钩用凹部21b的X轴方向的两侧的壁部21bh接触，而能够在移动用钩用凹部21b内分别沿X轴方向移动。
在此，防附着主体部件10的第一及第二构成部件1、2的移动用勾挂部1b在其下部分设有能够与上述第一及第二框部11、12的移动用钩11b的钩突部11b1啮合的突出部1b1(参照图6(b))。
此外，防附着主体部件10的第一及第二构成部件1、2的移动用勾挂部1b如后所述构成为：即使在勾挂于保持部件20的第一及第二框部11、12的移动用钩11b的状态下，也成为能够分别沿X轴方向移动的状态。
在这样的结构中，在使防附着主体部件10的第一和第二构成部件1、2被保持部件20的第一及第二框部11、12保持的情况下，进行以下的动作。
首先，例如如图6(a)所示，使防附着主体部件10的背侧面与保持部件20的表侧面相向，如图6(c)所示，将防附着主体部件10的第一及第二构成部件1、2的背侧面的各固定用勾挂部1a插入保持部件20的第一及第二框部11、12的表侧面的固定用钩用凹部21a内，使各自的抵接面1a1抵接并勾挂于固定用钩11a的支承面11a1。
在此，防附着主体部件10的第一及第二构成部件1、2的各固定用勾挂部1a的抵接面1a1以紧贴状态被保持部件20的第一及第二框部11、12的固定用钩11a的倾斜的支承面11a1支承。
在该情况下，如上所述，分别配置在保持部件20的第一及第二框部11、12的固定用钩用凹部21a内的防附着主体部件10的第一及第二构成部件1、2的固定用勾挂部1a如图5(a)所示，以紧贴状态与固定用钩用凹部21a的X轴方向的两侧的壁部21ah接触，因而成为在固定用钩用凹部21a内不能分别沿X轴方向移动的状态。
进而，与上述的动作同时地，如图6(b)所示，使防附着主体部件10的背侧面与保持部件20的表侧面相向，如图6(d)所示，将防附着主体部件10的第一及第二构成部件1、2的背侧面的各移动用勾挂部1b插入保持部件20的第一及第二框部11、12的表侧面的移动用钩用凹部21b内，将各个移动用勾挂部1b勾挂于移动用钩11b。
在该情况下，使防附着主体部件10的第一及第二构成部件1、2的各移动用勾挂部1b的突出部1b1进入与保持部件20的第一及第二框部11、12的移动用钩11b的移动用钩用凹部21b的底部之间，使防附着主体部件10的移动用勾挂部1b的突出部1b1和保持部件20的移动用钩11b的钩突部11b1啮合(参照后述的图9及图10)。
另外，在该状态下，防附着主体部件10的第一及第二构成部件1、2的移动用勾挂部1b的突出部1b1的前端部可以与保持部件20的第一及第二框部11、12的移动用钩11b的支承部11b2接触，也可以不接触。
通过以上的工序，使防附着主体部件10的第一及第二构成部件1、2被保持部件20的第一及第二框部11、12保持的工序结束。
图7(a)是示出防附着主体部件的第三及第四构成部件中的固定用勾挂部和保持部件的第三及第四框部中的固定用钩的结构的说明图，图7(b)是示出防附着主体部件的第三及第四构成部件中的移动用勾挂部和保持部件的第三及第四框部中的移动用钩的结构的说明图。
图8(a)至(d)是示出使防附着主体部件的第三及第四构成部件被保持部件的第三及第四框部保持的情况下的主要部分的结构和动作的剖视图。
图9是示出本发明所涉及的防附着部件的例子的主视图，是从放电空间侧观察的图，图10是图9的B-B线立体剖视图。
如图4及图7(a)、(b)所示，在本例中，保持部件20的第三及第四框部13、14中的固定用钩11a和移动用钩11b分别配置于在保持部件20的第三及第四框部13、14设置的固定用钩用凹部21a和移动用钩用凹部21b内。
在本例的情况下，在保持部件20的第三及第四框部13、14设置的固定用钩11a具有与在保持部件20的第一及第二框部11、12设置的固定用钩11a相同的基本结构。
第三及第四框部13、14的固定用钩用凹部21a和移动用钩用凹部21b形成为：关于保持部件20的第三及第四框部13、14各自的X轴方向的长度，都是下方侧的部分的长度比上方侧的部分的长度更长。
而且，固定用钩11a和移动用钩11b都配置在固定用钩用凹部21a和移动用钩用凹部21b的下方侧的部分。
另外，第三及第四框部13、14的固定用钩11a形成为例如长方体形状，在其上部形成有例如以高度朝向固定用钩用凹部21a的底部侧变低的方式倾斜的平面状的支承面11a1(参照图8(a))。
另外，第三及第四框部13、14的移动用钩11b形成为例如长方体形状，在其上部，例如在远离移动用钩用凹部21b的底部的一侧的部分，形成有向上方突出的钩突部11b1(参照图8(b))。
另外，在该移动用钩11b的钩突部11b1与移动用钩用凹部21b的底部之间，形成有平坦的支承部11b2。
在本例中，防附着主体部件10的第三及第四构成部件3、4中的固定用勾挂部1a和上方侧移动用勾挂部1ba、下方侧移动用勾挂部1bb构成为：在使防附着本体部件10被保持部件20保持的情况下，在保持部件20的第三及第四框部13、14中，都配置在固定用钩用凹部21a和移动用钩用凹部21b的Z轴上方侧的部分(参照图7(a)、(b)以及图9)。
在此，防附着主体部件10的第三及第四构成部件3、4的固定用勾挂部1a如图7(a)所示，其X轴方向的长度(d1)设定成在保持部件20的第三及第四构成部件13、14中的固定用钩用凹部21a的上方侧的部分中为X轴方向的长度(d)以下，为能够分别插入(压入)固定用钩用凹部21a内的长度(d1≤d)。
由此，防附着主体部件10的第三及第四构成部件3、4的固定用勾挂部1a在分别配置在保持部件20的第三及第四框部13、14的固定用钩用凹部21a内的情况下，分别以紧贴状态与固定用钩用凹部21a的X轴方向的两侧的壁部21ah接触，由此成为在固定用钩用凹部21a内不能分别沿X轴方向移动的状态。
在此，防附着主体部件10的第三及第四构成部件3、4的固定用勾挂部1a在其下部分设置有能够与保持部件20的第三及第四框部13、14的固定用钩11a的支承面11a1紧贴的平面状的抵接面1a1(参照图8(a))。
此外，在本例中构成为：在防附着主体部件10的第三及第四构成部件3、4的固定用勾挂部1a的抵接面1a1与保持部件20的第三及第四框部13、14的固定用钩用凹部11a的支承面11a1紧贴并被支承的情况下，防附着本体部件10的第三及第四构成部件3、4的全部载荷被保持部件20的第三及第四框部13、14的固定用钩11a分别支承。
另一方面，本例的防附着主体部件10的第三及第四构成部件3、4的上方侧移动用勾挂部1ba及下方侧移动用勾挂部1bb如图7(b)所示，其X轴方向的长度(d2)设定成在保持部件20的第三及第四框部13、14中的移动用钩用凹部21b的上方侧的部分中为X轴方向的长度(d)以下，为能够插入(压入)移动用钩用凹部21b内的长度(d2≤d)。
所以，在本例的情况下，防附着主体部件10的第三及第四构成部件3、4的上方侧移动用勾挂部1ba及下方侧移动用勾挂部1bb在分别配置在保持部件20的第三及第四框部13、14的移动用钩用凹部21b内的情况下，以分别与移动用钩用凹部21a的X轴方向的两侧的壁部21bh紧贴的状态接触，由此成为在移动用钩用凹部21b内不能分别沿X轴方向移动的状态。
另一方面，在本例中，在溅射等真空处理时施加热的情况下，位于防附着主体部件10的第三及第四构成部件3、4的中央部的固定用勾挂部1a沿Z轴方向几乎不伸长，没有影响，但是防附着主体部件10的第三及第四构成部件3、4沿Z轴方向伸长，因而考虑该情况，采用如下的构成。
首先，在将防附着主体部件10的上方侧及下方侧移动用勾挂部1ba、1bb勾挂在保持部件20的移动用钩11b的情况下，如图8(d)所示，防附着主体部件10的第三及第四构成部件3、4的上方侧及下方侧移动用勾挂部1ba、1bb的突出部1b1分别进入与保持部件20的第三及第四框部13、14的移动用钩11b的移动用钩用凹部21b的底部之间，上方侧及下方侧移动用勾挂部1ba、1bb的突出部1b1与保持部件20的移动用钩11b的钩突部11b1啮合。
如果在这样的状态下，真空处理时的热施加于防附着主体部件10的第三及第四构成部件3、4，那么相对于第三及第四构成部件3、4的中央部，上方侧的部分向Z轴上方侧伸长，由此上方侧移动用勾挂部1ba也向Z轴上方侧伸长。
其结果是，防附着主体部件10的上方侧移动用勾挂部1ba的突出部1b1的前端部从保持部件20的移动用钩11b的支承部11b2离开，它们的间隔扩大。
所以，在本例中，在不对防附着主体部件10施加热的状态下，能够采用上方侧移动用勾挂部1ba的突出部1b1的前端部相对于保持部件20的移动用钩11b的支承部11b2接触的结构或者分离的结构中的任一种。
但是优选地，事先适当地设定防附着主体部件10的上方侧移动用勾挂部1ba的突出部1b1和保持部件20的移动用钩11b的钩突部11b1的形状、尺寸，使得在对防附着主体部件10施加了热的情况下，上方侧移动用勾挂部1ba的突出部1b1与保持部件20的移动用钩11b的钩突部11b1的啮合不脱离。
另一方面，在对防附着主体部件10施加了热的情况下，相对于第三及第四构成部件3、4的中央部，下方侧的部分向Z轴下方侧伸长，由此下方侧移动用勾挂部1bb也向Z轴下方侧伸长，从而其前端部向Z轴下方移动。
所以，在本例中优选地，事先适当地设定防附着主体部件10的下方侧移动用勾挂部1bb的突出部1b1和保持部件20的移动用钩11b的钩突部11b1和支承部11b2的形状、尺寸，使得在对防附着主体部件10施加了热的情况下，下方侧移动用勾挂部1bb的突出部1b1的前端部与保持部件20的移动用钩11b的支承部11b2抵接而不按压其，在对防附着本体部件10不施加热的状态下，下方侧移动用勾挂部1bb的突出部1b1的前端部相对于保持部件20的移动用钩11b的支承部11b2以既定距离分离。
在这样的结构中，在使防附着主体部件10的第三及第四构成部件3、4被保持于保持部件20的第三及第四框部13、14的情况下，进行以下的动作。
首先，例如如图8(a)所示，使防附着主体部件10的背侧面与保持部件20的表侧面相向，如图8(c)所示，将防附着主体部件10的第三及第四构成部件3、4的背侧面的各固定用勾挂部1a插入保持部件20的第三及第四框部13、14的表侧面的固定用钩用凹部21a内，使各自的抵接面1a1抵接并勾挂于固定用钩11a的支承面11a1。
在此，防附着主体部件10的第三及第四构成部件3、4的各固定用勾挂部1a的抵接面1a1以紧贴状态被保持部件20的第三及第四框部13、14的固定用钩11a的倾斜的支承面11a1支承。
在该情况下，如上所述，分别配置在保持部件20的第三及第四框部13、14的固定用钩用凹部21a内的防附着主体部件10的第三及第四构成部件3、4的固定用勾挂部1a如图7(a)所示，以紧贴状态与固定用钩用凹部21a的X轴方向的两侧的壁部21ah接触，因而成为在固定用钩用凹部21a内不能分别沿X轴方向移动的状态。
进而，与上述的动作同时地，如图8(b)所示，使防附着主体部件10的背侧面与保持部件20的表侧面相向，如图8(d)所示，将防附着主体部件10的第三及第四构成部件3、4的背侧面的上方侧及下方侧移动用勾挂部1ba、1bb插入保持部件20的第三及第四框部13、14的表侧面的移动用钩用凹部21b内，将各个上方侧及下方侧移动用勾挂部1ba、1bb勾挂于移动用钩11b。
在该情况下，防附着主体部件10的第三及第四构成部件3、4的上方侧及下方侧移动用勾挂部1ba、1bb的突出部1b1进入与保持部件20的第三及第四框部13、14的移动用钩11b的移动用钩用凹部21b的底部之间，使防附着主体部件10的上方侧及下方侧移动用勾挂部1ba、1bb的突出部1b1与保持部件20的移动用钩11b的钩突部11b1啮合。
通过以上的工序，使防附着主体部件10的第三及第四构成部件3、4被保持部件20的第三及第四框部13、14保持的工序结束。
然后，在防附着主体部件10的安装部5中，例如通过螺钉(未图示)的紧固使防附着主体部件10紧贴固定并保持于保持部件20。
由此，如图9所示，得到本实施方式的防附着部件30。
在以上所述的本实施方式中，由于在防附着主体部件10的第一至第四构成部件1-4中的、与真空槽6内的放电空间9相向的面相反侧的面上，分别设有用于勾挂并安装于在保持部件20设置的第一至第四钩部11A-14A的第一至第四勾挂部1A-4A，因而不需要为了使防附着本体部件10被保持部件20保持而像现有技术那样使用多个带盖的螺栓。
其结果是，根据本实施方式，能够减少防附着部件30的放电空间9侧的面的凹凸部而减小其表面积，因而能够抑制在真空处理时附着的成膜材料等从防附着部件30的表面剥离所引起的微粒的产生。
在本实施方式中，防附着主体部件10的第一至第四构成部件1-4形成为细长形状，第一至第四构成部件1-4的第一至第四勾挂部1A-4A具有：固定用勾挂部1a，其在防附着主体部件10被保持部件20保持的状态下，勾挂于在保持部件20的第一至第四钩部11A-14A设置的固定用钩11a，使得第一至第四构成部件1-4不沿长度方向移动；以及移动用勾挂部1b(上方侧移动用勾挂部1ba、下方侧移动用勾挂部1bb)，其在第一至第四构成部件1-4能够沿长度方向移动的状态下，勾挂于在保持部件20的第一至第四钩部11A-14A设置的移动用钩部11b，由于固定用勾挂部1a设置在第一至第四构成部件1-4的中央部分，并且移动用勾挂部1b(上方侧移动用勾挂部1ba、下方侧移动用勾挂部1bb)相对于固定用勾挂部1a设置在第一至第四构成部件1-4的两端部侧，因而在第一至第四构成部件1-4因溅射等真空处理时的热而伸长的情况下，防附着主体部件10的移动用勾挂部1b(上方侧移动用勾挂部1ba、下方侧移动用勾挂部1bb)能够在勾挂于保持部件20的移动用钩11b的状态下分别沿第一至第四构成部件1-4的长度方向移动。
其结果是，根据本实施方式，在第一至第四构成部件1-4分别因真空处理时产生的热而伸长的情况下，分别以第一至第四构成部件1-4的中央部分为基准向两端部侧均等地伸长，因而能够抑制真空处理时的防附着部件30的翘曲、变形。
另外，在本实施方式中，由于在防附着主体部件10的第一至第四构成部件1-4的周缘部设置有向与真空槽6的放电空间9相向的面侧延伸的等离子体屏蔽用的壁部1c-4c，因而能够减少附着在防附着部件30的放电空间9侧的面的成膜材料等物质的量，因而能够进一步抑制该物质从防附着部件30的表面剥离所引起的微粒的产生。
进而，在本实施方式中，在防附着主体部件10的各构成部件的周缘部，以从等离子体屏蔽壁1c-4c向外侧延伸的方式设置有相对于保持部件20的安装部5，因而即使在安装部5中使用螺钉将防附着主体部件10安装于保持部件20的情况下，在真空处理时产生的物质也被设于防附着主体部件10的等离子体屏蔽壁1c-4c屏蔽，能够防止防附着主体部件10向安装部5的附着，因而能够进一步抑制该物质从防附着部件30的表面剥离所引起的微粒的产生。
此外，本发明不限于上述实施方式，而能够进行各种变更。例如，关于防附着主体部件10的固定用勾挂部1a的形状、以及移动用勾挂部1b、上方侧移动用勾挂部1ba、下方侧移动用勾挂部1bb的形状及数量，不限于上述实施方式，而能够适当地变更。
另外，关于保持部件20的固定用钩11a的形状、以及移动用钩11b的形状和数量，也不限于上述实施方式，而能够适当地变更。
进而，虽然上述实施方式以适用于溅射装置的情况为例进行了说明，但本发明不限于此，而能够适用于各种真空处理装置。
符号说明
1 第一构成部件
1A 勾挂部
1a 固定用勾挂部
1b 移动用勾挂部
1ba上方侧移动用勾挂部
1bb下方侧移动用勾挂部
1c 等离子体屏蔽壁(等离子体屏蔽用的壁部)
2 第二构成部件
2A 勾挂部
2c 等离子体屏蔽壁
3 第三构成部件
3A 勾挂部
3c 等离子体屏蔽壁
4 第四构成部件
4A 勾挂部
4c 等离子体屏蔽壁
5 安装部
6 真空槽
7 溅射靶材
8 基板(处理对象物)
10 防附着主体部件
11 第一框部
11a 固定用钩
11b 移动用钩
11A 第一钩部
12 第二框部
12A 第二钩部
13 第三框部
13A 第三钩部
14 第四框部
14A 第四钩部
20 保持部件
21a 固定用钩用凹部
21b 移动用钩用凹部
30 防附着部件
40 溅射装置(真空处理装置)。

Claims (5)

1.一种防止在真空处理时产生的物质向真空槽内附着的防附着部件，具备：
框状的防附着主体部件；以及
保持所述防附着主体部件的保持部件，
所述防附着主体部件具有在处理对象物的周围设置的多个板状的构成部件，并且所述多个板状的构成部件在与所述真空槽内的放电空间相向的面相反侧的面上分别设置有勾挂部，所述勾挂部用于勾挂并安装于在所述保持部件设置的多个钩部，所述防附着主体部件的各构成部件形成为细长形状，该各构成部件的勾挂部具有：固定用勾挂部，其在该防附着主体部件被所述保持部件保持的状态下，勾挂于在所述保持部件的钩部设置的固定用钩，使得所述各构成部件不沿长度方向移动；以及移动用勾挂部，其在所述各构成部件能够沿长度方向移动的状态下勾挂于在所述保持部件的钩部设置的移动用钩，所述固定用勾挂部设置在该各构成部件的中央部分，并且所述移动用勾挂部相对于所述固定用勾挂部设置在该构成部件的两端部侧。
2.根据权利要求1所述的防附着部件，其中，在所述防附着主体部件的各构成部件的周缘部，设置有向与所述真空槽的放电空间相向的面侧延伸的等离子体屏蔽用的壁部。
3.根据权利要求2所述的防附着部件，其中，在所述防附着主体部件的各构成部件的周缘部，以相对于所述等离子体屏蔽用的壁部向外侧延伸的方式设置有相对于所述保持部件的安装部。
4.一种构成为对配置在防附着部件附近的处理对象物进行规定的真空处理的真空处理装置，具备：
真空槽；以及
所述防附着部件，其设置在所述真空槽内，防止在真空处理时产生的物质向真空槽内附着，
所述防附着部件具有框状的防附着主体部件和保持所述防附着主体部件的保持部件，
所述防附着主体部件具有在处理对象物的周围设置的多个板状的构成部件，
所述多个板状的构成部件在与所述真空槽内的放电空间相向的面相反侧的面上分别设有勾挂部，所述勾挂部用于勾挂并安装于在所述保持部件设置的多个钩部，
所述防附着主体部件的各构成部件形成为细长形状，该各构成部件的勾挂部具有：固定用勾挂部，其在该防附着主体部件被所述保持部件保持的状态下，勾挂于在所述保持部件的钩部设置的固定用钩，使得所述各构成部件不沿长度方向移动；以及移动用勾挂部，其在所述各构成部件能够沿长度方向移动的状态下勾挂于在所述保持部件的钩部设置的移动用钩，所述固定用勾挂部设置在该各构成部件的中央部分，并且所述移动用勾挂部相对于所述固定用勾挂部设置在该构成部件的两端部侧。
5.根据权利要求4所述的真空处理装置，构成为：具有配置有溅射靶材的所述真空槽，对配置在所述防附着部件附近的处理对象物进行溅射。
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