KR102412175B1 - 방착 부재 및 진공 처리 장치 - Google Patents

방착 부재 및 진공 처리 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 진공 처리시에 방전 공간에 배치되는 방착 부재로부터 발생하는 파티클을 억제할 수 있는 기술을 제공하는 것이다.
본 발명은, 진공 처리시에 발생하는 물질의 진공조 내에 대한 부착을 방지하는 방착 부재 (30) 로서, 프레임상의 방착 본체 부재 (10) 와, 방착 본체 부재 (10) 를 유지하는 유지 부재 (20) 를 구비한다. 방착 본체 부재 (10) 는, 기판의 주위에 형성되는 판상의 제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 를 가짐과 함께, 제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 는, 진공조 내의 방전 공간에 대향하는 면과 반대측의 면에, 유지 부재 (20) 에 형성된 제 1 ∼ 제 4 후크부에 걸어 장착하기 위한 제 1 ∼ 제 4 걸침부가 각각 형성되어 있다.

Description

방착 부재 및 진공 처리 장치
본 발명은, 예를 들어 스퍼터링 장치 등의 진공 처리 장치에 사용하는 방착 (防着) 부재의 기술에 관한 것이다.
종래, 이러한 종류의 진공 처리 장치에 있어서는, 스퍼터링 등의 진공 처리를 실시할 때에 진공조 내의 벽면 등에 대한 성막 재료 등의 부착을 방지하기 위해, 판상의 방착 부재가 형성되어 있다.
이 방착 부재는, 예를 들어 스퍼터링 장치와 같은 플라즈마 처리를 실시하는 방전 공간의 기판의 근방에 형성되어 있다.
이 경우, 방착 부재는 진공조 내에 있어서 기판과 평행한 방향을 향해 예를 들어 프레임상의 유지 부재에 장착된다.
종래, 이와 같은 방착 부재는, 다수의 볼트를 사용하여 유지 부재에 장착되어 있다.
그러나, 유지 부재에 장착된 방착 부재에 있어서는, 다양한 과제가 있다.
즉, 스퍼터링 등의 성막시에는 방착 부재에 대해서도 성막 재료가 부착된다. 그 때에는 볼트의 표면에도 성막 재료가 부착되어 파티클 발생의 원인이 된다. 이 때문에, 각 볼트에 대해 성막 재료의 부착을 방지하기 위한 캡을 장착하도록 하고 있지만, 이 캡에 부착된 성막 재료도 파티클 발생의 원인이 된다.
또, 방착 부재는 유지 부재에 대해 다수의 볼트를 사용하여 방전 공간측으로부터 장착되어 있으므로, 방전시의 열에 의한 방착 부재의 신장에서 기인하여 유지 부재와의 사이에서 마찰이 생기고, 이로 인해 파티클이 발생해 버린다.
일본 공개특허공보 평4-78132호 일본 공개특허공보 평10-060624호 일본 공개특허공보 2004-315948호 국제 공개공보 2006-067836호
본 발명은, 이와 같은 종래 기술의 과제를 고려하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 바는, 진공 처리시에 방전 공간에 배치되는 방착 부재로부터 발생하는 파티클을 억제할 수 있는 기술을 제공하는 것에 있다.
상기 목적을 달성하기 위해 이루어진 본 발명은, 진공 처리시에 발생하는 물질의 진공조 내에 대한 부착을 방지하는 방착 부재로서, 프레임상의 방착 본체 부재와, 상기 방착 본체 부재를 유지하는 유지 부재를 구비하고, 상기 방착 본체 부재는, 처리 대상물의 주위에 형성되는 복수의 판상의 구성 부재를 가짐과 함께, 상기 복수의 구성 부재는, 상기 진공조 내의 방전 공간에 대향하는 면과 반대측의 면에, 상기 유지 부재에 형성된 복수의 후크부에 걸어 장착하기 위한 걸침부가 각각 형성되어 있는 방착 부재이다.
본 발명에서는, 상기 방착 본체 부재의 각 구성 부재는 가늘고 긴 형상으로 형성되고, 당해 각 구성 부재의 걸침부는, 당해 방착 본체 부재가 상기 유지 부재에 유지된 상태에서, 상기 각 구성 부재가 길이 방향으로 이동하지 않도록 상기 유지 부재의 후크부에 형성된 고정용 후크에 걸리는 고정용 걸침부와, 상기 각 구성 부재가 길이 방향으로 이동 가능한 상태에서 상기 유지 부재의 후크부에 형성된 이동용 후크에 걸리는 이동용 걸침부를 갖고, 상기 고정용 걸침부가 당해 각 구성 부재의 중앙 부분에 형성됨과 함께, 상기 이동용 걸침부가 상기 고정용 걸침부에 대해 당해 구성 부재의 양 단부측에 형성되어 있는 경우에도 효과적이다.
본 발명에서는, 상기 방착 본체 부재의 각 구성 부재의 둘레 가장자리부에, 상기 진공조의 방전 공간에 대향하는 면측으로 연장되는 플라즈마 차폐용의 벽부가 형성되어 있는 경우에도 효과적이다.
본 발명에서는, 상기 방착 본체 부재의 각 구성 부재의 둘레 가장자리부에, 상기 플라즈마 차폐용의 벽부에 대해 외방측으로 연장되도록, 상기 유지 부재에 대한 장착부가 형성되어 있는 경우에도 효과적이다.
또, 본 발명은, 진공조와, 상기 진공조 내에 형성되고, 진공 처리시에 발생하는 물질의 진공조 내에 대한 부착을 방지하는 방착 부재를 구비하고, 상기 방착 부재는, 프레임상의 방착 본체 부재와, 상기 방착 본체 부재를 유지하는 유지 부재를 갖고, 상기 방착 본체 부재는, 처리 대상물의 주위에 형성되는 복수의 판상의 구성 부재를 갖고, 상기 복수의 구성 부재는, 상기 진공조 내의 방전 공간에 대향하는 면과 반대측의 면에, 상기 유지 부재에 형성된 복수의 후크부에 걸어 장착하기 위한 걸침부가 각각 형성되고, 상기 방착 부재의 근방에 배치된 처리 대상물에 대해 소정의 진공 처리를 실시하도록 구성되어 있는 진공 처리 장치이다.
본 발명에서는, 스퍼터링 타깃이 배치되는 상기 진공조를 갖고, 상기 방착 부재의 근방에 배치되는 처리 대상물에 대해 스퍼터링을 실시하도록 구성되어 있는 경우에도 효과적이다.
본 발명에 있어서는, 방착 본체 부재의 복수의 판상의 구성 부재에 있어서의, 진공조 내의 방전 공간에 대향하는 면과 반대측의 면에, 유지 부재에 형성된 복수의 후크부에 걸어 장착하기 위한 걸침부가 각각 형성되어 있는 점에서, 방착 본체 부재를 유지 부재에 유지시키기 위해 종래 기술과 같이 다수의 커버가 장착된 볼트를 사용할 필요가 없다.
그 결과, 본 발명에 의하면, 방착 부재의 방전 공간측의 면의 요철부를 줄여 그 표면적을 작게 할 수 있으므로, 진공 처리시에 부착된 성막 재료 등의 방착 부재의 표면으로부터의 박리에서 기인하는 파티클의 발생을 억제할 수 있다.
본 발명에 있어서, 방착 본체 부재의 각 구성 부재는 가늘고 긴 형상으로 형성되고, 당해 각 구성 부재의 걸침부는, 당해 방착 본체 부재가 유지 부재에 유지된 상태에서, 각 구성 부재가 길이 방향으로 이동하지 않도록 유지 부재의 후크부에 형성된 고정용 후크에 걸리는 고정용 걸침부와, 각 구성 부재가 길이 방향으로 이동 가능한 상태에서 유지 부재의 후크부에 형성된 이동용 후크에 걸리는 이동용 걸침부를 갖고, 고정용 걸침부가 당해 각 구성 부재의 중앙 부분에 형성됨과 함께, 이동용 걸침부가 고정용 걸침부에 대해 당해 구성 부재의 양 단부측에 형성되어 있는 경우에는, 스퍼터링 등의 진공 처리시의 열에 의해 복수의 구성 부재가 신장된 경우에, 방착 본체 부재의 이동용 걸침부는, 유지 부재의 이동용 후크에 건 상태에서 복수의 구성 부재의 길이 방향으로 각각 이동할 수 있다.
그 결과, 본 발명에 의하면, 진공 처리시에 발생한 열에 의해 복수의 구성 부재가 각각 신장되는 경우에, 각 구성 부재의 중앙 부분을 기준으로 하여 양 단부측으로 균등하게 신장되므로, 진공 처리시의 방착 부재의 휨이나 변형을 억제할 수 있다.
또, 본 발명에 있어서, 방착 본체 부재의 각 구성 부재의 둘레 가장자리부에, 진공조의 방전 공간에 대향하는 면측으로 연장되는 플라즈마 차폐용의 벽부가 형성되어 있는 경우에는, 방착 부재의 방전 공간측의 면에 부착되는 성막 재료 등의 물질의 양을 감소시킬 수 있으므로, 당해 물질의 방착 부재의 표면으로부터의 박리에서 기인하는 파티클의 발생을 보다 억제할 수 있다.
또한, 본 발명에 있어서, 방착 본체 부재의 각 구성 부재의 둘레 가장자리부에, 플라즈마 차폐용의 벽부로부터 외방측으로 연장되도록, 유지 부재에 대한 장착부가 형성되어 있는 경우에는, 장착부에 있어서 나사를 사용하여 방착 본체 부재를 유지 부재에 장착한 경우이더라도, 진공 처리시에 발생하는 물질이 방착 본체 부재에 형성한 플라즈마 차폐용의 벽부에 의해 차단되어, 방착 본체 부재의 장착부에 대한 부착을 방지할 수 있으므로, 당해 물질의 방착 부재의 표면으로부터의 박리에서 기인하는 파티클의 발생을 보다 억제할 수 있다.
도 1 은, 본 발명에 관련된 진공 처리 장치의 예인 스퍼터링 장치의 내부 구성을 나타내는 개략 구성도이다.
도 2 의 (a)(b) 는, 본 발명에 관련된 방착 부재의 방착 본체 부재의 예를 나타내는 개략 구성도로, 도 2(a) 는, 방전 공간측에서 본 정면도, 도 2(b) 는, 방전 공간측의 반대측에서 본 정면도이다.
도 3 의 (a)(b) 는, 동 (同) 방착 본체 부재의 예를 나타내는 개략 구성도로, 도 3(a) 는, 방전 공간측에서 본 정면도, 도 3(b) 는, 도 3(a) 의 A-A 선 단면도이다.
도 4 는, 본 발명에 사용하는 유지 부재의 예를 나타내는 정면도로, 방전 공간측에서 본 도면이다.
도 5 의 (a) 는, 방착 본체 부재의 제 1 및 제 2 구성 부재에 있어서의 고정용 걸침부와 유지 부재의 제 1 및 제 2 프레임부에 있어서의 고정용 후크의 구성을 나타내는 설명도이고, (b) 는, 방착 본체 부재의 제 1 및 제 2 구성 부재에 있어서의 이동용 걸침부와 유지 부재의 제 1 및 제 2 프레임부에 있어서의 이동용 후크의 구성을 나타내는 설명도이다.
도 6 의 (a) ∼ (d) 는, 방착 본체 부재의 제 1 및 제 2 구성 부재를 유지 부재의 제 1 및 제 2 프레임부에 유지시키는 경우의 주요부의 구성 및 동작을 나타내는 단면도이다.
도 7 의 (a) 는, 방착 본체 부재의 제 3 및 제 4 구성 부재에 있어서의 고정용 걸침부와 유지 부재의 제 3 및 제 4 프레임부에 있어서의 고정용 후크의 구성을 나타내는 설명도, (b) 는, 방착 본체 부재의 제 3 및 제 4 구성 부재에 있어서의 이동용 걸침부와 유지 부재의 제 3 및 제 4 프레임부에 있어서의 이동용 후크의 구성을 나타내는 설명도이다.
도 8 의 (a) ∼ (d) 는, 방착 본체 부재의 제 3 및 제 4 구성 부재를 유지 부재의 제 3 및 제 4 프레임부에 유지시키는 경우의 주요부의 구성 및 동작을 나타내는 단면도이다.
도 9 는, 본 발명에 관련된 방착 부재의 예를 나타내는 정면도로, 방전 공간측에서 본 도면이다.
도 10 은, 도 9 의 B-B 선 사시 단면도이다.
이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 1 은, 본 발명에 관련된 진공 처리 장치의 예인 스퍼터링 장치의 내부 구성을 나타내는 개략 구성도이다.
도 2(a)(b) 는, 본 발명에 관련된 방착 부재의 방착 본체 부재의 예를 나타내는 개략 구성도로, 도 2(a) 는, 방전 공간측에서 본 정면도, 도 2(b) 는, 방전 공간측의 반대측에서 본 정면도이다.
또, 도 3(a) 는, 동 방착 본체 부재의 예를 나타내는 개략 구성도로, 도 3(a) 는, 방전 공간측에서 본 정면도, 도 3(b) 는, 도 3(a) 의 A-A 선 단면도이다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 본 예의 방착 본체 부재 (10) 는, 진공 처리 장치인 스퍼터링 장치 (40) 에 사용하는 방착 부재 (30) 를 구성하는 것으로, 진공조 (6) 내의 기판 (8) (처리 대상물) 의 근방에 있어서 후술하는 유지 부재 (20) 에 유지된 상태로 배치된다.
여기서, 본 예에서는, 기판 (8) 및 스퍼터링 타깃 (이하, 「타깃」이라고 한다) (7) 을 대체로 연직 방향을 향해 대향 배치하고, 방착 본체 부재 (10) 는, 기판 (8) 과 타깃 (7) 사이의 방전 공간 (9) 에 대향하도록 형성된다.
이와 같은 구성을 갖는 스퍼터링 장치 (40) 에서는, 기판 (8) 과 타깃 (7) 사이에 스퍼터 가스를 도입하고, 타깃 (7) 에 부 (負) 전압을 인가하여 플라즈마 방전을 발생시킨다.
이로써, 부전하가 된 타깃 (7) 이 플라즈마 중의 이온에 의해 스퍼터되어, 타깃 (7) 표면으로부터 방출된 스퍼터 입자에 의해 기판 (8) 상에 막이 형성된다.
도 2(a) 는, 방착 본체 부재 (10) 의 표측면을 나타내는 것이고, 도 2(b) 에는, 방착 본체 부재 (10) 의 이측면이 나타내어져 있다.
도 2(a)(b) 에 나타내는 바와 같이, 본 예의 방착 본체 부재 (10) 는, 예를 들어 직선 판상의 제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 를 갖고, 개구부 (10a) 를 갖는 사각형 프레임상으로 형성되어 있다.
본 예의 방착 본체 부재 (10) 는, 예를 들어 알루미늄 (Al), 스테인리스, 티탄 (Ti) 으로 이루어지고, 통상은 연직 방향을 향한 상태로 배치된다.
여기서, 방착 본체 부재 (10) 는, 상하측에 배치되고 수평 방향으로 연장되는 제 1 구성 부재 (1) 및 제 2 구성 부재 (2) 와, 제 1 구성 부재 (1) 및 제 2 구성 부재 (2) 사이에 있어서 좌우측에 배치되고 연직 방향으로 연장되는 제 3 구성 부재 (3) 및 제 4 구성 부재 (4) 를 가지고 있다.
이하, 방착 본체 부재 (10) 의 제 1 구성 부재 (1) 및 제 2 구성 부재 (2) 의 길이 방향을 적절히 「X 축 방향」이라고 하고, 제 3 구성 부재 (3) 및 제 4 구성 부재 (4) 의 길이 방향을 적절히 「Z 축 방향」이라고 한다.
이들 제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 는, 진공 처리시에 있어서의 열에 의한 신장을 고려하여, 인접하는 부재의 양 단부끼리에 약간의 간극을 형성하여 배치된다.
제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 중 제 1 구성 부재 (1) 와 제 2 구성 부재 (2), 그리고, 제 3 구성 부재 (3) 와 제 4 구성 부재 (4) 는, 방착 본체 부재 (10) 의 중심점을 지나는 직선에 관하여 선 대칭의 형상으로 형성되어 배치된다.
그리고, 제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 는, 후술하는 기구에 의해 유지 부재 (20) 에 걸려 유지된다.
또한, 제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 의 각각의 둘레 가장자리부에는, 제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 의 도 1 에 나타내는 방전 공간 (9) 측 (표면측) 을 향해 예를 들어 수직으로 연장되도록 형성된 플라즈마 차폐벽 (플라즈마 차폐용의 벽부) (1c, 2c, 3c, 4c) 이 형성되어 있다.
본 예의 제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 의 이측면에는, 제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 를 각각 유지 부재 (20) 에 걸어 유지시키기 위한 걸침부 (1A, 2A, 3A, 4A) 가 형성되어 있다.
여기서, 제 1 및 제 2 구성 부재 (1, 2) 의 걸침부 (1A, 2A) 는, 후술하는 고정용 걸침부 (1a) 와 이동용 걸침부 (1b) 를 각각 갖고, 이들 고정용 걸침부 (1a) 와 이동용 걸침부 (1b) 는, 제 1 및 제 2 구성 부재 (1, 2) 의 길이 방향 (X 축 방향) 을 따라 예를 들어 직선상으로 일렬로 나란히 형성되어 있다.
한편, 제 3 및 제 4 구성 부재 (3, 4) 의 걸침부 (3A, 4A) 는, 후술하는 고정용 걸침부 (1a) 와, 상방측 이동용 걸침부 (1ba) 와, 하방측 이동용 걸침부 (1bb) 를 각각 갖고, 이들 고정용 걸침부 (1a) 와, 상방측 이동용 걸침부 (1ba) 와, 하방측 이동용 걸침부 (1bb) 는, 제 3 및 제 4 구성 부재 (3, 4) 의 길이 방향 (Z 축 방향) 을 따라 예를 들어 직선상으로 일렬로 나란히 형성되어 있다.
본 발명에 있어서는, 각각 제 1 및 제 2 구성 부재 (1, 2) 의 중앙 부분에 고정용 걸침부 (1a) 를 형성함과 함께, 이 고정용 걸침부 (1a) 에 대해 제 1 및 제 2 구성 부재 (1, 2) 의 양 단부측에 이동용 걸침부 (1b) 를 형성하는 것이 바람직하다.
또, 본 발명에 있어서는, 각각 제 3 및 제 4 구성 부재 (3, 4) 의 중앙 부분에 고정용 걸침부 (1a) 를 형성함과 함께, 이 고정용 걸침부 (1a) 에 대해 제 3 및 제 4 구성 부재 (3, 4) 의 양 단부측에 상방측 이동용 걸침부 (1ba), 하방측 이동용 걸침부 (1bb) 를 형성하는 것이 바람직하다.
본 발명의 경우, 특별히 한정되는 경우는 없지만, 방착 부재 (30) 의 휨을 방지하는 관점 및 고정 위치에 대해 각 단부의 이동량을 줄이는 관점에서는, 제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 의 중앙 부분에 형성되는 고정용 걸침부 (1a) 에 대해, 각각 제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 의 길이 방향과 직교하는 직선 (도시 생략) 에 관하여 선 대칭이 되도록 복수의 이동용 걸침부 (1b) (상방측 이동용 걸침부 (1ba), 하방측 이동용 걸침부 (1bb)) 를 형성하는 것이 바람직하다.
본 예에서는, 각각 제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 의 중앙 부분에 1 개의 고정용 걸침부 (1a) 가 형성됨과 함께, 고정용 걸침부 (1a) 에 대해 제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 의 양 단부측의 당해 선 대칭이 되는 위치에 복수 (본 예에서는 각각 2 개) 의 이동용 걸침부 (1b) (상방측 이동용 걸침부 (1ba), 하방측 이동용 걸침부 (1bb)) 가 형성되어 있다.
또한, 제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 에 형성된 고정용 걸침부 (1a) 및 이동용 걸침부 (1b) (상방측 이동용 걸침부 (1ba), 하방측 이동용 걸침부 (1bb)) 는, 예를 들어 장방체 형상으로 형성되고, 각각 동등한 폭 및 길이를 가지고 있다.
한편, 제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 의 둘레 가장자리부에는, 제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 를 유지 부재 (20) 에 예를 들어 볼트를 사용하여 장착하기 위한 복수의 장착부 (5) 가, 각각 플라즈마 차폐벽 (1c ∼ 4c) 으로부터 외방측으로 연장 (돌출) 되도록 형성되어 있다.
도 4 는, 본 발명에 사용하는 유지 부재의 예를 나타내는 정면도로, 방전 공간측에서 본 것이다.
본 예에서는, 유지 부재 (20) 는, 도 1 에 나타내는 스퍼터링 장치 (40) 내에 고정되고, 유지 부재 (20) 의 방전 공간 (9) 측에 방착 본체 부재 (10) 의 제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 가 장착된다.
도 4 에 나타내는 바와 같이, 본 예의 유지 부재 (20) 는, 사각형 프레임상으로 형성되어 있다.
이 유지 부재 (20) 는, 강성이 높은 판재를 사용하여 일체적으로 형성되고, 상기 서술한 방착 본체 부재 (10) 의 외경보다 약간 큰 외경을 가짐과 함께, 방착 본체 부재 (10) 의 개구부 (10a) 보다 약간 큰 내경을 갖는 개구부 (20a) 가 형성되어 있다.
유지 부재 (20) 는, 방착 본체 부재 (10) 의 제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 에 대응하는 제 1 ∼ 제 4 프레임부 (11 ∼ 14) 로 구성되어 있다. 즉, 유지 부재 (20) 의 상하에 수평 방향으로 연장되는 제 1 프레임부 (11) 및 제 2 프레임부 (12) 가 형성되고, 제 1 프레임부 (11) 및 제 2 프레임부 (12) 의 사이에 있어서 유지 부재 (20) 의 좌우에 연직 방향으로 연장되는 제 3 프레임부 (13) 및 제 4 프레임부 (14) 가 형성되어 있다.
이하, 유지 부재 (20) 의 제 1 프레임부 (11) 및 제 2 프레임부 (12) 의 길이 방향을 적절히 「X 축 방향」이라고 하고, 제 3 프레임부 (13) 및 제 4 프레임부 (14) 의 길이 방향을 적절히 「Z 축 방향」이라고 한다.
유지 부재 (20) 의 제 1 ∼ 제 4 프레임부 (11 ∼ 14) 의 도 1 에 나타내는 방전 공간 (9) 측의 면 즉 표측면에는, 방착 본체 부재 (10) 의 제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 의 걸침부 (1A ∼ 4A) 에 대응하는 제 1 ∼ 제 4 후크부 (11A ∼ 14A) 가 형성되어 있다.
본 예에서는, 유지 부재 (20) 의 상측의 제 1 프레임부 (11) 에 제 1 후크부 (11A) 가 형성됨과 함께, 하측의 제 2 프레임부 (12) 에 제 2 후크부 (12A) 가 형성되어 있다.
한편, 유지 부재 (20) 의 도 1 에 나타내는 방전 공간 (9) 측에서 보아 좌측의 제 3 프레임부 (13) 에는 제 3 후크부 (13A) 가 형성됨과 함께, 동 방전 공간 (9) 측에서 보아 우측의 제 4 프레임부 (14) 에는 제 4 후크부 (14A) 가 형성되어 있다.
유지 부재 (20) 의 제 1 ∼ 제 4 후크부 (11A ∼ 14A) 는, 후술하는 고정용 후크 (11a) 와 이동용 후크 (11b) 를 각각 갖고, 이들 고정용 후크 (11a) 와 이동용 후크 (11b) 는, 유지 부재 (20) 의 제 1 ∼ 제 4 프레임부 (11 ∼ 14) 의 길이 방향을 따라 예를 들어 직선상으로 일렬로 나란히 형성되어 있다.
본 발명에 있어서는, 각각 유지 부재 (20) 의 제 1 ∼ 제 4 프레임부 (11 ∼ 14) 의 중앙 부분에 고정용 후크 (11a) 를 형성함과 함께, 이 고정용 후크 (11a) 에 대해 제 1 ∼ 제 4 프레임부 (11 ∼ 14) 의 양 단부측에 이동용 후크 (11b) 를 형성하는 것이 바람직하다.
본 발명의 경우, 특별히 한정되는 경우는 없지만, 방착 부재 (30) 의 휨을 방지하는 관점에서는, 상기 서술한 제 1 ∼ 제 4 프레임부 (11 ∼ 14) 의 중앙 부분에 형성되는 고정용 후크 (11a) 에 대해, 각각 제 1 ∼ 제 4 프레임부 (11 ∼ 14) 의 길이 방향에 관하여 선 대칭이 되도록 복수의 이동용 후크 (11b) 를 형성하는 것이 바람직하다.
본 예에서는, 각각 제 1 ∼ 제 4 프레임부 (11 ∼ 14) 의 중앙 부분에 1 개의 고정용 후크 (11a) 가 형성됨과 함께, 고정용 후크 (11a) 에 대해 제 1 ∼ 제 4 프레임부 (11 ∼ 14) 의 양 단부측의 당해 선 대칭이 되는 위치에 복수 (본 예에서는 각각 2 개) 의 이동용 후크 (11b) 가 형성되어 있다.
이들 고정용 후크 (11a) 와 이동용 후크 (11b) 는, 상기 서술한 방착 본체 부재 (10) 의 고정용 걸침부 (1a) 및 이동용 걸침부 (1b) (상방측 이동용 걸침부 (1ba), 하방측 이동용 걸침부 (1bb)) 에 대응하는 위치에 각각 형성되어 있다.
도 5(a) 는, 방착 본체 부재의 제 1 및 제 2 구성 부재에 있어서의 고정용 걸침부와 유지 부재의 제 1 및 제 2 프레임부에 있어서의 고정용 후크의 구성을 나타내는 설명도이고, 도 5(b) 는, 방착 본체 부재의 제 1 및 제 2 구성 부재에 있어서의 이동용 걸침부와 유지 부재의 제 1 및 제 2 프레임부에 있어서의 이동용 후크의 구성을 나타내는 설명도이다.
도 6(a) ∼ (d) 는, 방착 본체 부재의 제 1 및 제 2 구성 부재를 유지 부재의 제 1 및 제 2 프레임부에 유지시키는 경우의 주요부의 구성 및 동작을 나타내는 단면도이다.
도 4 및 도 5(a)(b) 에 나타내는 바와 같이, 본 예에 있어서는, 유지 부재 (20) 의 제 1 및 제 2 프레임부 (11, 12) 에 있어서의 고정용 후크 (11a) 와 이동용 후크 (11b) 는, 유지 부재 (20) 의 제 1 및 제 2 프레임부 (11, 12) 에 형성된, 고정용 후크용 오목부 (21a) 와 이동용 후크용 오목부 (21b) 내에 각각 배치되어 있다.
이들 고정용 후크용 오목부 (21a) 와 이동용 후크용 오목부 (21b) 는, 유지 부재 (20) 의 제 1 및 제 2 프레임부 (11, 12) 의 각각의 X 축 방향의 길이에 대해, 모두 상방측의 부분의 길이보다 하방측의 부분의 길이 쪽이 길어지도록 형성되어 있다.
그리고, 고정용 후크 (11a) 와 이동용 후크 (11b) 는, 함께 고정용 후크용 오목부 (21a) 와 이동용 후크용 오목부 (21b) 의 하방측의 부분에 배치되어 있다.
또한, 제 1 및 제 2 프레임부 (11, 12) 의 고정용 후크 (11a) 는, 예를 들어 장방체 형상으로 형성되고, 그 상부에, 예를 들어 고정용 후크용 오목부 (21a) 의 바닥부측을 향해 높이가 낮아지도록 경사시킨 평면상의 지지면 (11a1) 이 형성되어 있다 (도 6(a) 참조).
또, 제 1 및 제 2 프레임부 (11, 12) 의 이동용 후크 (11b) 는, 예를 들어 장방체 형상으로 형성되고, 그 상부에, 예를 들어 이동용 후크용 오목부 (21b) 의 바닥부로부터 멀어지는 측의 부분에 상방으로 돌출시킨 후크 돌출부 (11b1) 가 형성되어 있다 (도 6(b) 참조).
또한, 이 이동용 후크 (11b) 의 후크 돌출부 (11b1) 와 이동용 후크용 오목부 (21b) 의 바닥부 사이에는, 평탄한 지지부 (11b2) 가 형성되어 있다.
본 예에서는, 방착 본체 부재 (10) 의 제 1 및 제 2 구성 부재 (1, 2) 에 있어서의 고정용 걸침부 (1a) 와 이동용 걸침부 (1b) 는, 방착 본체 부재 (10) 를 유지 부재 (20) 에 유지시킨 경우에, 유지 부재 (20) 의 제 1 및 제 2 프레임부 (11, 12) 에 있어서, 함께 고정용 후크용 오목부 (21a) 와 이동용 후크용 오목부 (21b) 의 상방측의 부분에 배치되도록 구성되어 있다 (도 5(a)(b) 참조).
여기서, 방착 본체 부재 (10) 의 제 1 및 제 2 구성 부재 (1, 2) 의 고정용 걸침부 (1a) 는, 도 5(a) 에 나타내는 바와 같이, 그 X 축 방향의 길이 (d1) 가, 유지 부재 (20) 의 제 1 및 제 2 구성 부재 (1, 2) 에 있어서의 고정용 후크용 오목부 (21a) 의 상방측의 부분에서 X 축 방향의 길이 (d) 이하로, 각각 고정용 후크용 오목부 (21a) 내에 삽입 (압입) 가능해지도록 설정되어 있다 (d1 ≤ d).
이로써, 방착 본체 부재 (10) 의 제 1 및 제 2 구성 부재 (1, 2) 의 고정용 걸침부 (1a) 는, 유지 부재 (20) 의 제 1 및 제 2 프레임부 (11, 12) 의 고정용 후크용 오목부 (21a) 내에 각각 배치된 경우에, 고정용 후크용 오목부 (21a) 의 X 축 방향의 양측의 벽부 (21ah) 에 각각 밀착된 상태로 접촉하고, 이로써 고정용 후크용 오목부 (21a) 내에 있어서 X 축 방향으로 각각 이동할 수 없는 상태가 된다.
여기서, 방착 본체 부재 (10) 의 제 1 및 제 2 구성 부재 (1, 2) 의 고정용 걸침부 (1a) 는, 그 하부분에 상기 제 1 및 제 2 프레임부 (11, 12) 의 고정용 후크 (11a) 의 지지면 (11a1) 과 밀착 가능한 평면상의 맞닿음면 (1a1) 이 형성되어 있다 (도 6(a) 참조).
한편, 상기 서술한 방착 본체 부재 (10) 의 제 1 및 제 2 구성 부재 (1, 2) 의 이동용 걸침부 (1b) 는, 도 5(b) 에 나타내는 바와 같이, 그 X 축 방향의 길이 (d2) 가, 유지 부재 (20) 의 제 1 및 제 2 프레임부 (11, 12) 에 있어서의 이동용 후크용 오목부 (21b) 의 상방측의 부분의 X 축 방향의 길이 (D) 보다 각각 작아지도록 설정되어 있다 (d2 ＜ D).
이로써, 방착 본체 부재 (10) 의 제 1 및 제 2 구성 부재 (1, 2) 의 이동용 걸침부 (1b) 는, 유지 부재 (20) 의 제 1 및 제 2 프레임부 (11, 12) 의 이동용 후크용 오목부 (21b) 내에 배치된 경우에, 각 이동용 걸침부 (1b) 의 X 축 방향의 양 단부와 이동용 후크용 오목부 (21b) 상방측의 양측의 벽부 (21bh) 사이에 간극 (21h) 이 형성되므로, 이동용 후크용 오목부 (21b) 의 X 축 방향의 양측의 벽부 (21bh) 에는 각각 접촉하지 않고, 이동용 후크용 오목부 (21b) 내에 있어서 X 축 방향으로 각각 이동하는 것이 가능한 상태가 된다.
여기서, 방착 본체 부재 (10) 의 제 1 및 제 2 구성 부재 (1, 2) 의 이동용 걸침부 (1b) 는, 그 하부분에 상기 제 1 및 제 2 프레임부 (11, 12) 의 이동용 후크 (11b) 의 후크 돌출부 (11b1) 와 서로 맞물리는 것이 가능한 돌출부 (1b1) 가 형성되어 있다 (도 6(b) 참조).
또한, 방착 본체 부재 (10) 의 제 1 및 제 2 구성 부재 (1, 2) 의 이동용 걸침부 (1b) 는, 후술하는 바와 같이, 유지 부재 (20) 의 제 1 및 제 2 프레임부 (11, 12) 의 이동용 후크 (11b) 에 건 상태이더라도, X 축 방향으로 각각 이동 가능한 상태가 되도록 구성되어 있다.
이와 같은 구성에 있어서, 방착 본체 부재 (10) 의 제 1 및 제 2 구성 부재 (1, 2) 를 유지 부재 (20) 의 제 1 및 제 2 프레임부 (11, 12) 에 유지시키는 경우에는, 이하의 동작을 실시한다.
먼저, 예를 들어 도 6(a) 에 나타내는 바와 같이, 방착 본체 부재 (10) 의 이측면과 유지 부재 (20) 의 표측면을 대향시켜, 도 6(c) 에 나타내는 바와 같이, 방착 본체 부재 (10) 의 제 1 및 제 2 구성 부재 (1, 2) 의 이측면의 각 고정용 걸침부 (1a) 를, 유지 부재 (20) 의 제 1 및 제 2 프레임부 (11, 12) 의 표측면의 고정용 후크용 오목부 (21a) 내에 삽입하고, 각각의 맞닿음면 (1a1) 을 고정용 후크 (11a) 의 지지면 (11a1) 에 맞닿게 하여 건다.
여기서는, 방착 본체 부재 (10) 의 제 1 및 제 2 구성 부재 (1, 2) 의 각 고정용 걸침부 (1a) 의 맞닿음면 (1a1) 이, 유지 부재 (20) 의 제 1 및 제 2 프레임부 (11, 12) 의 고정용 후크 (11a) 의 경사된 지지면 (11a1) 에 밀착 상태로 지지되도록 한다.
이 경우, 상기 서술한 바와 같이, 유지 부재 (20) 의 제 1 및 제 2 프레임부 (11, 12) 의 고정용 후크용 오목부 (21a) 내에 각각 배치된 방착 본체 부재 (10) 의 제 1 및 제 2 구성 부재 (1, 2) 의 고정용 걸침부 (1a) 는, 도 5(a) 에 나타내는 바와 같이, 고정용 후크용 오목부 (21a) 의 X 축 방향의 양측의 벽부 (21ah) 에 밀착 상태로 접촉하고 있기 때문에, 고정용 후크용 오목부 (21a) 내에 있어서 X 축 방향으로 각각 이동할 수 없는 상태가 된다.
또한, 상기 서술한 동작과 동시에, 도 6(b) 에 나타내는 바와 같이, 방착 본체 부재 (10) 의 이측면과 유지 부재 (20) 의 표측면을 대향시켜, 도 6(d) 에 나타내는 바와 같이, 방착 본체 부재 (10) 의 제 1 및 제 2 구성 부재 (1, 2) 의 이측면의 각 이동용 걸침부 (1b) 를, 유지 부재 (20) 의 제 1 및 제 2 프레임부 (11, 12) 의 표측면의 이동용 후크용 오목부 (21b) 내에 삽입하고, 각각의 이동용 걸침부 (1b) 를 이동용 후크 (11b) 에 건다.
이 경우, 방착 본체 부재 (10) 의 제 1 및 제 2 구성 부재 (1, 2) 의 각 이동용 걸침부 (1b) 의 돌출부 (1b1) 가, 유지 부재 (20) 의 제 1 및 제 2 프레임부 (11, 12) 의 이동용 후크 (11b) 의 이동용 후크용 오목부 (21b) 의 바닥부와의 사이로 비집고 들어가도록 하여, 방착 본체 부재 (10) 의 이동용 걸침부 (1b) 의 돌출부 (1b1) 와, 유지 부재 (20) 의 이동용 후크 (11b) 의 후크 돌출부 (11b1) 가 서로 맞물리도록 한다 (후술하는 도 9 및 도 10 참조).
또한, 이 상태에서는, 방착 본체 부재 (10) 의 제 1 및 제 2 구성 부재 (1, 2) 의 이동용 걸침부 (1b) 의 돌출부 (1b1) 의 선단부는, 유지 부재 (20) 의 제 1 및 제 2 프레임부 (11, 12) 의 이동용 후크 (11b) 의 지지부 (11b2) 에 접촉해도 되고 접촉하고 있지 않아도 된다.
이상의 공정에 의해, 방착 본체 부재 (10) 의 제 1 및 제 2 구성 부재 (1, 2) 를 유지 부재 (20) 의 제 1 및 제 2 프레임부 (11, 12) 에 유지시키는 공정이 종료된다.
도 7(a) 는, 방착 본체 부재의 제 3 및 제 4 구성 부재에 있어서의 고정용 걸침부와 유지 부재의 제 3 및 제 4 프레임부에 있어서의 고정용 후크의 구성을 나타내는 설명도이고, 도 7(b) 는, 방착 본체 부재의 제 3 및 제 4 구성 부재에 있어서의 이동용 걸침부와 유지 부재의 제 3 및 제 4 프레임부에 있어서의 이동용 후크의 구성을 나타내는 설명도이다.
도 8(a) ∼ (d) 는, 방착 본체 부재의 제 3 및 제 4 구성 부재를 유지 부재의 제 3 및 제 4 프레임부에 유지시키는 경우의 주요부의 구성 및 동작을 나타내는 단면도이다.
도 9 는, 본 발명에 관련된 방착 부재의 예를 나타내는 정면도로, 방전 공간측에서 본 것이고, 도 10 은, 도 9 의 B-B 선 사시 단면도이다.
도 4 및 도 7(a)(b) 에 나타내는 바와 같이, 본 예에 있어서는, 유지 부재 (20) 의 제 3 및 제 4 프레임부 (13, 14) 에 있어서의 고정용 후크 (11a) 와 이동용 후크 (11b) 는, 유지 부재 (20) 의 제 3 및 제 4 프레임부 (13, 14) 에 형성된, 고정용 후크용 오목부 (21a) 와 이동용 후크용 오목부 (21b) 내에 각각 배치되어 있다.
본 예의 경우, 유지 부재 (20) 의 제 3 및 제 4 프레임부 (13, 14) 에 형성된 고정용 후크 (11a) 는, 유지 부재 (20) 의 제 1 및 제 2 프레임부 (11, 12) 에 형성된 고정용 후크 (11a) 와 동일한 기본 구성을 가지고 있다.
제 3 및 제 4 프레임부 (13, 14) 의 고정용 후크용 오목부 (21a) 와 이동용 후크용 오목부 (21b) 는, 유지 부재 (20) 의 제 3 및 제 4 프레임부 (13, 14) 의 각각의 X 축 방향의 길이에 대해, 모두 상방측의 부분의 길이보다 하방측의 부분의 길이 쪽이 길어지도록 형성되어 있다.
그리고, 고정용 후크 (11a) 와 이동용 후크 (11b) 는, 함께 고정용 후크용 오목부 (21a) 와 이동용 후크용 오목부 (21b) 의 하방측의 부분에 배치되어 있다.
또한, 제 3 및 제 4 프레임부 (13, 14) 의 고정용 후크 (11a) 는, 예를 들어 장방체 형상으로 형성되고, 그 상부에, 예를 들어 고정용 후크용 오목부 (21a) 의 바닥부측을 향해 높이가 낮아지도록 경사시킨 평면상의 지지면 (11a1) 이 형성되어 있다 (도 8(a) 참조).
또, 제 3 및 제 4 프레임부 (13, 14) 의 이동용 후크 (11b) 는, 예를 들어 장방체 형상으로 형성되고, 그 상부에, 예를 들어 이동용 후크용 오목부 (21b) 의 바닥부로부터 멀어지는 측의 부분에 상방으로 돌출시킨 후크 돌출부 (11b1) 가 형성되어 있다 (도 8(b) 참조).
또한, 이 이동용 후크 (11b) 의 후크 돌출부 (11b1) 와 이동용 후크용 오목부 (21b) 의 바닥부 사이에는, 평탄한 지지부 (11b2) 가 형성되어 있다.
본 예에서는, 방착 본체 부재 (10) 의 제 3 및 제 4 구성 부재 (3, 4) 에 있어서의 고정용 걸침부 (1a) 와 상방측 이동용 걸침부 (1ba), 하방측 이동용 걸침부 (1bb) 는, 방착 본체 부재 (10) 를 유지 부재 (20) 에 유지시킨 경우에, 유지 부재 (20) 의 제 3 및 제 4 프레임부 (13, 14) 에 있어서, 함께 고정용 후크용 오목부 (21a) 와 이동용 후크용 오목부 (21b) 의 Z 축 상방측의 부분에 배치되도록 구성되어 있다 (도 7(a)(b) 및 도 9 참조).
여기서, 방착 본체 부재 (10) 의 제 3 및 제 4 구성 부재 (3, 4) 의 고정용 걸침부 (1a) 는, 도 7(a) 에 나타내는 바와 같이, 그 X 축 방향의 길이 (d1) 가, 유지 부재 (20) 의 제 3 및 제 4 프레임부 (13, 14) 에 있어서의 고정용 후크용 오목부 (21a) 의 상방측의 부분에서 X 축 방향의 길이 (d) 이하로, 각각 고정용 후크용 오목부 (21a) 내에 삽입 (압입) 가능한 길이가 되도록 설정되어 있다 (d1 ≤ d).
이로써, 방착 본체 부재 (10) 의 제 3 및 제 4 구성 부재 (3, 4) 의 고정용 걸침부 (1a) 는, 유지 부재 (20) 의 제 3 및 제 4 프레임부 (13, 14) 의 고정용 후크용 오목부 (21a) 내에 각각 배치된 경우에, 고정용 후크용 오목부 (21a) 의 X 축 방향의 양측의 벽부 (21ah) 에 각각 밀착 상태로 접촉하고, 이로써 고정용 후크용 오목부 (21a) 내에 있어서 X 축 방향으로 각각 이동할 수 없는 상태가 된다.
여기서, 방착 본체 부재 (10) 의 제 3 및 제 4 구성 부재 (3, 4) 의 고정용 걸침부 (1a) 는, 그 하부분에 유지 부재 (20) 의 제 3 및 제 4 프레임부 (13, 14) 의 고정용 후크 (11a) 의 지지면 (11a1) 과 밀착 가능한 평면상의 맞닿음면 (1a1) 이 형성되어 있다 (도 8(a) 참조).
또한, 본 예에서는, 방착 본체 부재 (10) 의 제 3 및 제 4 구성 부재 (3, 4) 의 고정용 걸침부 (1a) 의 맞닿음면 (1a1) 이, 유지 부재 (20) 의 제 3 및 제 4 프레임부 (13, 14) 의 고정용 후크 (11a) 의 지지면 (11a1) 에 밀착되어 지지된 경우에, 방착 본체 부재 (10) 의 제 3 및 제 4 구성 부재 (3, 4) 의 전체 하중이 유지 부재 (20) 의 제 3 및 제 4 프레임부 (13, 14) 의 고정용 후크 (11a) 에 의해 각각 지지되도록 구성되어 있다.
한편, 본 예의 방착 본체 부재 (10) 의 제 3 및 제 4 구성 부재 (3, 4) 의 상방측 이동용 걸침부 (1ba) 및 하방측 이동용 걸침부 (1bb) 는, 도 7(b) 에 나타내는 바와 같이, 그 X 축 방향의 길이 (d2) 가, 유지 부재 (20) 의 제 3 및 제 4 프레임부 (13, 14) 에 있어서의 이동용 후크용 오목부 (21b) 의 상방측의 부분에서 X 축 방향의 길이 (d) 이하로, 이동용 후크용 오목부 (21b) 내에 삽입 (압입) 가능한 길이가 되도록 설정되어 있다 (d2 ≤ d).
따라서, 본 예의 경우, 방착 본체 부재 (10) 의 제 3 및 제 4 구성 부재 (3, 4) 의 상방측 이동용 걸침부 (1ba) 및 하방측 이동용 걸침부 (1bb) 는, 유지 부재 (20) 의 제 3 및 제 4 프레임부 (13, 14) 의 이동용 후크용 오목부 (21b) 내에 각각 배치된 경우에, 이동용 후크용 오목부 (21b) 의 X 축 방향의 양측의 벽부 (21bh) 에 각각 밀착된 상태로 접촉하고, 이로써 이동용 후크용 오목부 (21b) 내에 있어서 X 축 방향으로 각각 이동할 수 없는 상태가 된다.
한편, 본 예에 있어서는, 스퍼터링 등의 진공 처리시에 열이 가해진 경우, 방착 본체 부재 (10) 의 제 3 및 제 4 구성 부재 (3, 4) 의 중앙부에 위치하는 고정용 걸침부 (1a) 는 Z 축 방향으로 거의 신장되지 않아 영향이 없지만, 방착 본체 부재 (10) 의 제 3 및 제 4 구성 부재 (3, 4) 는 Z 축 방향으로 신장되기 때문에, 이것을 고려하여 다음과 같은 구성이 채용되고 있다.
먼저, 방착 본체 부재 (10) 의 상방측 및 하방측 이동용 걸침부 (1ba, 1bb) 를 유지 부재 (20) 의 이동용 후크 (11b) 에 건 경우에는, 도 8(d) 에 나타내는 바와 같이, 방착 본체 부재 (10) 의 제 3 및 제 4 구성 부재 (3, 4) 의 상방측 및 하방측 이동용 걸침부 (1ba, 1bb) 의 돌출부 (1b1) 가, 유지 부재 (20) 의 제 3 및 제 4 프레임부 (13, 14) 의 이동용 후크 (11b) 의 이동용 후크용 오목부 (21b) 의 바닥부와의 사이로 각각 비집고 들어가, 상방측 및 하방측 이동용 걸침부 (1ba, 1bb) 의 돌출부 (1b1) 와, 유지 부재 (20) 의 이동용 후크 (11b) 의 후크 돌출부 (11b1) 가 서로 맞물린다.
이와 같은 상태에서 진공 처리시의 열이 방착 본체 부재 (10) 의 제 3 및 제 4 구성 부재 (3, 4) 에 가해지면, 제 3 및 제 4 구성 부재 (3, 4) 의 중앙부에 대해 상방측의 부분이 Z 축 상방측으로 신장되고, 이로써 상방측 이동용 걸침부 (1ba) 도 Z 축 상방측으로 신장된다.
그 결과, 방착 본체 부재 (10) 의 상방측 이동용 걸침부 (1ba) 의 돌출부 (1b1) 의 선단부가, 유지 부재 (20) 의 이동용 후크 (11b) 의 지지부 (11b2) 로부터 이간되어 이것들의 간격이 넓어진다.
따라서, 본 예에서는, 방착 본체 부재 (10) 에 대해 열이 가해지지 않는 상태에 있어서, 상방측 이동용 걸침부 (1ba) 의 돌출부 (1b1) 의 선단부가 유지 부재 (20) 의 이동용 후크 (11b) 의 지지부 (11b2) 에 대해 접촉하는 구성 또는 이간되는 구성 모두 채용할 수 있다.
단, 방착 본체 부재 (10) 에 대해 열이 가해진 경우에 상방측 이동용 걸침부 (1ba) 의 돌출부 (1b1) 가, 유지 부재 (20) 의 이동용 후크 (11b) 의 후크 돌출부 (11b1) 와의 맞물림이 빠지지 않도록, 방착 본체 부재 (10) 의 상방측 이동용 걸침부 (1ba) 의 돌출부 (1b1) 와, 유지 부재 (20) 의 이동용 후크 (11b) 의 후크 돌출부 (11b1) 의 형상·치수를 적절히 설정해 두는 것이 바람직하다.
한편, 방착 본체 부재 (10) 에 대해 열이 가해진 경우에는, 제 3 및 제 4 구성 부재 (3, 4) 의 중앙부에 대해 하방측의 부분이 Z 축 하방측으로 신장되고, 이로써 하방측 이동용 걸침부 (1bb) 도 Z 축 하방측으로 신장됨으로써, 그 선단부가 Z 축 하방으로 이동한다.
따라서, 본 예에서는, 방착 본체 부재 (10) 에 대해 열이 가해진 경우에 하방측 이동용 걸침부 (1bb) 의 돌출부 (1b1) 의 선단부가 유지 부재 (20) 의 이동용 후크 (11b) 의 지지부 (11b2) 에 맞닿아 이것을 압압 (押壓) 하지 않도록, 방착 본체 부재 (10) 에 대해 열이 가해지지 않는 상태에 있어서, 하방측 이동용 걸침부 (1bb) 의 돌출부 (1b1) 의 선단부가 유지 부재 (20) 의 이동용 후크 (11b) 의 지지부 (11b2) 에 대해 소정 거리만큼 이간되도록, 방착 본체 부재 (10) 의 하방측 이동용 걸침부 (1bb) 의 돌출부 (1b1) 와, 유지 부재 (20) 의 이동용 후크 (11b) 의 후크 돌출부 (11b1) 와 지지부 (11b2) 의 형상·치수를 적절히 설정해 두는 것이 바람직하다.
이와 같은 구성에 있어서, 방착 본체 부재 (10) 의 제 3 및 제 4 구성 부재 (3, 4) 를 유지 부재 (20) 의 제 3 및 제 4 프레임부 (13, 14) 에 유지시키는 경우에는, 이하의 동작을 실시한다.
먼저, 예를 들어 도 8(a) 에 나타내는 바와 같이, 방착 본체 부재 (10) 의 이측면과 유지 부재 (20) 의 표측면을 대향시켜, 도 8(c) 에 나타내는 바와 같이, 방착 본체 부재 (10) 의 제 3 및 제 4 구성 부재 (3, 4) 의 이측면의 각 고정용 걸침부 (1a) 를, 유지 부재 (20) 의 제 3 및 제 4 프레임부 (13, 14) 의 표측면의 고정용 후크용 오목부 (21a) 내에 삽입하고, 각각의 맞닿음면 (1a1) 을 고정용 후크 (11a) 의 지지면 (11a1) 에 맞닿게 하여 건다.
여기서는, 방착 본체 부재 (10) 의 제 3 및 제 4 구성 부재 (3, 4) 의 각 고정용 걸침부 (1a) 의 맞닿음면 (1a1) 이, 유지 부재 (20) 의 제 3 및 제 4 프레임부 (13, 14) 의 고정용 후크 (11a) 의 경사진 지지면 (11a1) 에 밀착 상태로 지지되도록 한다.
이 경우, 상기 서술한 바와 같이, 유지 부재 (20) 의 제 3 및 제 4 프레임부 (13, 14) 의 고정용 후크용 오목부 (21a) 내에 각각 배치된 방착 본체 부재 (10) 의 제 3 및 제 4 구성 부재 (3, 4) 의 고정용 걸침부 (1a) 는, 도 7(a) 에 나타내는 바와 같이, 고정용 후크용 오목부 (21a) 의 X 축 방향의 양측의 벽부 (21ah) 에 밀착 상태로 접촉하고 있기 때문에, 고정용 후크용 오목부 (21a) 내에 있어서 X 축 방향으로 각각 이동할 수 없는 상태로 되어 있다.
또한, 상기 서술한 동작과 동시에, 도 8(b) 에 나타내는 바와 같이, 방착 본체 부재 (10) 의 이측면과 유지 부재 (20) 의 표측면을 대향시켜, 도 8(d) 에 나타내는 바와 같이, 방착 본체 부재 (10) 의 제 3 및 제 4 구성 부재 (3, 4) 의 이측면의 상방측 및 하방측 이동용 걸침부 (1ba, 1bb) 를, 유지 부재 (20) 의 제 3 및 제 4 프레임부 (13, 14) 의 표측면의 이동용 후크용 오목부 (21b) 내에 삽입하고, 각각의 상방측 및 하방측 이동용 걸침부 (1ba, 1bb) 를 이동용 후크 (11b) 에 건다.
이 경우, 방착 본체 부재 (10) 의 제 3 및 제 4 구성 부재 (3, 4) 의 상방측 및 하방측 이동용 걸침부 (1ba, 1bb) 의 돌출부 (1b1) 가, 유지 부재 (20) 의 제 3 및 제 4 프레임부 (13, 14) 의 이동용 후크 (11b) 의 이동용 후크용 오목부 (21b) 의 바닥부와의 사이로 각각 비집고 들어가, 방착 본체 부재 (10) 의 상방측 및 하방측 이동용 걸침부 (1ba, 1bb) 의 돌출부 (1b1) 가, 유지 부재 (20) 의 이동용 후크 (11b) 의 후크 돌출부 (11b1) 에 서로 맞물리도록 한다.
이상의 공정에 의해, 방착 본체 부재 (10) 의 제 3 및 제 4 구성 부재 (3, 4) 를 유지 부재 (20) 의 제 3 및 제 4 프레임부 (13, 14) 에 유지시키는 공정이 종료된다.
그 후, 방착 본체 부재 (10) 의 장착부 (5) 에 있어서, 예를 들어 나사 (도시 생략) 의 체결에 의해 방착 본체 부재 (10) 를 유지 부재 (20) 에 밀착 고정시켜 유지시킨다.
이로써, 도 9 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 방착 부재 (30) 가 얻어진다.
이상 서술한 본 실시형태에 있어서는, 방착 본체 부재 (10) 의 제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 에 있어서의, 진공조 (6) 내의 방전 공간 (9) 에 대향하는 면과 반대측의 면에, 유지 부재 (20) 에 형성된 제 1 ∼ 제 4 후크부 (11A ∼ 14A) 에 걸어 장착하기 위한 제 1 ∼ 제 4 걸침부 (1A ∼ 4A) 가 각각 형성되어 있는 점에서, 방착 본체 부재 (10) 를 유지 부재 (20) 에 유지시키기 위해 종래 기술과 같이 다수의 커버가 장착된 볼트를 사용할 필요가 없다.
그 결과, 본 실시형태에 의하면, 방착 부재 (30) 의 방전 공간 (9) 측의 면의 요철부를 줄여 그 표면적을 작게 할 수 있으므로, 진공 처리시에 부착된 성막 재료 등의 방착 부재 (30) 의 표면으로부터의 박리에서 기인하는 파티클의 발생을 억제할 수 있다.
본 실시형태에 있어서는, 방착 본체 부재 (10) 의 제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 가 가늘고 긴 형상으로 형성되고, 제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 의 제 1 ∼ 제 4 걸침부 (1A ∼ 4A) 가, 방착 본체 부재 (10) 가 유지 부재 (20) 에 유지된 상태에서, 제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 가 길이 방향으로 이동하지 않도록 유지 부재 (20) 의 제 1 ∼ 제 4 후크부 (11A ∼ 14A) 에 형성된 고정용 후크 (11a) 에 걸리는 고정용 걸침부 (1a) 와, 제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 가 길이 방향으로 이동 가능한 상태에서 유지 부재 (20) 의 제 1 ∼ 제 4 후크부 (11A ∼ 14A) 에 형성된 이동용 후크 (11b) 에 걸리는 이동용 걸침부 (1b) (상방측 이동용 걸침부 (1ba), 하방측 이동용 걸침부 (1bb)) 를 갖고, 고정용 걸침부 (1a) 가 제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 의 중앙 부분에 형성됨과 함께, 이동용 걸침부 (1b) (상방측 이동용 걸침부 (1ba), 하방측 이동용 걸침부 (1bb)) 가 고정용 걸침부 (1a) 에 대해 제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 의 양 단부측에 형성되어 있는 점에서, 스퍼터링 등의 진공 처리시의 열에 의해 제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 가 신장된 경우에, 방착 본체 부재 (10) 의 이동용 걸침부 (1b) (상방측 이동용 걸침부 (1ba), 하방측 이동용 걸침부 (1bb)) 는, 유지 부재 (20) 의 이동용 후크 (11b) 에 건 상태에서 제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 의 길이 방향으로 각각 이동할 수 있다.
그 결과, 본 실시형태에 의하면, 진공 처리시에 발생한 열에 의해 제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 가 각각 신장되는 경우에, 각각 제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 의 중앙 부분을 기준으로 하여 양 단부측으로 균등하게 신장되므로, 진공 처리시의 방착 부재 (30) 의 휨이나 변형을 억제할 수 있다.
또, 본 실시형태에 있어서, 방착 본체 부재 (10) 의 제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 의 둘레 가장자리부에, 진공조 (6) 의 방전 공간 (9) 에 대향하는 면측으로 연장되는 플라즈마 차폐용의 벽부 (1c ∼ 4c) 가 형성되어 있는 점에서, 방착 부재 (30) 의 방전 공간 (9) 측의 면에 부착되는 성막 재료 등의 물질의 양을 감소시킬 수 있으므로, 당해 물질의 방착 부재 (30) 의 표면으로부터의 박리에서 기인하는 파티클의 발생을 보다 억제할 수 있다.
또한, 본 실시형태에 있어서, 방착 본체 부재 (10) 의 각 구성 부재의 둘레 가장자리부에, 플라즈마 차폐벽 (1c ∼ 4c) 으로부터 외방측으로 연장되도록, 유지 부재 (20) 에 대한 장착부 (5) 가 형성되어 있는 점에서, 장착부 (5) 에 있어서 나사를 사용하여 방착 본체 부재 (10) 를 유지 부재 (20) 에 장착한 경우이더라도, 진공 처리시에 발생하는 물질이 방착 본체 부재 (10) 에 형성한 플라즈마 차폐벽 (1c ∼ 4c) 에 의해 차단되어, 방착 본체 부재 (10) 의 장착부 (5) 에 대한 부착을 방지할 수 있으므로, 당해 물질의 방착 부재 (30) 의 표면으로부터의 박리에서 기인하는 파티클의 발생을 보다 억제할 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되지 않고, 다양한 변경을 실시할 수 있다. 예를 들어, 방착 본체 부재 (10) 의 고정용 걸침부 (1a) 의 형상, 그리고, 이동용 걸침부 (1b), 상방측 이동용 걸침부 (1ba), 하방측 이동용 걸침부 (1bb) 의 형상 및 수에 대해서는, 상기 실시형태의 것에는 한정되지 않고, 적절히 변경할 수 있다.
또, 유지 부재 (20) 의 고정용 후크 (11a) 의 형상, 그리고, 이동용 후크 (11b) 의 형상 및 수에 대해서도, 상기 실시형태의 것에는 한정되지 않고, 적절히 변경할 수 있다.
또한, 상기 실시형태는 스퍼터링 장치에 적용한 경우를 예로 들어 설명하였지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않고, 다양한 진공 처리 장치에 적용할 수 있다.
1 : 제 1 구성 부재
1A : 걸침부
1a : 고정용 걸침부
1b : 이동용 걸침부
1ba : 상방측 이동용 걸침부
1bb : 하방측 이동용 걸침부
1c : 플라즈마 차폐벽 (플라즈마 차폐용의 벽부)
2 : 제 2 구성 부재
2A : 걸침부
2c : 플라즈마 차폐벽
3 : 제 3 구성 부재
3A : 걸침부
3c : 플라즈마 차폐벽
4 : 제 4 구성 부재
4A : 걸침부
4c : 플라즈마 차폐벽
5 : 장착부
6 : 진공조
7 : 스퍼터링 타깃
8 : 기판 (처리 대상물)
10 : 방착 본체 부재
11 : 제 1 프레임부
11a : 고정용 후크
11b : 이동용 후크
11A : 제 1 후크부
12 : 제 2 프레임부
12A : 제 2 후크부
13 : 제 3 프레임부
13A : 제 3 후크부
14 : 제 4 프레임부
14A : 제 4 후크부
20 : 유지 부재
21a : 고정용 후크용 오목부
21b : 이동용 후크용 오목부
30 : 방착 부재
40 : 스퍼터링 장치 (진공 처리 장치)

Claims (6)

  1. 진공 처리시에 발생하는 물질의 진공조 내에 대한 부착을 방지하는 방착 부재로서,
    프레임상의 방착 본체 부재와,
    상기 방착 본체 부재를 유지하는 유지 부재를 구비하고,
    상기 방착 본체 부재는, 처리 대상물의 주위에 형성되는 복수의 판상의 구성 부재를 가짐과 함께, 상기 복수의 구성 부재는, 상기 진공조 내의 방전 공간에 대향하는 면과 반대측의 면에, 상기 유지 부재에 형성된 복수의 후크부에 걸어 장착하기 위한 걸침부가 각각 형성되고,
    상기 방착 본체 부재는,
    상기 복수의 판상의 구성 부재의 둘레 가장자리부에 형성되고, 상기 복수의 판상의 구성 부재를 상기 유지 부재에 장착하는 복수의 장착부와,
    상기 복수의 판상의 구성 부재의 상기 방전 공간에 대향하는 면으로부터 상기 방전 공간을 향해 연장되도록 형성되고, 상기 복수의 장착부를 상기 방전 공간으로부터 차단하기 위한 플라즈마 차폐용의 벽부를 갖는 방착 부재.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 방착 본체 부재의 각 구성 부재는 가늘고 긴 형상으로 형성되고, 당해 각 구성 부재의 걸침부는, 당해 방착 본체 부재가 상기 유지 부재에 유지된 상태에서, 상기 각 구성 부재가 길이 방향으로 이동하지 않도록 상기 유지 부재의 후크부에 형성된 고정용 후크에 걸리는 고정용 걸침부와, 상기 각 구성 부재가 길이 방향으로 이동 가능한 상태에서 상기 유지 부재의 후크부에 형성된 이동용 후크에 걸리는 이동용 걸침부를 갖고, 상기 고정용 걸침부가 당해 각 구성 부재의 중앙 부분에 형성됨과 함께, 상기 이동용 걸침부가 상기 고정용 걸침부에 대해 당해 구성 부재의 양 단부측에 형성되어 있는, 방착 부재.
  3. 진공조와,
    상기 진공조 내에 형성되고, 진공 처리시에 발생하는 물질의 진공조 내에 대한 부착을 방지하는 방착 부재를 구비하고,
    상기 방착 부재는, 프레임상의 방착 본체 부재와, 상기 방착 본체 부재를 유지하는 유지 부재를 갖고,
    상기 방착 본체 부재는, 처리 대상물의 주위에 형성되는 복수의 판상의 구성 부재를 갖고,
    상기 복수의 구성 부재는, 상기 진공조 내의 방전 공간에 대향하는 면과 반대측의 면에, 상기 유지 부재에 형성된 복수의 후크부에 걸어 장착하기 위한 걸침부가 각각 형성되고,
    상기 방착 부재의 근방에 배치된 처리 대상물에 대해 소정의 진공 처리를 실시하도록 구성되어 있는, 진공 처리 장치로서,
    상기 방착 본체 부재는,
    상기 복수의 판상의 구성 부재의 둘레 가장자리부에 형성되고, 상기 복수의 판상의 구성 부재를 상기 유지 부재에 장착하는 복수의 장착부와,
    상기 복수의 판상의 구성 부재의 상기 방전 공간에 대향하는 면으로부터 상기 방전 공간을 향해 연장되도록 형성되고, 상기 복수의 장착부를 상기 방전 공간으로부터 차단하기 위한 플라즈마 차폐용의 벽부를 갖는 진공 처리 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    스퍼터링 타깃이 배치되는 상기 진공조를 갖고, 상기 방착 부재의 근방에 배치되는 처리 대상물에 대해 스퍼터링을 실시하도록 구성되어 있는, 진공 처리 장치.
  5. 삭제
  6. 삭제
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