CN111463155B - 装载埠及其气帘装置与吹净方法 - Google Patents

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Abstract

一种装载埠，适于承载传送盒。装载埠包含机座、气帘装置及吹净及监控装置。气帘装置包括外壳及闸门机构，外壳形成有出气口，出气口用以将干燥洁净气体排出以形成干燥洁净气帘。闸门机构用以遮蔽出气口并可被操作而改变出气口的开启大小。吹净及监控装置的充气模块用以充填干燥洁净气体至传送盒内。排气模块用以排出传送盒内原有的气体及充填至传送盒内的干燥洁净气体。感测模块用以感测排气模块所排出的传送盒内的气体的相对湿度及温度。处理模块依据感测模块所感测的相对湿度来驱动闸门机构运作以改变出气口的开启大小。本发明也提供一种装载埠的吹净方法，该方法包含载入吹净步骤、连续吹净步骤及卸载吹净步骤。借此，节省气体的使用量。

Description

装载埠及其气帘装置与吹净方法
技术领域
本发明涉及一种装载埠，特别是涉及一种用于半导体制程的装载埠及其气帘装置与吹净及监控方法。
背景技术
装载埠(Load Port)设置在半导体制造装置一侧，装载埠用以承载前开式晶圆传送盒(FOUP)，使得半导体制造装置能通过装载埠对前开式晶圆传送盒内的晶圆进行存取。
装载埠通常会通过一气帘装置向下吹气以形成一高速流动的气帘，所述气帘用以防止前开式晶圆传送盒的门开启时，半导体制造装置内的潮湿气体进入前开式晶圆传送盒内进而影响其内部之相对湿度。然而，现有气帘装置所吹出的气体流量是固定的且无法调整，因此，气帘装置由开始吹气至停止吹气的过程中会耗费大量气体，从而造成气体的使用成本较高。
发明内容
因此，本发明的一目的，在于提供一种能够克服背景技术的至少一个缺点的装载埠。
本发明的目的及解决背景技术问题是采用以下技术方案来实现的，依据本发明提出的装载埠，适于承载传送盒。
所述装载埠包含机座、气帘装置，及吹净及监控装置，所述机座用以承载所述传送盒，所述气帘装置设置于所述机座并包括外壳，及设置于所述外壳的闸门机构，所述外壳用以供气体输入并形成有出气口，所述出气口用以将所述气体排出以形成气帘，所述闸门机构用以遮蔽所述出气口并可被操作而改变所述出气口的开启大小，所述吹净及监控装置设置于所述机座并包括充气模块、排气模块、感测模块，及处理模块，所述充气模块用以充填干燥洁净气体至所述传送盒内，所述排气模块用以排出所述传送盒内原有的气体及充填至所述传送盒内的所述干燥洁净气体，所述感测模块用以感测所述排气模块所排出的所述传送盒内的气体的相对湿度，所述处理模块电连接于所述感测模块与所述闸门机构之间，所述处理模块依据所述感测模块所感测的所述相对湿度来驱动所述闸门机构运作以改变所述出气口的开启大小。
本发明的装载埠，还包含设置于所述机座的供气装置，所述供气装置用以供应所述气体至所述外壳内，所述吹净及监控装置还包括干燥洁净气体供应单元，所述干燥洁净气体供应单元用以供应所述干燥洁净气体至所述充气模块，所述处理模块电连接于所述供气装置及所述干燥洁净气体供应单元并预设有预定相对湿度，当所述处理模块接收到所述感测模块所感测的所述相对湿度小于所述预定相对湿度时，所述处理模块控制所述出气口开启变小以使所述气帘的宽度变窄、控制所述供气装置减少供应至所述外壳内的所述气体流量，以及控制所述干燥洁净气体供应单元减少供应至所述传送盒内的所述干燥洁净气体流量。
本发明的装载埠，当所述处理模块接收到所述感测模块所感测的所述相对湿度大于所述预定相对湿度时，所述处理模块控制所述出气口开启变大以使所述气帘的所述宽度变宽，以及控制所述供气装置增加供应至所述外壳内的所述气体流量。
本发明的装载埠，所述供气装置包括与所述处理模块电连接用以供应所述气体的供气模块，及与所述处理模块电连接的流量控制器，用以控制所述气体流入所述外壳的流量。
本发明的装载埠，所述供气模块包括用以供应所述气体的气体供应源，及设置于所述气体供应源与所述流量控制器之间的气体压力调节器，所述气体压力调节器电连接于所述处理模块用以感测及调节所述气体的压力。
本发明的装载埠，所述闸门机构包含收放总成，及与所述收放总成连接用以遮蔽所述出气口的闸门，所述收放总成用以收合或释放所述闸门以控制其遮蔽所述出气口的程度，所述闸门通过遮蔽所述出气口的程度来调整所述气帘的宽度。
本发明的装载埠，所述收放总成包括与所述处理模块电连接并能被其驱动而运转的马达、能被所述马达驱动而旋转的卷轴，及连接于所述卷轴与所述闸门之间的连接片，所述连接片是由可挠性材质所制成，所述连接片的一部分卷绕于所述卷轴并能被其带动而卷收或释放。
本发明的装载埠，所述外壳包含壳体，及透气板，所述壳体界定出所述出气口并形成有与所述出气口相连通的腔室，及与所述腔室相连通的进气孔，所述壳体具有顶壁、两个连接于所述顶壁相反侧的短侧壁，及连接于所述顶壁另一侧的长侧壁，所述透气板设置于所述腔室内且位于所述出气口上方，所述马达设置于对应的所述短侧壁，所述卷轴可转动地枢接于所述短侧壁，所述闸门是由不透气且具有可挠性材质所制成，所述闸门可呈弯折状地抵靠于所述长侧壁及所述透气板顶面。
本发明的目的及解决背景技术问题是采用以下技术方案来实现的，依据本发明提出的装载埠，适于承载传送盒。
所述装载埠包含机座、气帘装置，及吹净及监控装置，所述机座用以承载所述传送盒，所述气帘装置设置于所述机座并包括外壳，及设置于所述外壳的闸门机构，所述外壳用以供气体输入并形成有出气口，所述出气口用以将所述气体排出以形成气帘，所述闸门机构用以遮蔽所述出气口并可被操作而改变所述出气口的开启大小，所述吹净及监控装置设置于所述机座并包括充气模块、排气模块、感测模块，及处理模块，所述充气模块用以充填第一干燥洁净气体或与所述第一干燥洁净气体相异的第二干燥洁净气体至所述传送盒内，所述排气模块用以排出所述传送盒内的原有气体及充填至所述传送盒内的所述第一干燥洁净气体或所述第二干燥洁净气体，所述感测模块用以感测所述排气模块所排出的所述传送盒内的气体的相对湿度，所述处理模块电连接于所述感测模块与所述闸门机构之间，所述处理模块依据所述感测模块所感测的所述相对湿度来驱动所述闸门机构运作以改变所述出气口的开启大小。
本发明的另一目的，在于提供一种能够克服背景技术的至少一个缺点的装载埠的气帘装置。
本发明的目的及解决背景技术问题是采用以下技术方案来实现的，依据本发明提出的装载埠的气帘装置，包括外壳，及闸门机构，所述外壳用以供气体输入并形成有出气口，所述出气口用以将所述气体排出以形成气帘，所述闸门机构设置于所述外壳用以遮蔽所述出气口，所述闸门机构可被操作而改变所述出气口的开启大小。
本发明的装载埠的气帘装置，所述闸门机构包含收放总成，及与所述收放总成连接用以遮蔽所述出气口的闸门，所述收放总成用以收合或释放所述闸门以控制其遮蔽所述出气口的程度，所述闸门通过遮蔽所述出气口的程度来调整所述气帘的宽度。
本发明的装载埠的气帘装置，所述收放总成包括与所述处理模块电连接并能被其驱动而运转的马达、能被所述马达驱动而旋转的卷轴，及连接于所述卷轴与所述闸门之间的连接片，所述连接片是由可挠性材质所制成，所述连接片的一部分卷绕于所述卷轴并能被其带动而卷收或释放。
本发明的装载埠的气帘装置，所述外壳包含壳体，及透气板，所述壳体界定出所述出气口并形成有与所述出气口相连通的腔室，及与所述腔室相连通的进气孔，所述壳体具有顶壁、两个连接于所述顶壁相反侧的短侧壁，及连接于所述顶壁另一侧的长侧壁，所述透气板设置于所述腔室内且位于所述出气口上方，所述马达设置于对应的所述短侧壁，所述卷轴可转动地枢接于所述短侧壁，所述闸门是由不透气且具有可挠性材质所制成，所述闸门可呈弯折状地抵靠于所述长侧壁及所述透气板顶面。
本发明的又一目的，在于提供一种能够克服背景技术的至少一个缺点的装载埠的吹净方法。
本发明的目的及解决背景技术问题是采用以下技术方案来实现的，依据本发明提出的装载埠的吹净方法，适于吹净传送盒内部，所述传送盒被承载盘所承载。
所述吹净方法包含下述步骤：
载入吹净步骤，在所述承载盘带动所述传送盒对接于对接门之前，通过处理模块控制充气模块将干燥洁净气体充填至所述传送盒内部并经由排气模块排出，通过感测模块感测所述排气模块所排出的所述传送盒内的气体的相对湿度；
连续吹净步骤，在所述传送盒的前开门对接于所述对接门且被所述对接门带动而在开启至关闭的过程中，通过所述处理模块控制所述充气模块将所述干燥洁净气体充填至所述传送盒内部并经由所述排气模块排出，通过所述感测模块感测所述排气模块所排出的所述传送盒内的气体的相对湿度，通过所述处理模块控制气帘装置的出气口排出气体以形成气帘，所述处理模块依据所述感测模块所感测的所述相对湿度来控制所述出气口的开启大小；及
卸载吹净步骤，在所述承载盘带动所述传送盒移离所述对接门之后，通过所述处理模块控制所述充气模块将所述干燥洁净气体充至所述传送盒内部并经由所述排气模块排出，通过所述感测模块感测所述排气模块所排出的所述传送盒内的气体的相对湿度。
本发明的装载埠的吹净方法，在所述连续吹净步骤中，当所述处理模块接收到所述感测模块所感测的所述相对湿度大于预定相对湿度时，所述处理模块控制所述出气口开启变大以使所述气帘的宽度变宽，以及控制供气装置增加供应至所述气帘装置的所述气体流量，当所述处理模块接收到所述感测模块所感测的所述相对湿度小于所述预定相对湿度时，所述处理模块控制所述出气口开启变小以使所述气帘的所述宽度变窄、控制所述供气装置减少供应至所述气帘装置的所述气体流量，以及控制干燥洁净气体供应单元减少供应至所述传送盒内的所述干燥洁净气体流量。
本发明的装载埠的吹净方法，所述处理模块通过收放总成控制闸门遮蔽所述出气口的程度，以调整所述气帘的宽度。
本发明的目的及解决背景技术问题是采用以下技术方案来实现的，依据本发明提出的装载埠的吹净方法，适于吹净传送盒内部，所述传送盒被承载盘所承载。
所述吹净方法包含下述步骤：
载入吹净步骤，在所述承载盘带动所述传送盒对接于对接门之前，通过处理模块执行第一吹净工序，在所述第一吹净工序时，所述处理模块控制充气模块将第一干燥洁净气体充填至所述传送盒内部并经由排气模块排出，通过感测模块感测所述排气模块所排出的所述传送盒内的气体的相对湿度；
连续吹净步骤，在所述传送盒的前开门对接于所述对接门且被所述对接门带动而在开启至关闭的过程中，通过所述处理模块执行所述第一吹净工序或第二吹净工序，在所述第二吹净工序时，所述处理模块控制所述充气模块将与所述第一干燥洁净气体相异的第二干燥洁净气体充填至所述传送盒内部并经由所述排气模块排出，通过所述感测模块感测所述排气模块所排出的所述传送盒内的气体的相对湿度，通过所述处理模块控制气帘装置的出气口排气以形成气帘，所述处理模块依据所述感测模块所感测的所述相对湿度来控制所述出气口的开启大小；及
卸载吹净步骤，在所述承载盘带动所述传送盒移离所述对接门之后，通过所述处理模块执行所述第一吹净工序或所述第二吹净工序，通过所述感测模块感测所述排气模块所排出的所述传送盒内的气体的相对湿度。
本发明的装载埠的吹净方法，在所述连续吹净步骤中，当所述处理模块接收到所述感测模块所感测的所述相对湿度大于预定相对湿度时，所述处理模块控制所述出气口开启变大以使所述气帘的宽度变宽，以及控制供气装置增加供应所述气帘装置的所述气体流量，当所述处理模块接收到所述感测模块所感测的所述相对湿度小于所述预定相对湿度时，所述处理模块控制所述出气口开启变小以使所述气帘的所述宽度变窄、控制所述供气装置减少供应至所述气帘装置的所述气体流量，以及控制干燥洁净气体供应单元减少供应至所述传送盒内的所述第一干燥洁净气体或所述第二干燥洁净气体流量。
本发明的装载埠的吹净方法，所述处理模块通过收放总成控制闸门遮蔽所述出气口的程度，以调整所述气帘的宽度。
本发明的有益效果在于：借由气帘装置的闸门机构可被操作而改变出气口开启大小的设计方式，使得处理模块能够依据感测模块所感测的相对湿度来驱动闸门机构运作以改变出气口的开启大小。在出气口开启范围变小的过程中，处理模块会同时驱动流量控制器开启较小流量，使气体流入进气孔内的流量减少。借此，能节省气体的使用量以降低气体的使用成本。
附图说明
图1是本发明装载埠的第一实施例的一立体图；
图2是所述第一实施例的一气帘装置的一剖视图，说明一外壳及一闸门机构之间的组装关系；
图3是所述第一实施例的所述气帘装置的一剖视图，说明所述外壳及所述闸门机构之间的组装关系；
图4是所述第一实施例的所述气帘装置的一不完整剖视图，说明一马达、一卷轴及一联轴器之间的组装关系；
图5是所述第一实施例的一方块图；
图6是所述第一实施例的一承载盘的一仰视图；
图7是所述第一实施例的一吹净流程图；
图8是所述第一实施例的一作动示意图，说明一载入吹净步骤开始及停止的时机；
图9是所述第一实施例的一作动示意图，说明一传送盒前开门开启时的连续吹净步骤开始及停止的时机；
图10是所述第一实施例的一不完整剖视图，说明一气帘装置形成一层流气帘；
图11是所述第一实施例的一不完整剖视图，说明一收放总成收合一闸门，使一出气口开启范围变大以及所述层流气帘的一宽度变宽；
图12是所述第一实施例的一不完整剖视图，说明所述收放总成释放所述闸门，使所述出气口开启范围变小以及所述层流气帘的所述宽度变窄；
图13是所述第一实施例的一作动示意图，说明一卸载吹净步骤开始及停止的时机；及
图14是本发明装载埠的第二实施例的一方块图。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本发明进行详细说明。
在本发明被详细描述之前，应当注意在以下的说明内容中，类似的元件是以相同的编号来表示。
参阅图1，是本发明装载埠的第一实施例，所述装载埠100设置于一半导体制造装置(图未示)一侧并且用以承载一传送盒8(如图8所示)，所述传送盒8用以存放例如晶圆或光罩。在本第一实施例中，所述传送盒8为一用以存放晶圆的前开式晶圆传送盒。
装载埠100包含一机座1、一承载盘2、一气帘装置3、一供气装置4，及一吹净及监控装置5。机座1包括一座体11、一设置于座体11顶端的平台12、一设置于座体11与平台12前端的框架13，及一可移动地设置于框架13的对接门14。承载盘2设置于平台12顶面用以承载传送盒8，使得传送盒8的一前开门81(如图8所示)能与对接门14的位置对齐。借此，当前述传送盒8的前开门81以及机座1的对接门14分别在开启位置时，半导体制造装置能对传送盒8内的晶圆进行存取。
参阅图2及图3，气帘装置3包括一外壳31，及一闸门机构32。外壳31包含一壳体310，及一透气板311。壳体310具有一呈矩形的顶壁312、两个连接于顶壁312相反侧的长侧壁313，及两个连接于顶壁312另两相反侧的短侧壁314。顶壁312形成有两个相间隔的进气孔315。顶壁312、两长侧壁313及两短侧壁314共同界定出一与进气孔315相连通的腔室316。两长侧壁313及两短侧壁314共同界定出一与腔室316相连通并呈矩形的出气口317。透气板311呈矩形并设置于腔室316内且位于出气口317上方。透气板311可通过例如黏胶黏合或螺丝锁固的方式固定地结合于两长侧壁313及两短侧壁314。在本第一实施例中，透气板311是由不锈钢材质制成并形成有多个彼此相间隔的通气孔318，各通气孔318的直径为0.01至2毫米。透气板311也可以是由超高分子量聚乙烯材质制成，其平均分子量约为100万～900万。各进气孔315用以输入例如为洁净干燥空气(CDA)或氮气的气体至腔室316内，气体会经由通气孔318向下流动并经由出气口317排出以形成一气帘A(如图9和图10所示)，气帘A为一层流气帘。
参阅图2、图3及图4，闸门机构32设置于外壳31用以遮蔽出气口317并可被操作而改变出气口317的开启大小。闸门机构32包含一收放总成321，及一闸门322。收放总成321包括一马达323、一卷轴324、一联轴器325，及一连接片326。马达323为一微型马达，其通过例如螺锁方式锁固于其中一短侧壁314，马达323可被驱动而运转并具有一驱动轴327。卷轴324可转动地枢接于两短侧壁314，卷轴324的轴向平行于长侧壁313的长向且其中一端通过联轴器325与马达323的驱动轴327固定地连接在一起。借此，使得马达323运转时能带动卷轴324旋转。连接片326是由可挠性材质所制成且其长度略小于透气板311长度及出气口317长度。连接片326一端通过例如螺锁方式锁固于卷轴324上，另一端也通过例如螺锁方式锁固于闸门322上。连接片326的一部分卷绕于卷轴324并能被卷轴324带动而卷收或释放。闸门322是由不透气且具有可挠性材质所制成，闸门322长度略小于透气板311长度及出气口317长度。闸门322可呈弯折状地抵靠于对应的长侧壁313及透气板311顶面，以遮蔽透气板311的通气孔318及出气口317。收放总成321通过马达323带动卷轴324旋转使其卷收或释放连接片326，连接片326被卷放过程中会同时带动闸门322移动而收合或释放闸门322，以控制闸门322遮蔽透气板311及出气口317的程度。闸门322通过遮蔽透气板311及出气口317的程度来调整气帘A的一宽度W(如图10所示)。
参阅图1及图5，供气装置4设置于机座1的座体11内并包括一供气模块41、一流量控制器42，及一过滤器43。供气模块41包括一气体供应源411，及一设置于气体供应源411与流量控制器42之间的气体压力调节器412。气体供应源411用以供应气帘装置3运作时所需的气体，所述气体是例如为洁净干燥空气(CDA)或氮气。气体压力调节器412用以感测及调节经由气体供应源411传输至流量控制器42的气体的压力。气体压力调节器412具有一开关413、一压力感测元件414，及一控制阀415。压力感测元件414用以感测气体的压力。控制阀415用以调节气体的压力。流量控制器42设置于控制阀415与外壳31的进气孔315之间，用以控制气体流入进气孔315内的流量。过滤器43设置于流量控制器42与进气孔315之间，用以过滤及净化输入进气孔315的气体。
参阅图1及图6，吹净及监控装置5包括一充气模块51，及一排气模块52。充气模块51包括一充气管511，及两个充气喷嘴512。充气管511嵌设于承载盘2底面并界定出一进气口513，及两个充气口514。两充气喷嘴512嵌设于承载盘2，各充气喷嘴512连接于充气管511的对应充气口514。各充气喷嘴512用以与传送盒8(如图8所示)的一对应的进气阀(图未示)连接。排气模块52包括一排气管521，及两个排气喷嘴522。排气管521嵌设于承载盘2底面并界定出两个入气口523，及一出气口524。两排气喷嘴522嵌设于承载盘2，各排气喷嘴522连接于排气管521的对应入气口523。各排气喷嘴522用以与传送盒8的一对应的出气阀(图未示)连接。
参阅图1及图5，吹净及监控装置5还包括设置于座体11内的一干燥洁净气体供应单元53、一处理模块58、一感测模块59、一排出气体压力调节器60、一真空产生器61，及一排出气体处理模块62。干燥洁净气体供应单元53包含一第一供气模块54、一第二供气模块55、一流量控制器56，及一过滤器57。第一供气模块54包括一第一干燥洁净气体供应源541，及一设置于第一干燥洁净气体供应源541与流量控制器56之间的第一干燥洁净气体压力调节器542。第一干燥洁净气体供应源541用以供应充气模块51运作时所需的第一干燥洁净气体，在本第一实施例中，第一干燥洁净气体是以洁净干燥空气(CDA)为例。第一干燥洁净气体压力调节器542电连接于处理模块58，用以感测及调节经由第一干燥洁净气体供应源541传输至流量控制器56的第一干燥洁净气体的压力。第一干燥洁净气体压力调节器542具有一第一开关543、一第一压力感测元件544，及一第一控制阀545。第一压力感测元件544用以感测第一干燥洁净气体的压力并能转换成一感测讯号。处理模块58用以接收所述感测讯号，借以判断第一干燥洁净气体的压力是否符合一预设压力值。当第一干燥洁净气体的压力大于或小于所述预设压力值时，处理模块58会驱动第一控制阀545作动以调节第一干燥洁净气体的压力使其符合所述预设压力值。第一控制阀545除了控制第一干燥洁净气体的压力之外，还用以控制第一干燥洁净气体的流通或阻断。
第二供气模块55结构与第一供气模块54结构相同，并包括一第二干燥洁净气体供应源551，及一设置于第二干燥洁净气体供应源551与流量控制器56之间的第二干燥洁净气体压力调节器552。第二干燥洁净气体供应源551用以供应充气模块51运作时所需的第二干燥洁净气体，第二干燥洁净气体与第一干燥洁净气体相异，在本第一实施例中，第二干燥洁净气体是以氮气为例。第二干燥洁净气体压力调节器552电连接于处理模块58，用以感测及调节经由第二干燥洁净气体供应源551传输至流量控制器56的第二干燥洁净气体的压力。第二干燥洁净气体压力调节器552具有一第二开关553、一第二压力感测元件554，及一第二控制阀555。第二压力感测元件554用以感测第二干燥洁净气体的压力并能转换成一感测讯号。处理模块58用以接收所述感测讯号，借以判断第二干燥洁净气体的压力是否符合一预设压力值。当第二干燥洁净气体的压力大于或小于所述预设压力值时，处理模块58会驱动第二控制阀555作动以调节第二干燥洁净气体的压力使其符合所述预设压力值。第二控制阀555除了控制第二干燥洁净气体的压力之外，还用以控制第二干燥洁净气体的流通或阻断。
流量控制器56设置于第一、第二控制阀545、555与充气模块51的进气口513之间并与处理模块58电连接。处理模块58借由驱动流量控制器56的开启大小以控制第一干燥洁净气体或第二干燥洁净气体流入进气口513内的流量。过滤器57设置于流量控制器56与进气口513之间，用以过滤及净化第一干燥洁净气体或第二干燥洁净气体。
处理模块58电连接于气帘装置3的马达323、气体压力调节器412，及流量控制器42。处理模块58用以驱动马达323运转。压力感测元件414感测气体的压力并能转换成一感测讯号。处理模块58用以接收所述感测讯号，借以判断气体的压力是否符合一预设压力值。当气体的压力大于或小于所述预设压力值时，处理模块58会驱动控制阀415作动以调节气体的压力使其符合所述预设压力值。处理模块58借由驱动流量控制器42的开启大小以控制气体流入进气孔315内的流量。
处理模块58与一制造执行系统(MES)7电连接，制造执行系统7用以控制处理模块58执行一第一吹净工序，或者是执行一第二吹净工序。当处理模块58执行第一吹净工序时，处理模块58驱动第一控制阀545开启使第一干燥洁净气体流通，并驱动第二控制阀555关闭以阻断第二干燥洁净气体，借此，使得第一干燥洁净气体能通过充气模块51对传送盒8内进行吹净干燥洁净的作业。当处理模块58执行第二吹净工序时，处理模块58驱动第一控制阀545关闭以阻断第一干燥洁净气体，并驱动第二控制阀555开启使第二干燥洁净气体流通，借此，使得第二干燥洁净气体能通过充气模块51对传送盒8内进行吹净清洁的作业。
感测模块59、排出气体压力调节器60，及真空产生器61皆设置在一测气管(图未示)上，所述测气管设置于座体11内并与出气口524相连通。感测模块39电连接于处理模块58，用以感测经由出气口524排出至所述测气管的传送盒8内原有的气体的相关参数。感测模块59包括一用以感测排出的传送盒8内原有的气体的相对湿度的相对湿度感测器591，及一用以感测排出的传送盒8内原有的气体的温度的温度感测器592。
排出气体压力调节器60电连接于处理模块58，并包括一开关601，及一排气阀602。处理模块58借由驱动排气阀602开启以控制传送盒8内原有的气体排入所述测气管内。真空产生器61位于排出气体压力调节器60与排出气体处理模块62之间，用以使所述测气管内产生真空吸力，使传送盒8排入所述测气管内的被排出气体朝排出气体处理模块62流动。排出气体处理模块62连接于所述测气管相反于出气口524的一端，用以处理并去除经由所述测气管所排出的传送盒8内原有气体内的污染物。
以下针对装载埠100的吹净方法进行说明：
参阅图5，制造执行系统7会依据传送盒8(如图8所示)的前一个制程以及当站制程需求来判断选择控制处理模块58执行第一吹净工序或者是执行第二吹净工序。下文中以处理模块58执行第一吹净工序为例作说明。
参阅图5及图7，在当站制程中，装载埠100的吹净方法包含下述步骤：载入吹净步骤S1、连续吹净步骤S2，及卸载吹净步骤S3。
参阅图5、图7及图8，当移载机构(图未示)将传送盒8放置于承载盘2上，且承载盘2带动传送盒8对接于对接门14之前，装载埠100会进行载入吹净步骤S1，使处理模块58执行第一吹净工序。
具体而言，当承载盘2在一如图8所示的装卸位置时，移载机构(图未示)会将传送盒8装载在承载盘2上。随后，设置于机座1的平台12上的一卡固机构15会作动至一卡固状态，使卡固机构15的多个卡固件151(图8只显示其中一个)将传送盒8卡固于承载盘2，此时，处理模块58开始执行第一吹净工序。处理模块58驱动流量控制器56开启较大流量，使第一供气模块54所供应的第一干燥洁净气体能大量地通过充气模块51充填至传送盒8内部并对其内部吹净。第一干燥洁净气体于传送盒8内部流动过程中会带走传送盒8内部的湿气及芯片上的气态分子污染物(AMC)。排气模块52(如图6所示)会将传送盒8内的原有气体及充填至传送盒8内的第一干燥洁净气体排出。同时，处理模块58会驱动感测模块59运作，感测模块59通过相对湿度感测器591感测经由排气模块52所排出的传送盒8内的气体的相对湿度，并产生对应的感测讯号以供处理模块58接收。需说明的是，前述传送盒8内的气体是包含有传送盒8内的原有气体，以及充填至传送盒8内的第一干燥洁净气体。之后，当承载盘2带动传送盒8由装卸位置移动到一如图8所示的对接位置时，传送盒8的一前开门81对接于对接门14，此时处理模块58停止执行第一吹净工序。
参阅图5、图8、图9及图10，当传送盒8的前开门81对接于对接门14且在被对接门14带动而开启前的一段预定时间(例如在开启前3秒)时，处理模块58驱动供气装置4供应气体至气帘装置3的进气孔315。在本第一实施例中，供气装置4所供应的气体是洁净干燥空气(CDA)。由于气帘装置3的闸门322是位在一如图10所示呈弯折状地同时抵靠于对应的长侧壁313及透气板311顶面的初始位置，使得闸门322遮蔽住透气板311的部分通气孔318以及部分出气口317，因此，经由进气孔315流入腔室316内的气体会挤压闸门322使其迫紧长侧壁313及透气板311，且气体会经由未被闸门322遮蔽的通气孔318及出气口317排出并形成高速流动的气帘A。此时，气帘A具有一宽度W。
参阅图5、图7、图9及图10，随后，对接门14会带动前开门81向下移动至一如图9所示的开启位置，装载埠100会进行连续吹净步骤S2，使处理模块58执行第一吹净工序。前述连续吹净步骤S2为传送盒8的前开门81开启时的连续吹净步骤。借由气帘装置3所产生的高速流动的气帘A屏蔽在传送盒8的一开口82与半导体制造装置之间，能防止半导体制造装置的一内部空间内的潮湿空气或微粒经由开口82侵入传送盒8内部，以避免对传送盒8内部的相对湿度及洁净度造成影响。同时，配合充气模块51(如图6所示)充填至传送盒8内部的第一干燥洁净气体朝开口82处流动并与向下流动的气帘A汇流在一起，如此，更能增加屏蔽的效果，使潮湿空气或污染微粒更不易经由开口82侵入传送盒8内部。
另一方面，处理模块58会驱动感测模块59运作，感测模块59通过相对湿度感测器591感测经由排气模块52所排出的传送盒8内的气体的相对湿度，并产生对应的感测讯号。处理模块58接收到前述感测讯号后会依据前述感测讯号来驱动收放总成321带动闸门322移动，以控制出气口317的开启大小。
参阅图5、图10及图11，在本第一实施例中，处理模块58预设有一预定相对湿度。当处理模块58接收到相对湿度感测器591所产生的感测讯号时，处理模块58会将所述感测讯号所对应的相对湿度与预定相对湿度进行比对。当处理模块58判断所述感测讯号所对应的相对湿度大于预定相对湿度时，处理模块58驱动马达323带动卷轴324沿一第一旋转方向R1旋转，卷轴324旋转时会卷收连接片326使其拉动闸门322往上移动。闸门322被往上拉时会减少遮蔽住透气板311的通气孔318及出气口317的面积，使得出气口317开启的范围变大。此时，气体能经由通气孔318及出气口317排出的范围增加，从而使得气帘A的宽度W1变宽。其中，宽度W1大于宽度W。借由气帘A的宽度W1变宽，能增强屏蔽潮湿空气或污染微粒经由开口82侵入传送盒8内部的效果。
需说明的是，处理模块58驱动收放总成321收合闸门322使出气口317开启范围变大的过程中，处理模块58会同时驱动流量控制器42开启较大流量，使气体流入进气孔315内的流量增加。借此，可平衡因气帘A的宽度W1变宽而损失的流速，以使气帘A的流速能保持在一预定范围内。
参阅图5、图10及图12，当处理模块58判断所述感测讯号所对应的相对湿度小于预定相对湿度时，处理模块58驱动马达323带动卷轴324沿一相反于第一旋转方向R1(如图11所示)的第二旋转方向R2旋转，卷轴324旋转时会释放连接片326使其推动闸门322往下移动。闸门322被往下推时会增加遮蔽住透气板311的通气孔318及出气口317的面积，使得出气口317开启的范围变小。此时，气体能经由通气孔318及出气口317排出的范围减少，从而使得气帘A的宽度W2变窄。其中，宽度W2小于宽度W。处理模块58驱动收放总成321释放闸门322使出气口317开启范围变小的过程中，处理模块58会同时驱动流量控制器42开启较小流量，使气体流入进气孔315内的流量减少。借此，能节省气体的使用量。另一方面，处理模块58还会同时驱动流量控制器56开启较小流量，使第一干燥洁净气体充填至传送盒8内的流量减少。借此，能节省第一干燥洁净气体的使用量。
参阅图5及图9，之后，对接门14会带动前开门81向上移动至一如图9所示的关闭位置，处理模块58即停止执行第一吹净工序。接着，在间隔前开门81关闭后的一段时间(例如在关闭后3秒)时，处理模块58驱动流量控制器42关闭以使气帘装置3停止产生气帘A。
参阅图5、图7及图13，在承载盘2带动传送盒8移离对接门14之后，装载埠100会进行卸载吹净步骤S3，使处理模块58执行第一吹净工序。
具体而言，当对接门14带动前开门81向上移动至关闭位置后，承载盘2会带动传送盒8由对接位置移动到装卸位置。当承载盘2位在装卸位置时，处理模块58开始执行第一吹净工序。同时，处理模块58会驱动感测模块59运作，感测模块59通过相对湿度感测器591感测经由排气模块52所排出的传送盒8内的气体的相对湿度。由于在前述连续吹净步骤S2时，传送盒8内的相对湿度已降低至预定相对湿度以下，因此，处理模块58会直接驱动流量控制器56开启较小流量，使第一干燥洁净气体充填至传送盒8内的流量较少。借此，除了能进一步降低传送盒8内的相对湿度之外，还能进一步节省第一干燥洁净气体的使用量。随后，当卡固机构15的卡固件151由卡固状态变换至一未卡固传送盒8的非卡固状态时，处理模块58停止执行第一吹净工序。
特别说明的是，当半导体制造装置所处理的是对氧气较敏感且容易形成氧化物而影响晶圆电性甚至是良率的特定制程时，气体供应源411供应至气帘装置3的气体为氮气。而在连续吹净步骤S2及卸载吹净步骤S3中，处理模块58皆是执行第二吹净工序，使得充气模块51(如图6所示)充填至传送盒8内部的第二干燥洁净气体除了能降低传送盒8内的相对湿度之外，还能进一步降低传送盒8内的含氧量。
参阅图14，是本发明装载埠的第二实施例，其整体结构与运作方式大致与第一实施例相同，不同处在于干燥洁净气体供应单元53。
在本第二实施例中，干燥洁净气体供应单元53只具有第一供气模块54而省略图5的第二供气模块55，使干燥洁净气体供应单元53只能提供单一种干燥洁净气体。当然，干燥洁净气体供应单元53也可只具有图5的第二供气模块55而省略第一供气模块54，使干燥洁净气体供应单元53同样只能提供单一种干燥洁净气体，不以本第二实施例所公开的方式为限。
归纳上述，各实施例的装载埠100，借由气帘装置3的闸门机构32可被操作而改变出气口317开启大小的设计方式，使得处理模块58能够依据感测模块59的相对湿度感测器591所感测的相对湿度来驱动闸门机构32运作以改变出气口317的开启大小。在出气口317开启范围变小的过程中，处理模块58会同时驱动流量控制器42开启较小流量，使气体流入进气孔315内的流量减少。借此，能节省气体的使用量以降低气体的使用成本，确实能达到本发明所诉求的目的。

Claims (15)

1.一种装载埠，适于承载传送盒；其特征在于：
所述装载埠包含机座、气帘装置，及吹净及监控装置，所述机座用以承载所述传送盒，所述气帘装置设置于所述机座并包括外壳，及设置于所述外壳的闸门机构，所述外壳用以供气体输入并形成有出气口，所述出气口用以将所述气体排出以形成气帘，所述闸门机构用以遮蔽所述出气口并可被操作而改变所述出气口的开启大小，所述吹净及监控装置设置于所述机座并包括充气模块、排气模块、感测模块，及处理模块，所述充气模块用以充填干燥洁净气体至所述传送盒内，所述排气模块用以排出所述传送盒内原有的气体及充填至所述传送盒内的所述干燥洁净气体，所述感测模块用以感测所述排气模块所排出的所述传送盒内的气体的相对湿度，所述处理模块电连接于所述感测模块与所述闸门机构之间，所述处理模块依据所述感测模块所感测的所述相对湿度来驱动所述闸门机构运作以改变所述出气口的开启大小。
2.根据权利要求1所述的装载埠，其特征在于：还包含设置于所述机座的供气装置，所述供气装置用以供应所述气体至所述外壳内，所述吹净及监控装置还包括干燥洁净气体供应单元，所述干燥洁净气体供应单元用以供应所述干燥洁净气体至所述充气模块，所述处理模块电连接于所述供气装置及所述干燥洁净气体供应单元并预设有预定相对湿度，当所述处理模块接收到所述感测模块所感测的所述相对湿度小于所述预定相对湿度时，所述处理模块控制所述出气口开启变小以使所述气帘的宽度变窄、控制所述供气装置减少供应至所述外壳内的所述气体流量，以及控制所述干燥洁净气体供应单元减少供应至所述传送盒内的所述干燥洁净气体流量。
3.根据权利要求2所述的装载埠，其特征在于：当所述处理模块接收到所述感测模块所感测的所述相对湿度大于所述预定相对湿度时，所述处理模块控制所述出气口开启变大以使所述气帘的所述宽度变宽，以及控制所述供气装置增加供应至所述外壳内的所述气体流量。
4.根据权利要求2所述的装载埠，其特征在于：所述供气装置包括与所述处理模块电连接用以供应所述气体的供气模块，及与所述处理模块电连接的流量控制器，用以控制所述气体流入所述外壳的流量。
5.根据权利要求4所述的装载埠，其特征在于：所述供气模块包括用以供应所述气体的气体供应源，及设置于所述气体供应源与所述流量控制器之间的气体压力调节器，所述气体压力调节器电连接于所述处理模块用以感测及调节所述气体的压力。
6.根据权利要求1所述的装载埠，其特征在于：所述闸门机构包含收放总成，及与所述收放总成连接用以遮蔽所述出气口的闸门，所述收放总成用以收合或释放所述闸门以控制其遮蔽所述出气口的程度，所述闸门通过遮蔽所述出气口的程度来调整所述气帘的宽度。
7.根据权利要求6所述的装载埠，其特征在于：所述收放总成包括与所述处理模块电连接并能被其驱动而运转的马达、能被所述马达驱动而旋转的卷轴，及连接于所述卷轴与所述闸门之间的连接片，所述连接片是由可挠性材质所制成，所述连接片的一部分卷绕于所述卷轴并能被其带动而卷收或释放。
8.根据权利要求7所述的装载埠，其特征在于：所述外壳包含壳体，及透气板，所述壳体界定出所述出气口并形成有与所述出气口相连通的腔室，及与所述腔室相连通的进气孔，所述壳体具有顶壁、两个连接于所述顶壁相反侧的短侧壁，及连接于所述顶壁另一侧的长侧壁，所述透气板设置于所述腔室内且位于所述出气口上方，所述马达设置于对应的所述短侧壁，所述卷轴可转动地枢接于所述短侧壁，所述闸门是由不透气且具有可挠性材质所制成，所述闸门可呈弯折状地抵靠于所述长侧壁及所述透气板顶面。
9.一种装载埠，适于承载传送盒；其特征在于：
所述装载埠包含机座、气帘装置，及吹净及监控装置，所述机座用以承载所述传送盒，所述气帘装置设置于所述机座并包括外壳，及设置于所述外壳的闸门机构，所述外壳用以供气体输入并形成有出气口，所述出气口用以将所述气体排出以形成气帘，所述闸门机构用以遮蔽所述出气口并可被操作而改变所述出气口的开启大小，所述吹净及监控装置设置于所述机座并包括充气模块、排气模块、感测模块，及处理模块，所述充气模块用以充填第一干燥洁净气体或与所述第一干燥洁净气体相异的第二干燥洁净气体至所述传送盒内，所述排气模块用以排出所述传送盒内的原有气体及充填至所述传送盒内的所述第一干燥洁净气体或所述第二干燥洁净气体，所述感测模块用以感测所述排气模块所排出的所述传送盒内的气体的相对湿度，所述处理模块电连接于所述感测模块与所述闸门机构之间，所述处理模块依据所述感测模块所感测的所述相对湿度来驱动所述闸门机构运作以改变所述出气口的开启大小。
10.一种装载埠的吹净方法，适于吹净传送盒内部，所述传送盒被承载盘所承载；其特征在于：
所述吹净方法包含下述步骤：
载入吹净步骤，在所述承载盘带动所述传送盒对接于装载埠的对接门之前，通过处理模块控制充气模块将干燥洁净气体充填至所述传送盒内部并经由排气模块排出，通过感测模块感测所述排气模块所排出的所述传送盒内的气体的相对湿度；
连续吹净步骤，在所述传送盒的前开门对接于所述对接门且被所述对接门带动而在开启至关闭的过程中，通过所述处理模块控制所述充气模块将所述干燥洁净气体充填至所述传送盒内部并经由所述排气模块排出，通过所述感测模块感测所述排气模块所排出的所述传送盒内的气体的相对湿度，通过所述处理模块控制装载埠的气帘装置的出气口排出气体以形成气帘，所述处理模块依据所述感测模块所感测的所述相对湿度来控制所述出气口的开启大小；及
卸载吹净步骤，在所述承载盘带动所述传送盒移离所述对接门之后，通过所述处理模块控制所述充气模块将所述干燥洁净气体充至所述传送盒内部并经由所述排气模块排出，通过所述感测模块感测所述排气模块所排出的所述传送盒内的气体的相对湿度。
11.根据权利要求10所述的装载埠的吹净方法，其特征在于：在所述连续吹净步骤中，当所述处理模块接收到所述感测模块所感测的所述相对湿度大于预定相对湿度时，所述处理模块控制所述出气口开启变大以使所述气帘的宽度变宽，以及控制供气装置增加供应至所述气帘装置的所述气体流量，当所述处理模块接收到所述感测模块所感测的所述相对湿度小于所述预定相对湿度时，所述处理模块控制所述出气口开启变小以使所述气帘的所述宽度变窄、控制所述供气装置减少供应至所述气帘装置的所述气体流量，以及控制干燥洁净气体供应单元减少供应至所述传送盒内的所述干燥洁净气体流量。
12.根据权利要求10所述的装载埠的吹净方法，其特征在于：所述处理模块通过收放总成控制闸门遮蔽所述出气口的程度，以调整所述气帘的宽度。
13.一种装载埠的吹净方法，适于吹净传送盒内部，所述传送盒被承载盘所承载；其特征在于：
所述吹净方法包含下述步骤：
载入吹净步骤，在所述承载盘带动所述传送盒对接于装载埠的对接门之前，通过处理模块执行第一吹净工序，在所述第一吹净工序时，所述处理模块控制充气模块将第一干燥洁净气体充填至所述传送盒内部并经由排气模块排出，通过感测模块感测所述排气模块所排出的所述传送盒内的气体的相对湿度；
连续吹净步骤，在所述传送盒的前开门对接于所述对接门且被所述对接门带动而在开启至关闭的过程中，通过所述处理模块执行所述第一吹净工序或第二吹净工序，在所述第二吹净工序时，所述处理模块控制所述充气模块将与所述第一干燥洁净气体相异的第二干燥洁净气体充填至所述传送盒内部并经由所述排气模块排出，通过所述感测模块感测所述排气模块所排出的所述传送盒内的气体的相对湿度，通过所述处理模块控制装载埠的气帘装置的出气口排气以形成气帘，所述处理模块依据所述感测模块所感测的所述相对湿度来控制所述出气口的开启大小；及
卸载吹净步骤，在所述承载盘带动所述传送盒移离所述对接门之后，通过所述处理模块执行所述第一吹净工序或所述第二吹净工序，通过所述感测模块感测所述排气模块所排出的所述传送盒内的气体的相对湿度。
14.根据权利要求13所述的装载埠的吹净方法，其特征在于：在所述连续吹净步骤中，当所述处理模块接收到所述感测模块所感测的所述相对湿度大于预定相对湿度时，所述处理模块控制所述出气口开启变大以使所述气帘的宽度变宽，以及控制供气装置增加供应所述气帘装置的所述气体流量，当所述处理模块接收到所述感测模块所感测的所述相对湿度小于所述预定相对湿度时，所述处理模块控制所述出气口开启变小以使所述气帘的所述宽度变窄、控制所述供气装置减少供应至所述气帘装置的所述气体流量，以及控制干燥洁净气体供应单元减少供应至所述传送盒内的所述第一干燥洁净气体或所述第二干燥洁净气体流量。
15.根据权利要求13所述的装载埠的吹净方法，其特征在于：所述处理模块通过收放总成控制闸门遮蔽所述出气口的程度，以调整所述气帘的宽度。
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