CN207602538U - 晶圆盒载运系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种晶圆盒载运系统。所述系统包含承载装置及气帘装置，所述承载装置包含平台、充气模块及控制模块，所述平台用以设置晶圆盒，所述充气模块用以对设置于平台上的晶圆盒进行充气作业，所述控制模块电性连接充气模块，气帘装置邻近于平台设置，气帘装置电性连接控制模块，控制模块能控制气帘装置的启闭，气帘装置被启动时，其能对设置于平台的晶圆盒的一活动门所处位置进行吹气，控制模块能在设置于平台的晶圆盒的活动门被开启时，控制气帘装置动作，以对晶圆盒原设置有活动门的位置进行吹气。本实用新型的应用，可有效的避免晶圆盒内部空间受外部环境的影响。

Description

晶圆盒载运系统

技术领域

本实用新型涉及一种载运系统，特别是一种晶圆盒载运系统。

背景技术

晶圆盒是目前常见用来载运晶圆片的一种容器，各式的晶圆盒大多设置有一活动门，活动门可被相关的设备、人员开启，以取出设置于晶圆盒中的晶圆片或是将晶圆片设置于晶圆盒中。

在现有的应用中，晶圆盒的活动门被开启时，外部环境的微粒将容易进入晶圆盒中，进而可能影响设置于晶圆盒中的晶圆片的后续加工作业。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种晶圆盒载运系统，用以改善现有技术中，晶圆盒的活动门被开启时，设置于晶圆盒中的晶圆片将容易受外部环境影响的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种晶圆盒载运系统，所述系统包含一承载装置晶圆载运平台及一气帘装置。承载装置包含：一平台、一充气模块及一控制模块，所述平台用以设置一晶圆盒，所述充气模块用以对设置于平台上的晶圆盒进行充气作业，所述控制模块电性连接所述充气模块，所述控制模块能控制所述充气模块对设置于平台上的晶圆盒内部进行充气作业，所述气帘装置邻近于平台设置，气帘装置电性连接控制模块，控制模块能控制气帘装置的启闭；其中，气帘装置被启动时，气帘装置能对设置于平台的晶圆盒的一活动门所处位置进行吹气，其中，控制模块能在设置于平台的晶圆盒的活动门被开启时，控制气帘装置动作，以对晶圆盒原设置有活动门的位置进行吹气。

优选地，晶圆盒载运系统还包含有一开门组件，其邻近于平台设置，开门组件能与设置于平台的晶圆盒的活动门相互连接，而带动活动门移动，以使晶圆盒内部与外连通。

优选地，控制模块电性连接开门组件，控制模块能同时或先后控制气帘装置及开门组件，以使气帘装置在晶圆盒的活动门被开启时，对晶圆盒原设置有活动门的位置进行吹气。

优选地，平台还包含有一限位组件，其能选择性地与设置于平台的晶圆盒相互连接，而限制晶圆盒的活动；限位组件电性连接控制模块，控制模块能先后控制限位组件及开门组件动作，以先限制晶圆盒的活动后再控制开门组件带动晶圆盒的活动门开启。

优选地，控制模块能先后控制限位组件及充气模块动作，以使设置于平台的晶圆盒与限位组件相连接后，晶圆盒的内部能被充气模块充气；控制模块能控制充气模块于晶圆盒的活动门被开启时，持续对晶圆盒的内部进行充气作业。

优选地，控制模块能先后控制开门组件及气帘装置，以使气帘装置在开门组件关闭设置于平台的晶圆盒的活动门时停止吹气作业。

优选地，设置于平台的晶圆盒的活动门被开启时，控制模块能对应接收一开启信号，而控制模块能对应控制气帘装置启动，以对晶圆盒原设置有活动门的位置进行吹气。

优选地，晶圆盒载运系统还包含有一侦测模块，其用以侦测设置于平台的晶圆盒的活动门是否被开启，侦测模块能于侦测晶圆盒的活动门被开启时，产生开启信号，并传递至控制模块。

优选地，控制模块接收开启信号时，控制模块能控制充气模块持续对晶圆盒的内部进行充气作业。

优选地，设置于平台的晶圆盒的活动门被关闭时，控制模块能对应接收一关闭信号，而控制模块能对应控制气帘装置停止进行吹气作业。

本实用新型的有益效果可以在于：通过气帘装置及控制模块的相互配合，晶圆盒的活动门被开启时，气帘装置能于晶圆盒原设置有活动门的位置进行吹气，从而可有效地避免晶圆盒内部受外部环境影响。

附图说明

图1为本实用新型的晶圆盒载运系统的示意图。

图2为本实用新型的晶圆盒载运系统的方块示意图。

图3为本实用新型的晶圆盒载运系统的动作示意图。

图4为本实用新型的晶圆盒载运系统的气帘装置的示意图。

图5为本实用新型的晶圆盒载运系统的另一实施例的方块示意图。

图6为本实用新型的晶圆盒载运系统的又一实施例的方块示意图。

具体实施方式

请一并参阅图1及图2，其为本实用新型的晶圆盒载运系统的示意图。如图所示，晶圆盒载运系统1包含有一承载装置10及一气帘装置20。承载装置10包含有一平台11、一充气模块12及一控制模块13。平台11用以设置一晶圆盒B(FOUP)，其可以是设置有一限位组件14及多个气嘴组件(图未标示)，限位组件14能与设置于平台11的晶圆盒B相互卡合，以限制晶圆盒B相对于平台11的动作。

充气模块12用以对设置于平台11上的晶圆盒B进行充气作业。所述充气模块12可以是依据需求与至少一个外部供气设备相连通，且充气模块12可以是通过设置于平台11的气嘴组件，而将外部供气设备所提供的气体，充入设置于平台11上的晶圆盒B中。于实际应用中，充气模块12可以是包含有进气管路及排气管路，而充气模块12能利用进气管路将外部供气设备所提供的气体(例如是CDA、氮气等)，充入设置于平台11的晶圆盒B中，而充气模块12还能利用排气管路将晶圆盒B中的气体向外排出。

控制模块13电性连接充气模块12，控制模块13能控制充气模块12对设置于平台11上的晶圆盒B内部进行充气作业。控制模块13例如可以是微处理器，在实际应用中，控制模块13还可以是与外部处理装置(例如计算机等)相联机，以接收外部处理装置所传入的控制信息。

气帘装置20邻近于平台11设置，气帘装置20电性连接控制模块13，而控制模块13能控制气帘装置20的启闭。其中，气帘装置20被启动时，气帘装置20能对设置于平台11的晶圆盒B的一活动门B1所处位置进行吹气，借此避免晶圆盒B的内部受到外部环境的影响。

请参阅图4，在实际应用中，气帘装置20可以是包含有一本体21、一盖体22及至少一个透气板23，本体21的一侧内凹形成有一容置槽211，本体21相反于内凹形成容置槽211的一侧，具有多个出气孔(图未示)。盖体22固定设置于本体21而可对应遮蔽所述容置槽211，盖体22包含有多个进气孔221，而可与外部的气体供应设备相互连通；在实际应用中，可以是与前述充气模块12相互连通，亦即，承载装置10的充气模块12可以是对设置于平台11的晶圆盒B的内部进行充气作业，还可以是与气帘装置20相连接，而提供气帘装置20吹气所需的气体。透气板23包含有多个穿孔231(图未示)，透气板23设置于容置槽211中，各个透气板23的穿孔231数量、外型、排列方式等，可依据需求加以设计，于此不加以限制。气帘装置20实际的动作方式，可以是气体由盖体22的进气孔221进入本体21的容置槽211中，当位于容置槽211中的气体压力到达预定压力时，气体将会通过透气板23的多个穿孔231，而由本体21的多个出气孔向外排出，通过多个透气板23的设置及多个出气孔的设置，可以使气帘装置20排出稳定而均匀的气流墙。上述气帘装置20所包含的构件及其动作方式，仅为其中一种示范态样，于实际应用中，不以此为限。

关于气帘装置20的吹气作业的控制方式，可以是于盖体22的进气孔221设置有电控气阀，而利用电控气阀对应控制气体进入盖体22。另外，在气帘装置20与承载装置10的充气模块12相互连接的实施态样中，充气模块12对于气帘装置20的供气作业，则可以是直接通过前述控制模块13进行控制。

请复参阅图1，在不同的应用中，晶圆盒载运系统1还可以是包含有一开门组件30，其邻近于平台11设置，开门组件30能与设置于平台11的所述晶圆盒B的活动门B1相互连接，而带动活动门B1移动，以使晶圆盒B内部与外连通。在实际应用中，开门组件30可以是与承载装置10的控制模块13电性连接，而控制模块13能据以控制开门组件30的动作，以选择性地控制开门组件30开启设置于平台11上的晶圆盒B的活动门B1；当然，在不同的实施例中，开门组件30也可是由不同于承载装置10的控制模块控制。

请参阅图3，本实用新型的晶圆盒载运系统1实际的动作方式可以是：当晶圆盒B被设置于平台11上时，控制模块13对应控制限位组件14与晶圆盒B相互连接，以限制晶圆盒B相对于平台11的活动；而后，控制模块13将控制充气模块12对晶圆盒B的内部进行充气作业。当晶圆盒B中的晶圆片需要被取出时(或者是晶圆盒B中需要被设置晶圆片)，控制模块13可以是先确认限位组件14是否与晶圆盒B相互连接，在限位组件14与晶圆盒B相互连接的情况下，控制模块13将控制开门组件30动作，以利用开门组件30开启晶圆盒B的活动门B1，与此同时，控制模块13将控制气帘装置20动作，以使气帘装置20对晶圆盒B原设置有活动门B1的位置吹气，进而于晶圆盒B与外部连通的开口处形成气流墙。如此，外部设备在对晶圆盒B内部进行晶圆片的载运时，通过气流墙的设置，外部环境的微粒、气体等将不易进入晶圆盒B中，而可有效降低晶圆盒B在活动门B1开启的过程中，受到外部环境的影响。

值得一提的是，控制模块13在控制开门组件30开启晶圆盒B的活动门B1时，控制模块13可以是持续地控制充气模块12对晶圆盒B内部进行充气，也就是说，外部设备在对晶圆盒B中的晶圆片进行操作时，晶圆盒B内将持续有充气模块12所输入的气体，而该气体将受晶圆盒B的内壁导引将会向晶圆盒B的开口处流动，配合气帘装置20所吹出的气体，位于晶圆盒B外部的微粒、气体等，将更不容易进入晶圆盒B中。当外部设备完成对晶圆盒B内部操作作业时，控制模块13可以是先控制开门组件30带动活动门B1移动以关闭晶圆盒B，而后再控制气帘装置20关闭；当晶圆盒B将被外部设备取离平台11时，控制模块13则可以是先控制充气模块12停止对晶圆盒B内部进行充气，而后再控制限位组件14与晶圆盒B相互分离。

如图5及图6所示，其显示为本实用新型的晶圆盒载运系统的另两个实施例的方块示意图。以下仅针对两实施例与前述实施例最大不同之处进行说明，其余未说明的部份与前述实施例相同。

如图所示，本实施例与前述实施例最大不同之处在于，承载装置10的控制模块13不是与开门组件E电性连接，而控制模块13是无法直接控制开门组件E的动作，而开门组件E是被另一处理模块C直接控制。在此实施例中，晶圆盒载运系统1的动作方式可以是，控制模块13在设置于平台11的晶圆盒B的活动门B1被开启时，对应接收一开启信号S1，而控制模块13能据以控制气帘装置20启动，以对晶圆盒B原设置有活动门B1的位置进行吹气。相对地，设置于平台11的晶圆盒B的活动门B1被关闭时，控制模块13能对应接收一关闭信号S2，而控制模块13能据以对应控制气帘装置20停止进行吹气作业。

如图5所示，在其中一实施例中，开启信号S1及关闭信号S2可以是来自直接控制开门组件E的一处理模块C。承载装置10的控制模块13则与处理模块C通讯连接。当处理模块C在控制开门组件E带动开门组件E开启设置于平台11的晶圆盒B的活动门B1时，处理模块C将传递所述开启信号S1至控制模块13；当处理模块C在控制开门组件E带动开门组件E关闭设置于平台11的晶圆盒B的活动门B1时，处理模块C将传递所述关闭信号S2至控制模块13。

如图6所示，在另一实施例中，开启信号S1及关闭信号S2可以是来自一侦测模块D，所述侦测模块D可以是邻近于平台设置，或者是设置于平台11。侦测模块D能侦测设置于平台11的晶圆盒B的活动门B1的启闭状态，而侦测模块D能于侦测到设置于平台11的晶圆盒B的活动门B1被开启时，对应传递所述开启信号S1至控制模块13，而当侦测模块D侦测晶圆盒B的活动门B1被关闭时，侦测模块D则能传递所述关闭信号S2至控制模块13。

综上所述，本实用新型的晶圆盒载运系统通过气帘装置及控制模块的相互配合，晶圆盒的活动门被开启时，气帘装置能于晶圆盒原设置有活动门的位置进行吹气，从而可有效地避免晶圆盒内部受外部环境影响；另外，本实用新型的晶圆盒载运系统还可以在晶圆盒的活动门被开启时，同时使充气模块持续地对晶圆盒内部进行充气，如此将可使位于晶圆盒外部的微粒、气体等，更不容易进入晶圆盒中。

Claims (10)

1.一种晶圆盒载运系统，其特征在于，所述晶圆盒载运系统包含：

一承载装置，其包含：

一平台，其用以设置一晶圆盒；

一充气模块，其用以对设置于所述平台上的所述晶圆盒进行充气作业；及

一控制模块，其电性连接所述充气模块，所述控制模块能控制所述充气模块对设置于所述平台上的所述晶圆盒内部进行充气作业；以及

一气帘装置，其邻近于所述平台设置，所述气帘装置电性连接所述控制模块，所述控制模块能控制所述气帘装置的启闭；其中，所述气帘装置被启动时，所述气帘装置能对设置于所述平台的所述晶圆盒的一活动门所处位置进行吹气；

其中，所述控制模块能在设置于所述平台的所述晶圆盒的所述活动门被开启时，控制所述气帘装置动作，以对所述晶圆盒原设置有所述活动门的位置进行吹气。

2.依据权利要求1所述的晶圆盒载运系统，其特征在于，所述晶圆盒载运系统还包含有一开门组件，其邻近于所述平台设置，所述开门组件能与设置于所述平台的所述晶圆盒的所述活动门相互连接，而带动所述活动门移动，以使所述晶圆盒内部与外连通。

3.依据权利要求2所述的晶圆盒载运系统，其特征在于，所述控制模块电性连接所述开门组件，所述控制模块能同时或先后控制所述气帘装置及所述开门组件，以使所述气帘装置在所述晶圆盒的活动门被开启时，对所述晶圆盒原设置有所述活动门的位置进行吹气。

4.依据权利要求2所述的晶圆盒载运系统，其特征在于，所述平台还包含有一限位组件，其能选择性地与设置于所述平台的所述晶圆盒相互连接，而限制所述晶圆盒的活动；所述限位组件电性连接所述控制模块，所述控制模块能先后控制所述限位组件及所述开门组件动作，以先限制所述晶圆盒的活动后再控制所述开门组件带动所述晶圆盒的所述活动门开启。

5.依据权利要求4所述的晶圆盒载运系统，其特征在于，所述控制模块能先后控制所述限位组件及所述充气模块动作，以使设置于所述平台的所述晶圆盒与所述限位组件相连接后，所述晶圆盒的内部能被所述充气模块充气；所述控制模块能控制所述充气模块于所述晶圆盒的活动门被开启时，持续对所述晶圆盒的内部进行充气作业。

6.依据权利要求5所述的晶圆盒载运系统，其特征在于，所述控制模块能先后控制所述开门组件及所述气帘装置，以使所述气帘装置在所述开门组件关闭设置于所述平台的所述晶圆盒的活动门时停止吹气作业。

7.依据权利要求1所述的晶圆盒载运系统，其特征在于，设置于所述平台的所述晶圆盒的所述活动门被开启时，所述控制模块能对应接收一开启信号，而所述控制模块能对应控制所述气帘装置启动，以对所述晶圆盒原设置有所述活动门的位置进行吹气。

8.依据权利要求7所述的晶圆盒载运系统，其特征在于，所述晶圆盒载运系统还包含有一侦测模块，其用以侦测设置于所述平台的所述晶圆盒的活动门是否被开启，所述侦测模块能于侦测所述晶圆盒的活动门被开启时，产生所述开启信号，并传递至所述控制模块。

9.依据权利要求7所述的晶圆盒载运系统，其特征在于，所述控制模块接收所述开启信号时，所述控制模块能控制所述充气模块持续对所述晶圆盒的内部进行充气作业。

10.依据权利要求7所述的晶圆盒载运系统，其特征在于，设置于所述平台的所述晶圆盒的所述活动门被关闭时，所述控制模块能对应接收一关闭信号，而所述控制模块能对应控制所述气帘装置停止进行吹气作业。