CN213958920U - 卸载闭锁室 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种卸载闭锁室，包含：腔室，所述腔室用于容置晶圆放置槽，所述腔室具有相对设置的第一腔壁和第二腔壁；气体入口，所述气体入口位于所述第一腔壁处；泄压装置，所述泄压装置位于所述第二腔壁处。与现有技术相比，本实用新型的有益技术效果在于：将气体入口和泄压装置分别布置在相对的第一腔壁和第二腔壁，气体的流动方向为从气体入口指向泄压装置，没有回流绕流等情形，避免了颗粒被带动后掉落到晶圆上，而颗粒会随着气流流向泄压装置排出到腔体外，从而减少了晶圆表面颗粒缺陷产生，提升了产品的良率。
Description
技术领域
本实用新型涉及集成电路制造设备领域，特别涉及一种半导体传送装置。
背景技术
现有技术中，参阅图1和图2所示，朗姆研究公司（LAM）的Gamma机台作业过程中，发现第二十五号槽（slot 25）01的晶圆02上经常有特殊图形的表面颗粒缺陷（surfaceparticle defect）03。第二十五号槽01位于晶圆放置槽04的最上方。通过强化实验，发现颗粒源来自卸载闭锁室（unload lock）05的腔体的上方的泄压阀06。在排气过程中，气体从气体入口07进入到卸载闭锁室05的腔体内，达到大气压力时，泄压阀06打开，此时气体从泄压阀06排出，此时，由于气体入口07和泄压阀06都在上方，气体在卸载闭锁室05的腔体内绕流容易带起来颗粒08，颗粒最终落在了第二十五号槽（slot 25）01的晶圆02上。从而，造成了表面颗粒缺陷。
综上所述，现有技术中存在的问题是由于气体入口和泄压阀布置不合理，导致了在卸载闭锁室内的气流从上到下方再绕回上方排出，搅动了颗粒，部分颗粒掉落到晶圆上，产生了晶圆缺陷，导致产品的良率下降。
实用新型内容
本实用新型需要解决的技术问题是：如何避免卸载闭锁室内的颗粒被气流带动后扬起再掉落到晶圆上，如何避免晶圆的缺陷，如何提升良率。
为了解决以上技术问题，本实用新型提供一种卸载闭锁室，其目的在于优化卸载闭锁室内的气流流动方向，避免颗粒被搅动，颗粒能够顺利的从泄压阀排出腔体之外，降低晶圆缺陷，提升晶圆产品良率。
为了达到上述目的，本实用新型提供了一种卸载闭锁室，包含：
腔室，所述腔室用于容置晶圆放置槽，所述腔室具有相对设置的第一腔壁和第二腔壁；
气体入口，所述气体入口位于所述第一腔壁处；
泄压装置，所述泄压装置位于所述第二腔壁处。
优选地，所述第一腔壁位于所述腔室的上部，所述第二腔壁位于所述腔室的下部。
优选地，所述腔室的第一端设有第一闸门并连接真空环境，第二端设有第二闸门并连接大气环境；关闭第一闸门和第二闸门，所述腔室抽真空；打开第一闸门，真空机械手臂将所述晶圆放置槽携带反应后的晶圆从真空环境中搬运到所述腔室中，关闭第一闸门。
优选地，所述真空环境为晶圆反应后的出口环境。
优选地，所述腔室的第一端设有第一闸门并连接真空环境，第二端设有第二闸门并连接大气环境；关闭第一闸门和第二闸门，所述气体入口连接极洁净干燥空气发生器，所述极洁净干燥空气发生器包括压缩机，所述气体入口包含气体进入开关控制器。
优选地，所述开关控制器包括设置于进气管路上的开关阀。
优选地，所述开关控制器包括压缩机启停开关控制线路。
优选地，所述泄压装置包含泄压管路和泄压阀，所述泄压阀具有设定压力，所述设定压力大于或等于1个环境大气压力；所述腔室内压力大于所述设定压力时，所述泄压阀打开，气体从所述腔室内排出。
优选地，所述泄压装置包含泄压管路和泄压阀，所述泄压阀具有设定压力，所述设定压力大于或等于1个环境大气压力；所述腔室内压力大于所述设定压力时，所述泄压阀打开，所述气体从所述腔室内排出；
所述泄压管路包含第一管路、第二管路和第三管路，组成U型，所述第三管路竖直布置，所述第三管路的开口朝上，所述泄压阀连接所述第三管路的开口。
优选地，所述腔室内压力达到设定压力时，所述腔室设有第二闸门，所述第二闸门打开连接大气环境，所述晶圆放置槽被大气机械手臂搬运。
与现有技术相比，本实用新型提供了一种卸载闭锁室，包含：腔室，所述腔室用于容置晶圆放置槽，所述腔室具有相对设置的第一腔壁和第二腔壁；气体入口，所述气体入口位于所述第一腔壁处；泄压装置，所述泄压装置位于所述第二腔壁处。与现有技术相比，本实用新型的有益技术效果在于：将气体入口和泄压装置分别布置在相对的第一腔壁和第二腔壁，气体的流动方向为从气体入口指向泄压装置，没有回流绕流等情形，避免了颗粒被带动后掉落到晶圆上，而颗粒会随着气流流向泄压装置排出到腔体外，从而减少了晶圆表面颗粒缺陷产生，提升了产品的良率。
附图说明
图1为现有技术的卸载闭锁室的结构示意图。
图2为现有技术的卸载闭锁室的中放置过的第二十五号晶圆槽的晶圆的表面颗粒缺陷示意图。
图3为本实用新型的卸载闭锁室的一实施例的结构示意图。
附图标记说明。
现有技术：
01 第二十五号槽
02 晶圆
03 表面颗粒缺陷
04 晶圆放置槽
05 卸载闭锁室
06 泄压阀
07 气体入口
08 颗粒；
本实用新型：
11 腔室
12 晶圆放置槽
13 第一腔壁
14 第二腔壁
15 气体入口
16 泄压装置
17 泄压管路
18 泄压阀
19 第一管路
20 第二管路
21 第三管路
22 晶圆。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。
参阅图3所示，本实用新型提供的卸载闭锁室，包含：腔室11，腔室11用于容置晶圆放置槽12，腔室11具有相对设置的第一腔壁13和第二腔壁14。气体入口15，气体入口15位于第一腔壁13处。泄压装置16，泄压装置16位于第二腔壁14处。据此，气体入口15和泄压装置16分设于相对布置的第一腔壁13和第二腔壁14处，气体从气体入口15流向泄压装置16，不会出现回流、绕流等，使得颗粒不会被气流带动返流到晶圆上。
参阅图3所示，第一腔壁13位于腔室11的上部，第二腔壁14位于腔室11的下部。据此，气体入口15设置于腔室11的上部，而泄压装置16设置于腔室11的下部，颗粒顺着气流和重力作用下，从泄压装置16排出腔体11之外。
腔室11的第一端设有第一闸门并连接真空环境，第二端设有第二闸门并连接大气环境。图中未示，第一端和第二端位于图示平面的两个腔壁，图中所示为主视图的话，即前后两个腔壁。第一闸门和第二闸门均具有开门机构能够打开和关闭。真空环境包括真空传输模块、真空腔体等环境。大气环境包括大气传输模块、前端模块等环境。而，卸载闭锁室则是位于真空环境和大气环境之间的一个过渡模块。
在需要和真空环境连通时，关闭第一闸门和第二闸门，腔室11抽真空。打开第一闸门，真空机械手臂将晶圆放置槽12携带反应后的晶圆22从真空环境中搬运到腔室11中，关闭第一闸门。
真空环境为晶圆反应后的出口环境。出口环境中，携带部分反应后颗粒。
在需要和大气环境连通时，腔室11的第一端设有第一闸门并连接真空环境，第二端设有第二闸门并连接大气环境；关闭第一闸门和第二闸门，气体入口连接极洁净干燥空气（extreme clean dry air，XCDA）发生器，极洁净干燥空气发生器包括压缩机，气体入口15包含气体进入开关控制器。
开关控制器包括设置于进气管路上的开关阀。通过开关阀控制气体进入到腔室11内部。
开关控制器包括压缩机启停开关控制线路。在需要气体进入腔室11内部的时候，接通压缩机，为极洁净干燥空气发生器提供压缩空气，经过化学过滤器等，生成了具有一定压力的极洁净干燥空气。
泄压装置16包含泄压管路17和泄压阀18，泄压阀18具有设定压力，设定压力大于或等于1个环境大气压力；腔室11内压力大于设定压力时，泄压阀18打开，气体从腔室11内排出。据此，能够保证腔室11内压力大于华静大气压力时，泄压阀18才打开，而，腔室11内的气体向外排出，而不会造成腔室11外的气体反灌到腔室11内。
泄压装置16包含泄压管路17和泄压阀18，泄压阀18具有设定压力，设定压力大于或等于1个环境大气压力；腔室11内压力大于设定压力时，泄压阀18打开，气体从腔室11内排出。泄压管路17包含第一管路19、第二管路20和第三管路21，组成U型，第三管路21竖直布置，第三管路21的开口朝上，泄压阀18连接第三管路21的开口。
腔室11内压力达到设定压力时，腔室设有第二闸门，第二闸门打开连接大气环境，晶圆放置槽12被大气机械手臂搬运。
以上所述即本实用新型提供的卸载闭锁室主要结构的组成部件和连接方式。据此，本实用新型能够达到的技术效果在于：将气体入口15和泄压装置16分别布置在相对的第一腔壁13和第二腔壁14，气体的流动方向为从气体入口15指向泄压装置16，没有回流绕流等情形，避免了颗粒被带动后掉落到晶圆22上，而颗粒会随着气流流向泄压装置16排出到腔体11外，从而减少了晶圆22表面颗粒缺陷产生，提升了产品的良率。
上述具体实施例和附图说明仅为例示性说明本实用新型的技术方案及其技术效果，而非用于限制本实用新型。任何熟于此项技术的本领域技术人员均可在不违背本实用新型的技术原理及精神的情况下，在权利要求保护的范围内对上述实施例进行修改或变化，均属于本实用新型的权利保护范围。
Claims (10)
1.一种卸载闭锁室，其特征在于，包含：
腔室，所述腔室用于容置晶圆放置槽，所述腔室具有相对设置的第一腔壁和第二腔壁；
气体入口，所述气体入口位于所述第一腔壁处；
泄压装置，所述泄压装置位于所述第二腔壁处。
2.根据权利要求1所述的卸载闭锁室，其特征在于，所述第一腔壁位于所述腔室的上部，所述第二腔壁位于所述腔室的下部。
3.根据权利要求1所述的卸载闭锁室，其特征在于，所述腔室的第一端设有第一闸门并连接真空环境，第二端设有第二闸门并连接大气环境；关闭第一闸门和第二闸门，所述腔室抽真空；打开第一闸门，真空机械手臂将所述晶圆放置槽携带反应后的晶圆从真空环境中搬运到所述腔室中，关闭第一闸门。
4.根据权利要求3所述的卸载闭锁室，其特征在于，所述真空环境为晶圆反应后的出口环境。
5.根据权利要求1所述的卸载闭锁室，其特征在于，所述腔室的第一端设有第一闸门并连接真空环境，第二端设有第二闸门并连接大气环境；关闭第一闸门和第二闸门，所述气体入口连接极洁净干燥空气发生器，所述极洁净干燥空气发生器包括压缩机，所述气体入口包含气体进入开关控制器。
6.根据权利要求5所述的卸载闭锁室，其特征在于，所述开关控制器包括设置于进气管路上的开关阀。
7.根据权利要求5所述的卸载闭锁室，其特征在于，所述开关控制器包括压缩机启停开关控制线路。
8.根据权利要求1所述的卸载闭锁室，其特征在于，所述泄压装置包含泄压管路和泄压阀，所述泄压阀具有设定压力，所述设定压力大于或等于1个环境大气压力；所述腔室内压力大于所述设定压力时，所述泄压阀打开，气体从所述腔室内排出。
9.根据权利要求2所述的卸载闭锁室，其特征在于，所述泄压装置包含泄压管路和泄压阀，所述泄压阀具有设定压力，所述设定压力大于或等于1个环境大气压力；所述腔室内压力大于所述设定压力时，所述泄压阀打开，所述气体从所述腔室内排出；
所述泄压管路包含第一管路、第二管路和第三管路，组成U型，所述第三管路竖直布置，所述第三管路的开口朝上，所述泄压阀连接所述第三管路的开口。
10.根据权利要求8或9所述的卸载闭锁室，其特征在于，所述腔室内压力达到设定压力时，所述腔室设有第二闸门，所述第二闸门打开连接大气环境，所述晶圆放置槽被大气机械手臂搬运。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202023179585.8U CN213958920U (zh) | 2020-12-25 | 2020-12-25 | 卸载闭锁室 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202023179585.8U CN213958920U (zh) | 2020-12-25 | 2020-12-25 | 卸载闭锁室 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN213958920U true CN213958920U (zh) | 2021-08-13 |
Family
ID=77194275
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202023179585.8U Active CN213958920U (zh) | 2020-12-25 | 2020-12-25 | 卸载闭锁室 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN213958920U (zh) |
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2020
- 2020-12-25 CN CN202023179585.8U patent/CN213958920U/zh active Active
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