CN111455329A - 一种铝钛硼靶材及其粉末固相合金化烧结方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种铝钛硼靶材及其粉末固相合金化烧结方法,包括以下步骤:步骤1:称量、混合;步骤2:球磨机械合金化;步骤3:热压烧结;步骤4:脱模;步骤5:退火处理;步骤6:锻造。本发明将高含量的钛和硼加入到铝基体中制成铝钛硼合金靶材,其中,钛的含量可以高达80%,硼的含量可以高达20%;在铝钛硼三元合金的基础上,还可以加入其它组元获得更多组元的合金靶材;由于采用较低温度和较大压力的固相烧结方法,避免了低熔点合金元素的熔化和流动,通过扩散作用,实现高熔点元素与低熔点元素之间的合金化;本发明工艺流程短,产品质量稳定,生产成本低,适合批量化生产。
Description
技术领域
本发明涉及有色金属功能材料及粉末冶金加工新技术领域,特别涉及一种铝钛硼靶材及其粉末固相合金化烧结方法。
背景技术
金属和合金靶材可以通过磁控溅射、等离子溅射等物理气相沉积或化学气相沉积技术,在其他金属、陶瓷或高分子材料表面,形成纳米厚度的薄膜,实现对其他材料的硬度、腐蚀、导电等物理和化学特性的改善,达到对其他材料进行表面改性的目的。而且,在真空或者气体保护情况下进行的溅射技术,不会造成环境污染,和传统电镀方式相比,是一种环境友好的绿色环保表面处理技术。
采用真空溅射技术进行表面改性,需要用到最重要的耗材,就是真空溅射用的金属、合金或陶瓷的靶材。在真空溅射时,电子束轰击靶材表面,会激发出各种不同的元素离子,从而形成气态离子,可以沉积在需要镀膜的物质表面,实现改性。因此,不同种类的金属或合金靶材,由于其元素的成分组成、配比关系、微观结构的不同,会造成靶材性质的不同,从而导致真空溅射膜层的不同。研制和开发具有不同的靶材,可以获得性能和结构完全不同的膜层,铝钛硼是一类在表面镀膜应用中特殊的靶材,该靶材合金以金属元素铝和钛为基础,同时添加了第三组元非金属元素硼,目的是通过溅射后产生不同的金属和非金属元素离子的组合,获得高硬度、摩擦系数小的膜层,是开发高耐磨涂层的重要合金靶材。
工业中的铝钛硼合金是用来做铝合金熔炼铸造时的晶粒细化剂使用。在高温的铝熔体中,加入氟钛酸钾和氟硼酸钾的化合物,利用高温下铝液和这两种化合物之间的还原反应,获得成分在2%~3%的铝钛硼中间合金,专利CN201711352357.6,CN201711166867.4,CN201210093195.X等都是利用铝液中氟钛酸钾和氟硼酸钾的化学反应,获得铝钛硼中间合金,这些合金中钛和硼的含量有限,一般钛的含量在1%~10%,硼的含量在0.5~5%,都是用于铝合金的晶粒细化剂,该方法无法用于制备钛和硼高含量的铝钛硼合金靶材。
发明内容
本发明提供了一种铝钛硼靶材及其粉末固相合金化烧结方法,其目的是为了提供一种高含量钛和硼的铝钛硼合金靶材制备方法,实现高熔点元素与低熔点元素之间的合金化,制备出高钛、硼含量的铝钛硼靶材。
为了达到上述目的,本发明的实施例提供了一种铝钛硼靶材粉末固相合金化烧结方法,包括以下步骤:
步骤1:将铝粉、钛粉和硼粉按比例称量后,充分混合,得到混合物料,其中,所述铝粉、钛粉和硼粉的平均粒径为5μm~200μm,所述铝粉和钛粉的原子百分比为Al:20%~80%,Ti:80%~20%,所述硼粉原子数量是所述铝粉和钛粉原子数量之和的1%~20%;
步骤2:将步骤1得到的混合物料通过球磨进行机械合金化;
步骤3:将球磨后的粉末放入热压烧结炉中进行加压加热烧结,烧结条件如下:从室温升温到300℃,保温15min~30min,然后升温到400℃~580℃,保温10min~60min,烧结在惰性气氛或还原性气氛或真空状态下进行,压力为5MPa~50MPa;
步骤4:高温烧结后,自然冷却至室温,冷却过程中保持5MPa以上的压力,待冷却至室温时,取出模具,得到铝钛硼靶材坯料;
步骤5:将铝钛硼靶材坯料在300℃~350℃进行退火处理24h,然后随炉冷却;
步骤6:将退火后的铝钛硼靶材坯料进行锻造,锻造后变形量为20%~30%,然后通过机械加工,即得铝钛硼靶材。
优选地,所述铝粉、钛粉和硼粉的平均粒径为10μm~50μm,纯度为99.9%以上。
优选地,所述步骤1中还加入X元素或化合物粉末,所述X元素或化合物为C、Si、B4C中的一种或几种,所述C、Si、B4C粉末的平均粒径为5μm~200μm,所述X元素的含量为Al、Ti、B元素原子数量之和的0.5%~10%;
优选地,所述步骤1,采用混料罐,在三维混料机上进行混料,混料时间为30min~60min。
优选地,所述步骤2中,采用行星式高能球磨机进行球磨,球料比为10∶1,球磨时间为1h~12h。
优选地,所述步骤2中,球磨罐中为惰性气氛。
优选地,所述步骤6中,锻造温度为300℃~500℃。
本发明的实施例还提供了一种铝钛硼靶材,包括采用上述方法制备的铝钛硼靶材。
本发明的上述方案有如下的有益效果:
(1)本发明将高含量的钛和硼加入到铝基体中制成铝钛硼合金靶材,其中,钛的含量可以高达80%,硼的含量可以高达20%,这是其他熔炼铸造技术无法做到的;
(2)在铝钛硼三元合金的基础上,还可以加入其它组元获得更多组元的合金靶材;
(3)由于采用较低温度和较大压力的固相烧结方法,避免了低熔点合金元素的熔化和流动,通过扩散作用,实现高熔点元素与低熔点元素之间的合金化;
(4)本发明工艺流程短,产品质量稳定,生产成本低,适合批量化生产。
附图说明
图1为本发明实施例3得到的铝钛硼靶材显微组织照片。
图2为本发明实施例3得到的铝钛硼靶材中含铝相分析。
图3为本发明实施例3得到的铝钛硼靶材中含钛相分析。
图4为本发明实施例3得到的铝钛硼靶材中含硼相分析。
图5为本发明实施例4得到的铝钛硼碳靶材显微组织图。
图6为本发明实施例4得到的铝钛硼碳靶材合金相成分分析图。
具体实施方式
为使本发明要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
实施例1
本发明的实施例提供了一种铝钛硼靶材粉末固相合金化烧结方法,包括以下步骤:
步骤1:选择粉末的平均粒径为10μm。粉末的纯度在99.9%以上的单质铝粉、钛粉和硼粉,铝粉和钛粉的原子百分比为:Al:Ti=80%:20%,先将铝和钛的粉末混合在一起,再按铝钛混合粉末原子总量的1%加入硼粉;将铝粉、钛粉和硼粉按上述比例称量后,放入混料罐中,在三维混料机上混料,混料时间30min;
步骤2:将步骤1混合好的物料,放入行星式高能球磨机中进行球磨,球料比为10∶1,球磨时间为1h,球磨罐中可充氩气等保护性气氛减少粉末的氧化;
步骤3:将球磨后的粉末放入氩气气氛下保护的热压烧结炉中,加热加压烧结,烧结时,先从室温升温到300℃,保温15min。然后升温到400℃,保温10min。烧结过程中,持续保持压力为50MPa。
步骤4:高温烧结后,自然冷却到室温,冷却过程中保持5MPa以上的压力,待冷却至室温时,破除真空和气体保护,取出模具,得到铝钛硼靶材坯料:
步骤5:将铝钛硼靶材坯料在300℃进行退火处理24h,然后随炉冷却:
步骤6:退火后的铝钛硼靶材在300℃进行锻造,锻造变形量控制在30%,得到锻造后的铝钛硼靶材坯料,将坯料按图纸进行机械加工,即得铝钛硼靶材。
实施例2
本发明的实施例提供了一种铝钛硼靶材粉末固相合金化烧结方法,包括以下步骤:
步骤1:选择粉末的平均粒径为50μm。粉末的纯度在99.9%以上的单质铝粉、钛粉和硼粉,铝粉和钛粉的原子百分比为:Al:Ti=20%:80%,先将铝和钛的粉末混合在一起,再按铝钛混合粉末原子总量的20%加入硼粉;将铝粉、钛粉和硼粉按上述比例称量后,放入混料罐中,在三维混料机上混料,混料时间60min;
步骤2:将步骤1混合好的物料,放入行星式高能球磨机中进行球磨,球料比为10∶1,球磨时间为12h,球磨罐中可充氩气等保护性气氛减少粉末的氧化;
步骤3:将球磨后的粉末放入CO还原气氛下保护的热压烧结炉中,加热加压烧结,烧结时,先从室温升温到300℃,保温30min。然后升温到580℃,保温60min。烧结过程中,持续保持压力在5MPa以上。
步骤4:高温烧结后,自然冷却到室温,冷却过程中保持5MPa以上的压力,待冷却至室温时,破除真空和气体保护,取出模具,得到铝钛硼靶材坯料:
步骤5:将铝钛硼靶材坯料在350℃进行退火处理24h,然后随炉冷却:
步骤6:退火后的铝钛硼靶材在500℃进行锻造,锻造变形量控制在20%,得到锻造后的铝钛硼靶材坯料,将坯料按图纸进行机械加工,即得铝钛硼靶材。
实施例3
本发明的实施例提供了一种铝钛硼靶材粉末固相合金化烧结方法,包括以下步骤:
步骤1:选择粉末的平均粒径为20μm。粉末的纯度在99.9%以上的单质铝粉、钛粉和硼粉,铝粉和钛粉的原子百分比为:Al:Ti=70%:30%,先将铝和钛的粉末混合在一起,再按铝钛混合粉末原子总量的10%加入硼粉;将铝粉、钛粉和硼粉按上述比例称量后,放入混料罐中,在三维混料机上混料,混料时间40min;
步骤2:将步骤1混合好的物料,放入行星式高能球磨机中进行球磨,球料比为10∶1,球磨时间为6h,球磨罐中可充氩气等保护性气氛减少粉末的氧化;
步骤3:将球磨后的粉末放入H2还原气氛下保护的热压烧结炉中,加热加压烧结,烧结时,先从室温升温到300℃,保温20min。然后升温到500℃,保温30min。烧结过程中,持续保持压力为40MPa。
步骤4:高温烧结后,自然冷却到室温,冷却过程中保持5MPa以上的压力,待冷却至室温时,破除真空和气体保护,取出模具,得到铝钛硼靶材坯料:
步骤5:将铝钛硼靶材坯料在320℃进行退火处理24h,然后随炉冷却:
步骤6:退火后的铝钛硼靶材在400℃进行锻造,锻造变形量控制在25%,得到锻造后的铝钛硼靶材坯料,将坯料按图纸进行机械加工,即得铝钛硼靶材。
本实施例获得的铝钛硼靶材的显微组织如图1所示。其中铝、钛、硼相的成分分布见图2、图3、图4。
实施例4
本发明的实施例提供了一种铝钛硼靶材粉末固相合金化烧结方法,包括以下步骤:
步骤1:选择粉末的平均粒径为30μm。粉末的纯度在99.9%以上的单质铝粉、钛粉、硼粉和碳粉,铝粉和钛粉的原子百分比为:Al:Ti=50%:50%,先将铝和钛的粉末混合在一起,再按铝钛混合粉末原子总量的5%加入硼粉,5%加入碳粉;将铝粉、钛粉、硼粉和碳粉按上述比例称量后,放入混料罐中,在三维混料机上混料,混料时间40min;
步骤2:将步骤1混合好的物料,放入行星式高能球磨机中进行球磨,球料比为10∶1,球磨时间为8h,球磨罐中可充氩气等保护性气氛减少粉末的氧化;
步骤3:将球磨后的粉末放入真空状态的热压烧结炉中,加热加压烧结,烧结时,先从室温升温到300℃,保温20min。然后升温到575℃,保温40min。烧结过程中,持续保持压力为45MPa。
步骤4:高温烧结后,自然冷却到室温,冷却过程中保持5MPa以上的压力,待冷却至室温时,破除真空和气体保护,取出模具,得到铝钛硼碳靶材坯料:
步骤5:将铝钛硼碳靶材坯料在320℃进行退火处理24h,然后随炉冷却:
步骤6:退火后的铝钛硼碳靶材在450℃进行锻造,锻造变形量控制在25%,得到锻造后的铝钛硼碳靶材坯料,将坯料按图纸进行机械加工,即得铝钛硼碳靶材。
本实施例获得的铝钛硼碳靶材的显微组织和合金相成分分析见图5和图6。
本发明采用粉末冶金固相烧结技术,利用高温下金属和非金属原子之间的互相扩散原理,实现各种成分配比的铝钛硼合金靶材的热压烧结。将铝粉、钛粉和硼粉经过混合、球磨、烧结后,可以获得各种预先设计成分的铝钛硼三元合金靶材。实现高熔点元素与低熔点元素之间的合金化。如铝钛硼靶材中,铝的熔点665℃,钛的熔点1660℃,硼的熔点2076℃,三者之间熔点差别在1000℃以上,可以通过本发明方法很好的实现合金化,这是其他工艺技术无法做到的。本发明固相下烧结温度较低,合金元素氧化不严重,因此获得的铝钛硼合金靶材性能优良,工艺流程短,适合规模化生产。
以上所述是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明所述原理的前提下,还可以作出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (8)
1.一种铝钛硼靶材粉末固相合金化烧结方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1:将铝粉、钛粉和硼粉按比例称量后,充分混合,得到混合物料,其中,所述铝粉、钛粉和硼粉的平均粒径为5μm~200μm,所述铝粉和钛粉的原子百分比为Al:20%~80%,Ti:80%~20%,所述硼粉原子数量是所述铝粉和钛粉原子数量之和的1%~20%;
步骤2:将步骤1得到的混合物料通过球磨进行机械合金化;
步骤3:将球磨后的粉末放入热压烧结炉中进行加压加热烧结,烧结条件如下:从室温升温到300℃,保温15min~30min,然后升温到400℃~580℃,保温10min~60min,烧结在惰性气氛或还原性气氛或真空状态下进行,压力为5MPa~50MPa;
步骤4:高温烧结后,自然冷却至室温,冷却过程中保持5MPa以上的压力,待冷却至室温时,取出模具,得到铝钛硼靶材坯料;
步骤5:将铝钛硼靶材坯料在300℃~350℃进行退火处理24h,然后随炉冷却;
步骤6:将退火后的铝钛硼靶材坯料进行锻造,锻造后变形量为20%~30%,然后通过机械加工,即得铝钛硼靶材。
2.根据权利要求1所述的铝钛硼靶材粉末固相合金化烧结方法,其特征在于,所述铝粉、钛粉和硼粉的平均粒径为10μm~50μm,纯度为99.9%以上。
3.根据权利要求2所述的铝钛硼靶材粉末固相合金化烧结方法,其特征在于,所述步骤1中还加入X元素或化合物粉末,所述X元素或化合物为C、Si、B4C中的一种或几种,所述C、Si、B4C粉末的平均粒径为5μm~200μm,所述X元素的含量为Al、Ti、B元素原子数量之和的0.5%~10%。
4.根据权利要求3所述的铝钛硼靶材粉末固相合金化烧结方法,其特征在于,所述步骤1,采用混料罐,在三维混料机上进行混料,混料时间为30min~60min。
5.根据权利要求4所述的铝钛硼靶材粉末固相合金化烧结方法,其特征在于,所述步骤2中,采用行星式高能球磨机进行球磨,球料比为10∶1,球磨时间为1h~12h。
6.根据权利要求5所述的铝钛硼靶材粉末固相合金化烧结方法,其特征在于,所述步骤2中,球磨罐中为惰性气氛。
7.根据权利要求6所述的铝钛硼靶材粉末固相合金化烧结方法,其特征在于,所述步骤6中,锻造温度为300℃~500℃。
8.一种铝钛硼靶材,其特征在于,包括采用权利要求1~7任一项方法制备的铝钛硼靶材。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113444908A (zh) * | 2021-06-04 | 2021-09-28 | 上海航天精密机械研究所 | 一种Ti-Zr-B晶粒细化剂及其制备方法和在镁合金中的应用 |
CN113512675A (zh) * | 2021-06-04 | 2021-10-19 | 上海航天精密机械研究所 | 一种Ti-Zr-RE-Mg稀土镁合金晶粒细化剂及其制备方法 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1060636A (ja) * | 1996-06-14 | 1998-03-03 | Hitachi Metals Ltd | Al系スパッタリング用ターゲットおよびその製造方法 |
JP2000169959A (ja) * | 1998-12-04 | 2000-06-20 | Japan Energy Corp | 光ディスク反射膜形成用スパッタリングターゲット |
DE10063790A1 (de) * | 2000-12-21 | 2002-06-27 | Unaxis Materials Deutschland G | Sputtertarget aus einer Aluminium-Titan-Legierung |
JP2006118044A (ja) * | 1997-12-24 | 2006-05-11 | Toshiba Corp | スパッタリングターゲットの製造方法 |
JP2008006574A (ja) * | 2006-06-30 | 2008-01-17 | Mitsubishi Materials Corp | 耐熱合金の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 |
JP2009270141A (ja) * | 2008-05-01 | 2009-11-19 | Daido Steel Co Ltd | Ti−Al系合金ターゲット材の製造法 |
US20160122850A1 (en) * | 2014-11-03 | 2016-05-05 | MTU Aero Engines AG | Method for producing a high temperature-resistant target alloy, a device, an alloy and a corresponding component |
CN105779816A (zh) * | 2014-12-17 | 2016-07-20 | 上海柯瑞冶金炉料有限公司 | 一种钛铝锆三元合金靶材及其制备方法 |
CN108018463A (zh) * | 2016-10-31 | 2018-05-11 | 烟台南山学院 | 一种在金属材料表面镀膜获得耐高温涂层的铝钛钨三元合金靶材及其制备方法 |
CN108220700A (zh) * | 2018-01-17 | 2018-06-29 | 长沙迅洋新材料科技有限公司 | 一种铝钛铌三元合金靶材及其制备方法 |
CN109234690A (zh) * | 2018-11-23 | 2019-01-18 | 西安工业大学 | 一种含铝和硼元素的高熵合金靶材及其制备工艺 |
-
2020
- 2020-05-12 CN CN202010398120.7A patent/CN111455329B/zh active Active
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1060636A (ja) * | 1996-06-14 | 1998-03-03 | Hitachi Metals Ltd | Al系スパッタリング用ターゲットおよびその製造方法 |
JP2006118044A (ja) * | 1997-12-24 | 2006-05-11 | Toshiba Corp | スパッタリングターゲットの製造方法 |
JP2000169959A (ja) * | 1998-12-04 | 2000-06-20 | Japan Energy Corp | 光ディスク反射膜形成用スパッタリングターゲット |
DE10063790A1 (de) * | 2000-12-21 | 2002-06-27 | Unaxis Materials Deutschland G | Sputtertarget aus einer Aluminium-Titan-Legierung |
JP2008006574A (ja) * | 2006-06-30 | 2008-01-17 | Mitsubishi Materials Corp | 耐熱合金の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 |
JP2009270141A (ja) * | 2008-05-01 | 2009-11-19 | Daido Steel Co Ltd | Ti−Al系合金ターゲット材の製造法 |
US20160122850A1 (en) * | 2014-11-03 | 2016-05-05 | MTU Aero Engines AG | Method for producing a high temperature-resistant target alloy, a device, an alloy and a corresponding component |
CN105779816A (zh) * | 2014-12-17 | 2016-07-20 | 上海柯瑞冶金炉料有限公司 | 一种钛铝锆三元合金靶材及其制备方法 |
CN108018463A (zh) * | 2016-10-31 | 2018-05-11 | 烟台南山学院 | 一种在金属材料表面镀膜获得耐高温涂层的铝钛钨三元合金靶材及其制备方法 |
CN108220700A (zh) * | 2018-01-17 | 2018-06-29 | 长沙迅洋新材料科技有限公司 | 一种铝钛铌三元合金靶材及其制备方法 |
CN109234690A (zh) * | 2018-11-23 | 2019-01-18 | 西安工业大学 | 一种含铝和硼元素的高熵合金靶材及其制备工艺 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113444908A (zh) * | 2021-06-04 | 2021-09-28 | 上海航天精密机械研究所 | 一种Ti-Zr-B晶粒细化剂及其制备方法和在镁合金中的应用 |
CN113512675A (zh) * | 2021-06-04 | 2021-10-19 | 上海航天精密机械研究所 | 一种Ti-Zr-RE-Mg稀土镁合金晶粒细化剂及其制备方法 |
CN113444908B (zh) * | 2021-06-04 | 2022-06-03 | 上海航天精密机械研究所 | 一种Ti-Zr-B晶粒细化剂及其制备方法和在镁合金中的应用 |
CN113512675B (zh) * | 2021-06-04 | 2022-06-03 | 上海航天精密机械研究所 | 一种Ti-Zr-RE-Mg稀土镁合金晶粒细化剂及其制备方法 |
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