JP2009270141A - Ti−Al系合金ターゲット材の製造法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、Ti粉末とAl粉末とを含む原料組成物を加圧成形し、次いで、得られた成形体を焼結又は焼結鍛造してTi-Al系合金ターゲット材を製造する方法において、上記加圧成形が、80〜250℃の温度において金型内で原料組成物を圧縮することにより実行されることを特徴とする方法である。
【選択図】なし
Description
(1)Ti粉末とAl粉末とを含む原料組成物を加圧成形し、次いで、得られた成形体を焼結又は焼結鍛造してTi-Al系合金ターゲット材を製造する方法において、上記加圧成形が、80〜250℃の温度において金型内で原料組成物を圧縮することにより実行されることを特徴とする方法である。
(2)上記加圧成形の温度が100〜250℃であるところの上記(1)記載の方法、
(3)上記加圧成形の温度が150〜250℃であるところの上記(1)記載の方法、
(4)原料組成物中のTiとAlとの原子%が、Ti : Al = 0原子%を超え80原子%以下 : 100原子%未満20原子%以上であるところの上記(1)〜(3)のいずれか一つに記載の方法、
(5)原料組成物中のTiとAlとの原子%が、Ti : Al = 1〜80原子% : 99〜20原子%であるところの上記(1)〜(3)のいずれか一つに記載の方法、
(6)原料組成物中のTiとAlとの原子%が、Ti : Al =
20〜80原子% : 80〜20原子%であるところの上記(1)〜(3)のいずれか一つに記載の方法、
(7)焼結及び焼結鍛造の温度が、250〜550℃であるところの上記(1)〜(6)のいずれか一つに記載の方法、
(8)焼結及び焼結鍛造の温度が、300〜550℃であるところの上記(1)〜(6)のいずれか一つに記載の方法、
(9)焼結及び焼結鍛造の温度が、330〜500℃であるところの上記(1)〜(6)のいずれか一つに記載の方法、
(10)原料組成物が、更に、Si、B、Nb、Cr、Y及びCeより成る群から選ばれる一種以上の元素の粉末及び/又はこれらの元素を含む化合物の粉末を、TiとAlとの合計100原子%に対して43原子%以下含むところの上記(1)〜(9)のいずれか一つに記載の方法(ここで、原料組成物中の該化合物の原子%は、化合物中に含まれるTiとAlとを除く全ての元素に基づいて算出する)、
(11)原料組成物が、更に、Si、B、Nb、Cr、Y及びCeより成る群から選ばれる一種以上の元素の粉末及び/又はこれらの元素を含む化合物の粉末を、TiとAlとの合計100原子%に対して30原子%以下含むところの上記(1)〜(9)のいずれか一つに記載の方法(ここで、原料組成物中の該化合物の原子%は、化合物中に含まれるTiとAlとを除く全ての元素に基づいて算出する)、
(12)曲げ強度が20MPa以上であるところの、上記(1)〜(11)のいずれか一つに記載の方法により製造されたTi-Al系合金ターゲット材
を挙げることができる。
: Al = 0原子%を超え80原子%以下 : 100原子%未満20原子%以上であり、更に好ましくはTi
: Al = 1〜80原子% : 99〜20原子%であり、特に好ましくはTi :
Al = 20〜80原子% : 80〜20原子%である。上記の範囲外では、得られたターゲット材の曲げ強度が低下する傾向にある。
Ti粉末(100メッシュ以下)とAl粉末(240メッシュ以下)とを、Ti : Al = 80原子% : 20原子% (実施例1)、Ti : Al =
50原子% : 50原子% (実施例2)及びTi : Al = 20原子%
: 80原子% (実施例3)、並びTi : Al = 100原子% : 0原子% (比較例1)及びTi : Al =
0原子% : 100原子% (比較例2)の各配合比となるように混合した。次いで、各混合物を所定の形状及び寸法を有する金型内に装入し、温度250℃及び圧力5.5tonf/cm2で30秒間加圧成形して、直径108mm及び厚さ19mmの円柱形の成形体を得た。該成形体を、大気雰囲気炉中、温度450℃で1時間加熱して焼結した。得られた焼結体に仕上げ加工を施し、図2に示した形状及び寸法を有する試験片を得た。得られた各試験片について、図3に示した曲げ強度試験装置を使用して曲げ強度を測定した。
成形体を製造する際の温度を170℃としたこと以外は、実施例1〜3及び比較例1〜2と同一にして試験片を製造し、曲げ強度を測定した。ここで、Ti : Al = 80原子% : 20原子% が実施例4であり、Ti : Al =
50原子% : 50原子% が実施例5であり、かつTi : Al = 20原子% : 80原子% が実施例6であり、及びTi : Al = 100原子% : 0原子% が比較例3であり、かつTi : Al
= 0原子% : 100原子% が比較例4である。
成形体を製造する際の温度を100℃としたこと以外は、実施例1〜3及び比較例1〜2と同一にして試験片を製造し、曲げ強度を測定した。ここで、Ti : Al = 80原子% : 20原子% が実施例7であり、Ti : Al =
50原子% : 50原子% が実施例8であり、かつTi : Al = 20原子% : 80原子% が実施例9であり、及びTi : Al = 100原子% : 0原子% が比較例5であり、かつTi : Al
= 0原子% : 100原子% が比較例6である。
成形体を製造する際の温度を80℃としたこと以外は、実施例1〜3及び比較例1〜2と同一にして試験片を製造し、曲げ強度を測定した。ここで、Ti : Al = 80原子% : 20原子% が実施例10であり、Ti : Al
= 50原子% : 50原子% が実施例11であり、かつTi : Al = 20原子% : 80原子% が実施例12であり、及びTi : Al = 100原子% : 0原子% が比較例7であり、かつTi : Al
= 0原子% : 100原子% が比較例8である。
成形体を製造する際の温度を室温としたこと以外は、実施例1〜3及び比較例1〜2と同一にして試験片を製造し、曲げ強度を測定した。ここで、Ti : Al = 100原子% : 0原子% が比較例9であり、Ti : Al = 80原子% : 20原子% が比較例10であり、Ti : Al
= 50原子% : 50原子% が比較例11であり、Ti : Al = 20原子%
: 80原子% が比較例12であり、かつTi : Al = 0原子% : 100原子% が比較例13である。
実施例5と同一にして、Ti : Al = 50原子% : 50原子%、かつ170℃で加圧成形して直径108mm及び厚さ19mmの円柱形の成形体を得た。該成形体について、大気雰囲気炉中、温度330℃及び600℃で夫々1時間加熱して焼結した。得られた各試験片について、実施例5と同一にして曲げ強度を測定した。
実施例5と同一にして、Ti : Al = 50原子% : 50原子%の配合比となるようにTi粉末とAl粉末とを混合した。次いで、該混合物を所定の寸法及び形状を有する金型内に装入し、温度170℃及び圧力5.5tonf/cm2で30秒間加圧成形して、直径106mm及び厚さ22mmの円柱形の成形体を得た。該成形体を、大気雰囲気炉中、温度330℃、450℃及び600℃で夫々1時間加熱して焼結した後、直ちに、プレス面圧4tonf/cm2で鍛造を施し、直径108mm及び厚さ19mmの円柱形の鍛造体を得た。得られた鍛造体に仕上げ加工を施し、図2に示した形状及び寸法を有する試験片を得た。得られた各試験片について、実施例5と同一にして曲げ強度を測定した。
実施例5と同一にして、Ti : Al = 50原子% : 50原子%の配合比となるようにTi粉末とAl粉末とを混合した。次いで、該混合物に冷間静水圧加圧処理(CIP)を施して、直径110mm及び長さ350mmの円柱形の成形体を得た。該成形体に機械加工を施して、直径106mm及び厚さ22mmの円柱形の成形体を得た。該成形体を、大気雰囲気炉中、温度330℃、450℃及び600℃で夫々1時間加熱して焼結した後、直ちに、プレス面圧4tonf/cm2で鍛造を施し、直径108mm及び厚さ19mmの円柱形の鍛造体を得た。得られた鍛造体に仕上げ加工を施し、図2に示した形状及び寸法を有する試験片を得た。得られた各試験片について、実施例5と同一にして曲げ強度を測定した。
]内の数字は比較例番号である。焼結鍛造を施すと、焼結のみを施した場合に比べて、著しくターゲット材の曲げ強度が増加することが分かった。また、現在、ターゲット材を製造するために広く使用されているCIP処理後、焼結鍛造を施す方法により得られたターゲット材と比較して、本発明の方法により得られたターゲット材は著しく高い曲げ強度を有する。
Ti粉末(100メッシュ以下)、Al粉末(240メッシュ以下)及びTiSi粉末(5μm以下)を、Ti : Al : Si =30原子% : 50原子% : 20原子% (TiとAlとの合計100原子%に対してSiが25原子%)の配合比となるように混合した。
実施例18と同一にして混合物を製造した。次いで、該混合物を所定の寸法及び形状を有する金型内に装入し、温度170℃及び圧力5.5tonf/cm2で30秒間加圧成形して、直径106mm及び厚さ22mmの円柱形の成形体を得た。該成形体を、大気雰囲気炉中、温度450℃で1時間加熱して焼結した後、直ちに、プレス面圧4tonf/cm2で鍛造を施し、直径108mm及び厚さ19mmの円柱形の鍛造体を得た。得られた鍛造体に仕上げ加工を施し、図2に示した形状及び寸法を有する試験片を得た。得られた試験片について、実施例18と同一にして曲げ強度を測定した。
実施例18と同一にして混合物を製造した。次いで、該混合物に冷間静水圧加圧処理(CIP)を施して、直径110mm及び長さ350mmの円柱形の成形体を得た。該成形体に機械加工を施して、直径106mm及び厚さ22mmの円柱形の成形体を得た。該成形体を、大気雰囲気炉中、温度450℃で1時間加熱して焼結した後、直ちに、プレス面圧4tonf/cm2で鍛造を施し、直径108mm及び厚さ19mmの円柱形の鍛造体を得た。得られた鍛造体に仕上げ加工を施し、図2に示した形状及び寸法を有する試験片を得た。得られた試験片について、実施例18と同一にして曲げ強度を測定した。
2 ターゲットのつば部
3 冷却水
4 水冷銅盤
5 曲げ強度測定用試験片
6 試験片のつば部
7 上パンチ
8 ダイス
Claims (4)
- Ti粉末とAl粉末とを含む原料組成物を加圧成形し、次いで、得られた成形体を焼結又は焼結鍛造してTi-Al系合金ターゲット材を製造する方法において、上記加圧成形が、80〜250℃の温度において金型内で原料組成物を圧縮することにより実行されることを特徴とする方法。
- 原料組成物中のTiとAlとの原子%が、Ti : Al = 0原子%を超え80原子%以下 : 100原子%未満20原子%以上であるところの請求項1記載の方法。
- 焼結及び焼結鍛造の温度が、250〜550℃であるところの請求項1又は2記載の方法。
- 原料組成物が、更に、Si、B、Nb、Cr、Y及びCeより成る群から選ばれる一種以上の元素の粉末及び/又はこれらの元素を含む化合物の粉末を、TiとAlとの合計100原子%に対して43原子%以下含むところの請求項1〜3のいずれか一つに記載の方法(ここで、原料組成物中の該化合物の原子%は、化合物中に含まれるTiとAlとを除く全ての元素に基づいて算出する)。
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JP2008120022A JP2009270141A (ja) | 2008-05-01 | 2008-05-01 | Ti−Al系合金ターゲット材の製造法 |
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- 2008-05-01 JP JP2008120022A patent/JP2009270141A/ja active Pending
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