CN111441023A - 一种钼表面阻氧膜及其制备方法 - Google Patents
一种钼表面阻氧膜及其制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN111441023A CN111441023A CN202010354968.XA CN202010354968A CN111441023A CN 111441023 A CN111441023 A CN 111441023A CN 202010354968 A CN202010354968 A CN 202010354968A CN 111441023 A CN111441023 A CN 111441023A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- molybdenum
- layer
- chromium
- oxygen
- barrier film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/35—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
- C23C14/352—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering using more than one target
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/0021—Reactive sputtering or evaporation
- C23C14/0036—Reactive sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
- C23C14/021—Cleaning or etching treatments
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/0641—Nitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
- C23C14/16—Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon
- C23C14/165—Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon by cathodic sputtering
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本发明公开了一种钼表面阻氧膜,包括钼基体,钼基体表面镀有阻氧膜层,阻氧膜层依次为铬层、第一氮化铬铝硅层、铝层、第二氮化铬铝硅层,阻氧膜层的底层为铬层,阻氧膜层的顶层为第二氮化铬铝硅层。本发明还公开了该钼表面阻氧膜的制备方法,首先,将钼基体表面打磨、抛光;再将钼基体依次置于碱溶液和酸溶液中,进行超声波清洗;最后,将钼基体置于镀膜机,采用PVD法镀制阻氧膜。钼表面经处理后,不仅可以耐650℃以上高温,而且具有优良的润滑性能,极大改善了钼工件的使用环境,其硬度可达1800HV以上,阻氧膜层厚度1~3μm,薄而均匀、光亮细洁,保留钼原有尺寸,不影响钼使用尺寸,提高了钼耐高温、抗氧化性。
Description
技术领域
本发明属于金属表面加工技术领域,具体涉及一种钼表面阻氧膜,还涉及该阻氧膜的制备方法。
背景技术
钼是一种难熔金属,其具有优良的导电、导热性,并且熔点高、强度大、线膨胀系数小、抗蚀性强以及高温力学性能良好,因而广泛应用于航空航天、发电、核反应堆、军事工业、化学工业、电子工业和玻璃制造业等领域。钼应用于上述领域需隔绝氧气,要有保护气体(如氮气、氩气等)或真空环境,因为钼在空气中加热到300℃时开始氧化,随着温度升高,氧化加剧,在更高的温度下,钼逐渐被氧化成疏松膨胀、易挥发的黄色的三氧化钼。所以,钼的氧化和挥发现象影响了其高温力学性能,限制了钼的应用。
目前解决钼氧化的途径有两条,一是掺杂,二是涂层。钼的掺杂程度很小,当加入抗氧化性的合金元素量稍多时,合金的性能变差,难以加工,所以用掺杂的方法难以从根本上改变钼的抗氧化能力,而且还会影响到它的许多的高温性能,如高温强度、耐冲击性、耐热震性和抗蠕变性等。所以,经常采用第二种方法——涂层,钼覆盖阻氧层,常见有烧结涂层、熔渗涂层等,但大多存在涂层厚度大、不均匀、与钼结合力不强、相容性差等缺点。
发明内容
本发明的目的是提供一种钼表面阻氧膜,提高了钼的耐高温性和抗氧化性。
本发明的另一个目的是提供一种钼表面阻氧膜的制备方法,该种方法制备过程简单且成本低。
本发明所采用的技术方案是,一种钼表面阻氧膜,包括钼基体,钼基体表面镀有阻氧膜层,阻氧膜层依次为铬层、第一氮化铬铝硅层、铝层、第二氮化铬铝硅层,金属层过渡到复合层,用金属的韧性分解、降低复合层的应力,防止崩膜,阻氧膜层的底层为铬层,阻氧膜层的顶层为第二氮化铬铝硅层。
铬层和铝层的厚度均为50~100nm,阻氧膜层的厚度为1~3μm。
本发明所采用另一的技术方案是,一种钼表面阻氧膜的制备方法,具体步骤如下:
步骤1,将钼基体表面打磨、抛光;抛光后钼基体表面粗糙度为0.4~0.6μm;
步骤2,将钼基体依次置于碱溶液和酸溶液中,进行超声波清洗;
步骤3,将钼基体置于镀膜机,采用PVD法镀制阻氧膜。
本发明的特点还在于,
步骤2中,碱溶液为质量百分比为30~40%的氢氧化钠溶液,酸溶液为质量百分比为30~40%的盐酸溶液,超声波清洗的时间均为20~40分钟,并用纯水冲洗干净。
步骤3中,具体为:将铬靶材、铝靶材及铬铝硅靶材分别置于镀膜机的溅射源上,钼基体悬挂于镀膜腔室内,依次进行磁控溅射,得到阻氧膜,磁控溅射温度为450℃~500℃,铝靶材、铬靶靶材和铬铝硅靶材的电压和电流分别为15~20V、80~130A。
本发明的有益效果是:
钼表面经处理后,不仅可以耐650℃以上高温,而且具有优良的润滑性能,极大改善了钼工件的使用环境,其硬度可达1800HV以上,摩擦系数0.5~0.6,阻氧膜层厚度1~3μm,薄而均匀,保留钼原有尺寸,不影响钼使用尺寸,提高了钼耐高温、抗氧化性。
附图说明
图1为本发明一种钼表面阻氧膜的结构示意图。
图中,1.钼基体,2.铬层,3.第一氮化铬铝硅层,4.铝层,5.第二氮化铬铝硅层。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明进行详细说明。
本发明一种钼表面阻氧膜,如图1所示,包括钼基体1,钼基体1表面镀有阻氧膜层,阻氧膜层依次为铬层2、第一氮化铬铝硅层3、铝层4、第二氮化铬铝硅层5,阻氧膜层的底层为铬层2,阻氧膜层的顶层为第二氮化铬铝硅层5;
铬层2和铝层4的厚度均为50~100nm,阻氧膜层的厚度为1~3μm;
本发明一种钼表面阻氧膜的制备方法,具体步骤如下:
步骤1,将钼基体表面打磨、抛光;抛光后钼基体表面粗糙度为0.4~0.6μm;
步骤2,将钼基体依次置于碱溶液和酸溶液中,进行超声波清洗;
碱溶液为质量百分比为30~40%的氢氧化钠溶液,酸溶液为质量百分比为30~40%的盐酸溶液,超声波清洗的时间均为20~40分钟,并用纯水冲洗干净;
步骤3,将钼基体置于镀膜机,采用PVD法镀制阻氧膜;
具体为:将圆饼状铬靶材、铝靶材及铬铝硅靶材分别置于镀膜机的溅射源凹槽内,钼基体悬挂于镀膜腔室内,依次进行磁控溅射,得到阻氧膜,磁控溅射温度为450℃~500℃,铬靶材、铝靶材和铬铝硅靶材的电压和电流分别为15~20V、80~130A。
在本发明的方法中,钼表面经过抛光、清洗后用PVD离子真空方法镀有阻氧膜层,依次为铬层、氮化铬铝硅层、铝层、氮化铬铝硅层,由金属层过渡到复合层,用金属的韧性分解、降低复合层的应力,防止崩膜,采用现有的多弧型离子真空镀膜机,钼悬挂在镀膜机腔室中绕轴圆周运动,每运动一个周期镀一层阻氧层,箱体两壁均装有电弧靶和磁控溅射靶。镀膜机室内装有加热器,镀膜机室顶部装有转动装置。
实施例1
本发明一种钼表面阻氧膜,包括钼基体1,钼基体1表面镀有阻氧膜层,阻氧膜层依次为铬层2、第一氮化铬铝硅层3、铝层4、第二氮化铬铝硅层5,阻氧膜层的底层为铬层2,阻氧膜层的顶层为第二氮化铬铝硅层5;
铬层2和铝层4的厚度均为50nm,阻氧膜层的厚度为1μm;
本发明一种钼表面阻氧膜的制备方法,具体步骤如下:
步骤1,将钼基体表面打磨、抛光;抛光后钼基体表面粗糙度为0.4μm;
步骤2,将钼基体依次置于碱溶液和酸溶液中,进行超声波清洗;
碱溶液为质量百分比为30%的氢氧化钠溶液,酸溶液为质量百分比为30%的盐酸溶液,超声波清洗的时间均为20分钟,并用纯水冲洗干净;
步骤3,将钼基体置于镀膜机,采用PVD法镀制阻氧膜;
具体为:将铬靶材、铝靶材及铬铝硅靶材分别置于镀膜机的溅射源上凹槽内,钼基体悬挂于镀膜腔室内,依次进行磁控溅射,得到阻氧膜,磁控溅射温度为450℃,铝靶材、铬靶靶材和铬铝硅靶材的电压和电流分别为15V、80A。该阻氧膜扫描能谱结果如表1所示,由表1可知,膜成分含有N、Cr、Al、Si,未见基体成分Mo,说明基体被膜均匀覆盖。薄而均匀、膜呈黑灰色,保留钼原有尺寸,不影响钼使用尺寸,提高了钼耐高温性和抗氧化性,该膜硬度1800HV,摩擦系数0.5,耐650℃高温120小时。
表1阻氧膜扫描能谱分析
实施例2
本发明一种钼表面阻氧膜,包括钼基体1,钼基体1表面镀有阻氧膜层,阻氧膜层依次为铬层2、第一氮化铬铝硅层3、铝层4、第二氮化铬铝硅层5,阻氧膜层的底层为铬层2,阻氧膜层的顶层为第二氮化铬铝硅层5。
铬层2和铝层4的厚度均为80nm,阻氧膜层的厚度为2μm;
本发明一种钼表面阻氧膜的制备方法,具体步骤如下:
步骤1,将钼基体表面打磨、抛光;抛光后钼基体表面粗糙度为0.5μm;
步骤2,将钼基体依次置于碱溶液和酸溶液中,进行超声波清洗;
碱溶液为质量百分比为35%的氢氧化钠溶液,酸溶液为质量百分比为35%的盐酸溶液,超声波清洗的时间均为30分钟,并用纯水冲洗干净;
步骤3,将钼基体置于镀膜机,采用PVD法镀制阻氧膜;
具体为:将铬靶材、铬铝靶材及铬铝硅靶材分别置于镀膜机的溅射源上,钼基体悬挂于镀膜腔室内,依次进行磁控溅射,得到阻氧膜,磁控溅射温度为480℃,铬靶材、铝靶材和铬铝硅靶材的电压和电流分别为18V、100A。该阻氧膜扫描能谱结果如表2所示,由表2可知,膜成分含有N、Cr、Al、Si,未见基体成分Mo,说明基体被膜均匀覆盖。薄而均匀、膜呈黑灰色,保留钼原有尺寸,不影响钼使用尺寸,提高了钼耐高温性和抗氧化性,该膜硬度1900HV,摩擦系数0.55,耐700℃高温100小时。
表2阻氧膜扫描能谱分析
实施例3
本发明一种钼表面阻氧膜,如图1所示,包括钼基体1,钼基体1表面镀有阻氧膜层,阻氧膜层依次为铬层2、第一氮化铬铝硅层3、铝层4、第二氮化铬铝硅层5,阻氧膜层的底层为铬层2,阻氧膜层的顶层为第二氮化铬铝硅层5;
铬层2和铝层4的厚度均为100nm,阻氧膜层的厚度为3μm;
本发明一种钼表面阻氧膜的制备方法,具体步骤如下:
步骤1,将钼基体表面打磨、抛光;抛光后钼基体表面粗糙度为0.6μm;
步骤2,将钼基体依次置于碱溶液和酸溶液中,进行超声波清洗;
碱溶液为质量百分比为40%的氢氧化钠溶液,酸溶液为质量百分比为40%的盐酸溶液,超声波清洗的时间均为40分钟;
步骤3,将钼基体置于镀膜机,采用PVD法镀制阻氧膜;
具体为:将铬靶材、铬铝靶材及铬铝硅靶材分别置于镀膜机的溅射源上,钼基体悬挂于镀膜腔室内,依次进行磁控溅射,得到阻氧膜,磁控溅射温度为500℃,铝靶材、铬靶靶材和铬铝硅靶材的电压和电流分别为20V、130A。该膜硬度2000HV,摩擦系数0.6,耐700℃高温100小时。
Claims (5)
1.一种钼表面阻氧膜,其特征在于,包括钼基体(1),所述钼基体(1)表面镀有阻氧膜层,所述阻氧膜层依次为铬层(2)、第一氮化铬铝硅层(3)、铝层(4)、第二氮化铬铝硅层(5),所述阻氧膜层的底层为铬层(2),所述阻氧膜层的顶层为第二氮化铬铝硅层(5)。
2.根据权利要求1所述的一种钼表面阻氧膜,其特征在于,所述铬层(2)和铝层(4)的厚度均为50~100nm,所述阻氧膜层的厚度为1~3μm。
3.一种如权利要求2所述的钼表面阻氧膜的制备方法,其特征在于,具体步骤如下:
步骤1,将钼基体表面打磨、抛光;抛光后钼基体表面粗糙度为0.4~0.6μm;
步骤2,将钼基体依次置于碱溶液和酸溶液中,进行超声波清洗;
步骤3,将钼基体置于镀膜机,采用PVD法镀制阻氧膜。
4.根据权利要求3所述的一种钼表面阻氧膜的制备方法,其特征在于,所述步骤2中,碱溶液为质量百分比为30~40%的氢氧化钠溶液,酸溶液为质量百分比为30~40%的盐酸溶液,超声波清洗的时间均为20~40分钟,并用纯水冲洗干净。
5.根据权利要求3所述的一种钼表面阻氧膜的制备方法,其特征在于,所述步骤3中,具体为:将铬靶材、铝靶材及铬铝硅靶材分别置于镀膜机的溅射源上,钼基体悬挂于镀膜腔室内,依次进行磁控溅射,得到阻氧膜,磁控溅射温度为450℃~500℃,铬靶材、铝靶材和铬铝硅靶材的电压和电流分别为15~20V、80~130A。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010354968.XA CN111441023A (zh) | 2020-04-29 | 2020-04-29 | 一种钼表面阻氧膜及其制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010354968.XA CN111441023A (zh) | 2020-04-29 | 2020-04-29 | 一种钼表面阻氧膜及其制备方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN111441023A true CN111441023A (zh) | 2020-07-24 |
Family
ID=71656617
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202010354968.XA Withdrawn CN111441023A (zh) | 2020-04-29 | 2020-04-29 | 一种钼表面阻氧膜及其制备方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN111441023A (zh) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004082259A (ja) * | 2002-08-27 | 2004-03-18 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 再生切削工具及び切削工具の皮膜再生方法 |
US20110115167A1 (en) * | 2008-04-04 | 2011-05-19 | Federal-Mogul Burscheid Gmbh | Structured chrome solid particle layer and method for the production thereof |
CN102400099A (zh) * | 2011-11-04 | 2012-04-04 | 四川大学 | 核裂变堆燃料包壳表面CrAlSiN梯度涂层制备工艺 |
CN102534490A (zh) * | 2010-12-31 | 2012-07-04 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 被覆件及其制备方法 |
CN105886870A (zh) * | 2016-06-26 | 2016-08-24 | 苏州思创源博电子科技有限公司 | 一种具备CrAlSiN复合涂层的钨合金的制备方法 |
CN108950548A (zh) * | 2018-08-10 | 2018-12-07 | 成都极星等离子科技有限公司 | 铬-氮化铬复合涂层及其在纳米复合刀具的应用 |
-
2020
- 2020-04-29 CN CN202010354968.XA patent/CN111441023A/zh not_active Withdrawn
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004082259A (ja) * | 2002-08-27 | 2004-03-18 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 再生切削工具及び切削工具の皮膜再生方法 |
US20110115167A1 (en) * | 2008-04-04 | 2011-05-19 | Federal-Mogul Burscheid Gmbh | Structured chrome solid particle layer and method for the production thereof |
CN102534490A (zh) * | 2010-12-31 | 2012-07-04 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 被覆件及其制备方法 |
CN102400099A (zh) * | 2011-11-04 | 2012-04-04 | 四川大学 | 核裂变堆燃料包壳表面CrAlSiN梯度涂层制备工艺 |
CN105886870A (zh) * | 2016-06-26 | 2016-08-24 | 苏州思创源博电子科技有限公司 | 一种具备CrAlSiN复合涂层的钨合金的制备方法 |
CN108950548A (zh) * | 2018-08-10 | 2018-12-07 | 成都极星等离子科技有限公司 | 铬-氮化铬复合涂层及其在纳米复合刀具的应用 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN110055496B (zh) | 一种在核用锆合金基底表面制备Cr涂层的制备工艺 | |
CN101880904B (zh) | 一种铸铝合金微弧氧化前处理的方法 | |
US20230183851A1 (en) | High-entropy carbide ceramic material, carbide ceramic coating and preparation methods and use thereof | |
CN109082647B (zh) | 铝合金表面dlc防护薄膜制备方法 | |
CN111455333B (zh) | 一种富Al刚玉结构Al-Cr-O薄膜及其制备方法 | |
CN113512702B (zh) | 一种单相β-NiAl粘结层及其制备方法 | |
CN212404264U (zh) | 一种钨表面阻氧膜 | |
CN114015992B (zh) | 一种适用于钛合金表面抗高温氧化隔热涂层及其制备方法 | |
CN114464818A (zh) | 一种提高质子交换膜燃料电池极板用钛及钛合金表面性能的低成本表面处理方法 | |
CN109536949B (zh) | 一种提高铝合金材料热疲劳性能的工艺方法 | |
CN107012424B (zh) | 一种TiZrB2硬质涂层及其制备方法和应用 | |
CN105734487B (zh) | 一种钛合金齿轮表面制备强韧性钼梯度改性层的方法 | |
CN212404263U (zh) | 一种钼表面阻氧膜 | |
CN111441023A (zh) | 一种钼表面阻氧膜及其制备方法 | |
CN111235533B (zh) | 一种硬质合金铣刀的AlCrNbSiTiBC高温自润滑复合涂层及其制备方法 | |
CN111441024A (zh) | 一种钨表面阻氧膜及其制备方法 | |
CN114086179B (zh) | 一种铜基体表面金刚石耐磨涂层的制备方法 | |
CN112251692B (zh) | 一种高纯钽板及其热处理方法 | |
CN102162087B (zh) | 一种热补偿钼圆片表面涂层加工方法 | |
CN114058924A (zh) | 一种提高双相高熵合金CoCrNiCu耐磨性能的方法 | |
CN109811389B (zh) | 一种氮化钛铌纳米管阵列及渗氮层复合结构的制备方法 | |
CN102242346A (zh) | 铝合金表面原位生长TiAlN薄膜装置及工艺 | |
CN113564579A (zh) | 一种利用激光熔覆制备铜基非晶复合涂层的方法 | |
CN113529080A (zh) | 一种用于pcb微型铣刀的涂层 | |
CN111850564A (zh) | 一种钛化物膜层退镀液及退镀方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
WW01 | Invention patent application withdrawn after publication |
Application publication date: 20200724 |
|
WW01 | Invention patent application withdrawn after publication |