CN111433892A - 卡盘板、退火装置及退火方法 - Google Patents

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Abstract

在退火对象物与保持台之间配置有卡盘板。卡盘板具有使从退火对象物放射而朝向保持台的热辐射光衰减的功能。若使用该卡盘板，则能够提高通过检测热辐射光来测定温度的精确度。

Description

卡盘板、退火装置及退火方法
技术领域
本发明涉及一种卡盘板、退火装置及退火方法。
背景技术
已知有在利用闪光灯退火法对半导体晶片进行高速加热时，测定半导体表面的温度的技术(专利文献1)。例如，通过检测来自半导体晶片表面的热辐射光，能够测定半导体表面的温度。
以往技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2008-235858号公报
发明内容
发明要解决的技术课题
在通过检测来自半导体晶片的热辐射光来测定半导体晶片的表面温度时，由于各种原因，有可能会产生难以测定准确的温度的情况。例如，在将半导体晶片经由卡盘板保持在保持台上后进行加热时，已确认到受到半导体晶片之下的卡盘板或保持台的形状等的影响会产生测定精确度下降的现象。本发明的目的在于提供一种能够提高通过检测热辐射光来测定温度时的精确度的卡盘板、退火装置及退火方法。
用于解决技术课题的手段
根据本发明的一观点，提供一种卡盘板，其配置于退火对象物与保持台之间使用，且其具有使从所述退火对象物放射而朝向所述保持台的热辐射光衰减的功能。
根据本发明的另一观点，提供一种退火装置，其具有：
保持台，保持退火对象物；
卡盘板，配置于所述保持台与所述退火对象物之间；
加热机构，对保持于所述保持台上的所述退火对象物进行加热；及
热辐射光检测器，检测来自保持于所述保持台且被所述加热机构加热的所述退火对象物的热辐射光，
所述卡盘板具有使从所述退火对象物放射而朝向所述保持台的热辐射光衰减的功能。
根据本发明的又一观点，提供一种退火方法，其中，
在保持台上保持退火对象物，
对保持于所述保持台的所述退火对象物进行加热，
测定从被加热的所述退火对象物朝向上方的热辐射光的强度，
吸收从被加热的所述退火对象物朝向所述保持台并在所述保持台被反射后透过所述退火对象物而朝向所述退火对象物的上方的热辐射光或使其衰减。
发明效果
能够使从退火对象物朝向下方并在保持台被反射后透过卡盘板及退火对象物而朝向上方的热辐射光衰减。其结果，在测定热辐射光的强度时，不易受到卡盘板或保持台的影响。
附图说明
图1是基于实施例的激光退火装置的概略图。
图2A是保持台的局部俯视图，图2B是卡盘板的局部俯视图。
图3是表示使用基于比较例的激光退火装置对退火对象物进行退火时获取到的热辐射光的强度的检测结果的分布的一部分的图。
图4A是基于比较例的激光退火装置的未设置有贯穿孔的部位的卡盘板、保持台及退火对象物的剖视图，图4B是基于比较例的激光退火装置的设置有贯穿孔的部位的卡盘板、保持台及退火对象物的剖视图。
图5A是基于实施例的激光退火装置的未设置有贯穿孔的部位的卡盘板、保持台及退火对象物的剖视图，图5B是基于实施例的激光退火装置的设置有贯穿孔的部位的卡盘板、保持台及退火对象物的剖视图。
图6是表示使用基于实施例的激光退火装置进行退火时获取到的热辐射光的强度的检测结果的分布的图。
图7是对使用基于比较例的激光退火装置进行了退火时的温度的测定结果与使用基于实施例的激光退火装置进行了退火时的温度的测定结果进行比较的曲线图。
图8A是表示利用脉冲激光束对退火对象物的表面进行扫描的扫描路径的俯视图，图8B是表示进行主扫描时的脉冲激光束的照射区域的相邻照射(shot) 之间的位置关系的图，图8C是表示副扫描前后的脉冲激光束的照射区域的相邻照射之间的位置关系的图。
图9是表示实际对退火对象物进行了退火时的退火温度的分布的图。
图10A是示意地表示x轴方向上的退火温度的分布的图，图10B是示意地表示y轴方向上的退火温度的分布的图。
图11是按照重叠率表示入射于退火对象物的脉冲激光束的脉冲能量密度与温度传感器的输出电压之间的关系的曲线图。
图12A是表示使用基于实施例的退火装置进行退火时的步骤的流程图，图12B是表示退火温度的测定结果与x轴方向上的重叠率OVRx的变化量ΔOVRx之间的关系的一例的曲线图。
图13A及图13B是表示利用基于图8A～图12B所示的实施例的方法进行了退火时的重叠率OVRx的变化的一例的曲线图。
图14是表示利用基于图1及图8A～图12B所示的实施例的方法进行了退火时的每次主扫描的重叠率OVRx的平均值的变化的一例的曲线图。
具体实施方式
参考图1、图2A及图2B对基于实施例的激光退火装置进行说明。
图1是基于实施例的激光退火装置的概略图。保持台13通过扫描机构12支承于腔室10内。扫描机构12接收来自控制装置40的指令从而能够使保持台13在水平面内移动。扫描机构12具备编码器，控制装置40从编码器读取表示保持台 13的当前位置的位置信息。退火对象物30经由卡盘板14保持于保持台13之上。保持台13包括真空卡盘机构，卡盘板14具有用于使保持台13的真空卡盘机构的作用波及到退火对象物30的多个贯穿孔。退火对象物30例如为注入有掺杂剂的硅晶片等半导体晶片。基于实施例的激光退火装置例如对掺杂剂进行活化退火。
保持台13例如由铝等金属制成。卡盘板14使用比保持台13的材料更硬的材料，例如陶瓷等。卡盘板14例如以获得高表面精度(High Surface Accurac y)的目的而配置于保持台13与退火对象物30之间来使用。
激光光源20接收来自控制装置40的指令从而输出退火用脉冲激光束。作为激光光源20，例如使用激发波长约为800nm的激光二极管。从激光光源20输出的激光束经由传输光学系统21、分光镜22及透镜23后透过设置于腔室10的顶板上的激光透射窗11而入射于退火对象物30。分光镜22使退火用脉冲激光束透过。传输光学系统21例如包括射束均化器、透镜、反射镜等。射束均化器和透镜23对退火对象物30的表面上的光束点进行整形并且使光束分布均匀化。
从退火对象物30放射出的热辐射光透过激光透射窗11并经由透镜23后被分光镜22反射，接着经由透镜24而入射于热辐射光检测器25。分光镜22反射波长为1μm以上的波长区域的热辐射光。热辐射光检测器25测定特定波长区域的热辐射光的强度。热辐射光的强度依赖于退火对象物30的温度。由热辐射光检测器25测定的热辐射光的测定结果作为电压值而输入至控制装置40。
透镜23及透镜24使退火对象物30的表面成像于热辐射光检测器25的受光面。由此，测定从相对于热辐射光检测器25的受光面具有共轭关系的退火对象物30的表面区域放射出的热辐射光的强度。成为测定对象的表面区域例如设定为包含在激光束的光束点的内部。
控制装置40控制扫描机构12以使保持于保持台13的退火对象物30沿水平面内的二维方向移动。而且，控制装置40根据保持台13的当前位置信息控制激光光源20以使激光光源20输出脉冲激光束。而且，控制装置40与从激光光源20输出的脉冲激光束的每次照射同步获取热辐射光检测器25的检测结果。所获取的检测结果与退火对象物30表面内的位置建立对应关联之后存储于存储装置41。
作为一例，按照脉冲激光束的每次照射，获得热辐射光的强度的经时变化。存储于存储装置41的检测结果例如为脉冲激光束的每次照射的热辐射光的强度的峰值或积分值。控制装置40将退火对象物30的表面内的热辐射光的强度分布的信息作为图像、曲线图或数值而输出给输出装置42。
图2A是保持台13的局部俯视图。在保持台13的上表面设置有孔15及槽16。孔15及槽16例如构成用于保持退火对象物30的保持机构的一部分。
图2B是卡盘板14的局部俯视图。在将卡盘板14对位并载置于保持台13上的状态下，在卡盘板14的与保持台13的孔15相对应的位置设置有贯穿孔18。而且，沿着保持台13的槽16还分布有多个贯穿孔19。未配置有贯穿孔18、19的区域设为均匀且平坦的表面。若将退火对象物30保持在卡盘板14的上表面，则退火对象物30与均匀且平坦的表面接触，而在配置有贯穿孔18、19的区域，退火对象物30不与卡盘板14接触。如此，卡盘板14的上表面包括：在保持有退火对象物30的状态下与退火对象物30接触的均匀的区域及与退火对象物30重叠但不与退火对象物30接触的非接触区域。
接着，参考图3、图4A及图4B对使用基于比较例的激光退火装置进行了评价实验的结果进行说明。在基于比较例的激光退火装置中，作为图1所示的卡盘板14(图1、图2B)，使用了陶瓷制的卡盘板。作为退火对象物30，使用了硅晶片。
图3是表示在对退火对象物30进行退火时获取到的热辐射光的强度的检测结果的分布的一部分的图。图中表示，深灰色区域的温度比浅灰色区域的温度更低。在图3中，之所以出现纵向纹路是因为，利用激光束沿纵向对硅晶片进行了扫描。
在贯穿孔18(图2B)正上方的部位，硅晶片上产生的热量不会经由卡盘板 14(图2B)而传递至外部，因此可以认为相比与卡盘板14相接触的部位更容易变成高温。但是，在图3所示的测定结果中却获得了与贯穿孔18(图2B)相对应的位置32处的温度测定值反而变得比其周围的温度测定值更低的结果。并且可知，与设置有槽16(图2A)的区域相对应，温度测定值变低。
参考图4A及图4B，对与贯穿孔18(图2B)相对应的位置处的温度测定值变得比其周围的温度测定值更低的理由进行说明。
图4A是未设置有贯穿孔18的部位的退火对象物30、卡盘板14及保持台13的剖视图。若激光束入射于退火对象物30而被加热，则从变成高温的部位31释放出热辐射光。朝向上方的热辐射光直接入射于热辐射光检测器25(图1)。在本说明书中，将从变成高温的部位31朝向上方而入射于热辐射光检测器25的热辐射光称为“直接光”。
从变成高温的部位31朝向下方的热辐射光沿卡盘板14的厚度方向在其内传播并在保持台13的表面反射之后，透过卡盘板14及退火对象物30而入射于热辐射光检测器25。在本说明书中，将从变成高温的部位31朝向下方并在保持台13 的上表面反射之后入射于热辐射光检测器25的热辐射光称为“间接光”。如此，在未设置有贯穿孔18的区域中，测定出的是直接光与间接光的总强度。
图4B是设置有贯穿孔18的部位的退火对象物30、卡盘板14及保持台13的剖视图。从变成高温的部位31放射并朝向下方的热辐射光从卡盘板14的背面放射到贯穿孔18及孔15的内部空腔。因此，朝向下方的热辐射光不会在保持台13的上表面反射，因而不会入射于热辐射光检测器25。
在配置有贯穿孔18的区域中，仅测定出直接光的强度，间接光的强度并不会相加到测定值。其结果，设置有贯穿孔18的部位的温度测定值变得比其周围的温度测定值更低。
在设置有槽16(图2A)的区域中，基于相同理由，温度的测定结果也变得更低。
如此，设置有贯穿孔18的部位的测定环境与未设置有贯穿孔18的部位的测定环境不同，因此无法进行准确的温度测定。在以下说明的实施例中，能够进行准确的温度测定。
图5A及图5B是基于实施例的激光退火装置的卡盘板14、保持台13及保持于卡盘板14上的退火对象物30的剖视图。图5A是未设置有贯穿孔18的部位的剖视图，图5B是设置有贯穿孔18的部位的剖视图。
在基于实施例的激光退火装置中使用的卡盘板14包括主体14A及涂布于其上表面的吸收膜14B。作为主体14A，例如使用由陶瓷制成的平板。吸收膜14B 吸收热辐射光的波长区域(例如，波长1μm～3μm)的光或使其衰减。作为吸收膜14B，例如使用包含黑色色素的膜。
如图5A所示，从未设置有贯穿孔18的部位31放射并朝向下方的热辐射光被吸收膜14B吸收或衰减。而且，被保持台13反射而朝向上方的热辐射光也被吸收膜14B吸收或衰减。因此，入射于热辐射光检测器25(图1)的间接光的强度相比直接光的强度足够低。
如图5B所示，在设置有贯穿孔18的部位，与图4B所示的例子相同地，间接光也不会入射于热辐射光检测器25(图1)。
如上述，在实施例中，在设置有贯穿孔18的部位和未设置贯穿孔18的部位均能够仅测定出从变成高温的部位31朝向上方的直接光的强度。因此，可以说设置有贯穿孔18的部位和未设置贯穿孔18的部位的温度的测定条件实质上相同。因此，能够提高温度分布的测定精确度。
图6是表示使用基于实施例的激光退火装置进行退火时获取到的热辐射光的强度的检测结果的分布的一部分的图。图中表示，深灰色的区域的温度相比浅灰色的区域的温度更低。设置有贯穿孔18的位置32处的温度测定值变得比其周围的温度测定值更高。该测定结果与设置有贯穿孔18的位置处的温度会比其周围的温度更高的预测一致。
图7是对使用基于比较例的激光退火装置进行了退火时的温度的测定结果与使用基于实施例的激光退火装置进行了退火时的温度的测定结果进行比较的曲线图。图7中示出了沿着与退火对象物30的扫描方向(图3、图6中的纵向) 平行的直线测定的测定结果。横轴表示退火对象物30表面内的位置，纵轴以单位“mV”表示利用热辐射光检测器25(图1)检测出的电压。检测出的电压对应于热辐射光的强度。热辐射光的强度对应于退火对象物30的温度。图7的曲线图中的粗实线表示使用了基于实施例的卡盘板14时(图6)的测定结果，细实线表示使用了基于比较例的未设置有吸收膜的卡盘板14时(图3)的测定结果。
在设置有贯穿孔18的区域A，两个测定结果大致一致。这是因为，如图4B 及图5B所示，两者的测定环境实质上相同。在未设置有贯穿孔18的区域，使用了基于实施例的激光退火装置时的测定结果(图5A、图6)低于使用了基于比较例的激光退火装置时的测定结果(图3、图4A)。获得了这种测定结果的原因在于，在比较例中，间接光也入射于热辐射光检测器25(图1)，而在实施例中，间接光实质上不会入射于热辐射光检测器25(图1)。
未设置有贯穿孔18的区域中的粗实线与细实线之差相当于间接光的强度。从图7所示的曲线图的比较结果可知，间接光的强度为直接光的强度的约10％。
为了以充分高的精确度测定温度分布，优选将间接光的强度设为直接光的强度的1/100以下。为了满足该条件，优选使热辐射光的强度在从退火对象物3 0的变成高温的部位31朝向下方并被保持台13的上表面反射之后透过退火对象物30而朝向上方为止的路径中传输的期间衰减90％以上。
在上述实施例中，示出了在卡盘板14上设置有贯穿孔18时也能够测定准确的温度分布。即便在卡盘板14上未设置有贯穿孔18时，通过使用基于上述实施例的激光退火装置，也能够获得不会受到保持台13的上表面的反射特性的面内偏差的影响从而能够测定准确的温度分布的效果。
接着，对上述实施例的变形例进行说明。
在上述实施例中，作为吸收膜14B(图5A、图5B)，使用了包含黑色色素的膜，但也可以使用吸收成为热辐射光检测器25(图1)的检测对象的波长区域的光或使其衰减的材料的膜。并且，吸收膜14B也可以设置于卡盘板14的主体14A的下表面从而代替设置于上表面，还可以设置于上表面和下表面这双方。此外，也可以由具有使热辐射光衰减的功能的材料制作卡盘板14。
吸收膜14B也可以设置于保持台13的上表面从而代替设置于卡盘板14。
在上述实施例中，利用激光束对退火对象物30进行了加热，但也可以利用其他加热机构进行加热。例如，可以使用闪光灯等进行加热。
接着，参考图1、图8A～图12B对基于另一实施例的退火装置及退火方法进行说明。基于本实施例的激光退火装置与在图1的概略图中示出的激光退火装置相同。
图8A是表示利用脉冲激光束对退火对象物30的表面进行扫描的扫描路径的俯视图。在此定义将退火对象物30的表面(激光照射面)设为xy面且将表面的法线方向设为z轴的正方向的xyz正交坐标系。通过将x轴方向设为主扫描方向且将y轴方向设为副扫描方向并反复进行主扫描和副扫描，退火对象物30的表面的几乎整个区域被脉冲激光束扫描。
图8B是表示主扫描中的脉冲激光束的照射区域33的相邻照射之间的位置关系的图。照射区域33具有沿y轴方向较长的大致长方形的平面形状。在图8B 中，虚线表示上一次照射的照射区域33a，实线表示其下一次照射的照射区域3 3。Wx表示照射区域33在x轴方向上的尺寸(宽度)。Wov表示连续两次照射的照射区域33a与照射区域33的重叠部分在x轴方向上的尺寸。将主扫描时的照射区域的重叠率OVRx定义为OVRx＝Wov/Wx。
图8C是表示副扫描前后的脉冲激光束的照射区域33的相邻照射之间的位置关系的图。虚线表示刚进行副扫描之前的照射区域33b，实线表示进行了副扫描之后的照射区域33。Ly表示照射区域33在y轴方向上的尺寸(长度)。Lov表示一次副扫描前后的照射区域33b与照射区域33的重叠部分在y轴方向上的尺寸。将副扫描时的照射区域的重叠率OVRy定义为OVRy＝Lov/Ly。
在对实施例进行说明之前，先对以恒定的重叠率进行了退火的评价实验的结果进行说明。
图9是实际对退火对象物30进行退火时测定的退火温度的分布的图。在该评价实验中，作为卡盘板14(图1)，使用了不具有吸收膜14B(图5A、图5B) 的卡盘板。在图9中，退火温度越高的区域，灰色的浓度表示为越淡。观测到放射状及同心圆状的退火温度相对较低的区域是因为设置于保持台13(图1) 的吸附用槽的平面形状得到了反映。而且，对应于配置有升降销的四个部位呈现出退火温度相对较低的区域。若忽略吸附用槽或升降销等基底的特殊条件，则会出现与x轴方向(主扫描方向)平行的纵向纹路。而且，可知，在y轴方向(副扫描方向)上的两端附近，退火温度比内侧区域的退火温度更高。
图10A是示意地表示x轴方向上的退火温度的分布的图。若着眼于通过一次主扫描而扫描的与x轴平行的直线状的区域，则扫描的起点侧的一部分区域34 的退火温度比终点侧的剩余的区域35的退火温度更高。在图10A中，对退火温度相对较高的区域标注密度相对较低的阴影线，对退火温度相对较低的区域标注密度相对较高的阴影线。另外，在图10A中，明确示出了退火温度更高的区域34与退火温度更低的区域35之间的边界，但实际上，两者的边界并不明确，退火温度沿x轴方向逐渐变化。
退火温度在主扫描的起点侧的区域34变高是因为残留有进行副扫描之前的主扫描时的加热的影响(蓄热效果)。如此，若着眼于通过一次主扫描而扫描的区域，则确认到在x轴方向上产生温度不均。
图10B是示意地表示y轴方向上的退火温度的分布的图。图10B表示通过一次主扫描而扫描的与x轴平行的直线状区域的退火温度在x轴方向上的平均值的分布。在y轴方向(副扫描方向)上，两端附近的区域36的退火温度的平均值高于比其更靠内侧的区域的退火温度的平均值。在图10B中，对退火温度的平均值相对较高的区域标注密度相对较低的阴影线，对退火温度的平均值相对较低的区域标注密度相对较高的阴影线。另外，在图10B中，明确示出了退火温度的平均值更高的区域36与退火温度的平均值更低的区域37之间的边界，但实际上，双方的边界并不明确，退火温度的平均值沿y轴方向逐渐变化。
退火温度的平均值在y轴方向上的两端附近的区域36相对变高的原因在于，在区域36中，面内方向的热传播导致的温度下降较少。如此，在y轴方向上，也确认到退火温度的平均值产生了不均。
在以下说明的实施例中，通过改变主扫描时的重叠率来减少该温度不均。
图11是按照重叠率表示入射于退火对象物30的脉冲激光束的每个脉冲的能量密度(脉冲能量密度)与热辐射光检测器25(图1)的输出电压之间的关系的曲线图。横轴以单位“J/cm2”表示脉冲能量密度，纵轴以单位“mV”表示热辐射光检测器25的输出电压。热辐射光检测器25的输出电压依赖于退火对象物 30的退火温度。
图11的曲线图中的星形符号、圆形符号、方形符号及三角形符号分别表示将x轴方向上的重叠率OVRx设为0％、50％、67％及80％时的输出电压的测定值。由图11可知，若提高脉冲能量密度，则退火温度会上升。并且，还可知，在脉冲能量密度为恒定的条件下，随着提高重叠率OVRx，退火温度变高。
从图11所示的结果可知，通过调整x轴方向上的重叠率OVRx能够控制退火温度。在实施例中，根据照射一次脉冲激光束时的退火温度的测定结果，改变此次照射与下一次照射的照射区域的重叠率OVRx，从而调整退火温度。
图12A是表示使用基于实施例的退火装置进行退火时的步骤的流程图。流程图中示出的各步骤通过由控制装置40(图1)控制扫描机构12、激光光源20 来执行。
首先，将退火对象物30保持于保持台13(图1)上并开始保持台13的移动 (步骤S1)。例如，在一次主扫描期间，使保持台13(图8A)以大致相同的速度沿x轴方向移动。
判定退火对象物30是否移动至照射开始位置(步骤S2)，并在移动至照射开始位置的时刻进行一次脉冲激光束的照射(步骤S3)。若对退火对象物30的整个区域进行了退火，则结束处理(步骤S4)。
控制装置40读取来自热辐射光检测器25的输出电压，从而获取与退火温度相关的信息(步骤S5)。控制装置40将重叠率OVRx作为操作量而进行反馈控制，以使退火温度的测定结果接近目标值Tt。例如，控制装置40根据退火温度的测定结果来确定上一次照射的照射区域与接下来要照射的照射区域的x轴方向上的重叠率OVRx，以使退火温度接近目标值Tt(步骤S6)。
图12B是表示退火温度的测定结果与x轴方向上的重叠率OVRx的变化量ΔOVRx之间的关系的一例的曲线图。横轴表示退火温度的测定结果，纵轴表示重叠率OVRx的变化量ΔOVRx。在退火温度的测定结果与目标值Tt一致时，重叠率OVRx的变化量ΔOVRx为0，维持当前时刻的重叠率OVRx。
在退火温度的测定结果高于目标值时，将重叠率OVRx的变化量ΔOVRx设为负，在退火温度的测定结果低于目标值时，将重叠率OVRx的变化量ΔOVRx设为正。即，在退火温度的测定结果高于目标值时，使重叠率OVRx低于当前的重叠率OVRx，在退火温度的测定结果低于目标值时，使重叠率OVRx高于当前的重叠率OVRx。不管在何种情况下，从目标值Tt到退火温度的测定结果为止的偏差越大，将变化量ΔOVRx的绝对值设为越大。
若确定了重叠率OVRx，则使脉冲激光束的输出待机直至退火对象物30到达以所确定的重叠率OVRx进行下一次照射的位置(步骤S7)。若退火对象物30移动至规定的位置，则进行一次脉冲激光束的照射(步骤S3)。之后，重复执行步骤S4至步骤S3直至处理结束。
接着，对使用基于上述实施例的退火装置进行的退火方法的优异效果进行说明。
在实施例中，根据退火温度的测定结果来调整重叠率OVRx以使退火温度接近目标值Tt，因此能够提高退火温度的面内均一性。由此，能够提高掺杂剂的活化率的面内均一性。
并且，在实施例中，不改变从激光光源20(图1)输出的脉冲激光束的功率及脉冲宽度而改变重叠率OVRx来调整退火温度，因此，即使在使用难以改变功率或脉冲宽度的激光振荡器的情况下，也能够调整退火温度。
接着，参考图13A～图14对基于又一实施例的退火装置及退火方法进行说明。在本实施例中，根据退火对象物30表面内的位置来改变重叠率OVRx。例如，在以恒定的重叠率OVRx进行了退火时退火温度变高的区域中，将重叠率 OVRx设定为较低。
接着，对如何根据退火对象物30表面内的位置来改变重叠率OVRx进行说明。
图13A及图13B是表示利用基于图1、图8A～图12B所示的实施例的方法进行了退火时的重叠率OVRx的变化的一例的曲线图。若将重叠率OVRx设为恒定，则如图10A所示，在主扫描的起点附近，退火温度相对变高。若适用上述实施例，则在朝向x轴的正方向进行主扫描(图13A)或朝向x轴的负方向进行主扫描(图13B)的任何情况下，为了使退火温度接近目标值Tt，进行使重叠率 OVRx随着脉冲激光束的照射位置远离主扫描的起点而变高的控制。
因此，在一次主扫描中，想要使退火温度均匀化，只要使重叠率OVRx随着脉冲激光束的照射位置远离主扫描的起点而变高即可。
图14是表示利用基于图1、图8A～图12B所示的实施例的方法进行了退火时的每次主扫描的重叠率OVRx的平均值的变化的一例的曲线图。若将重叠率OVRx 设为恒定，则如图10B所示，在y轴方向的两端附近，退火温度相对变高。若适用图1、图8A～图12B所示的实施例，则为了使退火温度接近目标值Tt，进行使重叠率OVRx在y轴方向的两端附近相对较低的控制。
因此，想要在y轴方向上使退火温度均匀化，只要将y轴方向上的两端附近的重叠率OVRx的平均值设为低于比其更靠内侧的区域的重叠率OVRx的平均值即可。
退火对象物30表面内的位置与重叠率OVRx的优选关系可以通过改变重叠率 OVRx进行多次评价实验来确定。退火对象物30表面内的位置与重叠率OVRx的优选关系预先存储于存储装置41。控制装置40根据该优选关系来改变重叠率 OVRx。
在本实施例中，能够使退火温度在面内均一。并且，在将从激光光源20输出的脉冲激光束的脉冲的重复频率设为恒定来进行退火时，可以在图13A及图 13B所示的每个主扫描的起点附近的重叠率OVRx相对低的区域中加快退火对象物30的移动速度。因此，与通过使主扫描的起点附近的区域的重叠率OVRx等于内侧及终点侧的重叠率OVRx来进行退火的情况相比，能够获得退火时间变短的效果。
上述实施例为例示，理所当然，实施例及变形例中示出的结构的一部分可以彼此置换或彼此组合。关于实施例及变形例的基于相同结构的相同的作用效果，并不在实施例及变形例中逐一提及。而且，本发明并不只限于上述实施例及变形例。例如，本发明能够进行各种变更、改进、组合等，这对本领域技术人员来说是显而易见的。
符号说明
10-腔室；11-激光透射窗，12-扫描机构，13-保持台，14-卡盘板，14A- 卡盘板的主体，14B-吸收膜，15-升降销用孔，16-槽，17-升降销，18-升降销用贯穿孔，19-吸附用贯穿孔，20-激光光源，21-传输光学系统，22-分光镜， 23、24-透镜，25-热辐射光检测器，30-退火对象物，31-变成高温的部位， 32-与贯穿孔相对应的位置，33-照射区域，33a-上一次照射的照射区域，33b- 副扫描之前的主扫描时的照射区域，34-主扫描的起点侧的区域(端部区域)，35-主扫描的除了起点侧的区域以外的区域，36-副扫描方向上的两端附近的区域，37-比副扫描方向上的两端附近的区域更靠内侧的区域，40-控制装置，41-存储装置，42-输出装置。

Claims (18)

1.一种卡盘板，其特征在于，
所述卡盘版配置于退火对象物与保持台之间使用，并且具有使从所述退火对象物放射而朝向所述保持台的热辐射光衰减的功能。
2.根据权利要求1所述的卡盘板，其特征在于，
所述卡盘版的保持所述退火对象物的上表面包括：在保持有所述退火对象物的状态下与所述退火对象物接触的均匀的区域及与所述退火对象物重叠但不与所述退火对象物接触的非接触区域。
3.根据权利要求1或2所述的卡盘板，其特征在于，
在所述卡盘版的保持所述退火对象物的上表面及朝向所述保持台侧的下表面中的至少一个表面上设置有吸收膜，所述吸收膜包含吸收从所述退火对象物放射而朝向所述保持台的热辐射光的色素。
4.一种退火装置，其特征在于，具有：
保持台，保持退火对象物；
卡盘板，配置于所述保持台与所述退火对象物之间；
加热机构，对保持于所述保持台上的所述退火对象物进行加热；及
热辐射光检测器，检测来自保持于所述保持台且被所述加热机构加热的所述退火对象物的热辐射光，
所述卡盘板具有使从所述退火对象物放射而朝向所述保持台的热辐射光衰减的功能。
5.根据权利要求4所述的退火装置，其特征在于，
所述卡盘板使被所述热辐射光检测器检测到的波长区域的热辐射光衰减。
6.根据权利要求4或5所述的退火装置，其特征在于，
所述卡盘板的保持所述退火对象物的上表面包括：在保持有所述退火对象物的状态下与所述退火对象物接触的均匀的区域及与所述退火对象物重叠但不与所述退火对象物接触的非接触区域。
7.根据权利要求4至6中任一项所述的退火装置，其特征在于，
在所述卡盘板的保持所述退火对象物的上表面及朝向所述保持台侧的下表面中的至少一个表面上涂布有吸收从所述退火对象物放射而朝向所述保持台的热辐射光的色素。
8.根据权利要求4至7中任一项所述的退火装置，其特征在于，
所述加热机构具有：
激光光源，输出脉冲激光束；
扫描机构，利用所述脉冲激光束对所述退火对象物的表面进行扫描；及
控制装置，控制所述激光光源和所述扫描机构，以使所述脉冲激光束的相邻照射的照射区域彼此重叠的同时利用所述脉冲激光束对所述退火对象物的表面进行扫描，
所述控制装置根据所述热辐射光检测器的测定结果来改变重叠率。
9.根据权利要求8所述的退火装置，其特征在于，
所述控制装置改变重叠率以使所述热辐射光检测器的测定结果接近目标值。
10.根据权利要求4至7中任一项所述的退火装置，其特征在于，
所述加热机构具有：
激光光源，输出脉冲激光束；
扫描机构，利用所述脉冲激光束对所述退火对象物的表面进行扫描；及
控制装置，控制所述激光光源和所述扫描机构，以使所述脉冲激光束的相邻照射的照射区域彼此重叠的同时利用所述脉冲激光束对所述退火对象物的表面进行扫描，
所述控制装置具有根据所述退火对象物表面内的位置来改变重叠率的功能。
11.根据权利要求10所述的退火装置，其特征在于，
所述控制装置进行如下控制：
在对所述退火对象物的表面进行扫描时重复进行主扫描和副扫描来进行退火，
在每次主扫描时，使重叠率随着远离主扫描的起点而降低。
12.根据权利要求10或11所述的退火装置，其特征在于，
所述控制装置进行如下控制：
使对所述退火对象物的包括副扫描方向上的两端在内的端部区域进行主扫描时的重叠率的平均值小于对比所述端部区域更靠内侧的区域进行主扫描时的重叠率的平均值。
13.一种退火方法，其特征在于，
在保持台上保持退火对象物，
对保持于所述保持台的所述退火对象物进行加热，
测定从被加热的所述退火对象物朝向上方的热辐射光的强度，
吸收从被加热的所述退火对象物朝向所述保持台并在所述保持台被反射后透过所述退火对象物而朝向所述退火对象物的上方的热辐射光或使其衰减。
14.根据权利要求13所述的退火方法，其特征在于，
在对所述退火对象物进行加热时，
使脉冲激光束的相邻照射的照射区域彼此重叠的同时利用所述脉冲激光束对所述退火对象物的表面进行扫描，
根据通过所述脉冲激光束的入射而被加热的部位的温度的测定结果来改变重叠率。
15.根据权利要求14所述的退火方法，其特征在于，
改变重叠率以使所述退火对象物的温度的测定结果接近目标值。
16.根据权利要求13所述的退火方法，其特征在于，
在对所述退火对象物进行加热时，
使脉冲激光束的相邻照射的照射区域彼此重叠的同时利用所述脉冲激光束对所述退火对象物的表面进行扫描，
根据所述退火对象物表面内的位置来改变重叠率。
17.根据权利要求16所述的退火方法，其特征在于，
在对所述退火对象物的表面进行扫描时重复进行主扫描和副扫描来进行退火，
在每次主扫描时，使重叠率随着远离主扫描的起点而降低。
18.根据权利要求16或17所述的退火方法，其特征在于，
使对所述退火对象物的包括副扫描方向上的两端在内的某个区域进行主扫描时的重叠率的平均值小于对比该区域更靠内侧的区域进行主扫描时的重叠率的平均值。
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