JP6843657B2 - レーザ加工装置 - Google Patents
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Description
レーザ光の透過率を変更可能な透過率変更部と、
前記透過率変更部を通過したレーザ光が照射された加工対象物の熱輻射を測定する熱輻射測定部と、
前記熱輻射測定部により測定された熱輻射の測定値に基づいて前記透過率変更部におけるレーザ光の透過率を制御する制御部と、
前記熱輻射測定部により測定される熱輻射の目標値を設定する目標設定部と、
を備え、
前記制御部は、前記熱輻射の目標値と前記熱輻射の測定値との差に基づいて前記透過率変更部へ出力される制御信号を生成し、
前記目標設定部は、レーザ光の照射位置に応じて変化する前記熱輻射の目標値を設定可能である構成とした。
上記構成のレーザ加工装置1によれば、先ず、加工対象物41のアニール処理の前の段階で、レーザ光源21の出力調整が行われる。出力調整の際には、ステージ31が移動して全反射ミラー33がレーザ光の照射位置に配置され、アッテネータ22が所定の透過率(例えば100%)に制御される。そして、制御部10が、レーザ光源21からレーザ光を出射させ、かつ、パワーメータ34の測定値を入力し、レーザ光のパワーが設定値になるようにレーザ光源21の出力が調整される。
10 制御部
11 目標値設定部
12 フィードバック制御部
21 レーザ光源
22 アッテネータ
23 走査光学系
24 ダイクロイックミラー
25、26 レンズ
27 熱輻射測定部
31 ステージ
33 全反射ミラー
34 パワーメータ
41 加工対象物
P0 被加工位置
L1 走査経路
Claims (2)
- レーザ光の透過率を変更可能な透過率変更部と、
前記透過率変更部を通過したレーザ光が照射された加工対象物の熱輻射を測定する熱輻射測定部と、
前記熱輻射測定部により測定された熱輻射の測定値に基づいて前記透過率変更部におけるレーザ光の透過率を制御する制御部と、
前記熱輻射測定部により測定される熱輻射の目標値を設定する目標設定部と、
を備え、
前記制御部は、前記熱輻射の目標値と前記熱輻射の測定値との差に基づいて前記透過率変更部へ出力される制御信号を生成し、
前記目標設定部は、レーザ光の照射位置に応じて変化する前記熱輻射の目標値を設定可能であるレーザ加工装置。 - 加工対象物への前記レーザ光の照射位置を変更する走査部を更に備え、
加工対象物のアニール処理を行う請求項1記載のレーザ加工装置。
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Family Applications (1)
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