CN111422658A - 一种半导体存储器绝缘薄膜生产装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种半导体存储器绝缘薄膜生产装置，涉及绝缘薄膜生产装置技术领域，具体为一种半导体存储器绝缘薄膜生产装置，包括固定台，所述固定台的顶部固定安装有支撑板，且支撑板的中部活动套接有上料辊，所述支撑板的中部活动套接有位于上料辊右侧的加热辊，且加热辊的内部固定安装有加热丝，所述支撑板的中部活动套接有位于加热辊右侧的固定轴。该半导体存储器绝缘薄膜生产装置，通过加热辊内部的加热丝对绝缘薄膜进行加热，增加绝缘薄膜的延展性，通过旋动调节螺杆，从而使连接架上下移动，进而使张紧辊上下移动，对绝缘薄膜进行顶压，从而使绝缘薄膜拉伸延展，改变绝缘薄膜的厚度。

Description

一种半导体存储器绝缘薄膜生产装置

技术领域

本发明涉及绝缘薄膜生产装置技术领域，具体为一种半导体存储器绝缘薄膜生产装置。

背景技术

半导体存储器的生产需要用到绝缘薄膜，绝缘薄膜的生产是首先将原材料通过挤出机融化挤出成熔体，经过狭长机头制成片材或厚膜，然后在专用的拉伸机内，在一定的温度和设定的速度下，同时或分步在垂直的纵向拉伸机和横向拉伸机上进行的拉伸，并经过适当的冷却或热处理或特殊的加工制成的薄膜，再经过张紧和收卷制成半成品，最后利用切片机切成适当宽度的成品。

现有的绝缘薄膜生产设备结构复杂，且在生产过程中不能调节绝缘薄膜的厚度，只能对固定厚度的绝缘薄膜进行生产，降低了使用范围，同时在收卷分割时，由于切割设备尺寸固定，不能自主调节切割宽度，当需要切割尺寸时，需要安装特定的刀具，增加了使用难度，增加了生产周期。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了一种半导体存储器绝缘薄膜生产装置，具有自动调节薄膜厚度、多尺寸分割、解决了上述背景技术中提出的问题。

1．为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种半导体存储器绝缘薄膜生产装置，包括固定台，所述固定台的顶部固定安装有支撑板，且支撑板的中部活动套接有上料辊，所述支撑板的中部活动套接有位于上料辊右侧的加热辊，且加热辊的内部固定安装有加热丝，所述支撑板的中部活动套接有位于加热辊右侧的固定轴，且固定轴的外部固定套接有调节辊，所述固定台的顶部固定安装有位于调节辊两侧的调节杆，且调节杆活动套接于固定轴的两端，所述调节杆的外部活动套接有调节弹簧，所述支撑板的正面开设有位于固定轴外部的U形槽，所述支撑板的中部活动安装有位于调节辊上方的活动轴，且活动轴的外部固定套接有驱动辊，所述活动轴的外部固定套接有位于驱动辊正面的驱动齿轮，且驱动齿轮的外部活动套接有传动皮带，所述固定台的顶部固定安装有位于调节辊右侧的固定架，且固定架的中部螺纹套接有调节螺杆，所述调节螺杆的底端固定安装有连接架，且连接架的顶部固定安装有位于调节螺杆两侧的限位杆，所述连接架的内部活动套接有张紧辊，所述固定台的顶部固定安装有位于固定架右侧的固定板，且固定板的正面固定安装有电机座，所述电机座的顶部固定安装有驱动电机，且驱动电机的输出轴上固定套接有位于固定板背面的驱动齿轮，所述驱动电机的输出轴上连接有收卷辊，所述固定板的中部活动套接有转动轴，且转动轴的外部固定套接有分割辊，所述转动轴的外部固定套接有位于转动轴正面的从动齿轮，且从动齿轮的外部活动套接有传动皮带，所述转动轴的外部固定套接有位于从动齿轮正面的传动齿轮，所述分割辊的正面开设有贯通至其内部的矩形槽，且矩形槽的内部卡接有顶块，所述顶块的顶部固定安装有分割刀，所述左右侧分割刀通过张紧弹簧与分割辊上的矩形槽弹性连接，所述分割辊的下方螺纹套接有变距螺杆，且变距螺杆的顶端固定安装有连接板，且连接板的底部固定安装有位于变距螺杆两侧的导向杆，所述连接板的上开设有矩形槽，所述矩形槽上卡接有变距块。

优选的，所述收卷辊左右两侧分别设置有销孔，所述收卷辊与驱动电机的输出轴通过销固定连接，所述收卷辊左右两端分别设置有拉伸弹簧，所述拉伸弹簧上弹性连接有压条。

优选的，所述驱动电机输出轴上固定套接的驱动齿轮外沿与传动齿轮相互啮合，所述传动齿轮与驱动齿轮的外沿与传动皮带相互啮合。

优选的，所述固定架的内侧固定安装有位于连接架两侧的导向板，所述固定架的顶部开设有与调节螺杆相配合的螺纹孔。

优选的，所述调节杆与调节弹簧镜像分布于调节辊的两侧，所述驱动辊与调节辊处于同一竖直面上。

优选的，所述顶块与变距块的侧面为斜面，且顶块与变距块斜面斜度相同，所述顶块与变距块间隔分布，所述顶块与变距块分别可在矩形槽上左右移动。

优选的，所述加热辊位于上料辊与调节辊的中部，且加热丝均匀分布于加热辊的内壁。

本发明提供了一种半导体存储器绝缘薄膜生产装置，具备以下有益效果：

1、该半导体存储器绝缘薄膜生产装置，通过加热辊内部的加热丝对绝缘薄膜进行加热，增加绝缘薄膜的延展性，通过旋动调节螺杆，从而使连接架上下移动，进而使张紧辊上下移动，对绝缘薄膜进行顶压，从而使绝缘薄膜拉伸延展，改变绝缘薄膜的厚度，该装置解决了以往装置不能对薄膜厚度进行改变的问题，降低了工作难度，增加了适用范围。

2、该半导体存储器绝缘薄膜生产装置，通过在固定轴两侧活动安装调节杆，并在调节杆外部活动套接调节弹簧，使调节辊可以根据绝缘薄膜的厚度进行上下移动，使绝缘薄膜始终与驱动辊底部紧密接触，保证驱动辊卷动绝缘薄膜，从而保证该装置传动的稳定性。

3、该半导体存储器绝缘薄膜生产装置，通过旋动变距螺杆，从而改变连接板的位置，进而连接板带动变距块进行上下移动，通过变距块对顶块进行挤压，从而改变两个顶块之间的距离，进一步改变两个分割刀之间的距离，而分割刀所处的位置将会被张紧弹簧固定，解决了以往分割刀具尺寸固定分割困难的问题，实现了对绝缘薄膜的多尺寸分割，降低了工作的难度。

4、该半导体存储器绝缘薄膜生产装置，通过销的安装拆卸可以将收卷辊进行更换，方便对收卷辊外部收卷完毕的绝缘薄膜进行收取，更换的过程中只需短暂停止机器，提高工作效率，通过收卷辊上的压条可以方便操作人员将绝缘薄膜边缘固定在收卷辊上。

附图说明

图1为本发明结构示意图；

图2为本发明改变薄膜厚度的结构示意图；

图3为本发明改变分割尺寸的结构示意图；

图4为本发明旋转加热的结构示意图；

图5为本发明压紧绝缘薄膜的结构示意图；

图6为本发明分割刀及顶块的结构示意图。

图中：1、固定台；2、支撑板；3、上料辊；4、加热辊；5、驱动辊；6、调节辊；7、固定轴；8、调节杆；9、调节弹簧；10、固定架；11、调节螺杆；12、限位杆；13、张紧辊；14、连接架；15、驱动齿轮；16、传动齿轮；17、从动齿轮；18、驱动电机；19、分割刀；20、分割辊；21、顶块；22、连接板；23、变距块；24、变距螺杆；25、收卷辊；26、加热丝；27、传动皮带；28、销；29、压条；30、拉伸弹簧；31、销孔；32、张紧弹簧。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

2．请参阅图1至图4，本发明提供一种技术方案：一种半导体存储器绝缘薄膜生产装置，包括固定台1，固定台1的顶部固定安装有支撑板2，且支撑板2的中部活动套接有上料辊3，支撑板2的中部活动套接有位于上料辊3右侧的加热辊4，且加热辊4的内部固定安装有加热丝26，支撑板2的中部活动套接有位于加热辊4右侧的固定轴7，且固定轴7的外部固定套接有调节辊6，固定台1的顶部固定安装有位于调节辊6两侧的调节杆8，且调节杆8活动套接于固定轴7的两端，调节杆8的外部活动套接有调节弹簧9，支撑板2的正面开设有位于固定轴7外部的U形槽，支撑板2的中部活动安装有位于调节辊6上方的活动轴，且活动轴的外部固定套接有驱动辊5，活动轴的外部固定套接有位于驱动辊5正面的驱动齿轮15，且驱动齿轮15的外部活动套接有传动皮带27，固定台1的顶部固定安装有位于调节辊6右侧的固定架10，且固定架10的中部螺纹套接有调节螺杆11，调节螺杆11的底端固定安装有连接架14，且连接架14的顶部固定安装有位于调节螺杆11两侧的限位杆12，连接架14的内部活动套接有张紧辊13，固定台1的顶部固定安装有位于固定架10右侧的固定板，且固定板的正面固定安装有电机座，电机座的顶部固定安装有驱动电机18，且驱动电机18的输出轴上固定套接有位于固定板背面的驱动齿轮，驱动电机18的输出轴上连接有收卷辊25，固定板的中部活动套接有转动轴，且转动轴的外部固定套接有分割辊20，转动轴的外部固定套接有位于转动轴正面的从动齿轮17，且从动齿轮17的外部活动套接有传动皮带27，转动轴的外部固定套接有位于从动齿轮17正面的传动齿轮16，分割辊20的正面开设有贯通至其内部的矩形槽，且矩形槽的内部卡接有顶块21，顶块21的顶部固定安装有分割刀19，左右侧分割刀19通过张紧弹簧32与分割辊20上的矩形槽弹性连接，分割辊20的下方螺纹套接有变距螺杆24，且变距螺杆24的顶端固定安装有连接板22，且连接板22的底部固定安装有位于变距螺杆24两侧的导向杆，所述连接板22的上开设有矩形槽，所述矩形槽上卡接有变距块23。

其中，收卷辊25左右两侧分别设置有销孔31，收卷辊25与驱动电机18的输出轴通过销28固定连接，通过销28的安装拆卸可以将收卷辊25进行更换，方便对收卷辊25外部收卷完毕的绝缘薄膜进行收取，更换的过程中只需短暂停止机器，提高工作效率，收卷辊25左右两端分别设置有拉伸弹簧30，所述拉伸弹簧30上弹性连接有压条29，开始时通过压条的压紧作用，可以方便操作人员将绝缘薄膜边缘固定在收卷辊25上。

其中，驱动电机18输出轴上固定套接的驱动齿轮外沿与传动齿轮16相互啮合，传动齿轮16与驱动齿轮15的外沿与传动皮带27相互啮合，通过驱动电机18带动主动齿轮，从而带动传动齿轮16转动，进而带动从动齿轮17转动，带动驱动齿轮15进行转动，进而带动驱动辊5进行转动，实现了对绝缘薄膜的自动上料，通过齿轮进行传动，保证了传动的效率，降低了出行打滑的概率。

其中，固定架10的内侧固定安装有位于连接架14两侧的导向板，固定架10的顶部开设有与调节螺杆11相配合的螺纹孔，通过加热辊4内部的加热丝26对绝缘薄膜进行加热，增加绝缘薄膜的延展性，通过旋动调节螺杆11，从而使连接架14上下移动，进而使张紧辊13上下移动，对绝缘薄膜进行顶压，从而使绝缘薄膜拉伸延展，改变绝缘薄膜的厚度，该装置解决了以往装置不能对薄膜厚度进行改变的问题，降低了工作难度，增加了适用范围。

其中，调节杆8与调节弹簧9镜像分布于调节辊6的两侧，驱动辊5与调节辊6处于同一竖直面上，在固定轴7两侧活动安装调节杆8，并在调节杆8外部活动套接调节弹簧9，使调节辊6可以根据绝缘薄膜的厚度进行上下移动，使绝缘薄膜始终与驱动辊5底部紧密接触，保证驱动辊5卷动绝缘薄膜，从而保证该装置传动的稳定性。

其中，顶块21与变距块23的侧面为斜面，且顶块21与变距块23斜面斜度相同，顶块21与变距块23间隔分布，通过旋动变距螺杆24，从而改变连接板22的位置，进而连接板22带动变距块23进行上下移动，对顶块21进行挤压，从而改变两个顶块21之间的距离，进一步改变两个分割刀19之间的距离，解决了以往分割刀具尺寸固定分割困难的问题，实现了对绝缘薄膜的多尺寸分割，降低了工作的难度。

其中，加热辊4位于上料辊3与调节辊6的中部，且加热丝26均匀分布于加热辊4的内壁，通过加热辊4内部的加热丝26对绝缘薄膜进行加热，增加了绝缘薄膜的延展性，降低了后续延展的难度，保证了该装置的有效性，降低了后续延展导致绝缘薄膜损坏的概率。

综上，该半导体存储器绝缘薄膜生产装置，使用时，先通过销将收卷辊25安装在驱动电机18的输出轴上，在将绝缘薄膜依次缠绕在上料辊3的上方，加热辊4的下方，调节辊6的上方，张紧辊13的下方，最后将绝缘薄膜通过收卷辊25上的压条20压在收卷辊25的上，通过驱动电机18带动主动齿轮，从而带动传动齿轮16转动，进而带动从动齿轮17转动，带动驱动齿轮15进行转动，进而带动驱动辊5进行转动，通过加热辊4内部的加热丝26对绝缘薄膜进行加热，增加绝缘薄膜的延展性，通过旋动调节螺杆11，从而使连接架14上下移动，进而使张紧辊13上下移动，对绝缘薄膜进行顶压，从而使绝缘薄膜拉伸延展，改变绝缘薄膜的厚度，在固定轴7两侧活动安装调节杆8，并在调节杆8外部活动套接调节弹簧9，使调节辊6可以根据绝缘薄膜的厚度进行上下移动，使绝缘薄膜始终与驱动辊5底部紧密接触，保证驱动辊5卷动绝缘薄膜，通过旋动变距螺杆24，从而改变连接板22的位置，进而连接板22带动变距块23进行上下移动，通过变距块对顶块21进行挤压，从而改变两个顶块21之间的距离，进一步改变两个分割刀19之间的距离，而分割刀所处的位置将会被张紧弹簧固定，解决了以往分割刀具尺寸固定分割困难的问题，对收卷辊25外部收卷完毕的绝缘薄膜进行收取，然后通过销28更换收卷辊25使机器继续工作，即可。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种半导体存储器绝缘薄膜生产装置，包括固定台（1），其特征在于：所述固定台（1）的顶部固定安装有支撑板（2），且支撑板（2）的中部活动套接有上料辊（3），所述支撑板（2）的中部活动套接有位于上料辊（3）右侧的加热辊（4），且加热辊（4）的内部固定安装有加热丝（26），所述支撑板（2）的中部活动套接有位于加热辊（4）右侧的固定轴（7），且固定轴（7）的外部固定套接有调节辊（6），所述固定台（1）的顶部固定安装有位于调节辊（6）两侧的调节杆（8），且调节杆（8）活动套接于固定轴（7）的两端，所述调节杆（8）的外部活动套接有调节弹簧（9），所述支撑板（2）的正面开设有位于固定轴（7）外部的U形槽，所述支撑板（2）的中部活动安装有位于调节辊（6）上方的活动轴，且活动轴的外部固定套接有驱动辊（5），所述活动轴的外部固定套接有位于驱动辊（5）正面的驱动齿轮（15），且驱动齿轮（15）的外部活动套接有传动皮带（27），所述固定台（1）的顶部固定安装有位于调节辊（6）右侧的固定架（10），且固定架（10）的中部螺纹套接有调节螺杆（11），所述调节螺杆（11）的底端固定安装有连接架（14），且连接架（14）的顶部固定安装有位于调节螺杆（11）两侧的限位杆（12），所述连接架（14）的内部活动套接有张紧辊（13），所述固定台（1）的顶部固定安装有位于固定架（10）右侧的固定板，且固定板的正面固定安装有电机座，所述电机座的顶部固定安装有驱动电机（18），且驱动电机（18）的输出轴上固定套接有位于固定板背面的驱动齿轮，所述驱动电机（18）的输出轴上连接有收卷辊（25），所述固定板的中部活动套接有转动轴，且转动轴的外部固定套接有分割辊（20），所述转动轴的外部固定套接有位于转动轴正面的从动齿轮（17），且从动齿轮（17）的外部活动套接有传动皮带（27），所述转动轴的外部固定套接有位于从动齿轮（17）正面的传动齿轮（16），所述分割辊（20）的正面开设有贯通至其内部的矩形槽，且矩形槽的内部卡接有顶块（21），所述顶块（21）的顶部固定安装有分割刀（19），所述左右侧分割刀（19）通过张紧弹簧（32）与分割辊（20）上的矩形槽弹性连接，所述分割辊（20）的下方螺纹套接有变距螺杆（24），且变距螺杆（24）的顶端固定安装有连接板（22），且连接板（22）的底部固定安装有位于变距螺杆（24）两侧的导向杆，所述连接板（22）的上开设有矩形槽，所述矩形槽上卡接有变距块（23）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体存储器绝缘薄膜生产装置，其特征在于：所述收卷辊（25）左右两侧分别设置有销孔（31），所述收卷辊（25）与驱动电机（18）的输出轴通过销（28）固定连接，所述收卷辊（25）左右两端分别设置有拉伸弹簧（30），所述拉伸弹簧（30）上弹性连接有压条（29）。

3.根据权利要求1所述的一种半导体存储器绝缘薄膜生产装置，其特征在于：所述驱动电机（18）输出轴上固定套接的驱动齿轮外沿与传动齿轮（16）相互啮合，所述传动齿轮（16）与驱动齿轮（15）的外沿与传动皮带（27）相互啮合。

4.根据权利要求1所述的一种半导体存储器绝缘薄膜生产装置，其特征在于：所述固定架（10）的内侧固定安装有位于连接架（14）两侧的导向板，所述固定架（10）的顶部开设有与调节螺杆（11）相配合的螺纹孔。

5.根据权利要求1所述的一种半导体存储器绝缘薄膜生产装置，其特征在于：所述调节杆（8）与调节弹簧（9）镜像分布于调节辊（6）的两侧，所述驱动辊（5）与调节辊（6）处于同一竖直面上。

6.根据权利要求1所述的一种半导体存储器绝缘薄膜生产装置，其特征在于：所述顶块（21）与变距块（23）的侧面为斜面，且顶块（21）与变距块（23）斜面斜度相同，所述顶块（21）与变距块（23）间隔分布，所述顶块（21）与变距块（23）分别可在矩形槽上左右移动。

7.根据权利要求1所述的一种半导体存储器绝缘薄膜生产装置，其特征在于：所述加热辊（4）位于上料辊（3）与调节辊（6）的中部，且加热丝（26）均匀分布于加热辊（4）的内壁。

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