CN111376313B - 交换版机械手移入移出装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种交换版机械手移入移出装置，包括：底座、定位销、水平导轨、垂直导轨、转臂、转轴和传动机构，底座上安装交换版机械手；定位销设置在底座上与掩模台分系统的承载框架可拆卸连接；水平导轨与承载框架固定连接，水平导轨上滑动设置有第一滑块；垂直导轨与水平导轨垂直设置，其上滑动设置有第二滑块；转臂分别与第一滑块和第二滑块连接；转轴与垂直导轨固定连接，转轴两端设置有上轴端和下轴端，转轴通过上轴端和下轴端与底座连接；传动机构用于在驱动力作用下带动垂直导轨和转轴沿竖直方向上下移动。上述的交换版机械手移入移出装置能够提高掩模台分系统和交换版机械手的维修维护效率，有利于提高光刻设备的产率。

Description

交换版机械手移入移出装置

技术领域

本发明涉及集成电路制造领域，尤其涉及一种交换版机械手移入移出装置。

背景技术

光刻设备是一种将掩模图案曝光成像到基底区域的设备。掩模传输分系统负责掩模物料在曝光成像单元和物料接口之间的传送，是光刻设备的重要组成部分。交换版机械手作为掩模传输分系统对接掩模台分系统的接口，为实现功能需要其部分嵌入到掩模台分系统内部工作。为实现掩模台分系统和交换版机械手的维修维护，需要将交换版机械手移动到整机外部进行维修维护，维修维护结束后，再将交换版机械手重新移入到掩模台分系统内部，为确保交换版机械手的安装定位精度，需保证一定的定位重复性。传统技术中通过人工将交换版机械手从掩模台分系统内移入移出，为保证定位重复性，将交换版机械手移入掩模台分系统内时需要反复进行位置对准操作，人工劳动强度大，且对准效率低，导致掩模台分系统和交换版机械手维修维护时间长，大大影响了光刻设备的产率。

发明内容

本发明的目的在于提出一种交换版机械手移入移出装置，能够实现交换版机械手移入掩模台分系统内时快速精准定位，提高掩模台分系统和交换版机械手的维修维护效率，有利于提高光刻设备的产率。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种交换版机械手移入移出装置，包括：

底座，其上安装交换版机械手；

定位销，设置在底座上，被配置为与掩模台分系统的承载框架可拆卸连接；

水平导轨，与承载框架固定连接，水平导轨上滑动设置有第一滑块；

垂直导轨，其上滑动设置有第二滑块；

转臂，分别与第一滑块和第二滑块连接；

转轴，与垂直导轨固定连接，转轴两端设置有上轴端和下轴端，转轴通过上轴端和下轴端与底座连接；上轴端和下轴端均具有轴接状态和脱轴状态，当定位销与承载框架连接时，上轴端和下轴端均处于脱轴状态；当定位销从承载框架上取下后，上轴端和下轴端均处于轴接状态，底座能够绕上轴端和下轴端旋转；

传动机构，分别与转臂和转轴连接，用于在动力源的驱动力作用下带动垂直导轨和转轴沿竖直方向上下移动。

在其中一个实施例中，上轴端包括：上轴承座、上轴肩、第一圆锥滚子轴承和限位件，上轴承座与底座连接，上轴肩与转轴连接，第一圆锥滚子轴承的外圈与上轴承座连接，第一圆锥滚子轴承的内圈与上轴肩连接，限位件穿过上轴承座与第一圆锥滚子轴承的内圈连接。

在其中一个实施例中，下轴端包括：下轴承座、第二圆锥滚子轴承和下轴肩，下轴承座与底座连接，第二圆锥滚子轴承的外圈与下轴承座连接，下轴肩由上至下依次穿过底座和下轴承座与第二圆锥滚子轴承的内圈连接。

在其中一个实施例中，下轴端还包括内圈挡套、固定件和弹簧，内圈挡套一端与第二圆锥滚子轴承的内圈连接，另一端通过固定件与下轴肩连接，弹簧设置在内圈挡套和固定件之间。

在其中一个实施例中，第一圆锥滚子轴承和第二圆锥滚子轴承均采用内圈位于外圈下方的方式布置。

在其中一个实施例中，传动机构包括：齿轮箱和梯形丝杆，齿轮箱设置在转轴上端，梯形丝杆包括丝母和丝杆，丝母与转臂连接，丝杆一端与齿轮箱连接，另一端穿过丝母与转轴的下端连接。

在其中一个实施例中，传动机构还包括手柄，手柄与齿轮箱连接。

在其中一个实施例中，齿轮箱包括相互垂直设置的第一伞齿轮和第二伞齿轮。

在其中一个实施例中，底座上朝向承载框架的一侧设置有支撑杆；或，承载框架上朝向底座的一侧设置有支撑杆。

在其中一个实施例中，定位销为球头定位销。

在其中一个实施例中，还包括锁紧旋钮，锁紧旋钮被配置为当底座旋转到位后将底座与上轴端锁紧。

在其中一个实施例中，还包括锁紧旋钮，锁紧旋钮被配置为当底座旋转到位后将底座与下轴端锁紧。

上述的交换版机械手移入移出装置使用时将交换版机械手安装在底座上，水平导轨与承载框架固定连接，交换版机械手正常工作时，定位销插入承载框架上的销孔内，底座与承载框架固定连接，上轴端和下轴端均处于脱轴状态。当需要对交换版机械手或掩模台分系统进行维护时，通过动力源对传动机构提供驱动力，垂直导轨在驱动力作用下相对第二滑块向上滑动，垂直导轨向上滑动带动转轴向上移动，底座随转轴一起向上移动，随底座逐渐上移，定位销也随之向上移动而从销孔内移出，此时上轴端和下轴端均进入轴接状态，底座可绕上轴端和下轴端旋转；当定位销从销孔内移出后，沿水平方向推动转臂或底座，转臂带动第一滑块在水平导轨上滑动将底座平移到承载框架边缘，之后，转动底座，使底座绕上轴端和下轴端旋转将底座移出，底座移出后即可对底座和掩模台分系统进行维修维护操作。进一步地，完成维修维护操作后，先将底座旋转归位后再将底座平移回安装位置，使定位销位于销孔上方，之后，通过动力源对传动机构提供驱动力，使垂直导轨在驱动力作用下相对第二滑块向下滑动，将定位销插入销孔内，并且直至上轴端和下轴端处于脱轴状态后停止输出驱动力，完成交换版机械手移入操作。

上述的交换版机械手移入移出装置将底座移动到承载框架边缘后进行旋转移出，能够确保底座不会与承载框架发生干涉，并且，移入过程中通过定位销与销孔进行移入定位，能够实现快速精准定位，确保定位重复性。综上所述，上述的交换版机械手移入移出装置能够实现交换版机械手快速、准确从掩模台分系统移入移出，操作简单方便，能够提高掩模台分系统和交换版机械手的维修维护效率，有利于提高光刻设备的产率。

附图说明

图1是一个实施例中交换版机械手移入移出装置的结构示意图；

图2是一个实施例中交换版机械手移入移出装置与承载框架连接的结构剖视图；

图3是一个实施例中上轴端处于脱轴状态的结构示意图；

图4是一个实施例中下轴端处于脱轴状态的结构示意图；

图5是一个实施例中上轴端处于轴接状态的结构示意图；

图6是一个实施例中下轴端处于轴接状态的结构示意图；

图7是又一个实施例中交换版机械手移入移出装置的结构示意图。

附图标记说明：

10-底座，20-定位销，30-水平导轨，40-垂直导轨，50-转臂，60-转轴，70-上轴端，80-下轴端，90-齿轮箱，110-丝杆，120-丝母，130-手柄，140-锁紧旋钮，200-承载框架，300-支撑杆；

31-第一滑块，71-上轴承座，72-上轴肩，73-第一圆锥滚子轴承，74-限位件，75-第一锁紧螺钉，81-下轴承座，82-下轴肩，83-第二圆锥滚子轴承，84-内圈挡套，85-固定件，86-弹簧，87-第二锁紧螺钉，91-第一伞齿轮，92-第二伞齿轮；

731-第一圆锥滚子轴承73的外圈，732-第一圆锥滚子轴承73的内圈，831-第二圆锥滚子轴承83的外圈，832-第二圆锥滚子轴承83的内圈。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

请同时参阅图1、图2，一实施例的交换版机械手移入移出装置包括底座10、定位销20、水平导轨30、垂直导轨40、转臂50、转轴60和传动机构。底座10上安装交换版机械手，定位销20设置在底座10上，定位销20被配置为与掩模台分系统的承载框架200可拆卸连接。水平导轨30与承载框架200固定连接，水平导轨30上滑动设置有第一滑块31；垂直导轨40上滑动设置有第二滑块(图中未示出)；转臂50分别与第一滑块31和第二滑块连接。转轴60与垂直导轨40固定连接，转轴60两端设置有上轴端70和下轴端80，转轴60通过上轴端70和下轴端80与底座10连接，上轴端70和下轴端80均具有轴接状态和脱轴状态，当定位销20与承载框架200连接时，上轴端70和下轴端80均处于脱轴状态；当定位销20从承载框架200上取下后，上轴端70和下轴端80均处于轴接状态，底座10能够绕上轴端70和下轴端80旋转。传动机构分别与转臂50和转轴60连接，用于在动力源的驱动力作用下带动垂直导轨40和转轴60沿竖直方向上下移动。

上述的交换版机械手移入移出装置使用时将交换版机械手安装在底座10上，水平导轨30与承载框架200固定连接，交换版机械手正常工作时，定位销20插入承载框架200上的销孔内，底座10与承载框架200固定连接，上轴端70和下轴端80均处于脱轴状态。当需要对交换版机械手或掩模台分系统进行维护时，通过动力源对传动机构提供驱动力，垂直导轨40在驱动力作用下相对第二滑块向上滑动，垂直导轨40向上滑动带动转轴60向上移动，底座10随转轴60一起向上移动，随底座10逐渐上移，定位销20也随之向上移动而从销孔内移出，此时上轴端70和下轴端80均进入轴接状态，底座10可绕上轴端70和下轴端80旋转；当定位销20从销孔内移出后，沿水平方向推动转臂50或底座10，转臂50带动第一滑块31在水平导轨30上滑动将底座20平移到承载框架200边缘，之后，转动底座10，使底座10绕上轴端70和下轴端80旋转将底座10移出，底座10移出后即可对底座10和掩模台分系统进行维修维护操作。

进一步地，完成维修维护操作后，先将底座10旋转归位后再将底座10平移回安装位置，使定位销20位于销孔上方，之后，通过动力源对传动机构提供驱动力，使垂直导轨40在驱动力作用下相对第二滑块向下滑动，将定位销20插入销孔内，并且直至上轴端70和下轴端80处于脱轴状态后停止输出驱动力，完成交换版机械手移入操作。

上述的交换版机械手移入移出装置将底座10移动到承载框架200边缘后进行旋转移出，能够确保底座10不会与承载框架200发生干涉，并且，移入过程中通过定位销20与销孔进行移入定位，能够实现快速精准定位，确保定位重复性。

如图2所示，在一个实施例中，传动机构包括齿轮箱90和梯形丝杆110。齿轮箱90设置在转轴60上端，梯形丝杆110包括丝母120和丝杆110，丝母120与转臂50连接，丝杆110一端与齿轮箱90连接，另一端穿过丝母120与转轴60的下端连接。具体地，齿轮箱90包括相互垂直设置的第一伞齿轮91和第二伞齿轮92，其中，第一伞齿轮91用于连接动力源，第二伞齿轮92与丝杆110连接。

进一步地，在一个实施例中，传动机构还包括手柄130，手柄130与齿轮箱90连接，具体地，手柄130与第一伞齿轮91连接。本实施例中，在传动机构上设置手柄130，可通过人工对传动机构提供驱动力。需要说明的是，驱动力并不仅限于由人力提供，在其它实施例中，动力源还可以为电机或气缸等，具体地，可以设置旋转电机或旋转气缸与第一伞齿轮91连接，为传动机构提供驱动力。

具体地，水平导轨30沿水平方向设置，垂直导轨40沿竖直方向与水平导轨30垂直设置，转臂50分别与水平导轨30上的第一滑块31和垂直导轨40上的第二滑块连接，水平导轨30与承载框架200固定连接。因此，转臂50、第一滑块31和第二滑块在竖直方向上的位置相对固定，转臂50只能在水平导轨30上沿水平方向移动，竖直方向不会发生位移。丝母120与转臂50连接，丝母120在竖直方向上的位置也相对固定。转动手柄130带动第一伞齿轮91转动，进而带动第二伞齿轮92转动，由于丝母120固定不动，因此丝杆110随第二伞齿轮92转动会产生沿竖直方向向上或向下运动的趋势，转轴60与丝杆110连接，垂直导轨40与转轴60固定连接，因此，垂直导轨40会在丝杆110带动下相对第二滑块沿竖直方向向上或向下滑动，转轴60和底座20随垂直导轨40一起沿竖直方向向上或向下运动。

在一个实施例中，定位销20为球头定位销，销孔为球窝孔，球头定位销与球窝孔对准过程中能够快速对准，且对准后连接稳定可靠，有助于提高底座20的移入效率及底座20与承载框架200连接的稳定性。

如图3、图5所示，在一个实施例中，上轴端70包括上轴承座71、上轴肩72、第一圆锥滚子轴承73和限位件74。上轴承座71与底座10连接，上轴肩72与转轴60连接，第一圆锥滚子轴承73的外圈731与上轴承座71连接，第一圆锥滚子轴承73的内圈732与上轴肩72连接，限位件74穿过上轴承座71与第一圆锥滚子轴承73的内圈732连接。具体地，上轴承座71可以但不局限于为通过第一锁紧螺钉75与底座10固定连接，限位件74可以但不局限于为限位螺钉。

如图4、图6所示，在一个实施例中，下轴端80包括下轴承座81、第二圆锥滚子轴承83和下轴肩82。下轴承座81与底座10连接，第二圆锥滚子轴承83的外圈831与下轴承座81连接，下轴肩82由上至下依次穿过底座10和下轴承座81与第二圆锥滚子轴承83的内圈832连接。具体地，下轴承座81可以但不局限于为通过第二锁紧螺钉87与底座10固定连接。

为保证上轴端70和下轴端80运动同步，第一圆锥滚子轴承73和第二圆锥滚子轴承83同向布置，具体地，如图3至图6所示，第一圆锥滚子轴承73和第二圆锥滚子轴承83均采用内圈位于外圈下方的方式布置。

上轴端70和下轴端80均有轴接状态和脱轴状态，轴接状态时圆锥滚子轴承的内圈和外圈贴紧，脱轴状态时圆锥滚子轴承的内圈和外圈脱开，上轴端70和下轴端80运动同步，二者同时处于轴接状态或脱轴状态。当定位销20与承载框架200连接时，上轴端70和下轴端80均处于脱轴状态；当定位销20从承载框架200上取下后，上轴端70和下轴端80均处于轴接状态，底座10能够绕上轴端70和下轴端80旋转。

具体地，如图3、图4所示，底座10处于移入位置时，定位销20插入销孔内，第一圆锥滚子轴承73的外圈731和第一圆锥滚子轴承73的内圈732分离，第二圆锥滚子轴承83的外圈831和第二圆锥滚子轴承83的内圈832也处于分离状态，上轴端70和下轴端80均处于脱轴状态，此时，底座10由定位销20提供安装支撑，底座10被固定在承载框架200上，底座10无法旋转。

进一步地，如图5、图6所示，当将底座10进行移出时，底座10在驱动力作用下向上运动后，定位销20从销孔内移出，第一圆锥滚子轴承73的内圈732和第二圆锥滚子轴承83的内圈832也随转轴60向上运动，并且，第一圆锥滚子轴承73的内圈732与第一圆锥滚子轴承73的外圈731贴紧，第二圆锥滚子轴承83的内圈832与第二圆锥滚子轴承83的外圈831贴紧，此时，底座10被从承载框架200上取下，底座10的支撑由第一圆锥滚子轴承73和第二圆锥滚子轴承83提供，并且，第一圆锥滚子轴承73的内圈732与第一圆锥滚子轴承73的外圈贴紧，第二圆锥滚子轴承83的内圈832与第二圆锥滚子轴承83的外圈831贴紧，上轴端70和下轴端80均处于轴接状态，底座10能够绕上轴端70和下轴端80旋转。

进一步地，在一个实施例中，下轴端80还包括内圈挡套84、固定件85和弹簧86，内圈挡套84一端与第二圆锥滚子轴承83的内圈连接，另一端通过固定件85与下轴肩82连接，弹簧86设置在内圈挡套84和固定件85之间。本实施例中，通过设置弹簧86和内圈挡套84对下轴端80和上轴端70进行误差补偿，以确保第一圆锥滚子轴承73和第二圆锥滚子轴承83的内外圈同步贴紧。具体地，固定件85可以但不局限于为螺钉。

在一个实施例中，底座10上朝向承载框架200的一侧设置有支撑杆300；或，承载框架200上朝向底座10的一侧设置有支撑杆300。具体地，底座10上端朝向承载框架200设置有突出部以安装定位销20，承载框架200上朝向底座10设置有开设有销孔的凸起部。突出部和凸起部均由底座10或承载框架200向外侧延伸设置，定位销20插入销孔后，底座10和承载框架200之间会存在空隙，会导致底座10的上端和下端在竖直方向上发生倾斜，影响底座10的安装精度。本实施例中，在底座10或承载框架200上设置支撑杆300，支撑杆300用于支撑底座10的下端对底座10下端进行支撑补偿，以避免底座10出现安装倾斜，确保底座10的安装精度。如图2所示，本实施例中，支撑杆300设置在承载框架200上，底座10安装到承载框架200上后，支撑杆300与底座10的下端抵接。

在一个实施例中，上述的交换版机械手移入移出装置还包括锁紧旋钮140，锁紧旋钮140用于在底座10旋转到位后对底座10进行锁紧定位，以使底座10在交换版机械手或掩模台分系统维修维护过程中不会发生旋转，方便维修维护操作。如图2所示，在一个实施例中，锁紧旋钮140设置在底座10上端，锁紧旋钮140被配置为当底座10旋转到位后将底座10与上轴端70锁紧。具体地，上轴肩72上开设有卡槽，当底座10旋转到位后，旋紧锁紧旋钮140使其插入卡槽内，锁紧旋钮140与卡槽相互卡住，实现为底座10稳定可靠的旋转限位。

进一步地，如图7所示，在又一个实施例中，锁紧旋钮140还可以设置在底座10下端，锁紧旋钮140被配置为当底座10旋转到位后将底座10与下轴端80锁紧，具体地，下轴肩82上开设有卡槽，底座10旋转到位后将锁紧旋钮140旋紧插入下轴承座81上的卡槽内对底座10进行旋转限位。具体地，本实施例的交换版机械手移入移出装置与上述实施例的交换版机械手移入移出装置的区别仅在于锁紧旋钮140的设置位置不同，其它均结构及组成均相同，在此不再赘述。

更进一步地，在其它实施例中，为提高底座10旋转限定的可靠性，还可以同时在底座10的上端和下端均设置锁紧旋钮140，以在底座10的上端和下端同时进行旋转限位，以上实施例并不做具体限定。

以上对交换版机械手移入移出装置的具体结构及组成进行了详细介绍，为便于说明，以下以图1所示的交换版机械手移入移出装置进行说明。具体同时结合图1至图6对上述交换版机械手移入移出装置的工作过程进行详细说明。

首先，上述的交换版机械手移入移出装置的移出过程如下：

具体地，移出过程的初始状态为：底座10处于移入位置，其在水平导轨30上的位置如图1所示，同时，如图3、图4所示，定位销20插入承载框架200上的销孔内，第一圆锥滚子轴承73的外圈731和第一圆锥滚子轴承73的内圈732分离，第二圆锥滚子轴承83的外圈831和第二圆锥滚子轴承83的内圈832也处于分离状态，上轴端70和下轴端80均处于脱轴状态，底座10的支撑由定位销20提供。

执行移出操作时，首先转动手柄130驱动丝杆110产生沿竖直方向向上的运动趋势，垂直导轨在丝杆110带动下相对第二滑块沿竖直方向向上滑动，带动转轴60连同底座10相对于转臂50向上运动；随转轴60不断向上运动，第一圆锥滚子轴承73的内圈732与第一圆锥滚子轴承73的外圈贴紧，第二圆锥滚子轴承83的内圈832与第二圆锥滚子轴承83的外圈831贴紧，上轴端70和下轴端80均进入轴接状态；此后，继续转动手柄130，随着转轴60继续升高，定位销20逐渐与承载框架200上的销孔脱开，底座10的支撑完全由第一圆锥滚子轴承73和第二圆锥滚子轴承83提供(如图5、图6所示)；当底座10沿竖直方向升高至预设高度后，沿水平方向拖动底座10运动至承载框架200的边缘，之后，推动底座10使其绕上轴端70和下轴端80转动，当底座10旋转至预设位置后，将锁紧旋钮140插入上轴肩72上的卡槽内，底座10移出到位，可以对交换版机械手和掩模台分系统进行维修维护操作。

进一步地，上述的交换版机械手移入移出装置的移出过程如下：

具体地，移入动作流程与移出动作流程相反，此动作的起始状态为：底座10处于移出位置，水平方向上其位于承载框架200的边缘，竖直方向上，定位销20悬空，第一圆锥滚子轴承73和第二圆锥滚子轴承83的内圈和外圈均贴紧，底座10的支撑由第一圆锥滚子轴承73和第二圆锥滚子轴承83提供(如图5、图6所示)。

执行移入操作时，首先，将锁紧旋钮140从卡槽中旋出，再推动底座10绕上轴端70和下轴端80旋转，底座10旋转到位后再将锁紧旋钮140插入到对应的卡槽内对底座10进行旋转限位，之后沿水平方向反向推动底座10，将底座10移动到其在水平导轨30上如图1所示的位置；然后，转动手柄130，驱动丝杆110产生沿竖直方向向下的运动趋势，垂直导轨在丝杆110带动下相对第二滑块沿竖直方向向下滑动，带动转轴60连同底座10相对于转臂50向下运动，降定位销20插入销孔内；当定位线20完全插入销孔内后，继续转动手柄130，随着转轴60不断下降，第一圆锥滚子轴承73的外圈731和第一圆锥滚子轴承73的内圈732逐渐脱开，第二圆锥滚子轴承83的外圈831和第二圆锥滚子轴承83的内圈832也逐渐脱开，上轴端70和下轴端80由轴接状态转换至脱轴状态，底座10的支撑由定位销3提供(如图3、图4所示)；最后，继续转动手柄130，使转轴60继续下降至限位螺钉401贴紧上轴承座402后，移入到位。

上述的交换版机械手移入移出装置能够实现交换版机械手快速、准确从掩模台分系统移入移出，操作简单方便，能够提高掩模台分系统和交换版机械手的维修维护效率，有利于提高光刻设备的产率。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (12)

1.一种交换版机械手移入移出装置，其特征在于，包括：

底座(10)，其上安装交换版机械手；

定位销(20)，设置在所述底座(10)上，被配置为与掩模台分系统的承载框架(200)可拆卸连接；

水平导轨(30)，与所述承载框架(200)固定连接，所述水平导轨上滑动设置有第一滑块(31)；

垂直导轨(40)，其上滑动设置有第二滑块；

转臂(50)，分别与所述第一滑块(31)和所述第二滑块连接；

转轴(60)，与所述垂直导轨(40)固定连接，所述转轴(60)两端设置有上轴端(70)和下轴端(80)，所述转轴(60)通过所述上轴端(70)和所述下轴端(80)与所述底座(10)连接；所述上轴端(70)和所述下轴端(80)均具有轴接状态和脱轴状态，当所述定位销(20)与所述承载框架(200)连接时，所述上轴端(70)和所述下轴端(80)均处于脱轴状态；当所述定位销(20)从所述承载框架(200)上取下后，所述上轴端(70)和所述下轴端(80)均处于轴接状态，所述底座(10)能够绕所述上轴端(70)和所述下轴端(80)旋转；

传动机构，分别与所述转臂(50)和所述转轴(60)连接，用于在动力源的驱动力作用下带动所述垂直导轨(40)和所述转轴(60)沿竖直方向上下移动。

2.根据权利要求1所述的交换版机械手移入移出装置，其特征在于，所述上轴端(70)包括：上轴承座(71)、上轴肩(72)、第一圆锥滚子轴承(73)和限位件(74)，所述上轴承座(71)与所述底座(10)连接，所述上轴肩(72)与所述转轴(60)连接，所述第一圆锥滚子轴承(73)的外圈(731)与所述上轴承座(71)连接，所述第一圆锥滚子轴承(73)的内圈(732)与所述上轴肩(72)连接，所述限位件(74)穿过所述上轴承座(71)与所述第一圆锥滚子轴承(73)的内圈(732)连接。

3.根据权利要求2所述的交换版机械手移入移出装置，其特征在于，所述下轴端(80)包括：下轴承座(81)、第二圆锥滚子轴承(83)和下轴肩(82)，所述下轴承座(81)与所述底座(10)连接，所述第二圆锥滚子轴承(83)的外圈(831)与所述下轴承座(81)连接，所述下轴肩(82)由上至下依次穿过所述底座(10)和所述下轴承座(81)与所述第二圆锥滚子轴承(83)的内圈(832)连接。

4.根据权利要求3所述的交换版机械手移入移出装置，其特征在于，所述下轴端(80)还包括内圈挡套(84)、固定件(85)和弹簧(86)，所述内圈挡套(84)一端与所述第二圆锥滚子轴承(83)的内圈(832)连接，另一端通过所述固定件(85)与所述下轴肩(82)连接，所述弹簧(86)设置在所述内圈挡套(84)和所述固定件(85)之间。

5.根据权利要求3所述的交换版机械手移入移出装置，其特征在于，所述第一圆锥滚子轴承(73)和所述第二圆锥滚子轴承(83)均采用内圈位于外圈下方的方式布置。

6.根据权利要求1-5之一所述的交换版机械手移入移出装置，其特征在于，所述传动机构包括：齿轮箱(90)和梯形丝杆，所述齿轮箱(90)设置在所述转轴(60)上端，所述梯形丝杆包括丝母(120)和丝杆(110)，所述丝母(120)与所述转臂(50)连接，所述丝杆(110)一端与所述齿轮箱(90)连接，另一端穿过所述丝母(120)与所述转轴(60)的下端连接。

7.根据权利要求6所述的交换版机械手移入移出装置，其特征在于，所述传动机构还包括手柄(130)，所述手柄(130)与所述齿轮箱(90)连接。

8.根据权利要求6所述的交换版机械手移入移出装置，其特征在于，所述齿轮箱(90)包括相互垂直设置的第一伞齿轮(91)和第二伞齿轮(92)。

9.根据权利要求1所述的交换版机械手移入移出装置，其特征在于，

所述底座(10)上朝向所述承载框架(200)的一侧设置有支撑杆(300)；或，

所述承载框架(200)上朝向所述底座(10)的一侧设置有支撑杆(300)。

10.根据权利要求1所述的交换版机械手移入移出装置，其特征在于，所述定位销(20)为球头定位销。

11.根据权利要求1所述的交换版机械手移入移出装置，其特征在于，还包括锁紧旋钮(140)，所述锁紧旋钮(140)被配置为当所述底座(10)旋转到位后将所述底座(10)与所述上轴端(70)锁紧。

12.根据权利要求1所述的交换版机械手移入移出装置，其特征在于，还包括锁紧旋钮(140)，所述锁紧旋钮(140)被配置为当所述底座(10)旋转到位后将所述底座(10)与所述下轴端(80)锁紧。

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