CN111354617A - 一种自动进出料等离子体处理装置及其使用方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种自动进出料等离子体处理装置及使用方法，该处理装置包括机箱、真空腔、传输组件、运动组件、吸盘组件；所述机箱内设置有台板，所述真空腔、传输组件、动力组件均设置在台板上；所述传输组件包括第一传输组件和第二传输组件，所述第一传输组件和第二传输组件分别设置在真空腔的两端；所述机箱的两侧设置有分别与第一传输组件、第二传输组件相对应的进料口和出料口；该使用方法操作简单，使用方便，适用性强；本发明解决了现有等离子体处理装置人工成本高，处理效率低，不能适应产品流水线式加工生产的缺陷，本发明实现流水线式等离子体处理，提高等离子体处理效率，适用性高，能够与产品加工流水线配合使用，降低产品生产加工成本。

Description

一种自动进出料等离子体处理装置及其使用方法

技术领域

本发明涉及等离子体处理设备技术领域，具体地说是一种自动进出料等离子体处理装置及其使用方法。

背景技术

等离子体是不同于固体、液体和气体，是物质存在的第四态，等离子体又叫做电浆，是由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质。

等离子体技术在众多领域都具有十分显著的优点，在对材料表面进行改性处理方面，具有成本低、无废弃物、无污染等优点；在杀菌消毒方面具有安全性高、无药物残留、灭菌时间短、无环境污染等优点；在对各类污染物(废气、废水)处理方面具有能耗低、效率高、处理流程短、适用范围广等优点。

现有技术中等离子体处理装置存在人工成本高，处理效率低等问题，往往需要人工每次处理前打开腔门，将待处理产品放置到真空腔内，关闭真空腔，处理完成后，打开真空腔，再人工将处理完成的产品从真空腔中取出，重复上述操作完成一批产品的等离子体处理；另一方面，现有等离子体处理装置多为单独设置，很少与加工流水线配合使用，往往需要将待处理产品集中起来，然后单独运送至等离子处理装置处进行处理，导致处理效率低，产品生产加工成本高。

如中国专利申请CN108284284A公开了一种等离子处理设备，该等离子处理腔体包括第一腔体、第二腔体、滑动机构、固定板以及气缸，第一腔体内部设置有第一电极，第二腔体内部设置有第二电极，滑动机构包括滑轨以及滑块，滑块分别与第一腔体、第二腔体固定连接，滑轨沿纵向方向相对于滑块滑动，固定板与滑轨固定连接，固定板中部设置有第一通孔，气缸与固定板固定连接，气缸的活塞杆与第一腔体固定连接。

中国专利CN210039764U公开了一种等离子体处理设备，包括由不锈钢制成的箱体，所述箱体分为一级容纳箱和位于一级容纳箱下方的二级容纳箱，所述一级容纳箱内设置有介质式等离子处理器，所述介质式等离子处理器包括两个电极，两个所述电极分别设置在一级容纳箱的两端，所述介质式等离子处理器两端的顶部均连接有一级连接块，所述一级连接块与一级容纳箱的顶部连接，两个所述电极之间连接有陶瓷电极管，所述二级容纳箱内设有供电设备，所述供电设备与电极相连，所述一级容纳箱的两端均固定设置有走线轮，所述一级容纳箱的侧面设置有供电缆穿过的走线孔。

上述等离子体处理设备尽管均带来了一定的有益技术效果，但也都存在一定的问题，例如，等离子体处理效率有限，人工成本高，不适用于与产品加工流水线配合使用。

因此，如何提供一种自动进出料等离子体处理装置，以实现流水线式等离子体处理，提高等离子体处理效率，能够与产品加工流水线配合使用，降低产品生产加工成本，是目前本领域技术人员亟待解决的技术问题。

发明内容

有鉴于此，本申请的目的在于提供一种自动进出料等离子体处理装置及其使用方法，实现流水线式等离子体处理，提高等离子体处理效率，能够与产品加工流水线配合使用，降低产品生产加工成本。

为了达到上述目的，本申请提供如下技术方案。

采用的第一种技术方案：一种自动进出料等离子体处理装置，包括机箱、真空腔、传输组件、运动组件、吸盘组件；

所述机箱内设置有台板，所述真空腔、传输组件、动力组件均设置在所述台板上；

所述传输组件包括第一传输组件和第二传输组件，所述第一传输组件和第二传输组件分别设置在所述真空腔的两端；

所述机箱的两侧设置有分别与所述第一传输组件、第二传输组件相对应的进料口和出料口。

优选地，所述真空腔包括腔体、上盖、电极板、气动组件，所述气动组件带动所述上盖相对所述腔体旋转，以实现所述腔体的打开和关闭；

所述电极板设置在所述腔体内，且所述电极板与所述腔体之间设置有绝缘板。

优选地，所述气动组件包括伸缩气缸、转动支架、上固定架，所述伸缩气缸与所述转动支架连接，所述转动支架与所述上盖连接，所述上固定架与所述腔体固定连接，以使得所述伸缩气缸带动所述上盖旋转。

优选地，所述传输组件包括第一支架、第二支架、传输电机、两条传输皮带、传动轴、两个动力轮；

两条传输皮带分别设置在所述第一支架和第二支架上；每条所述传输皮带的两端均设置有皮带轮，两个动力轮分别设置在所述传动轴的两端，所述传输电机带动所述传动轴旋转。

优选地，所述传输组件还包括第三驱动电机、丝杆，所述丝杆一端与所述第三驱动电机传动连接，另一端穿过所述第二支架，且与第二支架传动连接，以使得所述第三驱动电机带动丝杆旋转，进而带动第二支架沿丝杆移动。

优选地，所述运动组件包括X轴动力组件和Z轴动力组件，所述X轴动力组件用于实现所述吸盘组件的左右移动；所述Z轴动力组件用于实现所述吸盘组件的上下移动。

优选地，所述Z轴动力组件一侧设置有与所述X轴动力组件相对应的第一定位块，另一侧设置有移动架，所述移动架下方固定所述吸盘组件，所述移动架一侧设置有与所述Z轴动力组件相对应的第二定位块。

优选地，所述吸盘组件包括第一吸盘组件和第二吸盘组件，所述第一吸盘组件和第二吸盘组件通过横梁固定，所述横梁固定在所述移动架下端。

优选地，所述机箱上设置有上开门、信号灯、下开门、总开关，所述上开门上设置有触摸显示屏、急停按钮、二档开关。

上述自动进出料等离子体处理装置的使用方法，包括以下步骤：

S1、总开关启动，根据产品规格，调整传输组件中两条传输皮带之间的距离，同时，相应地调整定位夹具；

S2、产品由进料口进入机箱，经第一传输组件传输，伸缩气缸带动上盖旋转，打开真空腔；

S3、动力组件带动吸盘组件上下、左右移动，同时，吸盘组件吸住第一传输组件上的待处理产品和腔体内的已处理产品，并分别将其放置在腔体内和第二传输组件上，吸盘组件归位；

S4、伸缩气缸带动上盖反向旋转，关闭真空腔，待处理产品在真空腔内进行等离子体处理，已处理产品经第二传输组件传输，由出料口传出；

S5、重复步骤S3-S4。

本发明所获得的有益技术效果：

1)本发明解决了现有等离子体处理装置人工成本高，处理效率低，不能适应产品流水线式加工生产的缺陷，本发明实现流水线式等离子体处理，提高等离子体处理效率，能够与产品加工流水线配合使用，降低产品生产加工成本；

2)本发明通过第一传输组件和第二传输组件，实现真空腔内处理产品的前后传输，满足流水线式对产品进行等离子体处理的需求，有利于提高产品处理效率；

3)本发明中传输组件和夹具组件能够根据产品规格做适当的调整，使该装置适应不同规格产品的等离子体处理，提高装置的适用性；

4)本发明通过吸盘组件实现对产品的自动化作业，通过气动组件实现真空腔的自动打开和关闭，一方面能够降低人力成本，另一方面大大提高处理效率。

上述说明仅是本申请技术方案的概述，为了能够更清楚了解本申请的技术手段，从而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本申请的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下以本申请的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

根据下文结合附图对本申请具体实施例的详细描述，本领域技术人员将会更加明了本申请的上述及其他目的、优点和特征。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。

图1是本公开一种实施例中自动进出料等离子体处理装置的结构示意图一；

图2是本公开一种实施例中自动进出料等离子体处理装置的结构示意图二；

图3是本公开一种实施例中自动进出料等离子体处理装置的内结构示意图；

图4是本公开一种实施例中真空腔的结构示意图；

图5是本公开一种实施例中定位夹具的结构示意图；

图6是本公开一种实施例中传输组件的结构示意图；

图7是本公开一种实施例中运动组件的结构示意图；

图8是本公开一种实施例中吸盘组件的结构示意图。

在以上附图中：1、机箱；101、台板；102、上开门；103、信号灯；104、下开门；105、总开关；106、维修门；2、真空腔；201、腔体；202、上盖；203、电极板；204、气动组件；241、伸缩气缸、242、转动支架、243、上固定架；244、下固定架；205、定位夹具；251、定位板；252、把手；253、螺纹杆；254、凹台；206、绝缘板；207、电极柱；3、传输组件；301、第一支架；302、第二支架；303、传输电机；304、传输皮带；305、传动轴；306、动力轮；307、第三驱动电机；308、丝杆；309、第三支架；4、运动组件；401、X轴动力组件；411、第一驱动电机；412、X轴导轨架；413、移动架；414、第二定位块；402、Z轴动力组件；421、第二驱动电机；422、Z轴导轨架；423、第一定位块；403、横梁；5、吸盘组件；501、托架；502、吸盘横支架；503、真空吸嘴；6、散热风扇；7、产品；8、进料口；9、出料口。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。在下面的描述中，提供诸如具体的配置和组件的特定细节仅仅是为了帮助全面理解本申请的实施例。因此，本领域技术人员应该清楚，可以对这里描述的实施例进行各种改变和修改而不脱离本申请的范围和精神。另外，为了清楚和简洁，实施例中省略了对已知功能和构造的描述。

此外，本申请可以在不同例子中重复参考数字和/或字母。这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身并不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。

本文中术语“和/或”，仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，单独存在B，同时存在A和B三种情况，本文中术语“/和”是描述另一种关联对象关系，表示可以存在两种关系，例如，A/和B，可以表示：单独存在A，单独存在A和B两种情况，另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”关系。

本文中术语“至少一种”，仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和B的至少一种，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。

还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含。

实施例1

一种自动进出料等离子体处理装置，包括机箱1、真空腔2、传输组件3、运动组件4、吸盘组件5；所述真空腔2、传输组件3、运动组件4及吸盘组件5均设置在所述机箱1内。

如附图1和2所示，所述机箱1的两侧分别设置有进料口8和出料口9；所述机箱1上设置有上开门102、信号灯103、下开门104、总开关105，所述上开门102上设置有触摸显示屏、视窗口、急停按钮、二档开关。

所述机箱1底部四角处均设置有脚杯和脚轮，方便机箱1的固定和移动。

所述机箱1后侧设置有维修门106，所述上开门102、下开门104、维修门106上均设置有门把手252。所述上开门102一端通过合页与所述机箱1固定连接。

所述机箱1的后侧设置有散热风扇6，用于电器元件的散热。

如附图3所示，所述机箱1内位于台板101下方设置有中山匹配器、中山电源、电器柜、气控板组件。

所述气控板组件包括气控柜、减压阀、电磁阀、流量计、气体混合通气块，所述减压阀、电磁阀、流量计、气体混合通气块均固定在所述气控柜上。

所述机箱1内设置有台板101，参见附图3，所述真空腔2、传输组件3、动力组件均设置在所述台板101上。

所述传输组件3包括第一传输组件和第二传输组件，所述第一传输组件和第二传输组件分别设置在所述真空腔2的两端，且分别与所述进料口8、出料口9相对应。

如附图4所示，所述真空腔2包括腔体201、上盖202、电极板203、气动组件204，所述气动组件204带动所述上盖202相对所述腔体201旋转，以实现所述腔体201的打开和关闭。

所述电极板203设置在所述腔体201内，且所述电极板203与所述腔体201之间设置有绝缘板206；所述上盖202相当于负极，所述电极板203为正极，实现等离子体放电。

所述腔体201内还设置有电极柱207，所述电极柱207与所述电极板203连接，且所述电极柱207的四周设置有绝缘套，所述绝缘套依次穿过所述绝缘板206、腔体201，所述绝缘套在与所述腔体201内外侧接触处均设置有O形圈。

所述腔体201内设置有定位夹具205，所述定位夹具205用于固定产品7，且能够调整定位宽度。

如附图5所示，所述定位夹具205包括定位板251、把手252、螺纹杆253，所述定位板251包括第一定位板和第二定位板，所述螺纹杆253一端与所述第二定位板固定连接，另一端与所述第一定位板螺纹连接。

所述把手252设置在所述第一定位板上，以方便调整所述第一定位板相对所述螺纹杆253的位置。

进一步的，所述定位板251上设置有凹台254，用于放置待处理产品。

所参见附图4，述气动组件204包括伸缩气缸241、转动支架242、上固定架243，所述伸缩气缸241与所述转动支架242连接，所述转动支架242与所述上盖202连接，所述上固定架243与所述腔体201固定连接，所述转动支架242上设置有转轴，所述转轴穿过所述上固定架243上设置有通孔，以使得所述伸缩气缸241带动所述上盖202旋转。

所述伸缩气缸241通过下固定架244固定在所述机箱1内壁上。

如附图6所示，所述传输组件3包括第一支架301、第二支架302、传输电机303、两条传输皮带304、传动轴305、两个动力轮306。

两条传输皮带304分别设置在所述第一支架301和第二支架302上；每条所述传输皮带304的两端均设置有皮带轮，两个动力轮306分别设置在所述传动轴305的两端，所述传输电机303带动所述传动轴305旋转。

所述传输电机303的电机轴连接有第一齿轮，所述传动轴305的一端连接有第二齿轮，所述第一齿轮和第二齿轮通过皮带传动连接。

进一步的，所述传输组件3还包括第三驱动电机307、丝杆308，所述第三驱动电机307固定在所述第一支架301上。

所述丝杆308一端与所述第三驱动电机307传动连接，另一端穿过所述第二支架302，且与第二支架302传动连接，以使得所述第三驱动电机307带动丝杆308旋转，进而带动第二支架302沿丝杆308移动。

所述第二支架302为可移动调节支架，从而能够调节两条传输皮带304之间的距离，以适应不同宽度的产品。

所传输组件3还包括第三支架309，所述传动轴305通过轴承与所述第一支架301、第二支架302、第三支架309固定连接，所述丝杆308的一端通过轴承与所述第三支架309固定连接，所述传输电机303固定在所述第三支架309上。

如附图7所示，所述运动组件44包括X轴动力组件401和Z轴动力组件402，所述X轴动力组件401用于实现所述吸盘组件55的左右移动；所述Z轴动力组件402用于实现所述吸盘组件55的上下移动。

所述X轴动力组件401一侧设置有与所述Z轴动力组件402相对应的第一定位块423，另一侧设置有移动架413，所述移动架413下方固定所述吸盘组件5，所述移动架413一侧设置有与所述X轴动力组件401相对应的第二定位块414。

所述X轴动力组件401包括第一驱动电机411、X轴导轨架412、X轴丝杆308、X轴丝杆螺母，所述X轴丝杆308设置在所述X轴导轨架412内，所述第一驱动电机411与X轴丝杆308传动连接，所述X轴丝杆308与X轴丝杆308螺母相配合，实现X轴丝杆308旋转带动X轴丝杆308螺母沿X轴丝杆308左右移动。

所述Z轴动力组件402包括第二驱动电机421、Z轴导轨架422、Z轴丝杆308、Z轴丝杆308螺母，所述Z轴丝杆308设置在所述Z轴导轨架422内，所述第二驱动电机421与Z轴丝杆308传动连接，所述Z轴丝杆308与Z轴丝杆308螺母相配合，实现Z轴丝杆308旋转带动Z轴丝杆308螺母沿Z轴丝杆308上下移动。

所述X轴导轨架412的一侧设置有与所述Z轴导轨架422相对应的第一定位块423，所述第一定位块423与所述Z轴丝杆308螺母固定连接，以使得所述第一定位块423能够随着所述Z轴丝杆308螺母沿Z轴丝杆308左右移动。

所述X轴导轨架412的另一侧设置有移动架413，所述移动架413下方固定所述真空吸盘组件55，所述移动架413的一侧设置有与所述X轴导轨架412相对应的第二定位块414。

所述第二定位块414与所述X轴丝杆308螺母固定连接，以使得所述第二定位块414能够随着所述X轴丝杆308螺母沿X轴丝杆308上下移动。

参见附图7，所述吸盘组件5包括第一吸盘组件5和第二吸盘组件5，所述第一吸盘组件5和第二吸盘组件5通过横梁403固定，所述横梁403固定在所述移动架413下端。

如附图8所示，所述吸盘组件5包括托架501、吸盘横支架502及真空吸嘴503，所述吸盘横支架502按一定间隔均匀分布在所述托架501下端，所述真空吸嘴503固定在所述吸盘横支架502上，实现吸盘抓料。

实施例2

基于上述实施例1，一种自动进出料等离子体处理装置的使用方法，包括以下步骤：

S1、总开关105启动，根据产品规格，调整传输组件3中两条传输皮带304之间的距离，同时，相应地调整定位夹具205。

S2、产品由进料口8进入机箱1，经第一传输组件传输，伸缩气缸241带动上盖202旋转，打开真空腔2。

S3、动力组件带动吸盘组件5上下、左右移动，同时，吸盘组件5吸住第一传输组件上的待处理产品和腔体201内的已处理产品，并分别将其放置在腔体201内和第二传输组件上，吸盘组件5归位。

具体的，产品经传输皮带304传输，所述第一吸盘组件5吸住第一传输组件上的待处理产品，所述第二吸盘组件5吸住腔体201内的已处理产品，并对应分别将其放置在腔体201内和第二传输组件上。

S4、伸缩气缸241带动上盖202反向旋转，关闭真空腔2，待处理产品在真空腔2内进行等离子体处理，已处理产品经第二传输组件传输，即处理完成的产品继续在传输皮带304上传输，由出料口9传出。

S5、重复步骤S3-S4，完成流水线式等离子体处理。

上述自动进出料等离子体处理装置通过第一传输组件和第二传输组件，实现真空腔2内处理产品的前后传输，满足流水线式对产品进行等离子体处理的需求，有利于提高产品处理效率；传输组件3和夹具组件能够根据产品规格做适当的调整，使该装置适应不同规格产品的等离子体处理，提高装置的适用性；通过吸盘组件5实现对产品的自动化作业，通过气动组件204实现真空腔2的自动打开和关闭，一方面能够降低人力成本，另一方面大大提高处理效率。

上述自动进出料等离子体处理装置解决了现有等离子体处理装置人工成本高，处理效率低，不能适应产品流水线式加工生产的缺陷，本发明实现流水线式等离子体处理，提高等离子体处理效率，能够与产品加工流水线配合使用，降低产品生产加工成本。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，其并非因此限制本发明的保护范围，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，通过常规的替代或者能够实现相同的功能在不脱离本发明的原理和精神的情况下对这些实施例进行变化、修改、替换、整合和参数变更均落入本发明的保护范围内。

Claims (10)

1.一种自动进出料等离子体处理装置，其特征在于，包括机箱(1)、真空腔(2)、传输组件(3)、运动组件(4)、吸盘组件(5)；

所述机箱(1)内设置有台板(101)，所述真空腔(2)、传输组件(3)、动力组件均设置在所述台板(101)上；

所述传输组件(3)包括第一传输组件(3)和第二传输组件(3)，所述第一传输组件(3)和第二传输组件(3)分别设置在所述真空腔(2)的两端；

所述机箱(1)的两侧设置有分别与所述第一传输组件(3)、第二传输组件(3)相对应的进料口(8)和出料口(9)。

2.根据权利要求1所述的自动进出料等离子体处理装置，其特征在于，所述真空腔(2)包括腔体(201)、上盖(202)、电极板(203)、气动组件(204)，所述气动组件(204)带动所述上盖(202)相对所述腔体(201)旋转，以实现所述腔体(201)的打开和关闭。

3.根据权利要求2所述的自动进出料等离子体处理装置，其特征在于，所述气动组件(204)包括伸缩气缸(241)、转动支架(242)、上固定架(243)，所述伸缩气缸(241)与所述转动支架(242)连接，所述转动支架(242)与所述上盖(202)连接，所述上固定架(243)与所述腔体(201)固定连接，以使得所述伸缩气缸(241)带动所述上盖(202)旋转。

4.根据权利要求1-3任一项所述的自动进出料等离子体处理装置，其特征在于，所述传输组件(3)包括第一支架(301)、第二支架(302)、传输电机(303)、两条传输皮带(304)、传动轴(305)、两个动力轮(306)；

每条所述传输皮带(304)的两端均设置有皮带轮，两个动力轮(306)分别设置在所述传动轴(305)的两端，所述传输电机(303)带动所述传动轴(305)旋转。

5.根据权利要求4所述的自动进出料等离子体处理装置，其特征在于，所述传输组件(3)还包括第三驱动电机(307)、丝杆(308)，所述丝杆(308)一端与所述第三驱动电机(307)传动连接，另一端穿过所述第二支架(302)，且与第二支架(302)传动连接，以使得所述第三驱动电机(307)带动丝杆(308)旋转，进而带动第二支架(302)沿丝杆(308)移动。

6.根据权利要求1-3任一项所述的自动进出料等离子体处理装置，其特征在于，所述运动组件(4)包括X轴动力组件(401)和Z轴动力组件(402)，所述X轴动力组件(401)用于实现所述吸盘组件(5)的左右移动；所述Z轴动力组件(402)用于实现所述吸盘组件(5)的上下移动。

7.根据权利要求6所述的自动进出料等离子体处理装置，其特征在于，所述X轴动力组件(401)一侧设置有与所述Z轴动力组件(402)相对应的第一定位块(423)，另一侧设置有移动架(413)，所述移动架(413)下方固定所述吸盘组件(5)，所述移动架(413)一侧设置有与所述X轴动力组件(401)相对应的第二定位块(414)。

8.根据权利要求6所述的自动进出料等离子体处理装置，其特征在于，所述吸盘组件(5)包括第一吸盘组件和第二吸盘组件，所述第一吸盘组件和第二吸盘组件通过横梁(403)固定，所述横梁(403)固定在所述移动架(413)下端。

9.根据权利要求1-3任一项所述的自动进出料等离子体处理装置，其特征在于，所述机箱(1)上设置有上开门(102)、信号灯(103)、下开门(104)、总开关(105)，所述上开门(102)上设置有触摸显示屏、急停按钮、二档开关。

10.根据权利要求1-9任一项所述自动进出料等离子体处理装置的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、总开关(105)启动，根据产品规格，调整传输组件(3)中两条传输皮带(304)之间的距离；

S2、产品由进料口(8)进入机箱(1)，经第一传输组件(3)传输，伸缩气缸(241)带动上盖(202)旋转，打开真空腔(2)；

S3、动力组件带动吸盘组件(5)上下、左右移动，同时，吸盘组件(5)吸住第一传输组件(3)上的待处理产品和腔体(201)内的已处理产品，并分别将其放置在腔体(201)内和第二传输组件(3)上，吸盘组件(5)归位；

S4、伸缩气缸(241)带动上盖(202)反向旋转，关闭真空腔(2)，待处理产品在真空腔(2)内进行等离子体处理，已处理产品经第二传输组件(3)传输，由出料口(9)传出；

S5、重复步骤S3-S4。

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