CN111326425A - 一种提高高压二极管耐湿性的工艺方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims abstract description 44
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims abstract description 44
- RGCKGOZRHPZPFP-UHFFFAOYSA-N alizarin Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=C(O)C(O)=CC=C3C(=O)C2=C1 RGCKGOZRHPZPFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 38
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 11
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 10
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 4
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 229940113088 dimethylacetamide Drugs 0.000 claims description 12
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 12
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 9
- 239000003292 glue Substances 0.000 claims description 7
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 6
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims description 6
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims description 6
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims description 6
- 239000003513 alkali Substances 0.000 claims description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 3
- 238000011417 postcuring Methods 0.000 claims description 3
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 3
- -1 dimethyl acetyl Chemical group 0.000 claims description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 2
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 abstract 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 abstract 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 11
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 description 2
- 230000008092 positive effect Effects 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010411 cooking Methods 0.000 description 1
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 1
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000000983 mordant dye Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/29—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the material, e.g. carbon
- H01L23/293—Organic, e.g. plastic
- H01L23/295—Organic, e.g. plastic containing a filler
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
- H01L21/56—Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
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- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
一种提高高压二极管耐湿性的工艺方法,在聚酰亚胺胶中加入少量茜素形成聚酰亚胺胶,将此聚酰亚胺胶涂覆在高压二极管表面进行固化、塑封、后固化、电镀锡、测试打印,本发明的优点在于,加入少量茜素可大幅度提高高压二极管耐湿性能。
Description
技术领域
本发明属于高压二极管技术领域,尤其是涉及一种提高高压二极管耐湿性工艺方法。
背景技术
随着半导体技术的发展,对半导体表面钝化的要求越来越高,目前半导体钝化较理想的材料是聚酰亚胺,聚酰亚胺作为一种特种工程材料,已广泛应用在航空、航天、微电子、纳米、液晶、分离膜、激光等领域,作为钝化材料,其具备良好的电气性能、可靠性、化学稳定性、可操作性以及经济性,但其耐湿性较差,在高压二极管钝化中,若采用单一的聚酰亚胺作为钝化材料,不能满足高压二极管对绝缘性能的要求,因此,本发明的目的是提供一种能够提高高压二极管耐湿性的方法。
发明内容
本发明提供一种采用聚酰亚胺胶中加入少量茜素的工艺方法,极大的提高高压二极管耐湿性能。
为解决上述技术问题,本发明采用的技术方案是:一种提高高压二极管耐湿性的工艺方法,其特征在于工艺步骤为:
(1)聚酰亚胺与NN二甲基乙酰胺混合并搅拌,将茜素加入到聚酰亚胺与NN二甲基乙酰胺的混合物中进行搅拌,形成聚酰亚胺胶;
(2)将高压二极管两端焊接铜引线形成粒子,将粒子用高温碱处理后进行清洗、然后经丙酮脱水并烘干;
(3)将配置的聚酰亚胺胶均匀涂覆在粒子表面;
(4)采用阶梯升温、恒温、阶梯降温的方式对聚酰亚胺胶进行固化;
(5)在固化后的粒子外塑封环氧树脂;
(6)对环氧树脂进行后固化;
(7)在铜引线上电镀一层锡;
(8)对电镀后的高压二极管进行极性判别、极性标记、参数测试等测试打印。
进一步地,聚酰亚胺与NN二甲基乙酰胺比例(体积比)为1~1.5:1。
具体的,茜素占聚酰亚胺与NN二甲基乙酰的混合物的比例(重量比)为0.5%~1.5%。
本发明具有的优点和积极效果是:在聚酰亚胺胶中加入茜素后,茜素中的活性基团与聚酰亚胺连接形成稳定的聚合物,该聚合物经高温固化后很难容水分子穿过,从而可以提高高压二极管的耐湿性。
具体实施方式
下面本发明实施例做进一步描述:
现有技术中,高压二极管的钝化一般采用单一的聚酰亚胺作为钝化材料,但聚酰亚胺耐湿性较差,不能满足高压二极管对绝缘性能的要求,因此本发明在聚酰亚胺中添加了少量茜素形成新的聚酰亚胺胶,可提高高压二极管的耐湿性。
茜素是一种典型的媒介染料,含有氧化还原活性基团,茜素中的活性基团与聚酰亚胺连接后形成共轭羰基聚合物,此聚合物结构稳定,且很大程度上提高了与金属、玻璃、硅等无机材料的粘结性,将共轭羰基聚合物涂覆在二极管芯片表面经高温固化后,水分子很难穿通此聚合物到达硅表面,从而提高二极管芯片其耐湿性。
具体工艺步骤为:
(1)将NN二甲基乙酰胺作为稀释剂加入聚酰亚胺中并搅拌均匀,然后将茜素加入到聚酰亚胺与NN二甲基乙酰的混合物中再次进行搅拌,直至茜素完全溶于聚酰亚胺与NN二甲基乙酰胺中,形成聚酰亚胺胶;
(2)将高压二极管两端焊接铜引线形成粒子,将粒子用高温碱进行处理后清洗,然后用丙酮脱水并烘干,提高聚酰亚胺胶的附着率;
(3)采用旋涂工艺将配置好的聚酰亚胺胶均匀涂覆在粒子表面;
(4)采用阶梯升温、恒温、阶梯降温的方式对聚酰亚胺胶进行固化;
(5)在固化后的粒子外塑封环氧树脂;
(6)对环氧树脂进行后固化;
(7)在铜引线上电镀一层锡;
(8)对电镀后的高压二极管进行极性判别、极性标记、参数测试等测试打印。
聚酰亚胺与二甲基乙酰胺(体积比)为1~1.5:1,由于聚酰亚胺粘度较高,不易流动,采用二甲基乙酰胺稀释聚酰亚胺可降低聚酰亚胺的粘度,使聚酰亚胺胶能够在高压二极管表面均匀成膜。
聚酰亚胺与NN二甲基乙酰胺混合形成混合物,茜素加入该混合物并占该混合物的比例(重量比)为0.5%~1.5%,此比例的茜素可在混合物中达到最大浓度,保证茜素的活性基团与聚酰亚胺形成稳定的聚合物,最大限度提高高压二极管的耐湿性。
高压二极管在PCT(高压蒸煮试验)1000h后漏电流的变化率与高压二极管的耐湿性成反比,具体来说,高压二极管耐湿性越差,穿过聚酰亚胺胶的水分子量越多,则漏电流的变化率越大。采用单一聚酰亚胺胶制作的高压二极管在PCT试验1000h后漏电流增加300%以上,采用本发明中的工艺制作的高压二极管,在PCT试验1000h后高压二极管漏电流变化在50%以内,由此可见,在聚酰亚胺中加入茜素大大提高了高压二极管的耐湿性。
本发明具有的优点和积极效果是:在聚酰亚胺胶中加入茜素后,茜素中的活性基团与聚酰亚胺连接形成稳定的聚合物,该聚合物经高温固化后很难容水分子穿过,从而可以提高高压二极管的耐湿性。
以上对本发明的一个实施例进行了详细说明,但所述内容仅为本发明的较佳实施例,不能被认为用于限定本发明的实施范围。凡依本发明申请范围所作的均等变化与改进等,均应仍归属于本发明的专利涵盖范围之内。
Claims (3)
1.一种提高高压二极管耐湿性的工艺方法,其特征在于,工艺步骤为:
(1)聚酰亚胺与NN二甲基乙酰胺混合并搅拌,将茜素加入到聚酰亚胺与NN二甲基乙酰胺的混合物中进行搅拌,形成聚酰亚胺胶;
(2)将高压二极管两端焊接铜引线形成粒子,将粒子用高温碱处理后进行清洗、然后经丙酮脱水并烘干;
(3)将配置的聚酰亚胺胶均匀涂覆在粒子表面;
(4)采用阶梯升温、恒温、阶梯降温的方式对聚酰亚胺胶进行固化;
(5)在固化后的粒子外塑封环氧树脂;
(6)对环氧树脂进行后固化;
(7)在铜引线上电镀一层锡;
(8)对电镀后的高压二极管进行极性判别、极性标记、参数测试等测试打印。
2.根据权利要求1所述的一种提高高压二极管耐湿性的工艺方法,其特征在于:聚酰亚胺与NN二甲基乙酰胺比例(体积比)为1~1.5:1。
3.根据权利要求2所述的一种提高高压二极管耐湿性的工艺方法,其特征在于:茜素占聚酰亚胺与NN二甲基乙酰的混合物的比例(重量比)为0.5%~1.5%。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201811534787.4A CN111326425A (zh) | 2018-12-14 | 2018-12-14 | 一种提高高压二极管耐湿性的工艺方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201811534787.4A CN111326425A (zh) | 2018-12-14 | 2018-12-14 | 一种提高高压二极管耐湿性的工艺方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN111326425A true CN111326425A (zh) | 2020-06-23 |
Family
ID=71172425
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201811534787.4A Pending CN111326425A (zh) | 2018-12-14 | 2018-12-14 | 一种提高高压二极管耐湿性的工艺方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN111326425A (zh) |
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2018
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PB01 | Publication | ||
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