CN111278209A

CN111278209A - 连接组件

Info

Publication number: CN111278209A
Application number: CN201910541316.4A
Authority: CN
Inventors: 陈家富
Original assignee: Nanya Technology Corp
Current assignee: Nanya Technology Corp
Priority date: 2018-12-04
Filing date: 2019-06-21
Publication date: 2020-06-12
Also published as: TWI722420B; TW202022248A; US10794413B2; US20200173476A1

Abstract

本发明公开了一种连接组件，包含壳体、转接件以及导通元件。壳体具有腔室以及连通腔室的开口。转接件至少部分连接于壳体外。转接件具有第一通孔，开口连通第一通孔。导通元件穿越第一通孔以及开口，并且可拆装地连接转接件。由于导通元件未直接接触壳体，纵使在实际应用中导通元件频繁地由转接件安装或移除，壳体并不会磨损。

Description

连接组件

技术领域

本发明是关于一种连接组件。

背景技术

半导体产业牵涉各种制造与测试过程，因此，工厂中使用了不同种类的机器或设备。

对于特定种类的机器或设备而言，有些配件须依据实际情况经常地更换与安装，因此，配件与相关的机器/设备之间的连接强度与持久性在产业中格外地重要。

发明内容

本发明的一目的在于提供一种可保护壳体不受导通元件频繁地拆装而磨损的连接组件。

依据本发明的一实施方式，一种连接组件包含壳体、转接件以及导通元件。壳体具有腔室以及连通腔室的开口。转接件至少部分连接于壳体外。转接件具有第一通孔，开口连通第一通孔。导通元件穿越第一通孔以及开口，并且可拆装地连接转接件。

在本发明的一或多个实施方式中，转接件具有内螺纹，其设置于界定第一通孔的内壁。导通元件具有外螺纹，其设置于导通元件的外壁，并且配置成与内螺纹相啮合。

在本发明的一或多个实施方式中，转接件的材料包含金属。

在本发明的一或多个实施方式中，导通元件为馈通。

在本发明的一或多个实施方式中，转接件包含凸缘以及柱体。凸缘具有第一表面以及第二表面，第二表面相反于第一表面。第一表面配置成抵靠壳体远离腔室的外表面。柱体连接第二表面。第一通孔贯穿凸缘以及柱体。

在本发明的一或多个实施方式中，凸缘具有多个第二通孔，其环绕第一通孔设置。壳体具有多个螺孔，其环绕开口设置。连接组件进一步包含多个螺丝，其配置成穿越第二通孔，并且锁固至螺孔。

在本发明的一或多个实施方式中，连接组件进一步包含密封元件，其环绕第一通孔，并且位于凸缘以及壳体之间。

在本发明的一或多个实施方式中，密封元件为垫圈。

在本发明的一或多个实施方式中，凸缘具有设置于第一表面的沟槽，密封元件为被夹持于沟槽内的环形垫圈。

在本发明的一或多个实施方式中，转接件包含第一柱体以及第二柱体。第一柱体配置成抵靠壳体远离腔室的外表面，而第二柱体连接第一柱体。第一通孔贯穿第一柱体以及第二柱体。壳体具有内螺纹，其设置于界定开口的内壁。第二柱体具有外螺纹，其设置于第二柱体的外壁，并且配置成与内螺纹相啮合。

在本发明的一或多个实施方式中，连接组件进一步包含密封元件，其环绕第一通孔，并且位于第一柱体以及壳体之间。

在本发明的一或多个实施方式中，第一柱体具有沟槽，密封元件为被夹持于沟槽内的环形垫圈。

在本发明的一或多个实施方式中，连接组件进一步包含螺帽，其位于腔室内，并且具有内螺纹。转接件包含第一柱体以及第二柱体。第一柱体配置成抵靠壳体远离腔室的外表面，而第二柱体连接第一柱体。第一通孔贯穿第一柱体以及第二柱体。第二柱体具有外螺纹，其设置于第二柱体的外壁，并且配置成与螺帽的内螺纹相啮合。

在本发明的一或多个实施方式中，连接组件进一步包含密封元件，其环绕第一通孔，并且位于螺帽以及壳体之间。

在本发明的一或多个实施方式中，螺帽具有沟槽，密封元件为被夹持于沟槽内的环形垫圈。

相较于公知技术，本发明的上述实施方式至少具有以下优点：

(1)导通元件可拆装地连接转接件，且未直接接触壳体，如此一来，纵使在实际应用中导通元件频繁地由转接件安装或移除，壳体并不会磨损。因此，在壳体由诸如铝等柔软材料制成的情况下，壳体能有效地受到保护，不会因为频繁地由壳体拆装导通元件造成的摩擦或碰撞而磨损。

(2)当频繁地由转接件拆装导通元件造成的摩擦或碰撞导致转接件磨损时，磨损的转接件可轻易地换成新的，对于维持连接组件的工作条件而言为方便且节省成本的程序。

附图说明

参照以下附图阅读下文中详述的实施方式，可更透彻地理解本发明。

图1为绘示依据本发明一实施方式的连接组件的剖视图。

图2为绘示依据本发明另一实施方式的连接组件的剖视图。

图3为绘示依据本发明另一实施方式的连接组件的剖视图。

图4为绘示依据本发明另一实施方式的连接组件的剖视图。

图5为绘示依据本发明另一实施方式的连接组件的剖视图。

图6为绘示依据本发明另一实施方式的连接组件的剖视图。

具体实施方式

以下将以附图公开本发明的多个实施方式。为明确说明起见，许多实务上的细节将在以下叙述中一并说明。然而，应了解到，这些实务上的细节不应用以限制本发明。也就是说，在本发明的部分实施方式中，这些实务上的细节是非必要的。此外，为简化附图起见，一些公知惯用的结构与元件在附图中将以简单示意的方式绘示。附图与说明书中尽可能使用相同的元件符号表示相同或相似的部分。

除非另外定义，否则本文使用的所有术语(包含技术以及科学术语)具有所属领域中技术人员者通常理解的涵义。还应理解到，诸如常用的字典中定义的术语的解读，应使其在相关领域与本发明中具有一致的涵义，且将不以理想化或过度正式的意义解释，除非明确如此定义。

请参照图1，其为绘示依据本发明一实施方式的连接组件100的剖视图。在本实施方式中，如图1所示，连接组件100包含壳体110、转接件120以及导通元件130。壳体110具有腔室C以及连通腔室C的开口O。转接件120至少部分连接于壳体110外。转接件120具有第一通孔TH1，壳体110的开口O连通第一通孔TH1。导通元件130穿越第一通孔TH1以及开口O。导通元件130可拆装地连接转接件120，使得导通元件130相对于壳体110为固定的。在实际应用中，连接组件100可应用于直线粒子加速器(linear particle accelerator，linac)，壳体110为直线粒子加速器的加速段的壳体，而导通元件130为馈通(feedthrough)。

如前所述，导通元件130可拆装地连接转接件120，因此，导通元件130未直接接触壳体110。如此一来，纵使在实际应用中导通元件130频繁地由转接件120安装或移除，壳体110并不会磨损。因此，在壳体110由诸如铝等柔软材料制成的情况下，壳体110能有效地受到保护，不会因为频繁地由壳体110拆装导通元件130造成的摩擦或碰撞而磨损。

此外，当频繁地由转接件120拆装导通元件130造成的摩擦或碰撞导致转接件120磨损时，磨损的转接件120可轻易地换成新的，对于维持连接组件100的工作条件而言为方便且节省成本的程序。在实际应用中，转接件120的材料包含金属，然而，本发明不以此为限。

此外，如图1所示，转接件120具有内螺纹121，其设置于转接件120的内壁122，内壁122界定第一通孔TH1。相反地，导通元件130具有外螺纹131，其设置于导通元件130的外壁132。实际上，当导通元件130连接转接件120时，导通元件130的外螺纹131配置成与转接件120的内螺纹121相啮合。

具体而言，如前所述，当频繁地由转接件120拆装导通元件130造成的摩擦或碰撞导致转接件120的内螺纹121磨损时，磨损的转接件120可轻易地换成新的

再者，如图1所示，转接件120包含凸缘123以及第一柱体125。凸缘123具有第一表面123a以及第二表面123b，第二表面123b相反于第一表面123a。凸缘123的第一表面123a配置成抵靠壳体110远离腔室C的外表面111，换言之，凸缘123位于壳体110外。第一柱体125连接凸缘123的第二表面123b。第一通孔TH1贯穿凸缘123以及第一柱体125。

此外，凸缘123具有多个第二通孔TH2，其环绕第一通孔TH1设置。壳体110具有多个螺孔SH，其环绕壳体110的开口O设置。连接组件100进一步包含多个螺丝140，其配置成穿越凸缘123的第二通孔TH2，并且锁固至壳体110的螺孔SH。当螺丝140穿越凸缘123的第二通孔TH2并且锁固至壳体110的螺孔SH时，转接件120(及其上的凸缘123)被固定至壳体110的外表面111。

为维持壳体110的腔室C的真空环境，依据实际情况，如图1所示，连接组件100进一步包含密封元件150，其环绕第一通孔TH1，并且位于转接件120的凸缘123以及壳体110之间。在本实施方式中，密封元件150为垫圈(gasket)，但本发明不以此为限。

请参照图2，其为绘示依据本发明另一实施方式的连接组件100的剖视图。在本实施方式中，如图2所示，转接件120的凸缘123具有沟槽G1，其设置于第一表面123a。密封元件150为环形垫圈(O-ring)，其被夹持于沟槽G1内以提升密封的效果。

请参照图3，其为绘示依据本发明另一实施方式的连接组件100的剖视图。在本实施方式中，如图3所示，转接件120包含第一柱体125以及第二柱体126。第一柱体125配置成抵靠壳体110远离腔室C的外表面111，换言之，第一柱体125位于壳体110外。第二柱体126连接第一柱体125。第一通孔TH1贯穿第一柱体125以及第二柱体126。壳体110具有内螺纹112，其设置于界定开口O的内壁113。第二柱体126具有外螺纹127，其设置于第二柱体126的外壁128，并且配置成与壳体110的内螺纹112相啮合。当第二柱体126的外螺纹127与壳体110的内螺纹112相啮合时，转接件120被固定至壳体110。

为维持壳体110的腔室C的真空环境，依据实际情况，如图3所示，连接组件100进一步包含密封元件152，其环绕第一通孔TH1，并且位于转接件120的第一柱体125以及壳体110之间。在本实施方式中，密封元件150为垫圈，但本发明不以此为限。

请参照图4，其为绘示依据本发明另一实施方式的连接组件100的剖视图。在本实施方式中，如图4所示，转接件120的第一柱体125具有沟槽G2，密封元件152为环形垫圈，其被夹持于沟槽G2内以提升密封的效果。

请参照图5，其为绘示依据本发明另一实施方式的连接组件100的剖视图。在本实施方式中，如图5所示，转接件120进一步包含螺帽160，其位于腔室C内，并且具有内螺纹161。转接件120包含第一柱体125以及第二柱体126。第一柱体125配置成抵靠壳体110远离腔室C的外表面111，换言之，第一柱体125位于壳体110外。第二柱体126连接第一柱体125。第一通孔TH1贯穿第一柱体125以及第二柱体126。第二柱体126具有外螺纹127，其设置于第二柱体126的外壁128，并且配置成与螺帽160的内螺纹161相啮合。当第二柱体126的外螺纹127与螺帽160的内螺纹161相啮合时，转接件120被固定至壳体110。

为维持壳体110的腔室C的真空环境，依据实际情况，如图5所示，连接组件100进一步包含密封元件154，其环绕第一通孔TH1，并且位于转接件120的第一柱体125以及壳体110之间。此外，连接组件100进一步包含密封元件156，其环绕第一通孔TH1，并且位于螺帽160以及壳体110之间。在本实施方式中，密封元件154、156为垫圈，但本发明不以此为限。

请参照图6，其为绘示依据本发明另一实施方式的连接组件100的剖视图。在本实施方式中，如图6所示，转接件120的第一柱体125具有沟槽G3，密封元件154为环形垫圈，其被夹持于沟槽G3内以提升密封的效果。螺帽160具有沟槽G4，密封元件156为环形垫圈，其被夹持于沟槽G4内以提升密封的效果。

在一些实施方式中，可于导通元件130以及转接件120的第一柱体125之间装设一或多个密封元件。举例而言，如图1至图6所示，环形垫圈133、134被装设于导通元件130以及转接件120的第一柱体125之间，或者环形垫圈133、134其中一个可单独被装设于导通元件130以及转接件120的第一柱体125之间。环形垫圈133或环形垫圈134可被夹持于导通元件130以及第一柱体125之间的介面上的沟槽，以提升密封的效果。

尽管已以特定实施方式详细地描述本发明，但其他实施方式亦是可能的。因此，所附申请专利范围的精神与范围不应限定在本文中所描述的实施方式。

对于本领域技术人员而言，显然可在不脱离本发明的范围或精神下对本发明的结构进行各种修改与更动。有鉴于此，本发明旨在涵盖落入权利要求内的修改与更动。

Claims

1.一种连接组件，其特征在于，包含：

壳体，具有腔室以及开口，所述开口连通所述腔室；

转接件，至少部分连接于所述壳体外，并且具有第一通孔，所述开口连通所述第一通孔；以及

导通元件，穿越所述第一通孔以及所述开口，并且可拆装地连接所述转接件。

2.如权利要求1所述的连接组件，其特征在于，所述转接件具有内螺纹，所述内螺纹设置于界定所述第一通孔的内壁，所述导通元件具有外螺纹，所述外螺纹设置于所述导通元件的外壁，并且配置成与所述内螺纹相啮合。

3.如权利要求1所述的连接组件，其特征在于，所述转接件的材料包含金属。

4.如权利要求1所述的连接组件，其特征在于，所述导通元件为馈通。

5.如权利要求1所述的连接组件，其特征在于，所述转接件包含：

凸缘，具有第一表面以及第二表面，所述第二表面相反于所述第一表面，所述第一表面配置成抵靠所述壳体远离所述腔室的外表面；以及

柱体，连接所述第二表面，其中所述第一通孔贯穿所述凸缘以及所述柱体。

6.如权利要求5所述的连接组件，其特征在于，所述凸缘具有多个第二通孔，所述多个第二通孔环绕所述第一通孔设置，所述壳体具有多个螺孔，所述多个螺孔环绕所述开口设置，所述连接组件进一步包含：

多个螺丝，配置成穿越所述多个第二通孔，并且锁固至所述多个螺孔。

7.如权利要求5所述的连接组件，其特征在于，进一步包含：

密封元件，环绕所述第一通孔，并且位于所述凸缘以及所述壳体之间。

8.如权利要求7所述的连接组件，其特征在于，所述密封元件为垫圈。

9.如权利要求7所述的连接组件，其特征在于，所述凸缘具有沟槽，所述沟槽设置于所述第一表面，所述密封元件为环形垫圈，所述环形垫圈被夹持于所述沟槽内。

10.如权利要求1所述的连接组件，其特征在于，所述转接件包含：

第一柱体，配置成抵靠所述壳体远离所述腔室的外表面；以及

第二柱体，连接所述第一柱体，其中所述第一通孔贯穿所述第一柱体以及所述第二柱体，所述壳体具有内螺纹，所述内螺纹设置于界定所述开口的内壁，所述第二柱体具有外螺纹，所述外螺纹设置于所述第二柱体的外壁，并且配置成与所述内螺纹相啮合。

11.如权利要求10所述的连接组件，其特征在于，进一步包含：

密封元件，环绕所述第一通孔，并且位于所述第一柱体以及所述壳体之间。

12.如权利要求11所述的连接组件，其特征在于，所述第一柱体具有沟槽，所述密封元件为一环形垫圈，所述环形垫圈被夹持于所述沟槽内。

13.如权利要求1所述的连接组件，其特征在于，进一步包含：

螺帽，位于所述腔室内，并且具有内螺纹；

其中所述转接件包含：

第二柱体，连接所述第一柱体，其中所述第一通孔贯穿所述第一柱体以及所述第二柱体，所述第二柱体具有一外螺纹，所述外螺纹设置于所述第二柱体的外壁，并且配置成与所述螺帽的所述内螺纹相啮合。

14.如权利要求13所述的连接组件，其特征在于，进一步包含：

密封元件，环绕所述第一通孔，并且位于所述螺帽以及所述壳体之间。

15.如权利要求14所述的连接组件，其特征在于，所述螺帽具有沟槽，所述密封元件为环形垫圈，所述环形垫圈被夹持于所述沟槽内。