CN111194243A - 已涂布对象物的制造方法及涂布物质延伸装置 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于提供在具有曲面的涂布对象面尽可能将涂布物质均匀地涂布的已涂布对象物的制造方法及涂布物质延伸装置。本发明为制造在对象物(T)中具有曲面的涂布对象面(Tf)涂布有涂布物质的已涂布对象物的已涂布对象物的制造方法，具备下述步骤：对涂布对象面(Tf)供给涂布物质的供给步骤；及令对涂布对象面(Tf)供给有涂布物质的对象物(T)绕着与对象物(T)隔有距离的公转轴线(13a)的公转步骤。涂布物质延伸装置(1)具备令对象物(T)绕着与对象物(T)隔有距离的公转轴线(13a)旋转的公转部(10)。通过如上述的构成，能够使作用在涂布对象面(Tf)各部分的带动涂布物质的力接近于与离公转轴线(13a)的距离成比例的大小，从而能够抑制涂布在涂布对象面(Tf)的涂布物质的厚度的变异。

Description

已涂布对象物的制造方法及涂布物质延伸装置

技术领域

本发明有关已涂布对象物的制造方法及涂布物质延伸装置，具体而言为有关在具有曲面的涂布对象面尽可能将涂布物质均匀地涂布的已涂布对象物的制造方法及涂布物质延伸装置。

背景技术

就在光盘等的基板上形成均匀厚度的树脂膜的技术而言，有旋转涂布(spincoat)法。旋转涂布法，将作为树脂膜的原料的树脂液供给至基板表面中央，令基板绕着通过基板表面中心且垂直于表面的旋转轴线旋转，据此使树脂液延伸到整个表面来形成树脂膜(参照例如下述的专利文献1)。

[现有技术文献]

[专利文献]

专利文献1：日本国特开2009-15923号公报。

发明内容

(发明所欲解决的课题)

在上述的旋转涂布法中，当涂布树脂的表面为平坦的表面时，能够形成大致均匀厚度的树脂膜。然而，当涂布的树脂表面并非平坦而是球面状等曲面时，就难以形成均匀厚度的树脂膜。

本发明鉴于上述课题，目的在于提供能够在具有曲面的涂布对象面尽可能将涂布物质均匀地涂布的一种已涂布对象物的制造方法及涂布物质延伸装置。

(解决课题的手段)

为了达成前述目的，本发明的第一态样的已涂布对象物的制造方法，例如参照图1及图3所示，制造在要涂布涂布物质R(参照例如图2)的对象物T中具有曲面的涂布对象面Tf涂布有涂布物质R的已涂布对象物的方法，其具备下述步骤：对涂布对象面Tf供给涂布物质R的供给步骤(S2)；及令对涂布对象面Tf供给有涂布物质R的对象物T绕着与对象物T隔有距离的公转轴线13a旋转的公转步骤(S8)。

当如上述构成，能够使作用在涂布对象面各部分的带动涂布物质的力接近于与离公转轴线的距离成比例的大小，从而能够抑制涂布在涂布对象面的涂布物质的厚度的变异。

此外，本发明的第二态样的已涂布对象物的制造方法为，例如参照图2及图3所示，在上述本发明的第一态样的已涂布对象物的制造方法中，供给步骤(S3)为以使涂布物质R接触涂布对象面Tf的一部分的方式构成；且具备有：在公转步骤(S8)之前，令对象物T旋转，而使涂布物质R与涂布对象面Tf接触的范围扩大的初步延伸步骤(S3)。

当如上述构成，因涂布对象面具有曲面而在公转步骤中，即使涂布物质与涂布对象面接触的范围难以扩大时，仍能够通过初步延伸步骤使涂布物质接触涂布对象面的范围扩大。

此外，本发明的第三态样的已涂布对象物的制造方法为，例如参照图2及图3所示，在上述本发明的第二态样的已涂布对象物的制造方法中，初步延伸步骤(S3)构成为，含有超过量脱离步骤(S4)，该已涂布对象物的制造方法为令在供给步骤(S2)中供给至涂布对象面Tf的涂布物质R中，超过预设量的量的涂布物质R从涂布对象面Tf脱离；且具备有：在公转步骤(S8)之前，回收在超过量脱离步骤(S4)中从对象物T脱离的涂布物质R的回收步骤(S5)。

当如上述构成，通过在公转步骤之前令超过量的涂布物质从涂布对象面脱离，能够抑制在公转步骤中产生多余的涂布物质，并且回收脱离的涂布物质有效利用。

此外，本发明的第四态样的已涂布对象物的制造方法为，例如参照图1及图3所示，在上述本发明的第一态样至第三态样中任一态样的已涂布对象物的制造方法中，具备有：令对在涂布对象面Tf供给有涂布物质R的对象物T绕着对象物T进行自转时的自转轴线23a旋转的自转步骤(S7)。

当如上述构成，能够矫正公转步骤中的作用于涂布对象面各部分的带动涂布物质的力在以自转轴线为中心的涂布对象面上的周方向的大小的差异，从而能够谋求涂布在涂布对象面的涂布物质的厚度的均匀化。

此外，本发明的第五态样的已涂布对象物的制造方法为，例如参照图1及图3所示，在上述本发明的第四态样的已涂布对象物的制造方法中，在自转步骤(S7)中作用于涂布对象面Tf上的涂布物质R的带动涂布物质R的力的最大值相对于在公转步骤(S8)中作用于涂布对象面Tf上的涂布物质R(参照例如图2)的带动涂布物质R的力的比为0.5以下。

当如上述构成，能够避免公转步骤的作用被自转步骤所妨碍。

此外，本发明的第六态样的已涂布对象物的制造方法为，例如参照图3所示，在上述本发明的第四态样或第五态样的已涂布对象物的制造方法中，自转步骤(S7)中的旋转速度比公转步骤(S8)中的旋转速度还慢。

当如上述构成，通过进行旋转速度比公转慢的自转，能够改善公转步骤产生的涂布物质的厚度的较小的变异。

此外，本发明的第七态样的已涂布对象物的制造方法为，例如参照图1及图3所示，在上述本发明的第四态样至第六态样中任一态样的已涂布对象物的制造方法中，在公转轴线13a与自转轴线23a交叉的位置，公转轴线13a与自转轴线23a的夹角α为15度以上165度以下。

当如上述构成，能够使涂布在涂布对象面的涂布物质的厚度大致均匀。

此外，本发明的第八态样的已涂布对象物的制造方法为，例如参照图1所示，在上述本发明的第一态样至第七态样中任一态样的已涂布对象物的制造方法中，当涂布对象面Tf以球面或略球面形成时，公转轴线13a与涂布对象面Tf在正交于公转轴线13a的方向的最短距离L相对于涂布对象面Tf的曲率半径Tfr(参照例如图2)的比为0.3以上5以下。此处，所谓的略球面，为椭圆面、抛物面、双曲面等接近球面的形状，此时的曲率半径典型而言为通过最小平方法获得的回归曲面的曲率半径。

当如上述构成，能够在不过度扩大公转轴线与涂布对象面在正交于公转轴线的方向的最短距离下使涂布在涂布对象面的涂布物质的厚度大致均匀。

此外，本发明的第九态样的已涂布对象物的制造方法为，例如参照图1所示，在上述本发明的第八态样的已涂布对象物的制造方法中，公转轴线13a与涂布对象面Tf在正交于公转轴线13a的方向的最短距离L相对于涂布对象面Tf的曲率半径Tfr(参照例如图2)的比为3以上。

当如上述构成，不执行自转步骤时仍能够使涂布在涂布对象面的涂布物质的厚度大致均匀。

为了达成上述目的，本发明的第十态样的涂布物质延伸装置，例如如图1所示，具备公转部10，其令形成有具有曲面的涂布对象面Tf的对象物T绕着与对象物T隔有距离的公转轴线13a旋转。

当如上述构成，能够抑制涂布在涂布对象面的涂布物质的厚度的变异。

此外，本发明的第十一态样的涂布物质延伸装置，例如如图1所示，在上述本发明的第十态样的涂布物质延伸装置1中，具备：自转部20，令对象物T绕着对象物T进行自转时的自转轴线23a旋转；及旋转速度调节部60，调节自转部20的旋转速度；其中，旋转速度调节部60经由控制装置构成，该控制装置为通过公转部10进行上述本发明的第四态样至第七态样中任一态样的已涂布对象物的制造方法中的公转步骤(S8(例如参照图3))、并且通过自转部20进行自转步骤(S7(例如参照图3))。

当如上述构成，能够自动地进行涂布在涂布对象面的涂布物质的厚度的变异的抑制。

(发明的效果)

依据本发明，能够使作用在涂布对象面各部分的带动涂布物质的力接近于与离公转轴线的距离成比例的大小，从而能够抑制涂布在涂布对象面的涂布物质的厚度的变异。

附图说明

图1为显示本发明实施方式的涂布物质延伸装置的概略构成的前视图。

图2为本发明实施方式中适用的对象物的垂直剖面图。

图3为显示制造已涂布对象物的程序的流程图(flowchart)。

图4为显示离涂布面中心的距离与涂布物质的厚度的关系的图表(graph)。

图5为说明作用于涂布面上的涂布物质的力的图，图5(A)为公转部的图，图5(B)为自转部的图。

图6为将本发明实施方式的变形例的涂布物质延伸装置的自转轴线构成为与公转轴线平行时的概略构成立体图。

图7为将本发明实施方式的变形例的涂布物质延伸装置的自转轴线设置多个时的概略构成立体图。

图8为将本发明实施方式的变形例的涂布物质延伸装置的公转侧板构成为能够旋转时的概略构成立体图。

图9为显示本发明实施方式的第一变形例的涂布物质延伸装置的图，图9(A)为俯视概略图，图9(B)为自转部周围的局部放大侧视图。

图10为显示本发明实施方式的第二变形例的涂布物质延伸装置的图，图10(A)为自转部周围的局部侧视图，图10(B)为曲柄(crank)部周围的局部前视图。

具体实施方式

本专利申请以2018年1月16日向日本国提出的特愿2018-005203号专利申请为基础，且其内容形成为本专利申请内容的一部分。

此外，本发明当能够经由以下详细的说明而更加完全地理解。本发明更进一步的应用范围，经由以下详细的说明更加明了。但详细的说明及特定的实例为本发明的较优选实施方式，且记载目的为便于说明。由以下详细的说明，在本发明的精神与范围内的各种的变更、改变对本技术领域的技术人员而言显而易知。

本申请的申请人并无将所记载的任何实施方式贡献给公众之意，在等同原则下，本申请所揭示的改变、替代方案当中可能在文义上未落入专利权利要求内的方案也视为本申请发明的一部分。

以下，针对本发明实施方式，参照附图进行说明。另外，在各图中，彼此相同或相当的构件以相同或类似的附图标记标示并省略重复说明。

首先，参照图1，说明本发明实施方式的涂布物质延伸装置1(以下，简称为“延伸装置1”)。图1为显示延伸装置1的概略构成的前视图。延伸装置1为当要涂布涂布物质的对象物T的涂布面Tf具有曲面时，适于一边抑制厚度的变异一边将涂布物质涂布至涂布面Tf的装置，该延伸装置1具备有公转部10、自转部20、及控制装置60。在对延伸装置1进行详细说明之前，先针对本实施方式中要涂布涂布物质的对象物T进行说明。

图2为对象物T的垂直剖面图。在本实施方式中，对象物T的形状为将半径Tfr的球体以垂直于半径Tfr的平面切割的部分的形状。如上述形状的对象物T的球面部分成为涂布面Tf，涂布面Tf的背侧的面成为底面Tb。涂布面Tf相当于涂布对象面。涂布面Tf形成为曲率半径Tfr的球面。底面Tb形成为平坦的圆形面。将底面Tb的中心称为底面中心Tbc。此外，将通过底面中心Tbc垂直于底面Tb的假想直线与涂布面Tf相交的点称为涂布面中心Tfc。本实施方式的对象物T的形状以通过底面中心Tbc及涂布面中心Tfc的假想直线为轴的旋转体的形状，涂布面Tf对应于该旋转体的旋转面。要涂布至涂布面Tf的涂布物质R为具有既定的黏度的液体状物质，能够使用在硬涂(hard coating)剂和反射防止膜等用途。既定的黏度为相应于涂布物质R的用途而决定，典型而言为当离心力作用时以扩散开来的方式变形的黏度。在以下的说明中，当提及对象物T的构成时适宜地参照图2。

再次回到图1继续说明延伸装置1的构成。公转部10具有公转板11、公转轴13、及公转旋转机构15。公转板11含有一个公转底板11b、及多个公转侧板11s。在本实施方式中，公转底板11b以板状的构件形成，板状的面以面朝铅直上下方向的方式配置。公转侧板11s以将对象物T的底面Tb涵盖在内的大小的板状的构件形成，在本实施方式中形成为比底面Tb大上一圈。公转侧板11s在本实施方式中设有两个，多个公转侧板11s各自以板状的面相对于公转底板11b的面形成正交的方向的方式，安装在公转底板11b的端部。公转侧板11s以从公转底板11b往上方延伸的的方式安装。

公转轴13为使公转板11在公转底板11b的平面进行旋转的轴，以细长棒状的构件形成。从提高刚性的观点来看，公转轴13可采用实心的棒状，从谋求轻量化的观点来看，公转轴13可采用中空的棒状。当公转轴13采为中空的构件时，可将对象物T的吸附用的真空路径和各种配线路径收进公转轴13内部。公转轴13的正交于其轴线(以下，称为“公转轴线13a”)的剖面的形状典型而言形成为圆形，但并不限于圆形，也可形成为椭圆形和多边形(包含三角形、四边形、五边形、六边形等)。公转轴13以沿与公转侧板11s延伸的方向为相反的方向直角地延伸至公转底板11b的面的方式安装在公转底板11b。在本实施方式中，公转轴13铅直上下地延伸。公转旋转机构15为安装在公转轴13的与安装在公转底板11b的端部为相反侧的端部。公转旋转机构15为以使其轴与公转轴线13a一致的方式安装在公转轴13的另一端。就公转旋转机构15而言，能够使用马达(motor)、曲柄等能够令公转板11旋转的机构。如上述构成的公转部10构成为：令公转旋转机构15运转而使公转轴13绕着公转轴线13a旋转，据此而能够使公转板11在公转底板11b的平面进行旋转。

自转部20为具有自转板21、自转轴23、及自转旋转机构25。在本实施方式中，自转板21为以比对象物T的底面Tb大上一圈的板状的构件形成，安装在各公转侧板11s。自转板21为以使垂直于其面的假想直线成为水平的方式，配置在公转侧板11s内侧的面。自转轴23为使自转板21在自转板21的平面进行旋转的轴，以细长棒状的构件形成。同公转轴13一样，从提高刚性的观点来看，自转轴23可采用实心的棒状；从谋求轻量化的观点来看，自转轴23可采用中空的棒状。此外，自转轴23的正交于其轴线(以下，称为“自转轴线23a”)的剖面的形状典型而言为圆形，但同公转轴线13a一样也可为圆形以外的形状。自转轴23贯通公转侧板11s的面水平延伸，一端安装在自转板21。在本实施方式中，自转轴线23a正交于公转轴线13a水平延伸。自转轴23为在贯通公转侧板11s的部位，经由轴承(bearing)以能够旋转的方式获得支撑。自转轴23的与安装在自转板21的端部为相反侧的端部(另一端)位在公转侧板11s的外侧。自转旋转机构25以使其轴与自转轴线23a一致的方式安装在自转轴23的另一端。就自转旋转机构25而言，能够使用马达、曲柄等能够令自转板21旋转的机构。如上述构成的自转部20构成为：令自转旋转机构25运转而使自转轴23绕着自转轴线23a旋转，据此而能够使自转板21在其平面进行旋转。

控制装置60控制延伸装置1的动作的机器，兼作为旋转速度调节部。控制装置60构成为：与公转旋转机构15以有线或无线的方式电性连接，通过发送控制信号而能够控制公转旋转机构15的启动/停止及经由反向器(inverter，依中国台湾教育研究院电子计算机名词工具书称为反向器，也有称为变频器或反用换流器的情形)(未图示)控制旋转速度(角速度)。此外，控制装置60构成为：与各自转旋转机构25以有线或无线的方式电性连接，通过发送控制信号而能够控制自转旋转机构25的启动/停止及经由反向器(未图示)控制旋转速度。

接着参照图3，说明本发明实施方式的已涂布有涂布物质R的对象物T(以下，称为“已涂布对象物TR”)的制造方法。图3显示已涂布对象物TR的制造过程的流程图。以下，说明使用此前所说明的延伸装置1(参照图1)进行的已涂布对象物TR的制造方法，但也可使用延伸装置1以外的装置进行制造。下述的使用延伸装置1进行的已涂布对象物TR的制造方法的说明兼作为延伸装置1的作用的说明。在以下的说明中，当提及延伸装置1及对象物T的构成时适宜地参照图1及图2。

待已涂布对象物TR的制造开始，在将对象物T装设(set)到延伸装置1之前，在本实施方式中将对象物T装设到旋转夹具(spin chuck)(未图示)(S1)。旋转夹具为能够用来供于进行旋转涂布用的一般机器。对象物T为涂布面Tf面朝上方地装设在旋转夹具。待对象物T装设到旋转夹具，对涂布面Tf供给涂布物质R(供给步骤：S2)。涂布物质R典型而言为通过滴落至涂布面Tf的涂布面中心Tfc来供给。延伸装置1也可具有将涂布物质R供给至涂布面Tf用的供给喷嘴(nozzle)(未图示)。待涂布物质R供给至涂布面中心Tfc，令旋转夹具旋转(S3)。如此一来，涂布物质R便从涂布面中心Tfc往涂布面Tf的外周扩散开来(初步延伸步骤)。此时，能够以使涂布物质R接触到整个涂布面Tf的方式(以使涂布面Tf的前面被涂布物质R沾润的方式)来扩散涂布物质R。此外，较优选为至少以即使对象物T的底面Tb倾斜成垂直也不会造成供给至涂布面Tf的涂布物质R流下来的方式构成。在本实施方式中，以涂布物质R会扩散至使涂布物质R到达涂布面Tf的外周，且进一步会使超过预设量的量的涂布物质R从涂布面Tf脱离(更甚而从对象物T脱离)的方式，持续旋转夹具的旋转(超过量脱离步骤：S4)。超过量脱离步骤(S4)为初步延伸步骤的一部分。此外，此处的预设量，典型而言为在相当于当形成为作为目标的已涂布对象物TR时的涂布物质R的厚度的量再加上余裕量所得的量。余裕量能够相应于制造状况而适宜决定。从涂布面Tf脱离的量的涂布物质R予以回收(回收步骤：S5)，可用于对别的对象物T的供给步骤(S2)中的涂布物质R的供给。如上述，在通过一般的旋转夹具使涂布物质R延伸时，在本实施方式中，因涂布面Tf形成为球面，故伴随旋转夹具的旋转而生的带动涂布面Tf上的涂布物质R的力的大小，并非如使用在平面时般与离旋转轴线的距离成比例，而是随着离旋转轴线的距离，先是愈变愈大、于中途达到最大值后愈变愈小的上凸的拋物线，涂布物质R的厚度如图4中的链线L2所示，随着从涂布面中心Tfc愈往外周接近而愈厚，而难以形成若将涂布面Tf采用平面时呈现的如图4中的虚线L3所示的在整个涂布面Tf均匀厚度的涂布物质R的膜(图4中的半径0mm的点对应于涂布面中心Tfc)。有鉴于此，在本实施方式中接着使用延伸装置1，谋求涂布面Tf上的涂布物质R的厚度的均匀化。

待对涂布面Tf进行了涂布物质R的初步性的延伸，将供给有涂布物质R的对象物T从停止后的旋转夹具取出，装设到延伸装置1(S6)。此时，对各公转侧板11s，以使对象物T的底面Tb接于公转侧板11s内侧的面，并且典型而言为使自转轴线23a通过底面中心Tbc及涂布面中心Tfc的方式，装设对象物T。据此，在本实施方式中，对延伸装置1，以使各自的涂布面Tf面朝向自公转轴线13a侧而能够绕着通过底面中心Tbc及涂布面中心Tfc的轴线旋转的方式，装设最多两个对象物T。在对象物T装设到延伸装置1时，在本实施方式中，公转轴线13a与涂布面中心Tfc的水平距离(以下，称为“公转半径L”)成为涂布面Tf的曲率半径Tfr的大致0.7倍。也就是说，公转半径L为公转轴线13a与涂布面Tf在正交于公转轴线13a的方向的最短距离。

待对象物T装设到延伸装置1，启动自转旋转机构25，使自转部20绕着自转轴线23a旋转(S7)。令自转部20旋转的用意于后说明。待使自转部20的旋转开始(S7)，启动公转旋转机构15，使公转部10绕着公转轴线13a旋转(S8)。据此，如图5(A)所示，伴随公转部10的旋转而带动涂布物质R的力F1(以下，称为“公转移动力F1”)作用于涂布面Tf上的涂布物质R，涂布面Tf各部分的公转移动力F1的大小大致与离公转轴线13a的距离(在正交于公转轴线13a的方向的距离)成比例，据此，使涂布面Tf上的涂布物质R的厚度成为大致均匀。另外，公转移动力F1属于由公转部10的旋转引起的离心力Fc1在涂布面Tf的切线方向的分力，与离心力Fc1具有关联。离心力Fc1与涂布面Tf上作为考察对象的部分的涂布物质R的质量、从公转轴线13a到该部分为止的正交于公转轴线13a的方向的距离、和公转部10的角速度的平方的积成比例。此外，涂布面Tf上的涂布物质R的厚度与作用于涂布物质R的公转移动力F1、及令公转部10旋转的时间(处理时间)有关，也就是说，与涂布物质R的质量、公转距离L、公转部10的旋转速度(角速度)、处理时间有关。考量上述，公转部10的旋转速度可考量涂布物质R的物性和处理时间等来决定，例如，当以底面Tb的半径采用25mm的透镜(lens)作为对象物T时，从令涂布物质R在涂布面Tf上适切地移动的观点来看，可采用500rpm以上；从避免涂布物质R过度地从涂布面Tf脱离的观点来看，可采用5000rpm以下。公转部10的旋转速度可按所要求的处理时间愈短设愈大、所要求的处理时间愈长设愈小，例如，当处理时间为30秒至60秒时，旋转速度可为2000rpm至3000rpm程度；0当处理时间为300秒至900秒时，旋转速度可为1000rpm程度。公转部10的旋转速度可于中途变化。例如，为了对涂布面Tf的内周与外周的形状为不一样的曲面抑制内周与外周的涂布物质R的厚度的变异，一开始是为了使内周部的涂布物质R延伸而采用较高速进行旋转，从避免涂布物质R一开始接近涂布面Tf的外周，涂布物质R就过度延伸得很薄的观点来看，也可采用较低速进行旋转。在本实施方式中为令公转部10连续性地旋转。当涂布面Tf上的涂布物质R伴随公转部10的旋转而延伸而有一部分的涂布物质R从涂布面Tf脱离时，可仿效回收步骤(S5)回收脱离的涂布物质R，用于对别的对象物T的供给步骤(S2)中的涂布物质R的供给。通过如上述令公转部10旋转，关于在涂布面Tf上扩散开来的涂布物质R的厚度，在涂布面中心Tfc与涂布面Tf的外周附近之间的半径方向上的变异比进行习知技术的旋转涂布(例如初步延伸步骤中的旋转涂布)时小。然而，或有涂布物质R在涂布面Tf的周方向的厚度产生变异的情形。关于此一周方向的变异产生的原因，咸认为是各部相对于公转轴13的距离的差异导致公转移动力F1的大小不同之故。

有鉴于此，在本实施方式中，除了进行公转部10的旋转(S8)外还进行令上述的自转部20绕着自转轴线23a旋转(S7)。通过绕着自转轴线23a的自转部20的旋转，如图5(B)所示，伴随自转部20的旋转而带动涂布物质R的力F2(以下，称为“自转移动力F2”)作用于涂布面Tf上的涂布物质R。自转移动力F2是由自转部20的旋转引起的离心力Fc2在涂布面Tf的切线方向的分力。通过令自转部20旋转，能够矫正涂布物质R的厚度在涂布面Tf的周方向产生的变异，从而能够使涂布在涂布面Tf的涂布物质R的厚度接近均匀。自转部20的旋转的目的在于矫正涂布物质R的厚度伴随公转部10的旋转而生的在周方向的变异，故只要令涂布面Tf的周方向的位置适宜移动即可。因此，自转部20的旋转速度较优选为比使涂布面Tf上的涂布物质R因由绕着自转轴线23a的旋转引起的自转移动力F2而发生移动的旋转速度还慢。自转部20的旋转速度典型而言为比公转部10的旋转速度还慢，可设为未达200rpm，也可于中途令旋转速度变化。另外，依照矫正涂布物质R的厚度伴随公转部10的旋转而生的在周方向的变异的旨趣，自转部20的旋转也可为间歇性的而非连续性的。例如，当令绕着自转轴线23a的旋转以5分钟旋转一次时，可采用0.2rpm的旋转速度连续性地旋转，也可采用更快的旋转速度，每75秒各90度地间歇性旋转。不论是哪种做法，皆较优选为以使自转移动力F2的最大值相对于公转移动力F1的比(“自转移动力F2的最大值”/“公转移动力F1”)成为0.5以下的方式来决定自转部20的旋转速度。

在如上述进行公转部10的旋转与自转部20的旋转的期间，判断是否经过了处理时间(S9)。处理时间是考量涂布物质R的物性以及公转部10的旋转速度及公转距离L而预设的使涂布面Tf上的涂布物质形成所期望的厚度所需的时间。在判断是否经过了处理时间的步骤(S9)中，当尚未经过处理时间时，再次返回判断是否经过了处理时间的步骤(S9)。另一方面，当经过了处理时间时，停止公转部10的旋转(S10)，接着停止自转部20的旋转(S11)。如此，如图4中的实线L1所示，使所期望的厚度的涂布物质R的膜大致均匀地形成在对象物T的涂布面Tf，制得已涂布对象物TR。在图3所示的流程图中，开始自转部20的旋转的步骤(S7)至停止自转部20的旋转的步骤(S11)相当于自转步骤，开始公转部10的旋转的步骤(S8)至停止公转部10的旋转的步骤(S10)相当于公转步骤。

在图3所示的流程图的说明中，延伸装置1执行的顺序(sequence)典型而言是由控制装置60进行，但也可由延伸装置1的操作人员根据其判断进行操作(例如将开关(switch)按下等)来进行。此外，虽然在开始自转部20的旋转的步骤(S7)之后进行开始公转部10的旋转的步骤(S8)，但也可在开始自转部20的旋转的步骤(S7)之前进行开始公转部10的旋转的步骤(S8)，也可两者同时进行。同样地，虽然在停止公转部10的旋转的步骤(S10)之后进行停止自转部20的旋转的步骤(S11)，但也可在停止公转部10的旋转的步骤(S10)之前进行停止自转部20的旋转的步骤(S11)，也可两者同时进行。或者，除了可将公转(公转部10的旋转)与自转(自转部20的旋转)全部或部分同时进行外，还可交替进行。

如以上说明，依据通过本实施方式的延伸装置1制造已涂布对象物TR的方法，是通过公转部10的旋转使涂布面Tf上的涂布物质R延伸，因此能够使涂布物质R在涂布面Tf的半径方向的厚度大致均匀；除了进行公转部10的旋转外还进行自转部20的旋转，因此能够矫正涂布物质R的厚度在涂布面Tf的周方向的变异，从而能够在整个涂布面Tf上形成涂布物质R均匀的膜。此外，在将供给有涂布物质R的对象物T装设到延伸装置1之前，以旋转夹具令对象物T旋转，使涂布物质R初步性地延伸，使得过剩的涂布物质R从涂布面Tf脱离，因此能够抑制在以延伸装置1进行涂布物质R的延伸时产生过剩的涂布物质R(废液)。

在以上的说明中，虽然对象物T是涂布面Tf形成为球面的透镜，但涂布面Tf的形状也可为球面以外的椭圆面、抛物面、双曲面等接近球面的形状即略球面、或存在一个或多个起伏的曲面，底面Tb也可为圆形以外的形状，对象物T也可为透镜以外的物。当涂布面Tf为略球面时，曲率半径原则上是采用通过最小平方法获得的回归曲面的曲率半径。此时，要采用球面的近似到何种程度的误差，能够相应于涂布至涂布面Tf的涂布物质R的厚度的均匀性和物性等而适宜决定。另外，当椭圆面、抛物面、双曲面等接近球面的形状能够以描述非球面形状的圆锥系数(conic coefficient)的关系式(含有表示非球面的圆锥系数的下式：Z(s)＝{C·s²/(1+(1-(1+k)·C²·s²)^1/2)}+A4·s⁴+A6·s⁶+A8·s⁸+……；式中，C为1/曲率半径、k为圆锥系数)来表示时，只要将圆锥系数的关系式中的曲率半径采用涂布面Tf的曲率半径即可。此外，当涂布面Tf的形状虽然无法直接以圆锥系数的关系式表示但仍能够通过最小平方法而以圆锥系数的关系式表示时，是以将该通过最小平方法而表示的圆锥系数的关系式中的曲率半径采用涂布面Tf的曲率半径为优选。

在以上的说明中，公转底板11b以板状的构件形成，但也可改为角锥状、圆锥状、半球状等取代板状。公转侧板11s也同样可为板状以外的形状。此外，公转侧板11s也可为将多个公转侧板11s连接或以一体形成而形成为多边形和圆筒状等。此外，在以上的说明中，虽然公转底板11b的面与公转侧板11s的面为形成正交，但并不限于正交，也可构成为形成任意的角度。此外，在以上的说明中，虽然设置有两个公转侧板11s，但也可相应于公转底板11b的形状和大小、或涂布有涂布物质R的对象物T的所需个数而适宜增减。

在以上的说明中，虽然初步延伸步骤(S3)以旋转夹具进行，但也可改以延伸装置1进行来取代旋转夹具，此时，可构成为公转部10的公转侧板11s能够相对于公转底板11b改变角度。当以延伸装置1进行初步延伸步骤，便不需要从旋转夹具搬送至延伸装置1，从而能够缩短已涂布对象物TR的制造所需的时间。或者，当在将对象物T装设至延伸装置1之前也可不令涂布物质R在涂布面Tf上延伸时，也可省略初步延伸步骤(S3)。例如，当在供给步骤(S2)中使用缝涂布机(slit coater)和模具涂布机(die coater)等将涂布物质R供给至整个涂布面Tf时，能够省略初步延伸步骤(S3)。

在以上的说明中，虽然初步延伸步骤(S3)回收从涂布面Tf脱离的涂布物质R，但当不再重复利用脱离的涂布物质R等缘因此无需回收脱离的涂布物质R时、或在供给步骤(S2)中涂布在涂布面Tf的涂布物质R没有超过量而没有从涂布面Tf脱离的涂布物质R时，就能够省略回收步骤(S5)。

在以上的说明中，虽然在将对象物T装设到旋转夹具后再将涂布物质R供给至涂布面Tf，但也可在将涂布物质R供给至涂布面Tf后再将对象物T装设到旋转夹具，当省略初步延伸步骤(S3)时，也可在将对象物T装设到延伸装置1之前和之后其中一时点将涂布物质R供给至涂布面Tf。或者，也可在令装设到旋转夹具的对象物T开始旋转后再将涂布物质R供给至涂布面Tf，当省略初步延伸步骤(S3)时，也可在开始公转部10的旋转后或开始自转部20的旋转后再将涂布物质R供给至涂布面Tf。

在以上的说明中，虽然公转半径L成为涂布面Tf的曲率半径Tfr的大致0.7倍，但也可为不同值，当公转半径L相比于曲率半径Tfr为十分大时，能够省略自转部20的旋转(自转步骤：S7)。就一例而言，当公转半径L为曲率半径Tfr的大致3倍以上时能够省略自转步骤(S7)。另外，从防止延伸装置1的大型化的观点来看，公转半径L较优选为曲率半径Tfr的大致5倍以下。

在以上的说明中，虽然关于公转部10与自转部20的位置关系，呈自转轴线23a正交于公转轴线13a水平延伸的关系，但公转轴线13a与自转轴线23a的夹角α能够相应于涂布面Tf的形状等而适宜设定，当涂布面Tf为球面时，该夹角α较优选为采用15度至135度，更优选为采用30度至120度，再较优选为采用45度至105度，再更优选为采用60度至100度，特优选为采用大致90度(90度±5度)。此外，夹角α也可在公转部10的旋转中和/或自转部20的旋转中适宜变更。典型而言，公转底板11b的面与公转侧板11s的面之间的角度也相应于夹角α的变化而变化。此外，公转部10及自转部20除了公转轴线13a与自转轴线23a设为交叉之外，也可构成为公转轴线13a与自转轴线23a呈歪斜的位置关系，此时还可适宜变更比照两轴线13a、23a交叉时相对的位置关系(假设投影至平面时的两者的角度等)。

或者，也可如图6的延伸装置1A所示，也可以使公转轴线13a与自转轴线23a成为平行的方式，配置具有公转板11A的公转部10A及具有自转板21A的自转部20A。更进一步如图7的延伸装置1B所示，也可设为具有两个自转板21a、21b的自转部20B设在公转侧板11s的构成，其中该自转板21a具有自转轴线23a1，该自转板21b具有自转轴线23a2。此时，各个自转轴线23a1、23a2相对于公转侧板11s的角度可为相同也可为不同，可设为能够分别进行控制各个自转板21a、21b的旋转速度和旋转的时序(timing)。另外，也可仿效图7所示的自转部20B的构成，采用设有三个以上的自转板的构成。当采设有多个自转板的构成，便能够增加所能够处理的对象物T的个数，从而提升生产性。更进一步如图8的延伸装置1Ba所示，也可根据图7的延伸装置1B，而构成为使公转侧板11s能够绕着侧板公转轴线13a2旋转(在图8中省略了自转板21a(参照图7)的图示)，且在公转机构内再组入公转机构，而能够应对较涂布面Tf复杂的曲面。

在以上的说明中，虽然自转部20是通过自转旋转机构25而旋转，但也可如以下说明，通过马达以外的机构而旋转。

图9显示本发明实施方式的第一变形例的延伸装置1C，图9(A)为俯视概略图，图9(B)为自转部20C周围的局部放大侧视图。在延伸装置1C中，公转底板11b形成为圆形的板状。公转侧板11s同延伸装置1(参照图1)一样，固定在公转底板11b的上面。观看自转部20C，除了具有自转板21及自转轴23之外还具有轮胎(tire)26及鼓轮(drum)27，而并未设有延伸装置1(参照图1)所具有的自转旋转机构25(参照图1)。自转轴23的与连接至自转板21的端部为相反侧的端部连接至轮胎26的轮毂(hub)。在本实施方式中，轮胎26为车轮的面与公转侧板11s的面成平行，且以依公转底板11b的圆周的切线方向旋转的方式安装于自转轴23。鼓轮27为轮胎26的外周面接触的零件，以围着公转底板11b外周的方式设置在公转底板11b外周的外侧。鼓轮27是以避免旋转等移动发生的方式固定住，与公转底板11b绕着公转轴线13a旋转形成对比。在自转轴23设有齿轮箱(gear box)23g，以能够适宜设定自转板21的旋转速度与轮胎26的旋转速度的比的方式收纳有齿轮。齿轮箱23g相当于旋转速度调节部。在如上述构成的延伸装置1C中，相对于公转板11绕着公转轴线13a旋转，鼓轮27并不旋转，故接触于鼓轮27的轮胎26绕着自转轴线23a旋转，自转板21经由自转轴23而伴随轮胎26的旋转以既定的齿轮比旋转。如上述，在延伸装置1C中，能够通过公转旋转机构的运转使公转板11与自转板21同时旋转。另外，也可令鼓轮27往与公转底板11b同方向或相反方向旋转并依公转底板11b的旋转与鼓轮27的旋转的速度差来调节自转板21的旋转速度，来取代固定住鼓轮27，此时，令鼓轮27旋转的机构便相当于旋转速度调节部。

图10显示本发明实施方式的第二变形例的展延装置1D，图10(A)为自转部20D周围的局部侧视图，图10(B)为曲柄部28周围的局部前视图。在展延装置1D中，自转部20D的构成除了具有自转板21及自转轴23之外还具有曲柄部28及驱动马达29，而未设有展延装置1(参照图1)所具有的自转旋转机构25(参照图1)。曲柄部28含有旋转板28p、连接棒28r、上下移动部28m、以及传动板28t。旋转板28p是圆形的板状的构件，以使板状的面沿着公转侧板11s外侧的面的方式配置。在旋转板28p的旋转中心连接有自转轴23的与连接至自转板21的端部为相反侧的端部。连接棒28r为将旋转板28p与上下移动部28m连接起来的构件，一端连接至偏离旋转板28p的旋转中心的靠近圆形的外周的面，另一端连接至上下移动部28m的一端。上下移动部28m为贯通公转底板11b上下延伸的棒状的构件，一端如上述连接至连接棒28r的另一端，另一端以能够滑动的方式载置于传动板28t的面。传动板28t为将驱动马达29的动力传递至上下移动部28m的构件，形成为圆形的板状。传动板28t典型而言为形成为与公转底板11b大致相同的大小，当有多个自转部20D时，形成为将全部的上下移动部28m的另一端涵盖在内的大小。传动板28t隔着公转底板11b，设在公转侧板11s的相反侧。驱动马达29是令传动板28t铅直上下移动的动力源，典型而言是使用伺服马达(servo motor)。在如上述构成的展延装置1D中，当公转板11绕着公转轴线13a旋转，上下移动部28m便滑动于传动板28t的上面。此时，当令驱动马达29适宜作动使传动板28t上下往复移动时，上下移动部28m便伴随传动板28t的上下移动而上下，经由连接棒28r令旋转板28p绕着自转轴线23a旋转，结果，自转板21绕着自转轴线23a旋转，而进行自转部20D的旋转。在展延装置1D中，驱动马达29的作动与公转板11的旋转是独立进行，故公转板11的旋转速度与自转部20的旋转速度能够分别采用任意的值。

在以上的说明中，是利用图1至图10说明了本发明实施方式的延伸装置及已涂布对象物的制造方法的例，但关于各部的构成、结构、个数、配置、形状、材质等，并不限定为上述具体例，在不脱离本发明的主旨下，本技术领域人员所适宜地选择性采用的技术内容也包含在本发明的范围内。

将包含本说明书中所引用的出版物、日本国专利申请及日本国专利在内的所有文献，个别具体地指出各文献，参照并编入，此外，在此处以本说明书中所述相同限度参照其全部内容并编入。

关于与本发明的说明(具体而言与权利要求相关)相关而使用的名词及同样的指示语的使用，只要在本说明书中未具体指出、且未与文脉明显产生矛盾，则解释为有单数与多双方。词语“具备”、“具有”、“含有”及“包含”只要未特别做说明，则作开放式用语(open-end term)(也就是“并不限于含有”之意)解释。关于本说明书中的数值范围的具体陈述，只要在本说明书中未特别指出，则单纯只是意指将符合该范围内的各数值个别提及用的略记法的作用，各数值如同已个别列举在本说明书中一样编入说明书中。本说明书中所说明的全部的方法只要在本说明书中未具体指出、且未与文脉明显产生矛盾，则能够以所有适切的顺序进行。本说明书中所使用的所有例子或例示性的措词(例如“等”)只要未特别主张，则单纯只是意指更仔细地说明本发明，并非是对本发明的范围设下限制。说明书中的任何措词皆不应解释为代表将权利要求未记载的要件视为本发明的实施所不可或缺的要件。

在本说明书中，为了实施本发明而包含本申请的发明人所知的最优选形态，并针对本发明的较优选实施方式进行了说明。对本技术领域人员而言，只要读过上述说明，这些较优选实施方式的变形当不言而喻。本申请的发明人期待本领域技术人员适宜使用这些变形，既定以本说明书中所具体说明以外的方法来实施本发明。因此，本发明如准据法中所允许，包含本说明书添附的权利要求记载的内容的修正及均等物全体。此外，只要本说明书中未具体指出、且未与文脉明显产生矛盾，则全部的变形中的上述要件的所有组合皆包含在本发明中。

附图标记说明

1、1A、1B、1Ba、1C、1D 延伸装置

10、10A、10B 公转部

13a 公转轴线

20、20A、20B、20C、20D 自转部

23a、23a1、23a2 自转轴线

60 控制装置

L 公转距离

R 涂布物质

T 对象物

Tf 涂布面。

Claims (11)

1.一种已涂布对象物的制造方法，所述制造方法为制造在要涂布涂布物质的对象物中具有曲面的涂布对象面涂布有前述涂布物质的已涂布对象物的方法，其具备下述步骤：

对前述涂布对象面供给前述涂布物质的供给步骤；及

令对前述涂布对象面供给有前述涂布物质的前述对象物绕着与前述对象物隔有距离的公转轴线旋转的公转步骤。

2.根据权利要求1所述的已涂布对象物的制造方法，其中，前述供给步骤为以使前述涂布物质接触前述涂布对象面的一部分的方式构成；

且该已涂布对象物的制造方法具备有：在前述公转步骤之前，令前述对象物旋转，而使前述涂布物质与前述涂布对象面接触的范围扩大的初步延伸步骤。

3.根据权利要求2所述的已涂布对象物的制造方法，其中，前述初步延伸步骤构成为含有超过量脱离步骤，该超过量脱离步骤为令在前述供给步骤中供给至前述涂布对象面的前述涂布物质中，超过预设量的量的前述涂布物质从前述涂布对象面脱离；

该已涂布对象物的制造方法具备有：在前述公转步骤之前，回收在前述超过量脱离步骤中从前述对象物脱离的前述涂布物质的回收步骤。

4.根据权利要求1至3中任一所述的已涂布对象物的制造方法，具备有：令对前述涂布对象面供给有前述涂布物质的前述对象物绕着前述对象物进行自转时的自转轴线旋转的自转步骤。

5.根据权利要求4所述的已涂布对象物的制造方法，其中，在前述自转步骤中作用于前述涂布对象面上的前述涂布物质的带动前述涂布物质的力的最大值相对于在前述公转步骤中作用于前述涂布对象面上的前述涂布物质的带动前述涂布物质的力的比为0.5以下。

6.根据权利要求4或5所述的已涂布对象物的制造方法，其中，前述自转步骤中的旋转速度比前述公转步骤中的旋转速度还慢。

7.根据权利要求4至6中任一所述的已涂布对象物的制造方法，其中，在前述公转轴线与前述自转轴线交叉的位置，前述公转轴线与前述自转轴线的夹角为15度以上165度以下。

8.根据权利要求1至7中任一所述的已涂布对象物的制造方法，其中，当前述涂布对象面以球面或略球面形成时，前述公转轴线与前述涂布对象面在正交于前述公转轴线的方向的最短距离相对于前述涂布对象面的曲率半径的比为0.3以上5以下。

9.根据权利要求8所述的已涂布对象物的制造方法，其中，前述公转轴线与前述涂布对象面在正交于前述公转轴线的方向的最短距离相对于前述涂布对象面的曲率半径的比为3以上。

10.一种涂布物质延伸装置，具备公转部，其令形成有具有曲面的涂布对象面的对象物绕着与前述对象物隔有距离的公转轴线旋转。

11.根据权利要求10所述的涂布物质延伸装置，其具备：

自转部，令前述对象物绕着前述对象物进行自转时的自转轴线旋转；及

旋转速度调节部，调节前述自转部的旋转速度；其中，

前述旋转速度调节部经由控制装置构成，该控制装置为通过前述公转部进行权利要求4至7中任一项所述的已涂布对象物的制造方法中的前述公转步骤、并且通过前述自转部进行前述自转步骤。

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