CN111128504A

CN111128504A - 软磁性合金粉末、压粉磁芯、磁性部件及电子设备

Info

Publication number: CN111128504A
Application number: CN201911029211.7A
Authority: CN
Inventors: 吉留和宏; 松元裕之; 堀野贤治; 细野雅和; 梶浦良纪
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 2018-10-31
Filing date: 2019-10-28
Publication date: 2020-05-08
Anticipated expiration: 2039-10-28
Also published as: CN111128504B; US20200135369A1; JP2020070468A; DE102019129302A1; KR20200049641A; KR102259182B1; JP6737318B2

Abstract

本发明提供一种低矫顽力且球形度高的软磁性合金粉末等。软磁性合金粉末具由组成式(Fe_{(1‑(α+β))}X1_αX2_β)_{(1‑(a+b+c+d+e+f))}M_aB_bP_cSi_dC_eS_f构成的主要成分。X1为选自Co及Ni中的一种以上，X2为选自Al、Mn、Ag、Zn、Sn、As、Sb、Cu、Cr、Bi、N、O及稀土元素中的一种以上，M为选自Nb、Hf、Zr、Ta、Mo、W、Ti及V中的一种以上。0≤a≤0.160、0.020≤b≤0.200、0≤c≤0.150、0≤d≤0.060、0≤e≤0.030、0.0010≤f≤0.030、0.005≤f/b≤1.50、α≥0、β≥0、0≤α+β≤0.5。

Description

软磁性合金粉末、压粉磁芯、磁性部件及电子设备

技术领域

本发明涉及软磁性合金粉末、压粉磁芯、磁性部件及电子设备。

背景技术

近年来，在电子、信息、通信设备等特别是电子设备中，要求低耗电化及高效化。进而，面向低碳化社会，上述的要求更加强烈。因此，电子、信息、通信设备等特别是电子设备的电源电路也要求能源损失的降低及电源效率的提高。

在此，为了降低能量损失及提高电源效率，寻求获得软磁性特性优异，且在用于压粉磁芯的情况下使填充率提高的软磁性合金粉末。

专利文献1中记载有改善了沃德尔球形度的软磁性金属粉末。另外，记载有通过改善球形度而可以制造优异的功率电感器的内容。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2016－25352号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

但是，专利文献1中仅示出了通过进行非常受限的组成来改善球形度。因此寻求即使是与专利文献1中记载的组成不同的组成，也要在提高软磁性特性的同时改善球形度。

此外，软磁性合金粉末的球形度的评价也可以从将软磁性合金粉末的颗粒形状进行投影得到的图形的圆形度来评价。

本发明的目的在于，提供低矫顽力且球形度高的软磁性合金粉末等。

用于解决问题的技术方案

为了实现上述目的，本发明提供一种软磁性合金粉末，其具有由组成式(Fe_(1-(α+β))X1_αX2_β)_{(1-(a+b+c+d+e+f))}M_aB_bP_cSi_dC_eS_f构成的主要成分，其特征在于，

X1为选自Co及Ni中的一种以上，

X2为选自Al、Mn、Ag、Zn、Sn、As、Sb、Cu、Cr、Bi、N、O及稀土元素中的一种以上，

M为选自Nb、Hf、Zr、Ta、Mo、W、Ti及V中的一种以上，

0≤a≤0.160、

0.020≤b≤0.200、

0≤c≤0.150、

0≤d≤0.060、

0≤e≤0.030、

0.0010≤f≤0.030、

0.005≤f/b≤1.50、

α≥0、

β≥0、

0≤α+β≤0.50。

本发明的软磁性合金粉末由于上述的构成，能够降低矫顽力，并且提高球形度。

优选的是，所述软磁性合金粉末的平均圆形度为0.90以上。

优选的是，所述软磁性合金粉末的平均圆形度为0.95以上。

优选的是，所述软磁性合金粉末含有纳米晶。

优选的是，所述纳米晶的结晶度为25％以上。

优选的是，所述纳米晶中的bcc相以外的化合物相的结晶度为5％以下。

优选的是，0.005≤f/b≤0.500。

优选的是，0.735≤1－(a+b+c+d+e+f)≤0.900。

本发明的压粉磁芯包括所述的软磁性合金粉末。

本发明的磁性部件包括所述的软磁性合金粉末。

本发明的电子设备包括所述的软磁性合金粉末。

附图说明

图1是MORPHOLOGI G3的观察结果。

图2是试样编号15的SEM的观察结果。

图3是试样编号11的SEM的观察结果。

图4是通过X射线结晶结构分析获得的图的一例。

图5是通过对图4的图进行峰形拟合而获得的图案的一例。

符号说明

1···颗粒形状测定结果

具体实施方式

以下，对本发明的实施方式进行说明。

本实施方式提供一种软磁性合金粉末，其具有由组成式(Fe_(1-(α+β))X1_αX2_β)_{(1-(a+b+c+d+e+f))}M_aB_bP_cSi_dC_eS_f构成的主要成分，

X1为选自Co及Ni中的一种以上，

M为选自Nb、Hf、Zr、Ta、Mo、W、Ti及V中的一种以上，

0≤a≤0.160、

0.020≤b≤0.200、

0≤c≤0.150、

0≤d≤0.060、

0≤e≤0.030、

0.0010≤f≤0.030、

0.005≤f/b≤1.50、

α≥0、

β≥0、

0≤α+β≤0.50。

本实施方式的软磁性合金粉末具有上述的组成，由此，能够容易使颗粒形状良好。具体而言，通过具有上述的组成，能够获得接近球形的颗粒形状的软磁性合金粉末、即球形度高的软磁性合金粉末。通常，通过使软磁性合金粉末的颗粒形状接近球形，能够提高使用了该软磁性合金粉末的压粉磁芯等的填充率，能够提高矫顽力等各种特性。

另外，在对本实施方式的软磁性合金粉末进行热处理的情况下，容易析出结晶粒径为50nm以下的纳米晶。特别是，容易析出Fe的结晶结构为bcc(体心立方晶格结构)的纳米晶(以下，也称为Fe基纳米晶)。换言之，本实施方式的软磁性合金粉末容易作为使纳米晶析出的软磁性合金粉末的起始原料，特别容易作为使Fe的结晶结构为bcc的纳米晶析出的软磁性合金粉末的起始原料。

下面，对软磁性合金粉末是否具有由非晶相构成的结构(仅由非晶质构成的结构或纳米异质结构)或具有由结晶相构成的结构进行确认的方法进行说明。在本实施方式中，设定下述式(1)所示的非晶质化率X为85％以上的软磁性合金粉末具有由非晶相构成的结构，非晶质化率X低于85％的软磁性合金粉末具有由结晶相构成的结构。

X＝100－(Ic/(Ic+Ia)×100)…(1)

Ic：结晶性散射积分强度

Ia：非晶性散射积分强度

通过XRD对软磁性合金粉末实施X射线结晶结构分析，进行相的鉴定，读取结晶化的Fe或化合物的峰值(Ic：结晶性散射积分强度、Ia：非晶性散射积分强度)，从该峰值强度计算结晶化率，通过上述式(1)来计算非晶质化率X。以下，进一步具体地说明计算方法。

通过XRD对本实施方式的软磁性合金粉末进行X射线结晶结构分析，获得图4所示那样的图。使用下式(2)的洛伦兹函数进行峰形拟合，获得图5所示表示结晶性散射积分强度的结晶成分图案α_c、表示非晶性散射积分强度的非晶成分图案α_a及将它们相加的图案α_c+a。根据所获得的图案的结晶性散射积分强度及非晶性散射积分强度，通过上述式(1)求出非晶质化率X。此外，测定范围设为能够确认源自非晶质的晕的回析角2θ＝30°～60°的范围。在该范围内，XRD的实测的积分强度和使用洛伦兹函数算出的积分强度的误差在1％以内。

【数1】

h：峰值高度

u：峰值位置

w：半值宽

b：背景高度

此外，在本实施方式的软磁性合金粉末中析出纳米晶的情况下，对于各个粉末，有多的纳米晶析出。即，后述的软磁性合金粉末的粒径和纳米晶的结晶粒径不同。

下面，对本实施方式的软磁性合金粉末的各成分进行详细说明。

在本实施方式的软磁性合金粉末中，特别重要的是恰当地控制B的含量(b)和S的含量(f)。在本实施方式的软磁性合金粉末中，通过含有B，有提高非晶质性且不易产生结晶的效果。另外，通过含有S，即使在雾化法制造软磁性合金粉末时使喷嘴的直径减小，也不容易产生喷嘴堵塞。即，因为能够减少熔汤量，所以能够减小软磁性合金粉末的粒径，容易使颗粒形状接近球形。并且，在利用后述的旋转水流雾化法制造软磁性合金粉末的情况下，由于能够减少熔汤量，从而容易获得具有由非晶相构成的结构的软磁性合金粉末。

B的含量(b)满足0.020≤b≤0.200。另外，优选为0.070≤b≤0.200，更优选为0.070≤b≤0.110。在b过小的情况下，在软磁性合金粉末中，容易析出结晶粒径为100nm以上的大的结晶。如果在软磁性合金粉末中析出这样的结晶，则矫顽力显著增大。另外，在b过大的情况下，饱和磁化容易降低。

S的含量(f)满足0.0010≤f≤0.030。另外，优选为0.0010≤f≤0.0050。在f过小的情况下，如果减小喷嘴的直径，则容易产生喷嘴堵塞。因此，不得不使喷嘴的直径变大。为了使喷嘴的直径变大，不得不增大熔汤量。在增大熔汤量的情况下，气体带来的分割力被分散，不能减小软磁性合金粉末的粒径。粒径越大，颗粒形状就越远离球形。并且，矫顽力会增加。另外，在f过大的情况下，在软磁性合金粉末中，容易析出结晶粒径为100nm以上的大的结晶。当软磁性合金粉末中析出大的结晶时，矫顽力显著增大。

另外，(S的含量)/(B的含量)、即f/b也在规定的范围内至为重要。具体而言，满足0.005≤f/b≤1.50。另外，也可以是0.005≤f/b≤0.500，优选为0.011≤f/b≤0.056。

M为选自Nb、Hf、Zr、Ta、Mo、W、Ti及V中的一种以上。

M的含量(a)满足0≤a≤0.160。即，也可以不含M。另外，优选为0.070≤a≤0.160。在a过大的情况下，饱和磁化容易下降。

P的含量(c)满足0≤c≤0.150。即，也可以不含P。另外，优选为0.010≤c≤0.150，更优选为0.010≤c≤0.050。在c过大的情况下，颗粒形状容易远离球形。

Si的含量(d)满足0≤d≤0.060。即，也可以不含Si。另外，优选为0≤d≤0.040，更优选为0≤d≤0.020。在d过大的情况下，颗粒形状容易远离球形。

C的含量(e)满足0≤e≤0.030。即，也可以不含C。另外，也可以是0≤e≤0.010。在e过大的情况下，在软磁性合金粉末中，容易析出结晶粒径为100nm以上的大的结晶。如果在软磁性合金粉末中析出这样的结晶，则矫顽力显著增大。

Fe的含量(1－(a+b+c+d+e+f))是任意的，但优选为0.735≤(1－(a+b+c+d+e+f))≤0.900。通过将(1－(a+b+c+d+e+f))设为上述的范围内，在制造软磁性合金粉末时，更难以产生结晶粒径大于100nm的结晶。

另外，在本实施方式的软磁性合金粉末中，也可以由X1和/或X2取代Fe的一部分。

X1为选自Co和Ni中的一种以上。X1如果为Ni，则有降低矫顽力的效果，如果为Co，则有提高热处理后的饱和磁化的效果。可以适当地选择X1的种类。关于X1的含有量，也可以为α＝0。即，也可以不含X1。另外，优选的是，将组成整体的原子数设为100at％时，X1的原子数为40at％以下。即，优选满足0≤α{1－(a+b+c+d+e+f)}≤0.40，更优选满足0≤α{1－(a+b+c+d+e+f)}≤0.10。

X2为选自Al、Mn、Ag、Zn、Sn、As、Sb、Cu、Cr、Bi、N、O及稀土类元素中的一种以上。另外，在包含X2的情况下，从容易获得具有由非晶相构成的结构的软磁性合金粉末的观点出发，优选X2为选自Al、Mn、Ag、Zn、Sn、As、Sb、Cu、Bi、N、O及稀土类元素中的一种以上。关于X2的含量，也可以为β＝0。即，也可以不含X2。另外，优选的是，将组成整体的原子数设为100at％时，X2的原子数为3.0at％以下。即，优选满足0≤β{1－(a+b+c+d+e+f+g)}≤0.030。

作为将Fe取代为X1和/或X2的取代量的范围，基于原子数设为Fe的一半以下。即，设为0≤α+β≤0.50。在α+β＞0.50的情况下，通过热处理难以获得第二实施方式的软磁性合金。

此外，本实施方式的软磁性合金粉末也可以包含上述以外的元素作为不可避免的杂质。例如，也可以相对于软磁性合金粉末100％重量包含0.1重量％以下。

下面，对本实施方式的软磁性合金粉末中的颗粒形状及粒径(粒度分布)的评价方法进行说明。

如上所述，颗粒形状越接近球形，越能提高使用该软磁性合金粉末的压粉磁芯等的填充率，能够提高矫顽力等各种特性。另外，粒径越小则颗粒形状越容易接近球形，故而优选。

在本实施方式中，关于颗粒形状及粒径，使用MORPHOLOGI G3(MALVERN·PANALYTICAL公司)进行评价。MORPHOLOGI G3是可以通过空气分散粉末，投影并评价各个颗粒形状的装置。可以用光学显微镜或激光显微镜评价粒径约为0.5μm～几mm的范围内的颗粒形状。具体而言，也如图1所示的颗粒形状测定结果1表明，能够一次投影并评价众多颗粒形状。但是，实际上，可以一次投影并评价远比图1所示的颗粒形状测定结果1所记载的多的颗粒形状。

由于MORPHOLOGI G3能够一次制作并评价众多颗粒的投影图，因此与以往的SEM观察等的评价方法相比，能够在短时间内评价多数颗粒的形状。例如，在后述的实施方式中，针对20000个颗粒制作投影图，自动计算各个颗粒的圆形度，算出平均圆形度。与之相对，在以往的SEM观察中，由于使用图2及图3所示的SEM图像对一个一个地颗粒计算圆形度，所以在短时间内难以评价众多颗粒的形状。此外，图2是后述的试样编号15，是圆形度较高的实施方式。图3是后述的试样编号11，是圆形度较低的比较例。

将投影图中的面积设为S，将投影图中的周围的长度设为L，颗粒的圆形度用4πS/L²表示。圆的圆形度为1，颗粒的投影图的圆形度越接近1，颗粒的球形度越高。

另外，一般的粒径(粒度分布)的计算方法是体积基准。与此相对，在使用MORPHOLOGI G3评价粒径(粒度分布)的情况下，无论体积基准还是个数基准都能评价粒径(粒度分布)。

在基于体积基准的一般粒径的评价方法中，每个颗粒在数据中反映的程度与该体积成比例。即，小型颗粒在数据中反映的程度变小。

另一方面，在基于个数基准的粒径的评价方法中，每个颗粒在数据中反映的程度相同。即，小型颗粒在数据中反映的程度变大。

在体积基准和个数基准中，粉末颗粒的平均粒径(D50)也发生变化。例如，对于后述的试样编号6a，在使用MORPHOLOGI G3计算平均粒径(D50)的情况下，在个数基准中为7.9μm，与之相对，在体积基准中为25.3μm。在本实施方式及后述的实施方式中，以个数基准评价粒径。

在本实施方式中，软磁性金属粉末的平均粒径是任意的，但也可以为5.0μm以上50μm以下，优选为5.0μm以上15μm以下。

以下，对本实施方式的软磁性合金粉末包含纳米晶的情况下的纳米晶的评价项目及评价方法进行说明。

在本实施方式的软磁性合金粉末中包含纳米晶的情况下，通常该纳米晶是αFe的纳米晶。

αFe的纳米晶可以根据平均结晶粒径、结晶度及αFe的纳米晶中的bcc相以外的化合物相的结晶度(以下称为非bcc相结晶度)来评价。另外，这些参数可以通过WPPD法分析全部由X射线衍射(XRD)形成的测定结果来计算。

平均结晶粒径可以为0.2nm以上50nm以下，优选为3nm以上30nm以下。在平均结晶粒径大的情况下，有矫顽力增大的倾向。在平均结晶粒径小的情况下，有饱和磁化有减少的倾向。

优选结晶度在25％以上。由于结晶度为25％以上，从而容易减少矫顽力，容易增加饱和磁化。即，软磁性特性容易提高。

非bcc相结晶度也可以为7％以下，优选为5％以下，更优选为2％以下。通过降低非bcc相结晶度，矫顽力容易降低。

以下，对本实施方式的软磁性合金粉末的制造方法进行说明。

本实施方式的软磁性合金粉末的制造方法没有特别限定。例如，可以举出雾化法。雾化法的种类也是任意的，可举出气体雾化法、旋转水流雾化法。以下，对于利用旋转水流雾化法的软磁性合金粉末的制造方法进行说明。

此外，在旋转水流雾化法中，与气体雾化法等其它雾化法相比，喷射的熔融金属被冷却液急速冷却，因此，熔融金属不容易结晶。而且，容易获得作为非晶质的软磁性合金粉末。

在旋转水流雾化法中，首先，准备最终获得的软磁性合金中包含的各金属元素的纯金属，并称量为与最终获得的软磁性合金相同的组成。而且，熔解各金属元素的纯金属，进行混合而制作母合金。此外，上述纯金属的熔解方法没有特别限制，例如有将腔室内抽真空后通过高频加热使之熔解的方法。此外，母合金和最终获得的软磁性合金通常为相同组成。

其次，加热所制作的母合金使之熔融，获得熔融金属(熔汤)。熔融金属的温度没有特别限制，例如可以设为1200～1500℃。然后，将上述熔融合金喷射到旋转水流雾化装置的冷却液(通常使用水等)中，制作粉体。

通过控制此时的喷射条件，能够适当控制软磁性合金粉末的粒径及圆形度。

适当的喷射条件根据熔融金属的组成及作为目标的粒径也不同，但例如喷嘴直径为0.5～3mm，熔融金属排出量为1.5kg/min以下，气压为5～10MPa。

通过以上方法，获得具有在非晶质中存在纳米晶的纳米异质结构的软磁性合金粉末。为了适当地控制颗粒形状及粒径(粒度分布)，优选在该时刻具有软磁性合金粉末为非晶质的结构。

为了获得含有纳米晶(特别是Fe基纳米晶)且具有由结晶相构成的结构的软磁性合金粉末，优选对具有由通过上述旋转水流喷雾法获得的非晶相构成的结构的软磁性合金粉末进行热处理。例如，在300～650℃下进行0.5～10小时的热处理，由此可以防止各粉体彼此烧结，粉体粗大化，同时促进元素的扩散，在短时间内达到热力学的平衡状态，消除变形及应力。容易适当地获得含有纳米晶(尤其是Fe基纳米晶)，且具有由结晶相构成的结构的软磁性合金粉末。而且，与具有由非晶相构成的结构的软磁性合金粉末相比，可获得饱和磁化高的软磁性合金粉末。

本实施方式的软磁性合金粉末的用途没有特别限制。例如，可举出压粉磁芯。特别适用作为电感器、尤其是功率电感器的压粉磁芯。另外，也可以适用于使用了软磁性合金粉末的磁性部件、例如薄膜电感器、磁头。进而，使用了该软磁性合金粉末的压粉磁芯或磁性部件可以适用于电子设备。

实施例

以下，基于实施例具体说明本发明。

(实验例1)

以获得以下所示的表1中记载的组合的母合金的方式分别称量纯金属材料。而且，将腔室内抽真空后，通过高频加热进行熔解，制作母合金。

此后，加热制作的母合金使之熔融，制成1500℃的熔融状态的金属(熔汤)后，通过气体喷雾法以下表1所示的组成喷射上述金属，制作粉体。设定喷嘴直径1mm、金属熔汤排出量0.5～0.8kg/min、气压7MPa、气体喷射温度1500℃，制作各试样的软磁性合金粉末。此外，在实验例1中，通过对以上述条件制作的粉末使用筛子进行分级，控制各软磁性合金粉末的个数基准下的平均粒径。

确认了获得的各个软磁性合金粉末是由非晶相构成还是由结晶相构成。使用XRD测定各薄带的非晶质化率X，在X为85％以上的情况下，认定为由非晶相构成。在X低于85％的情况下，认定为由结晶相构成。在表1示出结果。表1记载的试样及后述的实验例中的热处理的实施例的试样全部由非晶相构成。

对获得的各软磁性合金粉末测定矫顽力。使用Hc计测定矫顽力。表1示出结果。此外，就矫顽力而言，以3.0Oe以下为良好，以1.0Oe以下为更良好。表1记载的试样全部的矫顽力为3.0Oe以下。

评价获得的各软磁性合金粉末的颗粒形状。通过测定个数基准下的平均粒径及平均圆形度来评价颗粒形状。个数基准下的平均粒径及平均圆形度通过使用MORPHOLOGI G3(MALVERN·PANALYTICAL公司)以倍率10倍观察20000个粉末颗粒的形状，测定各粉末颗粒的粒径及圆形度。具体而言，将体积3cc的量的软磁性合金粉末以1～3bar的空压分散，通过激光显微镜拍摄投影像。通过平均各粉末颗粒的粒径来计算个数基准下的平均粒径。另外，通过对各粉末颗粒的圆形度进行平均来测定平均圆形度。表1示出结果。

【表1】

根据表1，具有含有S且S的含量(f)及S/B(f/b)等在规定范围内的组成的试样编号6～10，即使令个数基准的平均粒径发生变化，也成为良好的颗粒形状。而且矫顽力也良好。

与此相对，不含S的试样编号1～5与含有S的试样编号6～10中平均粒径近的试样比较，为平均圆形度小的结果。

(实验例2)

在实验例2中，以成为下表所示的各实施例及比较例的合金组成的方式对原料金属进行秤量，通过高频加热熔解，制作母合金，除这一点以外，以与实验例1的试样编号6a相同的条件实施。

【表2】

【表3】

【表4】

【表5】

【表6】

【表7】

【表8】

【表9】

【表10】

【表11】

【表12】

表2中记载了使B的含量(b)及S的含量(f)变化的实施例及比较例。各成分在规定范围内的实施例成为良好的颗粒形状。而且矫顽力也良好。

与此相对，不含S的试样编号11、12与在相同条件下仅改变了S的含量(f)的其它实施例相比，平均粒径较高、平均圆形度较低、矫顽力上升。另外，不含S且B的含量多的试样编号13不能喷射金属而不能制作软磁性合金粉末。另外，S的含量(f)过小的试样编号14，平均圆形度较低，矫顽力上升。S的含量(f)过大的试样编号20，软磁性合金粉末由结晶相组成，矫顽力显著上升。

此外，图2是通过SEM观察试样编号15的结果，图3是通过SEM观察试样编号11的结果。与平均圆形度低的试样编号11相比，可以确认平均圆形度高的试样编号15的球形度高。

表3中记载了使P的含量(c)变化的实施例及比较例。各成分在规定范围内的实施例成为良好的颗粒形状。而且，矫顽力也良好。

与此相对，P的含量(c)过大的试样编号25，平均圆形度较低。

表4中记载了使B的含量(b)变化的实施例和比较例。各成分在规定范围内的实施例成为良好的颗粒形状。而且，矫顽力也良好。

与此相对，B的含量(b)过小的试样编号31，软磁性合金粉末由结晶相构成，矫顽力显著上升。B的含量(b)过大的试样编号36，平均圆形度较低。

表5中记载了使C的含量(e)变化的实施例及比较例。各成分在规定范围内的实施例成为良好的颗粒形状。而且，矫顽力也良好。

与此相对，C的含量(e)过大的试样编号43，软磁性合金粉末由结晶相构成，矫顽力显著上升。

表6中记载了使Si的含量(d)变化的实施例及比较例。各成分在规定范围内的实施例成为良好的颗粒形状。而且，矫顽力也良好。

与此相对，Si的含量(d)过大的试样编号54，平均圆形度较低。

表7中记载了对于表6的试样编号52使M的含量(a)变化的实施例。各成分在规定范围内的实施例成为良好的颗粒形状。而且，矫顽力也良好。

表8中记载了关于试样编号6a使M的种类变化的实施例。即使使M的种类在本申请发明的范围内变化，也成为良好的颗粒形状。而且，矫顽力也良好。

表9～表12中记载了关于试样编号6a使X1和/或X2的种类及含量变化的实施例。各成分在规定范围内的实施例成为良好的颗粒形状。而且，矫顽力也良好。

(实验例3)

在实验例3中，对通过气体喷雾法获得的软磁性合金粉末(试样编号6a)进行热处理，生成纳米晶。此时，使热处理条件变化为表13所示的条件。而且，算出纳米晶的平均粒径、纳米晶的结晶度及纳米晶中的bcc相以外的化合物相的结晶度(以下也称为非bcc相的结晶度)。此外，测定获得的软磁性合金粉末的矫顽力及饱和磁化。此外，实验例3的各实施例的平均粒径及平均圆形度没有从热处理前的试样编号6a发生大的变化。

纳米晶的平均粒径、纳米结晶度及非bcc相的结晶度通过WPPD法分析使用X射线衍射测定(XRD)获得的测定结果而算出。饱和磁化使用振动型磁力计(VSM)以磁场1000kA/m测定。结果示于表13。此外，在实验例3中，就饱和磁化而言，以0.80T以上为良好，以1.30以上为更良好。此外，饱和磁化即使在实验例3的基准上不良好，也能解决本发明的问题。

【表13】

从表13可知，即使进行热处理也具有规定范围内的组成的全部实施例获得良好的矫顽力及饱和磁化。

包含纳米晶的试样编号151～161与不含纳米晶的试样编号6a相比，饱和磁化提高。特别是，纳米晶的结晶度为25％以上的试样编号154～161，饱和磁化进一步提高。

另外，与试样编号161相比，非bcc相结晶度在5％以下的试样编号6a、151～160的矫顽力成为优选的值。

Claims

1.一种软磁性合金粉末，其具有由组成式(Fe_{(1－(α+β))}X1_αX2_β)_{(1－(a+b+c+d+e+f))}M_aB_bP_cSi_dC_eS_f构成的主要成分，其特征在于，

X1为选自Co及Ni中的一种以上，

M为选自Nb、Hf、Zr、Ta、Mo、W、Ti及V中的一种以上，

0≤a≤0.160、

0.020≤b≤0.200、

0≤c≤0.150、

0≤d≤0.060、

0≤e≤0.030、

0.0010≤f≤0.030、

0.005≤f/b≤1.50、

α≥0、

β≥0、

0≤α+β≤0.50。

2.根据权利要求1所述的软磁性合金粉末，其中，

所述软磁性合金粉末的平均圆形度为0.90以上。

3.根据权利要求1所述的软磁性合金粉末，其中，

所述软磁性合金粉末的平均圆形度为0.95以上。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的软磁性合金粉末，其中，

含有纳米晶。

5.根据权利要求4所述的软磁性合金粉末，其中，

所述纳米晶的结晶度为25％以上。

6.根据权利要求4所述的软磁性合金粉末，其中，

所述纳米晶中的bcc相以外的化合物相的结晶度为5％以下。

7.根据权利要求1～3中任一项所述的软磁性合金粉末，其中，

0.005≤f/b≤0.500。

8.根据权利要求1～3中任一项所述的软磁性合金粉末，其中，

0.735≤1－(a+b+c+d+e+f)≤0.900。

9.一种压粉磁芯，其包括权利要求1～8中任一项所述的软磁性合金粉末。

10.一种磁性部件，其包括权利要求1～8中任一项所述的软磁性合金粉末。

11.一种电子设备，其包括权利要求1～8中任一项所述的软磁性合金粉末。