CN111044218A - 真空压力计响应时间测量装置 - Google Patents

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CN111044218A CN201911424691.7A CN201911424691A CN111044218A CN 111044218 A CN111044218 A CN 111044218A CN 201911424691 A CN201911424691 A CN 201911424691A CN 111044218 A CN111044218 A CN 111044218A
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王迪
陈林
林琳
郜晨希
刘瑞琪
远雁
郑旭
李超波
张心强
靳毅
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Chuanbei Vacuum Technology Beijing Co ltd
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Chuanbei Vacuum Technology Beijing Co ltd
Institute of Microelectronics of CAS
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    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L27/00Testing or calibrating of apparatus for measuring fluid pressure

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Abstract

一种真空压力计响应时间测量装置,应用于压力计技术领域,包括:充气装置上安装有标准真空压力计,充气装置与稳压腔连通,稳压腔和测试腔连接,且稳压腔和测试腔之间设置有阀门,待测真空压力计安装在测试腔上,数据采集模块连接待测真空压力计,标准真空压力计用于测量充气装置内的压力,充气装置用于给稳压腔内冲入气体,直至其压力值达到待测真空压力计的满量程值,阀门用于在该压力值达到待测真空压力计的满量程值后开启,以使稳压腔内的气体进入测试腔,待测真空压力计测量测试腔内的实时压力,数据采集模块用于采集待测真空压力计的输出信号。

Description

真空压力计响应时间测量装置
技术领域
本申请涉及压力计技术领域,尤其涉及一种真空压力计响应时间测量装置。
背景技术
在真空压力计研发和某些对响应时间敏感的场合下,真空压力计响应时间都是真空压力计的一个重要参数。在研发和测试过程中较为方便地对真空压力计的响应时间进行测量,不仅能够对真空压力计的性能进行考察,也对研发过程有指导意义。
发明内容
本申请的主要目的在于提供一种真空压力计响应时间测量装置,可测量真空压力计的响应时间。
为实现上述目的,本申请实施例第一方面提供一种真空压力计响应时间测量装置,包括:
充气装置、标准真空压力计、稳压腔、阀门、测试腔和数据采集模块;
所述充气装置上安装有所述标准真空压力计,所述充气装置与所述稳压腔连通,所述稳压腔和所述测试腔连接,且所述稳压腔和所述测试腔之间设置有所述阀门,待测真空压力计安装在所述测试腔上,所述数据采集模块连接所述待测真空压力计;
所述标准真空压力计,用于测量所述充气装置内的压力;
所述充气装置,用于给所述稳压腔内冲入气体,直至所述标准真空压力计的压力值达到所述待测真空压力计的满量程值;
所述阀门,用于在所述标准真空压力计的压力值达到所述待测真空压力计的满量程值后开启所述阀门,以使所述稳压腔内的气体通过所述阀门进入所述测试腔,所述待测真空压力计测量所述测试腔得到的实时压力值;
所述数据采集模块,用于按照预设采样频率采集所述待测真空压力计的输出信号。
进一步地,所述测试腔的形状为球体或圆柱体。
进一步地,所述稳压腔的体积大于所述测试腔的体积。
进一步地,所述预设采样频率大于一千赫兹。
从上述本申请实施例可知,本申请提供的真空压力计响应时间测量装置及方法,充气装置上安装有标准真空压力计,充气装置与稳压腔连通,稳压腔和测试腔连接,且稳压腔和测试腔之间设置有阀门,待测真空压力计安装在测试腔上,数据采集模块连接待测真空压力计,标准真空压力计用于测量充气装置内的压力,充气装置用于给稳压腔内冲入气体,直至标准真空压力计的压力值达到待测真空压力计的满量程值,阀门用于在标准真空压力计的压力值达到待测真空压力计的满量程值后开启阀门,以使稳压腔内的气体通过阀门进入测试腔,待测真空压力计测量测试腔内的实时压力,数据采集模块用于按照预设采样频率采集待测真空压力计的输出信号,可根据该装置得到的输出信号,分析真空压力计的响应时间。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本申请一实施例提供的真空压力计响应时间测量装置的结构示意图。
具体实施方式
为使得本申请的申请目的、特征、优点能够更加的明显和易懂,下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例,而非全部实施例。基于本申请中的实施例,本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围。
请参阅图1,图1为本申请一实施例提供的真空压力计响应时间测量装置的结构示意图,该装置主要包括:
充气装置1、标准真空压力计2、稳压腔3、阀门4、测试腔5和数据采集模块6;
充气装置上安装有标准真空压力计2,充气装置1与稳压腔3连通,稳压腔3和测试腔5连接,且稳压腔3和测试腔5之间设置有阀门4,待测真空压力计7安装在测试腔5上,数据采集模块6连接待测真空压力计7;
标准真空压力计2,用于测量充气装置内的压力;
充气装置1,用于给稳压腔3内冲入气体,直至标准真空压力计2的压力值达到待测真空压力计7的满量程值;
阀门4,用于在标准真空压力计2的压力值达到待测真空压力计7的满量程值后开启阀门4,以使稳压腔3内的气体通过阀门4进入测试腔5,以使待测真空压力计7测量测试腔5内的实时压力;
数据采集模块6,用于按照预设采样频率采集待测真空压力计7的输出信号。
其中,真空压力计响应时间是指在压力变化与输出信号变化之间的滞后时间,常见的真空压力计的响应时间为≥100毫秒,目前业内最高水平的快速响应真空压力计的响应时间为不快于1毫秒。
其中,连接充气装置1、稳压腔3、阀门4、测试腔5之间的管路应尽量保证短粗直,以保证真空压力的获得和快速膨胀压力平衡的过程均能在短时间内达到。
在本申请实施例中,充气装置上安装有标准真空压力计,充气装置与稳压腔连通,稳压腔和测试腔连接,且稳压腔和测试腔之间设置有阀门,待测真空压力计安装在测试腔上,数据采集模块连接待测真空压力计,标准真空压力计用于测量充气装置内的压力,充气装置用于给所稳压腔内冲入气体,直至标准真空压力计的压力值达到待测真空压力计的满量程值,阀门用于在标准真空压力计的压力值达到所待测真空压力计的满量程值后开启阀门,以使稳压腔内的气体通过阀门进入测试腔,待测真空压力计测量测试腔内的实时压力,数据采集模块用于按照预设采样频率采集待测真空压力计的输出信号,根据输出信号,分析真空压力计的响应时间。
在本申请其中一个实施例中,测试腔5的形状为球体或圆柱体,以保证气体进入测试腔5后可以较为快速地完成压力平衡。其中,当测试腔5的形状为圆柱体时,保持圆柱体的半径和高之间的比值较大。
在本申请其中一个实施例中,稳压腔3的体积大于测试腔5的体积。具体的,稳压腔3与测试腔5的体积比可根据测量精度进行调整,例如,50:1、100:1等。
在本申请其中一个实施例中,该预设采样频率大于一千赫兹,以对待测真空压力计7的信号进行采集以便分析其压力响应数据采集及响应时间的分析。
在本申请其中一个实施例中,根据所测试真空压力计量程的不同,可以变换真空系统主泵和密封形式。如果在低真空测试,可以选用成本较低的机械泵及橡胶密封确保真空。而如果需要测试量程在高真空段的真空压力计,主泵需要变换为分子泵或其它高真空泵,密封形式改为金属密封,并且配有相应的保护阀门,防止泄露或者冲击对真空压力计及真空系统主泵有破坏。
更多的,在比较法测试系统中,可以根据不同量程的测试需求,增加一路抽气旁路,将真空压力计响应时间装置串联。这样在不影响装置基本功能及操作流程的情况下,易于集成在多参数联合测试装置中,增加了装置可以测试的参数。
更多的,气体种类可以根据实际工况进行选择,气体必须不易被液化,并气体压力范围在理想气体状态方程成立范围内。气体不能损伤真空压力计,为了保证操作人员的安全,一般建议采用无毒无害的气体。在操作的同时,需要保证通风,使用易燃易爆气体进行试验时,需要采取相应的保护措施。
在上述实施例中,对各个实施例的描述都各有侧重,某个实施例中没有详述的部分,可以参见其它实施例的相关描述。
以上为对本申请所提供的真空压力计响应时间测量装置的描述,对于本领域的技术人员,依据本申请实施例的思想,在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处,综上,本说明书内容不应理解为对本申请的限制。

Claims (6)

1.一种真空压力计响应时间测量装置,其特征在于,包括:
充气装置、标准真空压力计、稳压腔、阀门、测试腔和数据采集模块;
所述充气装置上安装有所述标准真空压力计,所述充气装置与所述稳压腔连通,所述稳压腔和所述测试腔连接,且所述稳压腔和所述测试腔之间设置有所述阀门,待测真空压力计安装在所述测试腔上,所述数据采集模块连接所述待测真空压力计;
所述标准真空压力计,用于测量所述充气装置内的压力;
所述充气装置,用于给所述稳压腔内冲入气体,直至所述标准真空压力计的压力值达到所述待测真空压力计的满量程值;
所述阀门,用于在所述标准真空压力计的压力值达到所述待测真空压力计的满量程值后开启所述阀门,以使所述稳压腔内的气体通过所述阀门进入所述测试腔,以使所述待测真空压力计测量所述测试腔内的实时压力;
所述数据采集模块,用于按照预设采样频率采集所述待测真空压力计的输出信号。
2.根据权利要求1所述的真空压力计响应时间测量装置,其特征在于,所述测试腔的形状为球体或圆柱体。
3.根据权利要求1所述的真空压力计响应时间测量装置,其特征在于,所述稳压腔的体积大于所述测试腔的体积。
4.根据权利要求1至3任意一项所述的真空压力计响应时间测量装置,其特征在于,当所述真空压力计响应时间测量装置需要进行低真空测试时,采用机械泵对所述真空压力计响应时间测量装置进行抽真空,并所述真空压力计响应时间测量装置对橡胶密封。
5.根据权利要求1至3任意一项所述的真空压力计响应时间测量装置,其特征在于,当所述真空压力计响应时间测量装置需要进行高真空测试时,采用分子泵对所述真空压力计响应时间测量装置进行抽真空,并对所述真空压力计响应时间测量装置进行金属密封。
6.根据权利要求1至3任意一项所述的真空压力计响应时间测量装置,其特征在于,所述预设采样频率大于一千赫兹。
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