CN111032239B - 振动装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种小型并且驱动力大的振动装置。振动装置(1)具备：支承构件(5)，具有相互对置的第一边部分(5a)以及第二边部分(5b)；第一位移板(6)，支承在第一边部分(5a)，使得具有自由端，并向第二边部分(5b)侧延伸；第二位移板(7)，支承在第二边部分(5b)，使得具有自由端，并向第一边部分(5a)侧延伸；第一压电振动元件、第二压电振动元件，设置在第一位移板(6)上以及第二位移板(7)上；以及质量附加构件(9)，与第一位移板(6)以及第二位移板(7)中的自由端侧的部分的双方连接。

Description

振动装置

技术领域

本发明涉及振动装置。

背景技术

以往，作为用于通知来信的目的等的振动装置，提出了各种振动装置。在下述的专利文献1公开了这种振动装置的一个例子。在专利文献1记载的振动装置中，使用了将金属板弯曲加工为从侧面观察成为U字状的形状的弹性板。该弹性板的弯曲部的一侧设为板状的固定部，另一侧设为板状的振动部。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2015/163166号

发明内容

发明要解决的课题

近年来，要求振动装置的进一步的小型化。然而，在专利文献1记载的振动装置包含许多对振动几乎没有贡献的区域。因此，在进行小型化的情况下，不能得到大的驱动力。

本发明的目的在于，提供一种小型且驱动力大的振动装置。

用于解决课题的技术方案

本发明涉及的振动装置具备：支承构件，具有相互对置的第一边部分以及第二边部分；第一位移板，支承在所述支承构件的所述第一边部分，使得具有自由端，并向所述第二边部分侧延伸；第二位移板，支承在所述支承构件的所述第二边部分，使得具有自由端，并向所述第一边部分侧延伸；第一压电振动元件、第二压电振动元件，分别设置在所述第一位移板上以及所述第二位移板上；以及质量附加构件，与所述第一位移板中的所述自由端侧的部分以及所述第二位移板中的所述自由端侧的部分的双方连接。

发明效果

根据本发明的振动装置，小型且能够得到大的驱动力。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式涉及的振动装置的立体图。

图2是沿着图1中的I-I线的剖视图。

图3是本发明的第一实施方式涉及的振动装置的分解立体图。

图4是本发明的第一实施方式中的压电振动元件的立体图。

图5是本发明的第一实施方式中的压电振动元件的俯视剖视图。

图6是示出本发明的第一实施方式中的压电振动元件的、与图5不同的部分的俯视剖视图。

图7是示出比较例的振动装置振动的样子的示意性侧视剖视图。

图8是示出本发明的第一实施方式涉及的振动装置振动的样子的、相当于图2所示的剖面的示意性剖视图。

图9是示出本发明的第一实施方式涉及的振动装置振动的样子的、相当于图2所示的剖面的示意性剖视图。

图10是用于说明以往的悬臂梁的振动装置中的质量附加构件的位移量的示意性侧视图。

图11是用于说明第一实施方式的振动装置中的质量附加构件的位移量的示意性侧视图。

图12是示出本发明的第二实施方式涉及的振动装置振动的样子的、相当于图2所示的剖面的示意性剖视图。

图13是本发明的第二实施方式中的质量附加构件的立体图。

图14是示出在本发明的第三实施方式涉及的振动装置中使用的质量附加构件的立体图。

图15是示出在本发明的第三实施方式涉及的振动装置中使用的质量附加构件的侧视图。

图16是第一实施方式的振动装置的示意性俯视图。

图17是本发明的第四实施方式涉及的振动装置的示意性俯视图。

图18是用于说明本发明的第五实施方式的振动装置中的第一边部分、第一位移板、以及窄宽度部的部分切割俯视图。

图19是用于说明本发明的第六实施方式的振动装置中的第一边部分、第一位移板、以及窄宽度部的部分切割俯视图。

图20是示出本发明的第七实施方式的振动装置的主要部分的示意性俯视图。

图21是示出本发明的第八实施方式的振动装置的主要部分的示意性俯视图。

图22是示出参考例涉及的振动装置的主要部分的示意性俯视图。

图23是示出本发明的第九实施方式的振动装置的主要部分的示意性俯视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的具体的实施方式进行说明，由此明确本发明。

另外，需要指出，在本说明书记载的各实施方式是例示性的，能够在不同的实施方式间进行结构的部分置换或组合。

图1是本发明的第一实施方式涉及的振动装置的立体图。图2是沿着图1中的I-I线的剖视图。图3是第一实施方式涉及的振动装置的分解立体图。

如图1所示，振动装置1具有第一壳体部件2以及第二壳体部件3。在第一壳体部件2与第二壳体部件3之间，配置有支承构件5。由第一壳体部件2、第二壳体部件3以及支承构件5构成壳体。壳体的形状为长方体。俯视该壳体，即，从第一壳体部件2、支承构件5以及第二壳体部件3的层叠方向观察该壳体时的形状为正方形。另外，壳体的形状并不限定于上述形状。壳体的平面形状例如也可以是矩形等。

振动装置1通过第一壳体部件2的底部与安装基板等接合而进行安装。振动装置1的振动从该底部传播到外部。

第一壳体部件2以及第二壳体部件3由适当的金属或合成树脂构成。作为合成树脂，例如，能够列举LCP、PEEK、PPS等。作为金属，例如，能够列举不锈钢、铜合金等。

如图2以及图3所示，支承构件5为框状，由多个边部分构成。支承构件5的多个边部分包含平行的第一边部分5a以及第二边部分5b。第一位移板6从第一边部分5a向第二边部分5b侧延伸。第一位移板6通过悬臂梁支承在第一边部分5a，使得具有自由端。另一方面，第二位移板7从第二边部分5b向第一边部分5a侧延伸。第二位移板7通过悬臂梁支承在第二边部分5b，使得具有自由端。在俯视下，第一位移板6以及第二位移板7以支承构件5的框的内周形的中心为对称点配置为点对称。在从与第一边部分5a延伸的方向平行的方向观察时，第一位移板6以及第二位移板7重叠。

在本实施方式中，支承构件5、第一位移板6以及第二位移板7为一体。另外，也可以是，与支承构件5独立的第一位移板6以及第二位移板7与支承构件5连接。不过，通过像本实施方式那样使支承构件5、第一位移板6以及第二位移板7为一体，从而不是进行种类不同的材料内的传递，而是能够进行相同材料内的振动传递，因此能够提高振动的传播效率。除此以外，因为没有种类不同的材料的接缝，所以不易产生由第一位移板6被支承构件5支承的部分以及第二位移板7被支承构件5支承的部分的重复弯曲应力等造成的疲劳破坏等破损。

一般来说，在使平板进行弯曲行为等的振动装置的情况下，需要自由端和固定端。在本实施方式中，将与壳体部件连接的一侧设为固定端，支承构件和位移板构成为一体。因此，不需要配置对支承构件和位移板进行连接的构件等种类不同的材料。由此，可以不在支承构件与位移板之间、支承构件与壳体部件之间设置支承构件以及位移板的连接所需的构造空间。也就是说，能够使振动装置1变得小型。

第一位移板6具有相互对置的第一主面6a以及第二主面6b。第一主面6a位于第一壳体部件2侧，第二主面6b位于第二壳体部件3侧。在第二主面6b上设置有第一压电振动元件8A。由第一位移板6以及第一压电振动元件8A构成单压电晶片(unimorph)型的振子。

同样地，第二位移板7也具有位于第一壳体部件2侧的第一主面7a以及位于第二壳体部件3侧的第二主面7b。在第二主面7b上设置有第二压电振动元件8B。由第二位移板7以及第二压电振动元件8B构成单压电晶片型的振子。第一压电振动元件8A以及第二压电振动元件8B的形状没有特别限定，在本实施方式中，第一压电振动元件8A以及第二压电振动元件8R为矩形板状。

图4是第一实施方式中的第一压电振动元件8A的立体图。图5是第一实施方式中的第一压电振动元件8A的俯视剖视图。图6是示出第一实施方式中的第一压电振动元件8A的、与图5不同的部分的俯视剖视图。

如图4所示，第一压电振动元件8A具有层叠了多个压电体层的压电层叠体12。压电层叠体12具有位于上述第一位移板侧的第一主面12a以及与第一主面12a对置的第二主面12b。压电层叠体12具有连接第一主面12a以及第二主面12b的侧面12c。压电层叠体12没有特别限定，在本实施方式中，由PZT类陶瓷构成。

在压电层叠体12的第一主面12a上设置有第一外部电极17。在第二主面12b上设置有第二外部电极18。第一外部电极17以及第二外部电极18分别与不同的电位连接。

在压电层叠体12内隔着压电体层层叠有多个内部电极。更具体地，在本实施方式中，交替地层叠有图5所示的第一内部电极13和图6所示的第二内部电极14。第一压电振动元件8A分别具有多个第一内部电极13以及第二内部电极14。第一内部电极13以及第二内部电极14引出到压电层叠体12的侧面12c，使得在俯视下相互不重叠。

如图4所示，在压电层叠体12的侧面12c设置有第一连接电极15以及第二连接电极16，使得相互不接触。在第一连接电极15连接有多个第一内部电极。多个第一内部电极通过第一连接电极15与第一外部电极17电连接。在第二连接电极16连接有多个第二内部电极。多个第二内部电极通过第二连接电极16与第二外部电极18电连接。压电层叠体12的第一主面12a通过粘接剂与第一位移板接合。

另外，图4所示的方式为一个例子，第一压电振动元件8A的结构并不限定于上述结构。例如，虽然在本实施方式中，第一压电振动元件8A作为压电体而具有压电层叠体12，但是第一压电振动元件8A的压电体也可以是单层。不过，第一压电振动元件8A的压电体优选为压电层叠体12。由此，即使在施加了低的电压的情况下，也能够驱动振动装置1。图3所示的第二压电振动元件8B也具有与第一压电振动元件8A相同的结构，通过粘接剂与第二位移板7接合。

返回到图2以及图3，通过对第一压电振动元件8A施加交流电场，从而第一压电振动元件8A在面内方向上伸缩。与此相伴地，第一位移板6通过弯曲模式进行振动。同样地，伴随着第二压电振动元件8B的面内方向上的振动，第二位移板7通过弯曲模式进行振动。在本实施方式中，第一位移板6以及第二位移板7的振动相同。另外，在本说明书中，所谓振动相同，包含如下情况，即，振动大致相同到不使振动装置的特性大幅劣化的程度。

支承构件5、第一位移板6以及第二位移板7由适当的金属或合成树脂构成。支承构件5、第一位移板6以及第二位移板7优选由刚性以及防锈性均优异的不锈钢构成。由此，第一位移板6以及第二位移板7中的振动的强度不易下降。

在第一位移板6的第一主面6a侧以及第二位移板7的第一主面7a侧连接有质量附加构件9。更具体地，第一位移板6的自由端以及第二位移板7的自由端与质量附加构件9连接。另外，质量附加构件9只要与第一位移板6的自由端侧的部分以及第二位移板7的自由端侧的部分连接即可，未必一定要与第一位移板6以及第二位移板7的自由端连接。不过，质量附加构件9最好与第一位移板6以及第二位移板7的自由端连接。

质量附加构件9的形状没有特别限定，在本实施方式中为长方体。质量附加构件9由适当的金属、金属以及树脂的合成材料、或陶瓷等构成。优选地，质量附加构件9最好由质量附加作用高的钨等密度高的金属构成。由此，能够容易地促进振动装置1的小型化。

第一位移板6具有在俯视下与质量附加构件9重叠的第一区域A。第一区域A包含位于比第一位移板6的与质量附加构件9连接的部分靠第一边部分5a侧的部分。同样地，第二位移板7具有在俯视下与质量附加构件9重叠的第二区域B。第二区域B包含位于比第二位移板7的与质量附加构件9连接的部分靠第二边部分5b侧的部分。在俯视下，支承构件5的中心和质量附加构件9的重心重叠。

在本实施方式中，在质量附加构件9上设置有多个连接构件4。质量附加构件9通过各连接构件4与第一位移板6以及第二位移板7连接。

在本实施方式中，在第一位移板6以及第二位移板7的双方连接有质量附加构件9，且第一位移板6具有第一区域A，第二位移板7具有第二区域B。以下，通过对本实施方式和比较例进行比较，从而说明能够有效地促进振动装置1的小型化的理由。

图7是示出比较例的振动装置振动的样子的示意性侧视剖视图。

比较例的振动装置101具有弯曲为大致U字状的弹性板106。弹性板106具有平板状的第一弹性板部106a以及第二弹性板部106b。第一弹性板部106a和第二弹性板部106b通过弯曲连结部106c连接。在第一弹性板部106a的前端部连接有质量附加构件109。弹性板106容纳在封装件103。第二弹性板部106b固定在封装件103。

若振动装置101驱动，则如图7中的虚线所示，质量附加构件109进行振动，使得在以第一弹性板部106a连接于弯曲连结部106c的部分附近为中心的圆弧的轨道上进行往返。然而，比较例的振动装置101具有对振动几乎没有贡献的区域C以及区域D。因此，每单位体积的振动效率低，难以充分地小型化。

图8、图9是示出第一实施方式涉及的振动装置振动的样子的、相当于图2所示的剖面的示意性剖视图。

在图8中，第一位移板6以及第二位移板7向第一壳体部件2侧产生位移。在图9中，第一位移板6以及第二位移板7向第二壳体部件3侧产生位移。与比较例不同，在本实施方式中，第一位移板6以及第二位移板7的双方与质量附加构件9连接。由此，质量附加构件9进行振动，使得在连结第一壳体部件2和第二壳体部件3的方向上，在直线的轨道上进行往返。因而，在振动装置1中，在壳体内的大致整个区域中，第一位移板6、第二位移板7以及质量附加构件9进行振动。因此，能够增大振动强度，且能够有效地促进振动装置1的小型化。

可是，在振动装置1例如下落并与地面碰撞时，质量附加构件9会振动。在质量附加构件9向第二壳体部件3侧产生位移时，与第一位移板6的第一区域A以及第二位移板7的第二区域B碰撞，振动被减弱。像这样，第一位移板6以及第二位移板7作为制动器而发挥作用，能够抑制过度的振动。因而，振动装置1不易破损。

如图2以及图3所示，优选地，在俯视下，第一位移板6以及第二位移板7相对于支承构件5的中心配置为点对称。更优选地，在俯视下，支承构件5的中心和质量附加构件9的重心重叠。或者，优选地，在俯视下，第一位移板6以及第二位移板7以质量附加构件9的重心为对称点配置为点对称。由此，能够容易地控制质量附加构件9的振动的行为，能够使质量附加构件9更加可靠地在上述直线的轨道上振动。除此以外，能够将从振动装置产生的激振力更加高效地传递到外部。

优选地，像本实施方式那样，在从与支承构件5的第一边部分5a延伸的方向平行的方向观察时，第一位移板6以及第二位移板7重叠。另外，优选地，从上述方向观察，第一位移板6以及第二位移板7的双方与支承构件5的中心重叠。在该情况下，第一位移板6以及第二位移板7足够长。因而，能够增大振动的强度，能够有效地促进振动装置1的小型化。

质量附加构件9只要与第一位移板6的自由端侧的部分以及第二位移板7的自由端侧的部分的双方连接即可，未必一定要与上述各自由端连接。不过，通过质量附加构件9与第一位移板6的自由端以及第二位移板7的自由端连接，从而能够提高振动效率，能够有效地促进振动装置1的小型化。

作为参考，对具有以往的悬臂梁构造的振动装置中的质量附加构件的位移量与本实施方式中的质量附加构件的位移量的关系进行说明。图10是用于说明具有以往的悬臂梁构造的振动装置中的质量附加构件的位移量的示意性侧视图。在该振动装置中，位移板111通过悬臂梁支承。在该位移板111的下表面固定有质量附加构件112。在图10中，·以及虚线的ο示出重心的位置。现在，设位移板111从实线的状态至虚线所示的状态产生位移。在该情况下，质量附加构件的位移为d0，位移板111以及质量附加构件112的重心的上下方向上的位移量成为L1。

相对于此，在本实施方式的振动装置中，质量附加构件9像在图11用示意性侧视图示出的那样产生位移。在该情况下，在将质量附加构件9的重心的上下方向上的位移设为d0的情况下，上下方向上的位移量成为L2。

另外，在图10以及图11中，是得到上下方向上的驱动力的情况下的说明。驱动力与质量附加构件的质量和质量附加构件的重心的位移量成比例。对图10和图11进行比较可明确，L2<L1。因此，根据本实施方式，能够利用小的空间得到更大的驱动力。

此外，在第一位移板、第二位移板各自独立地设置有质量附加构件的构造中，各个质量附加构件的振动的定时有可能错开。在该情况下，驱动力被部分地抵消，不能得到大的驱动力。相对于此，在本实施方式中，一个质量附加构件9与第一位移板6以及第二位移板7连接，因此也不易产生这样的驱动力的抵消。

质量附加构件9的与第一位移板6以及第二位移板7连接的面具有位于支承构件5的第一边部分5a侧的第一端部9a以及位于第二边部分5b侧的第二端部9b。在振动装置1中，第一位移板6与包含第二端部9b的部分连接，第二位移板7与包含第一端部9a的部分连接。由此，在俯视下，能够增大质量附加构件9中的、质量附加构件9与第一位移板6以及第二位移板7重叠的部分的比例。因此，能够更进一步促进振动装置1的小型化。另外，质量附加构件9与第一位移板6以及第二位移板7连接的部分的位置并不限定于上述位置。

第一压电振动元件8A优选设置在第一位移板6的第二主面6b上。由此，在第一位移板6以及质量附加构件9向第二壳体部件3侧产生了位移时，第一位移板6和第一压电振动元件8A不易碰撞。因此，第一压电振动元件8A不易破损。另外，第一压电振动元件8A也可以通过设置在第一主面6a上，从而由第一位移板6以及第一压电振动元件8A构成单压电晶片型的振子。设置第二压电振动元件8B的位置也是同样的。

也可以在第一位移板6的第一主面6a以及第二主面6b这两个面设置有压电振动元件而构成双压电晶片(bimorph)型的振子。同样地，也可以在第二位移板7的第一主面7a以及第二主面7b这两个面设置有压电振动元件而构成双压电晶片型的振子。

在本实施方式中，如上所述，质量附加构件9通过多个连接构件4与第一位移板6以及第二位移板7连接。由此，第一位移板6以及第二位移板7具有隔着缝隙G与质量附加构件9对置的部分。更具体地，第一位移板6在第一区域A中的与质量附加构件9连接的部分以外与质量附加构件9对置。第二位移板7在第二区域B中的与质量附加构件9连接的部分以外与质量附加构件9对置。由此，能够增大质量附加构件9的第二壳体部件3侧的位移。因此，能够有效地增大振动的强度。

另外，也可以不在质量附加构件9上设置连接构件4，质量附加构件9也可以通过粘接剂等与第一位移板6以及第二位移板7连接。

优选地，像本实施方式那样，振动装置1具有由支承构件5、第一壳体部件2以及第二壳体部件3构成的壳体，在该壳体内容纳有第一位移板6、第二位移板7以及质量附加构件9。由此，第一位移板6、第二位移板7不易破损。

本实施方式的振动装置1作为多个位移板而具有第一位移板6以及第二位移板7。另外，振动装置1也可以具有第一位移板6以及第二位移板7以外的与质量附加构件9连接的位移板，可以具有三片以上的位移板。

图12是示出第二实施方式涉及的振动装置振动的样子的、相当于图2所示的剖面的示意性剖视图。图13是第二实施方式中的质量附加构件的立体图。

如图12所示，本实施方式与第一实施方式的不同点在于，未设置连接构件，且质量附加构件29的、第一位移板6以及第二位移板7侧的面的形状与第一实施方式。除上述的方面以外，本实施方式的振动装置具有与第一实施方式的振动装置1同样的结构。

在质量附加构件29的与第一位移板6对置的部分，设置有第一倾斜部29a。在质量附加构件29的与第二位移板7对置的部分设置有图13所示的第二倾斜部29b。

在此，在第一位移板6以及第二位移板7的自由端的部分向第二壳体部件3侧产生位移时，质量附加构件29向第一位移板6以及第二位移板7侧产生位移。在该方向上第一位移板6产生的位移最大时的、第一位移板6的与质量附加构件29对置的部分的形状和第一倾斜部29a的形状相同。同样地，在第二位移板7向第二壳体部件3侧产生的位移最大时的、第二位移板7的与质量附加构件29对置的部分的形状和第二倾斜部29b的形状相同。由此，能够更进一步增大质量附加构件29的第二壳体部件3侧的位移。因此，能够更进一步增大振动的强度。

质量附加构件29通过粘接剂与第一位移板6以及第二位移板7连接。另外，质量附加构件29也可以通过与第一实施方式同样的连接构件与第一位移板以及第二位移板连接。

在本实施方式中，也是在壳体内的大致整个区域中，第一位移板6、第二位移板7以及质量附加构件29进行振动。因此，能够有效地促进振动装置的小型化。

图14是在本发明的第三实施方式的振动装置中使用的质量附加构件的立体图，图15是该质量附加构件的侧视图。

质量附加构件29A具有如下的构造，即，第一位移板6以及第二位移板7侧的面的形状与在前述的第二实施方式中使用的质量附加构件29类似。

即，质量附加构件29A在与第一位移板6以及第二位移板7对置侧的面具有倾斜部29c、29d。倾斜部29c在质量附加构件29A的与第一位移板6对置的区域中倾斜为随着从连结第一边部分5a和第二边部分5b的方向中央侧接近第二边部分5b侧而向第一位移板6侧倾斜。同样地，第二倾斜部29d在质量附加构件29A与第二位移板7对置的区域中倾斜为随着从连结第一边部分5a和第二边部分5b的方向中央侧朝向第一边部分5a侧而接近第二位移板7。也可以将这样的第一倾斜部29c、第二倾斜部29d设置为从质量附加构件29A的平坦的主面向上方突出。在该情况下，第一倾斜部29c以及第二倾斜部29d以外的主面部分设为平坦的面。因此，质量附加构件29A与质量附加构件29相比，能够容易地制造。

接着，参照图17～图19，对具有窄宽度部的第四实施方式～第六实施方式的振动装置进行说明。

图16是第一实施方式的振动装置的示意性俯视图。在驱动了第一实施方式的振动装置的情况下，在图16的用箭头a～d示出的部分，有可能在图16的±x方向以及±y方向上施加应力。在第四实施方式～第六实施方式中，能够通过窄宽度部减弱由该应力造成的影响，能够更进一步提高振动效率。

另外，所谓图16的x方向，是第一边部分5a、第二边部分5b延伸的方向，y方向是第一位移板6、第二位移板7延伸的方向。

此外，z方向是图16的纸张正面-纸张背面方向。

在图17所示的第四实施方式的振动装置中，在第一边部分5a与第一位移板6之间连接有窄宽度部31。在第二边部分5b与第二位移板7之间也连接有窄宽度部31。

窄宽度部31具有第一部分31a、第二部分31b、以及第三部分31c。窄宽度部31的宽度方向尺寸小于第一位移板6的宽度。在此，所谓第一位移板6以及第二位移板7的宽度，是沿着上述x方向的尺寸，即，沿着第一边部分5a、第二边部分5b延伸的方向的尺寸。另一方面，所谓窄宽度部31的宽度，是与窄宽度部31延伸的方向正交的方向上的尺寸。第一部分31a以及第三部分31c在y方向上延伸。因此，沿着x方向的尺寸为宽度方向尺寸。另一方面，第二部分31b在x方向上延伸。因此，第二部分31b的宽度方向尺寸是沿着y方向的尺寸。

所谓窄宽度部31的宽度方向尺寸，是第一部分31a、第二部分31b以及第三部分31c的各宽度方向尺寸，均小于第一位移板6的宽度。同样地，窄宽度部31的宽度方向尺寸小于第二位移板7的宽度。

在第四实施方式中，窄宽度部31的宽度方向尺寸小于第一位移板6、第二位移板7的宽度，因此能够减弱施加于图16中用箭头a～d示出的部分的应力。即，窄宽度部31发挥像弹簧那样的应力减弱作用。因此，第一位移板6以及第二位移板7能够更高效地进行振动。因此，能够在振动装置中有效地提高振动效率。相反，在得到相同的振动的输出的情况下，能够谋求振动装置的小型化。

除此以外，即使在振动装置下落而从外部施加了机械冲击的情况下，上述窄宽度部31也能够作为弹簧而发挥作用，从而减弱所施加的应力。因此，还能够提高振动装置的耐冲击性。

在窄宽度部31中，第一部分31a位于包含第一位移板6、第二位移板7的x方向即宽度方向端部的位置。而且，第二部分31b从与第一部分31a相连的部分起与x方向，即，第一边部分5a、第二边部分5b延伸的方向平行地延伸，且在x方向上向与第一部分31a相反侧延伸。而且，在y方向上观察时，第二部分31b和第三部分31c相连的部分包含第一位移板6或第二位移板7的沿着x方向的端部。因此，在窄宽度部31中，在不导致沿着y方向的尺寸的增大的情况下充分体现应力的减弱作用。

图18是用于说明第五实施方式的振动装置中的第一位移板6、第一边部分5a、以及窄宽度部32的部分切割俯视图。窄宽度部32具有第一部分32a、第二部分32b、以及多个第三部分32c。第一部分32a从与第一位移板6连接的部分朝向第一边部分5a侧延伸。第一部分32a的宽度，即，沿着第一边部分5a延伸的方向的尺寸小于第一位移板6的宽度。第一部分32a在第一位移板6的第一边部分5a侧的端部与第一位移板6的宽度方向中央相连。

另一方面，第二部分32b与第一部分32a的与第一位移板6相连的部分相反侧的端部相连。第二部分32b在第一边部分5a延伸的方向上延伸。在第二部分32b的第一边部分5a延伸的方向上的一端连接有一个第三部分32c，在另一端连接有另一个第三部分32c。第三部分32c、32c在第一位移板6延伸的方向上延伸，且与第一边部分5a连接。

像第五实施方式那样，窄宽度部32也可以具有多个与第一边部分5a连接的部分。

另外，虽然在第五实施方式中，设置有多个第三部分，但是也可以是，将第一部分32a和第三部分32c对调，从而多个第一部分32a与第一位移板6连接并设置有多个连接部分，还可以是，第三部分32c为单个，第三部分32c通过一个连接部分与第一边部分5a连接。总之，只要窄宽度部32和第一位移板6的连接部分以及窄宽度部32和第一边部分5a的连接部分中的一者为多个，且任一连接部分都不在第一位移板6延伸的方向上重叠即可。在该情况下，能够有效地提高振动效率。

另外，虽然在图18中对第一位移板6进行了说明，但是在第二位移板侧也设置有同样的构造。

在第四实施方式以及第五实施方式中，窄宽度部31、32的与第一位移板6的连接部分和窄宽度部31、32的与第一边部分5a的连接部分在图17的y方向，即，第一位移板6延伸的方向上不重叠。同样地，窄宽度部31、32与第二位移板7的连接部分和窄宽度部31、32与第二边部分5b的连接部分在y方向上不重叠。因此，能够有效地提高振动效率。

进而，在第四实施方式、第五实施方式中，窄宽度部31、32具有与第一边部分5a、第二边部分5b平行地延伸的第二部分31b、32b，因此，由此也能够有效地提高振动效率。

图19是示出第六实施方式涉及的振动装置中的第一位移板、第一边部分、以及窄宽度部的部分切割俯视图。

窄宽度部33在第一位移板6延伸的方向上延伸，一端与第一位移板6连接，另一端与第一边部分5a连接。关于窄宽度部33，其宽度，即，沿着第一边部分5a延伸的方向的尺寸小于第一位移板6的宽度。像这样，也可以使用Y型的窄宽度部33。在该情况下，也能够减弱施加于图16所示的用箭头a～d示出的部分的应力，能够提高振动效率。

图20是用于说明第七实施方式的振动装置的主要部分的示意性俯视图。在第七实施方式中，在第一边部分5a与第一位移板6之间连接有窄宽度部41。在第二边部分5b与第二位移板7之间也连接有窄宽度部41。窄宽度部41具有第一部分41a～第五部分41e。与窄宽度部31同样地，窄宽度部41的宽度方向尺寸小于第一位移板6的宽度、第二位移板7的宽度。

另外，第一位移板6以及第二位移板7的宽度是前述的沿着x方向的尺寸，即，沿着第一边部分5a、第二边部分5b延伸的方向的尺寸。此外，窄宽度部41的宽度是与窄宽度部41延伸的方向正交的方向上的尺寸。

与前述的窄宽度部31同样地，窄宽度部41的第一部分41a～第五部分41e的宽度方向尺寸小于第一位移板6、第二位移板7的宽度。

在第一位移板6与第一边部分5a之间，第一部分41a与第一边部分5a相连。第二部分41b与第一部分41a的前端侧相连。第二部分41b与第一边部分5a延伸的方向平行地延伸。同样地，第四部分41d也与第一边部分5a平行地延伸。第二部分41b和第四部分41d通过在连结第一边部分5a、第二边部分5b的方向上延伸的第三部分41c相连。

第四部分41d的前端相对于第一位移板6通过第五部分41e连结。第五部分41e在连结第一边部分5a和第二边部分5b的方向上延伸。

根据第七实施方式可明确，在设置窄宽度部的情况下，也可以是将沿着对第一边部分5a、第二边部分5b之间进行连结的方向的部分和在与第一边部分5a正交的方向上延伸的部分重复了多次的形状。

图21是示出第八实施方式涉及的振动装置的主要部分的示意性俯视图。在本实施方式中，窄宽度部51具有沿着图21的y方向的第一部分51a、在x方向上延伸的第二部分51b、在y方向上延伸的第三部分51c、在x方向上延伸的第四部分51d、以及在y方向上延伸的第五部分51e。而且，第三部分51c在y方向上延伸，使得从第一位移板6返回到第一边部分5a侧。在第二位移板7侧，第三部分51c也从第二位移板7侧朝向第二边部分5b侧延伸。像这样，在y方向上延伸的部分也可以向从第一位移板6、第二位移板7远离的方向在y方向上延伸。

图22是用于说明参考例涉及的振动装置的主要部分的示意性俯视图。支承构件5具有连结第一边部分5a以及第二边部分5b的第三边部分5c以及第四边部分5d。第一位移板6经由窄宽度部61与作为第三边部分5c的一部分的连结部5c1连结。因此，第一位移板6经由窄宽度部61以及连结部51c1与第一边部分5a连结。第二位移板7也经由窄宽度部61以及作为第四边部分5d的一部分的连结部5d1与第二边部分5b连结。像这样，第一位移板6以及第二位移板7也可以间接地与第一边部分5a以及第二边部分5b连结。

图23是用于说明第九实施方式涉及的振动装置的主要部分的示意性俯视图。在第一位移板6以及第二位移板7分别设置有缺口71。第一位移板6以及第二位移板7分别具有一对侧面6c、6d、7c、7d。侧面6c、6d在连结第一边部分5a和第二边部分5b的方向上延伸。侧面7c、7d也在连结第一边部分5a和第二边部分5b的方向上延伸。在第一位移板6中，缺口71设置为朝向侧面6c开放。在第二位移板7中，缺口71设置为朝向侧面7d开放。像这样，也可以在第一位移板6以及第二位移板7的一部分设置向一个侧面开放的缺口71。

在第一位移板6以及第二位移板7中，上述缺口71也可以分别设置有多个。此外，缺口71可以设置在侧面6c以及6d中的任一侧，也可以在两个侧面6c、6d设置缺口。在第二位移板7中，缺口71也可以设置在侧面7c以及侧面7d的双方。

在本发明涉及的振动装置中，优选地，所述第一位移板中的、位于比与所述质量附加构件连接的部分靠所述第一边部分侧的部分的至少一部分在俯视下与所述质量附加构件重叠，所述第二位移板中的、位于比与所述质量附加构件连接的部分靠所述第二边部分侧的部分的至少一部分在俯视下与所述质量附加构件重叠。

在本发明中，优选地，在从与所述支承构件的所述第一边部分延伸的方向平行的方向观察时，所述第一位移板以及所述第二位移板重叠。在该情况下，第一位移板以及第二位移板足够长。因而，能够增大由压电振动元件造成的第一位移板以及第二位移板的弯曲行为，即，能够增大振动装置的产生振动强度，能够更进一步促进振动装置的小型化。

在本发明涉及的振动装置中，也可以是，在所述第一位移板的所述自由端以及所述第二位移板的所述自由端连接有所述质量附加构件。在该情况下，能够提高振动效率，能够更进一步促进小型化。

在本发明涉及的振动装置中，优选地，所述质量附加构件的与所述第一位移板以及所述第二位移板连接的面具有位于所述支承构件的所述第一边部分侧的第一端部以及位于所述第二边部分侧的第二端部，所述第一位移板与包含所述第二端部的一部分的部分连接，所述第二位移板与包含所述第一端部的一部分的部分连接。在该情况下，能够增大在俯视下质量附加构件中的、质量附加构件与第一位移板以及第二位移板重叠的部分的比例。因此，能够更进一步促进振动装置的小型化。

在本发明涉及的振动装置中，也可以是，在俯视下，所述第一位移板以及所述第二位移板以所述质量附加构件的重心为对称点配置为点对称。在该情况下，能够使从振动装置产生的激振力高效地向外部传递。

在本发明涉及的振动装置中，优选地，在所述第一位移板、所述第二位移板中，在将所述第一边部分以及所述第二边部分延伸的方向上的尺寸设为宽度时，在所述第一位移板与所述第一边部分之间以及所述第二位移板与所述第二边部分之间，连接有宽度比第一位移板、第二位移板的宽度窄的窄宽度部。在该情况下，能够更进一步提高振动效率。

在本发明涉及的振动装置中，优选地，在从与所述第一边部分延伸的方向正交的方向观察时，所述窄宽度部和所述第一位移板连接的部分与所述窄宽度部和所述第二边部分连接的部分不重叠，所述窄宽度部和所述第二位移板连接的部分与所述窄宽度部和所述第一边部分连接的部分不重叠。在该情况下，能够更加有效地提高振动效率。

在本发明涉及的振动装置中，优选地，所述窄宽度部和所述第一位移板连接的部分、以及所述窄宽度部和所述第一边部分连接的部分中的一者具有多个连接部分，所述窄宽度部和所述第二位移板连接的部分、以及所述窄宽度部和所述第二边部分连接的部分中的一者具有多个连接部分，在从所述第一位移板、所述第二位移板延伸的方向观察时，任一连接部分都不重叠，所述第一位移板、所述第二位移板延伸的方向是与所述第一边部分、所述第二边部分延伸的方向正交的方向。在该情况下，能够更加有效地提高振动效率。

在本发明涉及的振动装置中，也可以是，所述窄宽度部具有与所述第一边部分以及所述第二边部分平行地延伸的部分。在该情况下，能够进一步提高振动效率。

在本发明涉及的振动装置中，也可以是所述窄宽度部与所述第一位移板的连接部包含所述第一位移板的第一边部分延伸的方向上的端部，所述窄宽度部与所述第二位移板的连接部包含所述第二位移板的第二边部分延伸的方向上的端部。在该情况下，能够更加有效地提高振动效率。

在本发明涉及的振动装置中，优选地，所述窄宽度部具有：第一部分，与所述第一位移板、所述第二位移板的宽度方向端部相连，在所述第一位移板、所述第二位移板延伸的方向上延伸；第二部分，与所述第一部分的与连接于所述第一位移板、所述第二位移板的部分相反侧的端部相连，在所述第一边部分、所述第二边部分延伸的方向上延伸；以及第三部分，在所述第二部分的与和所述第一部分相连侧相反侧的端部处，与所述第二部分相连，在所述第一位移板或所述第二位移板延伸的方向上延伸，并与所述第一边部分或所述第二边部分相连。在该情况下，能够更加有效地提高振动效率。

在本发明涉及的振动装置中，优选地，所述第一位移板、所述第二位移板分别具有在与所述第一边部分以及所述第二边部分延伸的方向正交的方向上延伸的一对侧面，在所述第一位移板、所述第二位移板设置有向所述第一位移板、所述第二位移板的一个侧面开放的缺口。

在本发明涉及的振动装置中，优选地，所述第一位移板、所述第二位移板以及所述支承构件为一体。在该情况下，不是进行种类不同的材料内的传递，而是能够进行相同材料内的振动传递，因此能够提高振动的传播效率。除此以外，不易产生第一位移板被支承构件支承的部分以及第二位移板被支承构件支承的部分的疲劳破坏等破损。

在本发明涉及的振动装置中，也可以是，所述第一位移板、所述第二位移板、所述窄宽度部以及所述支承构件为一体。

在本发明涉及的振动装置中，优选地，所述第一位移板以及所述第二位移板分别具有相互对置的第一主面以及第二主面，在所述第一位移板的所述第一主面侧以及所述第二位移板的所述第一主面侧连接有所述质量附加构件，在所述第一位移板的所述第二主面上以及所述第二位移板的所述第二主面上分别设置有所述第一压电振动元件、所述第二压电振动元件。在该情况下，第一位移板以及第二位移板和各压电振动元件不易碰撞。因而，压电振动元件不易破损。

在本发明涉及的振动装置中，优选地，在所述质量附加构件上设置有多个连接构件，所述质量附加构件通过所述多个连接构件与所述第一位移板以及所述第二位移板连接，所述第一位移板以及所述第二位移板具有隔着缝隙与所述质量附加构件对置的部分。在该情况下，能够增大质量附加构件的位移，能够有效地提高振动效率。

在本发明涉及的振动装置中，优选地，所述第一位移板产生的位移最大而使得所述质量附加构件向所述第一位移板侧以及所述第二位移板侧产生位移时的、所述第一位移板的与所述质量附加构件对置的部分的形状和所述质量附加构件的与所述第一位移板对置的部分的形状相同，所述第二位移板产生的位移最大而使得所述质量附加构件向所述第一位移板侧以及所述第二位移板侧产生位移时的、所述第二位移板的与所述质量附加构件对置的部分的形状和所述质量附加构件的与所述第二位移板对置的部分的形状相同。在该情况下，能够增大质量附加构件的位移，能够有效地提高振动效率。

在本发明涉及的振动装置中，优选地，在所述质量附加构件的所述第一位移板、所述第二位移板侧的主面中，在与所述第一位移板对置的区域中，设置有第一倾斜部，所述第一倾斜部倾斜为随着从连结所述第一边部分和所述第二边部分的方向中央侧接近所述第二边部分侧而朝向所述第一位移板侧，在与所述第二位移板对置的区域中，设置有第二倾斜部，所述第二倾斜部倾斜为随着从连结所述第一边部分和所述第二边部分的方向中央侧朝向所述第一边部分侧而接近所述第二位移板侧。

在本发明涉及的振动装置中，优选地，还具备第一壳体部件以及第二壳体部件，在所述第一壳体部件与所述第二壳体部件之间配置有所述支承构件，在由所述第一壳体部件、所述第二壳体部件以及所述支承构件构成的壳体内，容纳有所述第一位移板、所述第二位移板以及所述质量附加构件。在该情况下，第一位移板、第二位移板等不易破损。

附图标记说明

1：振动装置；

2、3：第一壳体部件、第二壳体部件；

4：连接构件；

5：支承构件；

5a、5b：第一边部分、第二边部分；

6：第一位移板；

6a、6b：第一主面、第二主面；

7：第二位移板；

7a、7b：第一主面、第二主面；

8A、8B：第一压电振动元件、第二压电振动元件；

9：质量附加构件；

9a、9b：第一端部、第二端部；

12：压电层叠体；

12a、12b：第一主面、第二主面；

12c：侧面；

13、14：第一内部电极、第二内部电极；

15、16：第一连接电极、第二连接电极；

17、18：第一外部电极、第二外部电极；

29、29A：质量附加构件；

29a、29b：第一倾斜部、第二倾斜部；

29c、29d：倾斜部；

31、32、33：窄宽度部；

31a、32a：第一部分；

31b、32b：第二部分；

31c、32c：第三部分；

41、51、61：窄宽度部；

41a～41e、51a～51e：第一部分～第五部分；

71：缺口；

101：振动装置；

103：封装件；

106：弹性板；

106a、106b：第一弹性板部、第二弹性板部；

106c：弯曲连结部；

109：质量附加构件；

111：位移板；

112：质量附加构件。

Claims (18)

1.一种振动装置，具备：

支承构件，具有相互对置的第一边部分以及第二边部分；

第一位移板，支承在所述支承构件的所述第一边部分，使得具有自由端，并向所述第二边部分侧延伸；

第二位移板，支承在所述支承构件的所述第二边部分，使得具有自由端，并向所述第一边部分侧延伸；

第一压电振动元件、第二压电振动元件，分别设置在所述第一位移板上以及所述第二位移板上；以及

质量附加构件，与所述第一位移板中的所述自由端侧的部分以及所述第二位移板中的所述自由端侧的部分的双方连接，

所述第一位移板中的、位于比与所述质量附加构件连接的部分靠所述第一边部分侧的部分的至少一部分在俯视下与所述质量附加构件重叠，

所述第二位移板中的、位于比与所述质量附加构件连接的部分靠所述第二边部分侧的部分的至少一部分在俯视下与所述质量附加构件重叠，

所述第一位移板以及所述第二位移板分别具有相互对置的第一主面以及第二主面，

在所述第一位移板的所述第一主面侧以及所述第二位移板的所述第一主面侧连接有所述质量附加构件，

在所述第一位移板的所述第二主面上以及所述第二位移板的所述第二主面上分别设置有所述第一压电振动元件、所述第二压电振动元件，

所述第一位移板和所述第二位移板连接于所述质量附加构件的一个面。

2.根据权利要求1所述的振动装置，其中，

在从与所述支承构件的所述第一边部分延伸的方向平行的方向观察时，所述第一位移板以及所述第二位移板重叠。

3.根据权利要求1或2所述的振动装置，其中，

在所述第一位移板的所述自由端以及所述第二位移板的所述自由端连接有所述质量附加构件。

4.根据权利要求1或2所述的振动装置，其中，

所述质量附加构件的与所述第一位移板以及所述第二位移板连接的面具有位于所述支承构件的所述第一边部分侧的第一端部以及位于所述第二边部分侧的第二端部，

所述第一位移板与包含所述第二端部的一部分的部分连接，所述第二位移板与包含所述第一端部的一部分的部分连接。

5.根据权利要求1或2所述的振动装置，其中，

在俯视下，所述第一位移板以及所述第二位移板以所述质量附加构件的重心为对称点配置为点对称。

6.根据权利要求1或2所述的振动装置，其中，

在所述第一位移板、所述第二位移板中，在将所述第一边部分以及所述第二边部分延伸的方向上的尺寸设为宽度时，

在所述第一位移板与所述第一边部分之间以及所述第二位移板与所述第二边部分之间，连接有宽度比第一位移板、第二位移板的宽度窄的窄宽度部。

7.根据权利要求6所述的振动装置，其中，

在从与所述第一边部分延伸的方向正交的方向观察时，

所述窄宽度部和所述第一位移板连接的部分与所述窄宽度部和所述第一边部分连接的部分不重叠，

所述窄宽度部和所述第二位移板连接的部分与所述窄宽度部和所述第二边部分连接的部分不重叠。

8.根据权利要求7所述的振动装置，其中，

所述窄宽度部和所述第一位移板连接的部分、以及所述窄宽度部和所述第一边部分连接的部分中的一者具有多个连接部分，

所述窄宽度部和所述第二位移板连接的部分、以及所述窄宽度部和所述第二边部分连接的部分中的一者具有多个连接部分，

在从所述第一位移板、所述第二位移板延伸的方向观察时，任一连接部分都不重叠，所述第一位移板、所述第二位移板延伸的方向是与所述第一边部分、所述第二边部分延伸的方向正交的方向。

9.根据权利要求6所述的振动装置，其中，

所述窄宽度部具有与所述第一边部分以及所述第二边部分平行地延伸的部分。

10.根据权利要求6所述的振动装置，其中，

所述窄宽度部与所述第一位移板的连接部包含所述第一位移板的第一边部分延伸的方向上的端部，

所述窄宽度部与所述第二位移板的连接部包含所述第二位移板的第二边部分延伸的方向上的端部。

11.根据权利要求6所述的振动装置，其中，

所述窄宽度部具有：

第一部分，与所述第一位移板、所述第二位移板的宽度方向端部相连，在所述第一位移板、所述第二位移板延伸的方向上延伸；

第二部分，与所述第一部分的与连接于所述第一位移板、所述第二位移板的部分相反侧的端部相连，在所述第一边部分、所述第二边部分延伸的方向上延伸；以及

第三部分，在所述第二部分的与和所述第一部分相连侧相反侧的端部处，与所述第二部分相连，在所述第一位移板或所述第二位移板延伸的方向上延伸，并与所述第一边部分或所述第二边部分相连。

12.根据权利要求1或2所述的振动装置，其中，

所述第一位移板、所述第二位移板分别具有在与所述第一边部分以及所述第二边部分延伸的方向正交的方向上延伸的一对侧面，在所述第一位移板、所述第二位移板设置有向所述第一位移板、所述第二位移板的一个侧面开放的缺口。

13.根据权利要求1或2所述的振动装置，其中，

所述第一位移板、所述第二位移板以及所述支承构件为一体。

14.根据权利要求6所述的振动装置，其中，

所述第一位移板、所述第二位移板、所述窄宽度部以及所述支承构件为一体。

15.根据权利要求1或2所述的振动装置，其中，

在所述质量附加构件上设置有多个连接构件，

所述质量附加构件通过所述多个连接构件与所述第一位移板以及所述第二位移板连接，

所述第一位移板以及所述第二位移板具有隔着缝隙与所述质量附加构件对置的部分。

16.根据权利要求1或2所述的振动装置，其中，

所述第一位移板产生的位移最大而使得所述质量附加构件向所述第一位移板侧以及所述第二位移板侧产生位移时的、所述第一位移板的与所述质量附加构件对置的部分的形状和所述质量附加构件的与所述第一位移板对置的部分的形状相同，

所述第二位移板产生的位移最大而使得所述质量附加构件向所述第一位移板侧以及所述第二位移板侧产生位移时的、所述第二位移板的与所述质量附加构件对置的部分的形状和所述质量附加构件的与所述第二位移板对置的部分的形状相同。

17.根据权利要求1或2所述的振动装置，其中，

在所述质量附加构件的所述第一位移板、所述第二位移板侧的主面中，

在与所述第一位移板对置的区域中，设置有第一倾斜部，所述第一倾斜部倾斜为随着从连结所述第一边部分和所述第二边部分的方向中央侧接近所述第二边部分侧而朝向所述第一位移板侧，

在与所述第二位移板对置的区域中，设置有第二倾斜部，所述第二倾斜部倾斜为随着从连结所述第一边部分和所述第二边部分的方向中央侧朝向所述第一边部分侧而接近所述第二位移板侧。

18.根据权利要求1或2所述的振动装置，其中，

还具备第一壳体部件以及第二壳体部件，

在所述第一壳体部件与所述第二壳体部件之间配置有所述支承构件，

在由所述第一壳体部件、所述第二壳体部件以及所述支承构件构成的壳体内，容纳有所述第一位移板、所述第二位移板以及所述质量附加构件。

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