CN110953153A - 干式初级真空泵和控制吹扫气体的喷射的方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及干式初级真空泵(1)，它包括：‑串联安装在真空泵的吸入口(3)和排出口(4)之间的至少两个泵送级(2a‑2e)；‑在泵送级中延伸的两个转子(5)，这些转子构造成沿相反方向同步旋转以在吸入口与排出口之间驱动待泵送的气体；‑构造成在至少一个泵送级中分配吹扫气体的喷射装置(9)，该喷射装置包括至少一个喷射构件(12a‑12e)、和旨在插置于吹扫气体供应源与至少一个喷射构件之间的至少一个具有开闭控制的喷射阀(13；16a‑16e)，其特征在于，该真空泵还包括控制装置(10)，该控制装置构造成控制至少一个喷射阀的打开和关闭以通过连续脉冲将吹扫气体喷射到至少一个泵送级中。本发明还涉及用于控制这种真空泵中的吹扫气体的喷射的方法。

Description

干式初级真空泵和控制吹扫气体的喷射的方法
技术领域
本发明涉及一种干式如“罗茨”或“爪”或螺杆型的初级真空泵。本发明还涉及一种用于控制在这种真空泵中喷射(注射)吹扫气体的方法。
背景技术
干式初级真空泵包括多个串联的泵级，要在抽吸端与排出端之间泵送的气体在其中循环。在已知的初级真空泵中，存在具有旋转叶片的真空泵—也称为“罗茨”泵，或具有喙部的泵—也称为“爪”式泵，或甚至具有螺杆的泵。这些真空泵被称为“干式”，因为在操作中，转子在定子内部旋转而这些转子之间或它们与定子之间没有机械接触，这使得可以在泵送级中不使用油。
一些初级真空泵用于使用产生呈粉末、膏团或碎片形式的固体副产物的化学物质的方法中。例如，对于用于制造半导体、光伏屏幕、平板屏幕或LED的某些方法就是这种情况。这些固体副产物可以被真空泵吸入并且可以影响其操作，特别是通过妨碍转子的旋转，甚至在最坏的情况下完全阻止转子的旋转。
为避免这种情况，已知几种解决方案。
例如，通过在泵入口处安装粉末捕集器来保护真空泵。这些捕集器例如由粉末分离器组成，粉末分离器通过重力或离心力保持固体化合物。
所采用的另一种方法包括调整真空泵的几何形状以便于抽出固体副产物，例如，通过增大传输通道的直径或通过竖直地布置泵送级。
此外，除了稀释所泵送的气体之外，吹扫气体向真空泵中的喷射也参与了固体副产物的抽出。为此，通常在每个泵送级通过按着真空泵分布的喷嘴来喷射氮气或空气。该吹扫气体可参与固体粉末的气动输送。
然而，在一些情况下，这些解决方案可能是不合适的，因为固体副产物的性质可能使后者牢固地粘附在壁上，并且于是更难以将它们抽出。
发明内容
本发明的一个目的是至少部分地解决现有技术的上述缺点。
为此，本发明的主题是一种干式初级真空泵，它包括：
-至少两个泵送级，它们串联安装在真空泵的吸入口与排出口之间，
-两个转子，它们在泵送级中延伸，这些转子构造成沿相反的方向同步旋转以便在吸入口与排出口之间驱动待泵送的气体，
-喷射装置，它构造成将吹扫气体分配到至少一个泵送级中，该喷射装置包括：
o至少一个喷射构件，和
o至少一个具有开闭控制的喷射阀，它旨在插置于吹扫气体供应源与所述至少一个喷射构件之间，
其特征在于，该真空泵还包括控制装置，该控制装置配置成控制所述至少一个喷射阀的打开和关闭，以便通过相继的(连续的)脉冲(以相继的脉冲的形式)将吹扫气体喷射到至少一个泵送级中。
所述至少一个喷射阀的打开/关闭控制可以使吹扫气体的喷射脉冲化，从而使喷射(或脉冲)阶段与不喷射或较小流量喷射的阶段交替。
这种脉冲化的流量喷射模式—也就是通过一系列脉冲—使得可以在喷射时产生波前(波前锋)，从而允许固体副产物的分离，这比连续喷射吹扫气体更有效。
此外，吹扫气体的脉冲流动喷射使得能保持与吹扫气体的常规、连续的喷射相同数量级的喷射吹扫气体流量的平均值。
所述至少一个喷射阀的开闭控制使得可以产生控制脉冲，该控制脉冲使得可以通过相继的脉冲确保喷射，其中上升边缘具有陡峭的斜率，其对于固体副产物的分离更有效。吹扫气体流量的上升边缘的斜率在脉冲时例如大于100slm/s。
喷射构件如计量孔(也称为喷射喷嘴)、喷射喷嘴或流量(或“质量流量”)控制器构造成将泵送级中的吹扫气体的流量限制为例如低于200slm(或338Pa.m3/s)的值。
所述至少一个可控喷射阀例如是螺线管阀，例如电磁或压电式螺线管阀。该阀具有开闭控制：要么打开，要么关闭。
可以根据待抽出的副产物的性质来调节脉冲的频率和持续时间。因此，可以根据所寻求的效果将脉冲间隔开或成倍增加其数量。
频率(打开/关闭率)、持续时间、占空比(打开时间/关闭时间)和吹扫气体脉冲的振幅可以是用户可以借助于控制装置的接口设置的参数。
通过脉冲喷射的吹扫气流例如在10slm(或17Pa.m3/s)和120slm(或202Pa.m3/s)之间，例如100slm(或169Pa.m3/s)。
脉冲的频率例如在0.1Hz和5Hz之间，例如0.5Hz，也就是说每两秒打开一次。
占空比可以在1％到80％之间。例如，它是50％。
喷射阀的打开时间/关闭时间例如在1％到80％之间，例如在40％到80％之间。
吹扫气体喷射脉冲的持续时间例如为约一秒，并且喷射阀的关闭时间例如为约一秒。
根据一个示例性实施例，喷射装置包括：
-分配歧管，它构造成在泵送级中分配吹扫气体，
-用于每个泵送级的喷射构件，它插置在分配歧管与相应的泵送级之间。
根据一个示例性实施例，喷射阀布置在分配歧管的由泵送级共用的分支上。
根据一个示例性实施例，喷射装置包括用于每个泵送级的喷射阀，这些喷射阀布置在适于在相应的泵送级中分配吹扫气的分配歧管的相应旁路上。
根据一个示例性实施例，真空泵还包括附加喷射装置，该附加喷射装置包括：
-用于在泵送级中分配吹扫气体的分配歧管，
–插置在分配歧管与相应的泵送级之间的用于每个泵送级的喷射构件，
-可控制的连续喷射阀，它布置在分配歧管的由泵送级共用的分支上，该控制装置还配置成控制所述至少一个连续喷射阀的打开(开度)以将吹扫气体连续地喷射到泵送级中。
本发明的另一主题是一种用于控制吹扫气体向如前所述的干式初级真空泵中的喷射的方法，其特征在于，控制所述至少一个喷射阀的打开，以便通过相继的脉冲(以相继的脉冲的形式)将吹扫气体喷射到至少一个泵送级中。
根据该控制方法的一个示例性实施例，至少两个泵送级中的至少两个吹扫气体脉冲的持续时间是不同的。
根据该控制方法的一个示例性实施例，通过在打开模式下连续地控制至少一个喷射阀，还向至少一个泵送级中喷射连续的吹扫气体流。
根据该控制方法的一个示例性实施例，还控制所述至少一个连续喷射阀的打开，以便在每个泵送级中连续地喷射吹扫气体。
根据该控制方法的一个示例性实施例，使喷射阀的控制同步以将吹扫气体脉冲错开地喷射到至少两个泵送级中。
根据该控制方法的一个示例性实施例，使吹扫气体脉冲的错开同步以便在从真空泵的吸入口到排出口的气体流动方向上相继地打开泵送级中的喷射阀。
根据该控制方法的另一示例性实施例，使吹扫气体脉冲的错开同步，以便在从真空泵的排出口到吸入口的气体流动方向上相继地打开泵送级中的喷射阀。因此，人为地产生气态波前，该波前在与泵送气体流动相反的方向上移动，使得可以逐渐地抽出副产品，从最后一个开始，然后是倒数第二个，依此类推，这使得可以避免该副产品累积在泵送级之间或通常布置在排出口之后的消音器中。
附图说明
在阅读本发明的描述和附图时，其它优点和特征将显现，在附图中：
图1示出了干式初级真空泵的第一示例性实施例的高度示意图。
图2示出了喷射到图1的真空泵的泵送级中的吹扫气体脉冲随时间变化的曲线图。
图3示出了第二示例性实施例的类似于图1的视图。
图4示出了第三示例性实施例的类似于图1的视图。
在这些图中，相同的元件具有相同的附图标记。简化了附图以简化其理解。
具体实施方式
下面的实施例是示例。尽管描述涉及一个或多个实施例，但这并不一定意味着每次参考都涉及同一实施例，或者特征仅适用于单个实施例。不同实施例的简单特征也可以组合或互换以提供其它实施例。
初级真空泵被定义为容积式真空泵，它吸入、转移然后抽出待泵送的气体。在常规使用中，初级真空泵构造成能在环境压力下排出待泵送气体。
图1示出了干式初级真空泵1的第一示例性实施例。
该真空泵1包括至少两个泵送级2a-2e，它们串联安装在吸入口3与排出口4之间，待泵送气体可以在其中循环(泵送气体的循环方向由图1中的箭头示出)。
在该说明性示例中，真空泵1包括五个泵送级2a、2b、2c、2d、2e。每个泵送级2a-2e包括各自的入口和出口。相继的泵送级2a-2e通过将前一泵送级的出口联接到下一级的入口的相应级间通道先后串联联接。
真空泵1还包括在泵送级2a-2e中延伸的两个转子5。
转子5例如具有相同轮廓的凸叶，这些凸叶成角度地错开，例如属于“罗茨”型，具有“8”或“豆荚”形式的截面，或者是“爪”型或螺旋型或基于容积式真空泵的其他类似原理。
转子5构造成以相反的方向同步旋转，以便在真空泵1的抽吸口3和排出口4之间驱动待泵送气体。在旋转过程中，从入口吸入的气体被捕获在由泵送级2a-2e的转子5和定子产生的体积中，然后由转子5驱动到下一级。
转子5由真空泵1的马达M驱动而旋转。
真空泵1还包括构造成将吹扫气体如惰性气体、例如空气或氮气分配到至少一个泵送级2a-2e中的喷射装置9以及配置成控制该喷射装置9的控制装置10。
喷射装置9包括至少一个喷射构件12a-12e和至少一个可控制的喷射阀13。
喷射构件12a-12e—例如计量孔(也称为喷雾喷嘴)、喷射喷嘴或例如流速(或“质量流量”)控制器—构造成将泵送级2a-2e中的吹扫气体的流速限制为例如低于200slm(或338Pa.m3/s)的值。
所述至少一个可控制的喷射阀13例如是螺线管阀，例如电磁或压电式螺线管阀。该阀具有开闭控制：它要么打开，要么关闭。这些阀具有简单、不笨重和便宜的优点。所述至少一个喷射阀13插置在吹扫气体供应源与所述至少一个喷射构件12a-12e之间。
控制装置10包括一个或更多个控制器或微控制器或处理器和存储器，以执行用于实施控制吹扫气体向真空泵1中的喷射方法的一系列程序指令，其中控制所述至少一个喷射阀13打开和关闭以便通过连续的脉冲P将吹扫气体喷射至少一个泵送级2a-2e中(图2)。
所述至少一个喷射阀13的打开/关闭控制可以使吹扫气体的喷射脉冲化，从而使喷射(或脉冲)阶段与不进行喷射或进行较小流量喷射的阶段相交替。
这种脉冲化的—也就是通过脉冲序列—流量喷射模式使得可以在喷射时产生波前，从而允许固体副产物的分离，这比连续的吹扫气体喷射更有效。
此外，吹扫气体的脉冲化喷射使得能够保持与吹扫气体的常规连续喷射相同数量级的喷射吹扫气体流量的平均值。
所述至少一个喷射阀13的开闭控制可以产生控制脉冲，该控制脉冲可以通过连续的脉冲确保喷射，其中上升边缘具有对固体副产物的分离更有效的强斜率。吹扫气体流量的上升边缘在脉冲时的斜率例如大于100slm/s。
控制装置10例如嵌入真空泵1中。
可以根据待抽出的副产物的性质来调节脉冲的频率和持续时间。因此，可以根据所寻求的效果将脉冲间隔开或成倍增加其数量。
频率(打开/关闭速率)、持续时间、占空比(打开时间/关闭时间)和吹扫气体脉冲的波幅可以是能被用户借助于控制装置10的接口设定的参数。
通过脉冲喷射的吹扫气流量例如处于10slm(或17Pa.m3/s)到120slm(或202Pa.m3/s)之间，例如为100slm(或169Pa.m3/s)。
脉冲的频率例如处于0.1Hz到5Hz之间，例如为0.5Hz，也就是说每两秒打开一次。
占空比(喷射阀的打开时间/关闭时间)可以在1％到80％之间，例如在40％到80％之间。它例如是50％。
吹扫气体喷射脉冲的持续时间例如是约一秒，喷射阀的关闭时间例如是约一秒。
根据图1所示的第一示例性实施例，喷射装置9包括分配歧管11(也简称为“歧管”)，该分配歧管构造成在各个泵送级2a-2e中分配源自供应源的吹扫气体(吹扫气体的循环方向在图1中用箭头表示)。
为此，分配歧管11包括连结到旁路15a、15b、15c、15d、15e的公共分支14。旁路15a-15e适合于在相应的泵送级2a-2e中分配吹扫气体。
喷射阀13布置在泵送级2a-2e共用的分配歧管11的分支14上。
喷射装置9还包括用于每个泵送级2a-2e的喷射构件12a、12b、12c、12d、12e。它们插置在分配歧管11与相应的泵送级2a-2e之间。
在操作中，控制所述至少一个喷射阀13的打开以通过连续脉冲将吹扫气体喷射到所有泵送级2a-2e中。
该实施例提供的优点是，通过简单地修改喷射装置9的至少一个喷射阀13的控制程序，能够容易地在现有的真空泵上实施。
假定所有泵送级2a-2e共用可控制的喷射阀13，则吹扫气体被以连续的脉冲同时并且在相似的持续时间内喷射到泵送级2a-2e中。此外，在两个吹扫气体脉冲之间，由于所述至少一个喷射阀13具有开闭控制，因此喷射的吹扫气体流量为零。
然而，在以流量控制器的形式生产的喷射构件12a-12e可以被控制装置10控制的情况下，可以在每个泵送级2a-2e上提供特定的脉冲幅度。
分配歧管11还可以包括至少一个附加旁路，该附加旁路构造成将吹扫气体分配到位于转子5的一端处—例如马达M与位于排出侧4的泵送级2e之间—的真空泵1的轴承中，它在此附装在马达M上。
图3示出了第二示例性实施例。
该实施例与前一实施例的不同之处在于，喷射装置9对于每个泵送级2a-2e都包括喷射阀16a-16e，所述喷射阀布置在分配歧管11的相应旁路15a-15e上。
在操作中，控制喷射阀16a-16e的打开以将吹扫气体脉冲喷射到至少一个泵送级2a-2e中。
在本例中，可以独立地控制每个喷射阀15a-15b。因此，吹扫气体脉冲可以被同时或不同时喷射到一个、多个或所有泵送级2a-2e中。
还可以设想通过以打开模式连续地控制至少一个喷射阀16a-16e而以相继的脉冲向其中未被喷射吹扫气体的一个或多个泵送级中喷射连续的吹扫气体流。例如，向位于吸入侧3的所谓的低压泵送级2a中喷射吹扫气体脉冲，并且向其它泵送级2b-2e中连续地喷射吹扫气体。
此外，吹扫气体脉冲可以以不同或相似的持续时间喷射到不同的泵送级2a-2e中。例如，设想使两个泵送级2a-2e中的至少两个吹扫气体脉冲的持续时间不同。因此，对于每个泵送级2a-2e，脉冲的频率也可以是不同的。
还可以使喷射阀16a-16e的控制同步，以使吹扫气体脉冲的喷射在至少两个泵送级2a-2e中错开。在这种情况下，至少两个泵送级2a-2e的喷射阀16a-16e不同时打开，或者与总脉冲持续时间相比同时打开的时间相对较短。
例如，吹扫气体脉冲的错开是同步的，以便在从真空泵1的吸入口3到排出口4的气体流动方向上相继地打开泵送级2a-2e中的喷射阀16a-16e。因此，位于吸入侧3的所谓的低压泵送级2a的喷射阀16a首先打开，然后与第二泵送级2b相关联的喷射阀打开，依此类推到位于排出侧4的所谓的高压泵送级2e。因此，人工地产生了气流波前，其沿泵送气体的流动方向移动，从而提高了固体副产物的抽出效率。
根据另一示例，吹扫气体脉冲的错开是同步的，以便在从真空泵1的排出口4到吸入口3的气体流动方向上相继地打开泵送级2a-2e中的喷射阀16a-16e。
因此，例如，布置在联接到最后一个泵送级2e的分支15e上的调节阀16e首先打开，然后，在其关闭之后，与倒数第二个泵送级2d相关联的调节阀16d打开，依此类推，直到第一或第二泵送级2b为止—如果吹扫气体连续地喷射到例如位于吸入侧3的所谓的低压泵送级2a中的话。
因此，人为地产生气态波前，其沿与泵送气体的流动相反的方向移动。因此，该波前可以首先抽出最后一个泵送级2e中可能堵塞真空泵1的任何固体副产物，然后抽出倒数第二个泵送级中的任何固体副产物，依此类推。从最后一个泵送级2e开始，副产物可以被逐渐抽出，这可以避免其相继地累积在泵送级之间或通常布置在排出口4之后的消音器中，从而在某些情况下避免加重堵塞的风险。
因此可以在真空泵1中同时产生多个波前。例如，所谓的排出泵送级2e的喷射阀16e可以与所谓的低压泵送级2a的喷射阀16a同时打开。在前一波前正在完成时，新的波前开始。
可以理解，通过增加喷射阀的数量，可能的选择成倍增加。
在以流量控制器的形式生产的喷射构件12a-12e可以由控制装置10控制的情况下，也可以在每个泵送级2a-2e处提供特定的脉冲幅度。
图4示出了第三示例性实施例。
在本示例中，真空泵1包括附加喷射装置17。
附加喷射装置17包括用于在泵送级2a-2e中分配吹扫气体的分配歧管11、插置在分配歧管11与相应泵送级2a-2e之间的用于每个泵送级2a-2e的喷射构件12a-12e、以及布置在泵送级2a-2e共用的分配歧管11的分支14上的可控制的连续喷射阀18。
可控制的连续喷射阀18例如是螺线管阀，例如电磁或压电式螺线管阀。例如，该阀具有开闭控制。
控制装置10还配置成控制至少一个连续喷射阀18的打开以将吹扫气体连续地喷射到至少一个泵送级2a-2e中。
假定可以借助于附加喷射装置17在所有泵送级2a-2e中恒定地确保吹扫气流，则喷射装置9可以仅包括在泵送级2a-2e中出现的附接或不附接的一个或几个喷射构件，并且不能在所有泵送级2a-2e中包括喷射构件和喷射阀。
与第二实施例中一样，喷射装置9也可以包括构造成在泵送级2a-2e中分配吹扫气体的分配歧管11、插置在分配歧管11与相应的泵送级2a-2e之间的用于每个泵送级2a-2e的喷射构件12a-12e、以及布置在分配歧管11的相应旁路15a-15e上的用于每个泵送级2a-2e的喷射阀16a-16e。
在操作中，控制所述至少一个喷射阀16a-16e的打开以将吹扫气体脉冲喷射到至少一个泵送级2a-2e中，并且控制所述至少一个连续喷射阀18的打开以在每个泵送级2a-2e连续地喷射吹扫气体。
例如，通过连续脉冲喷射的吹扫气体的流量在10slm到120slm之间、例如为100slm，并且连续喷射的吹扫气体的流量例如在10slm到120slm之间，例如为50slmm(或84Pa.m3/s)。脉冲的频率例如是0.5Hz。占空比例如是50％。
因此，除了针对第二实施例描述的可能性之外，这里还可以确保同一个泵送级2a-2e中的两个吹扫气体脉冲之间的非零吹扫流量。因此，可以与吹扫波前的振动同时在真空泵1的所有级中连续地保持吹扫。

Claims (15)

1.一种干式初级真空泵(1)，包括：
-至少两个泵送级(2a-2e)，它们串联安装在该真空泵(1)的吸入口(3)和排出口(4)之间，
-两个转子(5)，它们在所述泵送级(2a-2e)中延伸，这些转子(5)构造成沿相反的方向同步旋转以便在所述吸入口(3)与所述排出口(4)之间驱动待泵送的气体，
-喷射装置(9)，它构造成在至少一个泵送级(2a-2e)中分配吹扫气体，该喷射装置包括：
o至少一个喷射构件(12a-12e)，和
o具有开闭控制的至少一个喷射阀(13；16a-16e)，它旨在插置于吹扫气体供应源与所述至少一个喷射构件(12a-12e)之间，
其特征在于，该真空泵(1)还包括控制装置(10)，该控制装置构造成控制所述至少一个喷射阀(13；16a-16e)的打开和关闭，以便通过相继的脉冲向至少一个泵送级(2a-2e)中喷射吹扫气体。
2.根据权利要求1所述的真空泵(1)，其特征在于，所述喷射装置(9)包括：
-分配歧管(11)，该分配歧管构造成在泵送级(2a-2e)中分配吹扫气体，
-用于每个泵送级(2a-2e)的喷射构件(12a-12e)，该喷射构件插置在所述分配歧管(11)与相应的泵送级(2a-2e)之间。
3.根据权利要求2所述的真空泵(1)，其特征在于，所述喷射阀(13)布置在所述分配歧管(11)的由泵送级(2a-2e)共用的分支(14)上。
4.根据权利要求2所述的真空泵(1)，其特征在于，所述喷射装置(9)包括用于每个泵送级(2a-2e)的喷射阀(16a-16e)，所述喷射阀布置在所述分配歧管(11)的适于在相应的泵送级(2a-2e)中分配吹扫气体的相应旁路(15a-15e)上。
5.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，该真空泵还包括附加喷射装置(17)，该附加喷射装置包括：
-用于在泵送级(2a-2e)中分配吹扫气体的分配歧管(11)，
-用于每个泵送级(2a-2e)的喷射构件(12a-12e)，该喷射构件插置在所述分配歧管(11)与相应的泵送级(2a-2e)之间，
-可控制的连续喷射阀(18)，它布置在所述分配歧管(11)的由泵送级(2a-2e)共用的分支(14)上，所述控制装置(10)还构造成控制所述至少一个连续喷射阀(18)的打开以便将吹扫气体连续地喷射到泵送级(2a-2e)中。
6.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述脉冲的频率在0.1Hz到5Hz之间。
7.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，以脉冲喷射的吹扫气体的流量在17Pa.m3/s到202Pa.m3/s之间。
8.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述喷射阀的打开时间/关闭时间在1-80％之间，例如在40-80％之间。
9.一种用于控制向干式初级真空泵(1)中的吹扫气体的喷射的方法，该干式初级真空泵为根据前述权利要求中任一项所述的干式初级真空泵，其特征在于，控制所述至少一个喷射阀(13；16a-16e)的打开以便通过相继的脉冲将吹扫气体喷射到至少一个泵送级(2a-2e)中。
10.根据权利要求9所述的用于控制向真空泵中的吹扫气体的喷射的方法，该真空泵为根据权利要求4所述的或根据权利要求5至8中任一项并结合权利要求4所述的真空泵，其特征在于，至少两个吹扫气体脉冲的持续时间在两个泵送级(2a-2e)中是不同的。
11.根据权利要求9或10所述的用于控制向真空泵中的吹扫气体的喷射的方法，该真空泵为根据权利要求4所述的或根据权利要求5至8中任一项并结合权利要求4所述的真空泵，其特征在于，此外，通过在打开模式中连续地控制至少一个喷射阀(16a-16e)来向至少一个泵送级(2a-2e)中喷射连续的吹扫气流。
12.根据权利要求9至11中任一项所述的用于控制向真空泵中的吹扫气体的喷射的方法，该真空泵为根据权利要求5所述的或根据权利要求6至8中任一项并结合权利要求5所述的真空泵，其特征在于，此外，控制所述至少一个连续喷射阀(18)的打开以便在每个泵送级(2a-2e)连续地喷射吹扫气体。
13.根据权利要求9至12中任一项所述的用于控制向真空泵中的吹扫气体的喷射的方法，该真空泵为根据权利要求4所述的或根据权利要求5至8中任一项并结合权利要求4所述的真空泵，其特征在于，使所述喷射阀(16a-16e)的控制同步以便错开向至少两个泵送级(2a-2e)中的吹扫气体脉冲的喷射。
14.根据权利要求13所述的用于控制吹扫气体的喷射的方法，其特征在于，使吹扫气体脉冲的错开同步，以便在从真空泵(1)的吸入口(3)到排出口(4)的气体流动方向上相继地打开泵送级(2a-2e)中的喷射阀(16a-16e)。
15.根据权利要求13所述的用于控制吹扫气体的喷射的方法，其特征在于，使吹扫气体脉冲的错开同步，以便在从真空泵(1)的排出口(4)到吸入口(3)的气体流动方向上相继地打开泵送级(2a-2e)中的喷射阀(16a-16e)。
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