CN110930909B

CN110930909B - 显示面板母板及其制作方法、显示面板

Info

Publication number: CN110930909B
Application number: CN201911181842.0A
Authority: CN
Inventors: 奚苏萍
Original assignee: Shenzhen China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co Ltd
Current assignee: Shenzhen China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co Ltd
Priority date: 2019-11-27
Filing date: 2019-11-27
Publication date: 2023-10-17
Anticipated expiration: 2039-11-27
Also published as: CN110930909A

Abstract

本申请提出了一种显示面板母板及其制作方法、显示面板，该制作方法包括：在母板衬底的第一区域形成驱动电路层；在该母板衬底的第二区域形成第二测试端子；将该第二测试端子与信号源电连接；利用量测装置量测该目标薄膜晶体管的目标电性参数。当该目标电性参数位于预定范围内时，该目标薄膜晶体管满足设计要求；否则，该目标薄膜晶体管不符合设计要求。本申请通过在显示面板母板的无效显示区设置较大的测试端子，使得交变信号能够通过该测试端子输入至目标薄膜晶体管中，以实现目标薄膜晶体管中阈值电压的偏移，完成目标薄膜晶体管的目标电性参数的测量，判断该目标薄膜晶体管的设计是否符合设计要求。

Description

显示面板母板及其制作方法、显示面板

技术领域

本申请涉及半导体清洗技术领域，特别涉及一种显示面板母板及其制作方法、显示面板。

背景技术

阵列基板栅极驱动(Gate Driver on Array，GOA)技术是直接将栅极驱动电路(Gate Driver ICs)制作在阵列基板上。

在现有技术中，当显示面板出现异常时，需要进行多方面的解析以找出异常，例如测量薄膜晶体管(TFT)的电性。由于薄膜晶体管所接收的信号为交变信号(AC)，传统的测试端子由于尺寸过小而无法将对应的信号输入至测试端子中，无法真实的模拟薄膜晶体管中阈值电压的偏移情况。

因此，目前亟需一种显示面板以解决上述问题。

发明内容

本申请提供一种显示面板母板及其制作方法、显示面板，以解决无法真实的模拟薄膜晶体管中阈值电压的偏移的技术问题。

为解决上述技术问题，本申请提供的技术方案如下：

本申请提供了一种显示面板母板的制作方法，至少包括两个显示面板，其中，所述显示面板母板的制作方法包括：

在母板衬底的第一区域形成驱动电路层；

在所述母板衬底的第二区域形成第二测试端子，所述第二测试端子与所述驱动电路层中的目标薄膜晶体管电连接；

将所述第二测试端子与信号源电连接，所述信号源用于向所述目标薄膜晶体管提供对应的驱动信号；

利用量测装置量测所述目标薄膜晶体管的目标电性参数；

其中，当所述目标电性参数位于预定范围内时，所述目标薄膜晶体管满足设计要求；否则，所述目标薄膜晶体管不符合设计要求。

在本申请的显示面板母板的制作方法中，

在母板衬底的第一区域形成驱动电路层的步骤包括：

提供一母板衬底；

在所述母板衬底的第一区域同时形成驱动电路层及第一测试端子；

其中，所述第二测试端子的面积大于所述第一测试端子的面积。

在本申请的显示面板母板的制作方法中，所述第一区域与所述显示面板对应，所述第二区域与相邻两个所述显示面板之间的无效区对应。

在本申请的显示面板母板的制作方法中，在所述母板衬底的第二区域形成第二测试端子的步骤包括：

在所述母板衬底的第二区域形成构成所述第二测试端子的第一连接端子、第二连接端子、及第三连接端子；

在所述母板衬底上形成第一连接线、第二连接线、及第三连接线；

其中，所述第一连接端子通过所述第一连接线与所述目标薄膜晶体管的栅极电连接，所述第二连接端子通过所述第二连接线与所述目标薄膜晶体管的源极电连接，所述第三连接端子通过所述第三连接线与所述目标薄膜晶体管的漏极电连接。

在本申请的显示面板母板的制作方法中，

第一连接端子、第二连接端子、及第三连接端子的面积相同；

第一连接端子、第二连接端子、及第三连接端子的边长为800～1200微米。

在本申请的显示面板母板的制作方法中，

所述第一测试端子、所述第二测试端子、所述第一连接线、所述第二连接线、及所述第三连接线与所述目标薄膜晶体管中的源极层同层设置。

本申请还提出了一种显示面板母板，其包括第一区域和第二区域；

所述第一区域设置有母板衬底、位于所述母板衬底上的驱动电路层及第一测试端子，所述第二区域设置有所述母板衬底及位于所述母板衬底上的第二测试端子，所述第二测试端子与所述驱动电路层中的一目标薄膜晶体管电连接；

在本申请的显示面板母板中，

所述第二测试端子包括第一连接端子、第二连接端子及第三连接端子；

所述显示面板母板还包括第一连接线、第二连接线、及第三连接线；

在本申请的显示面板母板中，

所述第一连接端子、所述第二连接端子、及所述第三连接端子的面积相同；

所述第一连接端子、所述第二连接端子、及所述第三连接端子的边长为800～1200微米。

本申请还提出了一种显示面板，其中，所述显示面板由权利要求7～9中任一项所述的显示面板母板切割而成，所述显示面板与所述显示面板母板中的第一区域对应。

有益效果：本申请通过在显示面板母板的无效显示区设置较大的测试端子，使得交变信号能够通过该测试端子输入至目标薄膜晶体管中，以实现目标薄膜晶体管中阈值电压的偏移，完成目标薄膜晶体管的目标电性参数的测量，判断该目标薄膜晶体管的设计是否符合设计要求。

附图说明

下面结合附图，通过对本申请的具体实施方式详细描述，将使本申请的技术方案及其它有益效果显而易见。

图1为本申请显示面板母板制作方法的流程图；

图2为本申请显示面板母板的剖面图；

图3为本申请显示面板母板的俯视图；

图4为本申请显示面板母板中目标薄膜晶体管与第二测试端子的连接图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本申请的不同结构。为了简化本申请的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本申请。此外，本申请可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本申请提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。

在现有技术中，当显示面板出现异常时，需要进行多方面的解析以找出异常，例如测量薄膜晶体管(TFT)的电性。由于薄膜晶体管所接收的信号为交变信号(AC)，传统的测试端子由于尺寸过小而无法将对应的信号输入至测试端子中，无法对薄膜晶体管中阈值电压的偏移情况进行真实模拟。本申请基于上述技术问题提出了一种显示面板母板及其制作方法、显示面板。

请参阅图1～4，本申请提供了一种显示面板母板100的制作方法，至少包括两个显示面板，其中，所述显示面板母板100的制作方法包括：

S10、在母板衬底1010的第一区域200形成驱动电路层11；

S20、在所述母板衬底10的第二区域300形成第二测试端子30，所述第二测试端子30与所述驱动电路层11中的目标薄膜晶体管12电连接；

S30、将所述第二测试端子30与信号源40电连接，所述信号源40用于向所述目标薄膜晶体管12提供对应的驱动信号；

S40、利用量测装置量测所述目标薄膜晶体管12的目标电性参数；

在本实施例中，当所述目标电性参数位于预定范围内时，所述目标薄膜晶体管12满足设计要求；否则，所述目标薄膜晶体管12不符合设计要求。

本申请通过在显示面板母板100的无效显示区设置较大的测试端子，使得交变信号能够通过该测试端子输入至目标薄膜晶体管12中，以实现目标薄膜晶体管12中阈值电压的偏移，完成目标薄膜晶体管12的目标电性参数的测量，判断所述目标薄膜晶体管12的设计是否符合设计要求。

下面根据具体实施例对本申请的技术方案进行说明。

请参阅图2～3，在母板衬底10的第一区域200形成驱动电路层11的步骤包括：

S101、提供一母板衬底10；

S102、在所述母板衬底10的第一区域200同时形成驱动电路层11及第一测试端子20；

在本实施例中，所述母板衬底10可以为刚性面板，例如玻璃基板、石英基板、树脂基板等中的一种；所述母板衬底10也可以为柔性面板时，例如聚酰亚胺。

在本实施例中，所述驱动电路层11可以包括多个薄膜晶体管。所述薄膜晶体管层可以为蚀刻阻挡层型、背沟道蚀刻型、底栅薄膜晶体管型或顶栅薄膜晶体管型结构，具体没有限制。

在本实施例中，所述第一区域200与所述显示面板对应，所述显示面板在所述第一区域200的正投影位于所述第一区域200内。

请参阅图2～4，在所述母板衬底10的第二区域300形成第二测试端子30的步骤包括：

S201、在所述母板衬底10的第二区域300形成构成所述第二测试端子30的第一连接端子311、第二连接端子312、及第三连接端子313；

S202、在所述母板衬底10上形成第一连接线321、第二连接线322、及第三连接线323；

在本实施例中，所述第一连接端子311通过所述第一连接线321与所述目标薄膜晶体管12的栅极121电连接，所述第二连接端子312通过所述第二连接线322与所述目标薄膜晶体管12的源极122电连接，所述第三连接端子313通过所述第三连接线323与所述目标薄膜晶体管12的漏极123电连接。

在本实施例中，所述第一测试端子20、所述第二测试端子30、所述第一连接线321、所述第二连接线322、及所述第三连接线323可以与所述目标薄膜晶体管12中的源极层同层设置。在形成源漏极层的工艺时，可以通过一道光罩工艺同时形成所述第一测试端子20、所述第二测试端子30、所述第一连接线321、所述第二连接线322、及所述第三连接线323。

在本实施例中，所述第二区域300与相邻两个所述显示面板之间的无效区对应。所述第二区域300为所述显示面板母板100中的废料区。

在本实施例中，所述第二测试端子30的面积大于所述第一测试端子20的面积。

在本实施例中，所述第一测试端子20可以为液晶盒测试端子(Cell Test Pad)或阵列测试端子(Array Test Pad)。

在本实施例中，所述第一连接端子311、所述第二连接端子312、及所述第三连接端子313的面积相同。

在本实施例中，所述第一连接端子311、所述第二连接端子312、及所述第三连接端子313的边长可以为800～1200微米。

请参阅图4，在步骤S30中，所述信号源40可以为外界信号源40，其可以通过银浆或者焊锡等工艺将所述信号源40的输出端与所述第一连接端子311、所述第二连接端子312、及所述第三连接端子313电连接。

在本实施例中，所述信号源40主要用于向所述目标薄膜晶体管12中的栅极、源极、及漏极中输入对应的交变信号，以驱动所述目标薄膜晶体管12工作。

在步骤S40中，其可以通过传统的电性量测机台对所述目标薄膜晶体管12的目标电性参数进行量测，例如所述薄膜晶体管的阈值电压等。

在本实施例中，当所述目标薄膜晶体管12中的一系列目标电性参数位于预定范围内时，所述目标薄膜晶体管12满足设计要求；否则，所述目标薄膜晶体管12不符合设计要求，需要重新设计。

本申请通过在显示面板母板100的无效显示区设置较大的测试端子，该测试端子的放大使得交变信号能够通过该测试端子输入至目标薄膜晶体管12中，以实现目标薄膜晶体管12的驱动，通过目标薄膜晶体管12中阈值电压的偏移量，完成目标薄膜晶体管12的目标电性参数的量测，以判断所述目标薄膜晶体管12的设计是否符合设计要求

请参阅图2～4，本申请还提出了一种显示面板母板100，所述显示面板母板100包括第一区域200和第二区域300。

在本实施例中，所述第一区域200与所述显示面板对应，所述第二区域300与相邻两个所述显示面板之间的无效区对应。

在本实施例中，所述第一区域200设置有母板衬底10、位于所述母板衬底10上的驱动电路层11及第一测试端子20，所述第二区域300设置有所述母板衬底10及位于所述母板衬底10上的第二测试端子30，所述第二测试端子30与所述驱动电路层11中的一目标薄膜晶体管12电连接。

在本实施例中，所述第二测试端子30包括第一连接端子311、第二连接端子312及第三连接端子313；

所述显示面板母板100还包括第一连接线321、第二连接线322、及第三连接线323；

其中，所述第一连接端子311通过所述第一连接线321与所述目标薄膜晶体管12的栅极121电连接，所述第二连接端子312通过所述第二连接线322与所述目标薄膜晶体管12的源极122电连接，所述第三连接端子313通过所述第三连接线323与所述目标薄膜晶体管12的漏极123电连接。

所述第一连接端子311、所述第二连接端子312、及所述第三连接端子313的边长为800～1200微米。

在本实施例中，所述第一测试端子20、所述第二测试端子30、所述第一连接线321、所述第二连接线322、及所述第三连接线323可以与所述目标薄膜晶体管12中的源极层同层设置。

本实施例中的所述显示面板母板采用上述显示面板母板的制作方法制成，具体工作原理与上述相同，此处不再赘述。

本申请还提出了一种显示面板，其中，所述显示面板由上述显示面板母板切割而成，所述显示面板与所述显示面板母板中的第一区域对应。所述显示面板母板通过将所述第二区域中的无效区去除，以获得本实施例中的所述显示面板。所述显示面板的具体工作原理与上述显示面板母板相同或相似，此处不在赘述。

本申请提出了一种显示面板母板及其制作方法、显示面板，该制作方法包括：在母板衬底的第一区域形成驱动电路层；在所述母板衬底的第二区域形成第二测试端子；将所述第二测试端子与信号源电连接；利用量测装置量测所述目标薄膜晶体管的目标电性参数。当所述目标电性参数位于预定范围内时，所述目标薄膜晶体管满足设计要求；否则，所述目标薄膜晶体管不符合设计要求。本申请通过在显示面板母板的无效显示区设置较大的测试端子，使得交变信号能够通过该测试端子输入至目标薄膜晶体管中，以实现目标薄膜晶体管中阈值电压的偏移，完成目标薄膜晶体管的目标电性参数的测量，判断所述目标薄膜晶体管的设计是否符合设计要求。

在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。

以上对本申请实施例所提供的一种电子装置进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的技术方案及其核心思想；本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例的技术方案的范围。

Claims

1.一种显示面板母板的制作方法，至少包括两个显示面板，其特征在于，所述显示面板母板的制作方法包括：

在母板衬底的第一区域形成驱动电路层及第一测试端子；

在所述母板衬底的第二区域形成构成第二测试端子的第一连接端子、第二连接端子、及第三连接端子，以及在所述母板衬底上形成第一连接线、第二连接线、及第三连接线，所述第二测试端子与所述驱动电路层中的目标薄膜晶体管电连接，所述第二测试端子的面积大于所述第一测试端子的面积；

利用量测装置量测所述目标薄膜晶体管的目标电性参数；

其中，所述第一区域与所述显示面板对应，所述第二区域与相邻两个所述显示面板之间的无效区对应，以及所述第一连接端子通过所述第一连接线与所述目标薄膜晶体管的栅极电连接，所述第二连接端子通过所述第二连接线与所述目标薄膜晶体管的源极电连接，所述第三连接端子通过所述第三连接线与所述目标薄膜晶体管的漏极电连接；

其中，所述第一测试端子为液晶盒测试端子或阵列测试端子，所述第二测试端子用于传输交变信号以使目标薄膜晶体管中阈值电压的偏移。

2.根据权利要求1所述的显示面板母板的制作方法，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的显示面板母板的制作方法，其特征在于，

4.一种显示面板母板，其特征在于，包括第一区域和第二区域；

其中，所述第二测试端子的面积大于所述第一测试端子的面积；

其中，所述第一连接端子通过所述第一连接线与所述目标薄膜晶体管的栅极电连接，所述第二连接端子通过所述第二连接线与所述目标薄膜晶体管的源极电连接，所述第三连接端子通过所述第三连接线与所述目标薄膜晶体管的漏极电连接；

5.根据权利要求4所述的显示面板母板，其特征在于，

6.一种显示面板，其特征在于，所述显示面板由权利要求4～5中任一项所述的显示面板母板切割而成，所述显示面板与所述显示面板母板中的第一区域对应。