CN110620065A - 一种晶圆加工设备 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种晶圆加工设备，其结构包括涂抹机构、晶圆放置平台、机座、支撑块、控制按钮、控制面板，晶圆放置平台贯穿于涂抹机构下端，通过设置滚刷机构，当滚筒达到晶圆的上方时，将会对其进行挤压，使得外刷能够紧贴在晶圆上方，缓慢的往右进行移动，对晶圆的上表面进行刷动，使得晶圆的表面能够形成一层防氧化的保护膜，通过设置雾化加液机构，通过小型抽液泵在控制面板控制下进行运转，带动输液管从储液腔内抽取液体，然后在将防氧化液体输送到雾化喷雾器内部，通过雾化喷雾器将液体转化成雾化的形式喷向外刷上，使得外刷能够时刻保持在湿润的状态下对晶圆进行涂抹，避免发生漏刷的现象，致使晶圆与氧气接触发生氧化的现象发生。

Description

一种晶圆加工设备
技术领域
本发明涉及晶圆加工技术领域，具体为一种晶圆加工设备。
背景技术
晶圆的原始材料是硅，是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，通常在对晶圆切割加工后，都需要对晶圆的的表面涂膜，从而以保障晶圆在与空气中的氧气进行接触时，不会被空气中的氧气氧化掉，但是在对晶圆涂抹时，具有以下缺陷：
通过涂抹设备对晶圆进行涂膜时，通常需要人工对滚刷筒进行添加涂料，致使在对晶圆进行涂抹时，涂抹的溶度不均匀，同时，会造成部分地方由于滚刷筒过干燥，而没有涂抹到，致使晶圆表面无法生成保护膜，致使其长时间暴露在空气中，与空气中的氧气发生氧化现象。
本发明内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本发明提供了一种晶圆加工设备，解决了通过涂抹设备对晶圆进行涂膜时，通常需要人工对滚刷筒进行添加涂料，致使在对晶圆进行涂抹时，涂抹的溶度不均匀，同时，会造成部分地方由于滚刷筒过干燥，而没有涂抹到，致使晶圆表面无法生成保护膜，致使其长时间暴露在空气中，与空气中的氧气发生氧化现象的问题。
(二)技术方案
为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种晶圆加工设备，其结构包括涂抹机构、晶圆放置平台、机座、支撑块、控制按钮、控制面板，所述晶圆放置平台贯穿于涂抹机构下端，所述晶圆放置平台嵌入安装于机座上方，所述涂抹机构贯穿于机座上端面，所述控制面板安装于机座前端面，所述控制按钮与控制面板电连接，所述支撑块共设有四块，且分别在机座下四角通过螺栓固定，所述涂抹机构包括雾化加液机构、支撑框架、滚刷机构，所述雾化加液机构下端与支撑框架上端，所述滚刷机构嵌入安装于支撑框架之间。
作为优选，所述雾化加液机构包括旋转电机、储液腔、输液管、小型抽液泵、外罩壳、雾化喷雾器，所述旋转电机安装于外罩壳左侧，所述储液腔与外罩壳呈一体浇铸成型，所述储液腔通过输液管与小型抽液泵连接，所述小型抽液泵通过输液管与雾化喷雾器连接，所述外罩壳呈镂空的长方体结构。
作为优选，所述支撑框架包括支撑架、轴承、限位槽、螺纹槽座、导向环，所述支撑架右侧设有轴承，所述限位槽共设有两个，且与支撑架为一体化结构，所述导向环呈圆环结构，且嵌入安装于支撑架左内侧，所述螺纹槽座上端与支撑架下端相焊接。
作为优选，所述滚刷机构包括齿轮转杆、皮带、外刷、滚筒、连接轴杆，所述皮带包裹在齿轮转杆外侧，所述齿轮转杆右侧与滚筒左侧相焊接，所述外刷包裹在滚筒外侧，所述滚筒右侧与连接轴杆左侧相焊接，所述齿轮转杆左三分二为齿轮杆，右三分之一为圆杆。
作为优选，所述晶圆放置平台包括缓冲弹簧、放置板、支撑板、滑轨，所述放置板嵌入安装于支撑板内侧，所述缓冲弹簧共设有三个，且呈三角分布在放置板下方通过电焊相连接，所述滑轨共设有两条，且焊接于支撑板下两侧，所述缓冲弹簧下方与支撑板中部内上方相焊接。
(三)有益效果
本发明提供了一种晶圆加工设备。具备以下有益效果：
1、本发明通过设置滚刷机构，当滚筒达到晶圆的上方时，将会对其进行挤压，使得外刷能够紧贴在晶圆上方，在移动器的带动下，缓慢的往右进行移动，对晶圆的上表面进行刷动，从而保证能够有效的对晶圆的表面进行涂抹，使得晶圆的表面能够形成一层防氧化的保护膜。
2、本发明通过设置雾化加液机构，通过小型抽液泵在控制面板控制下进行运转，带动输液管从储液腔内抽取液体，然后在将防氧化液体输送到雾化喷雾器内部，通过雾化喷雾器将液体转化成雾化的形式喷向外刷上，使得外刷能够时刻保持在湿润的状态下对晶圆进行涂抹，避免发生漏刷的现象，致使晶圆与氧气接触发生氧化的现象发生。
附图说明
图1为本发明一种晶圆加工设备的结构示意图；
图2为本发明涂抹机构侧视的结构示意图；
图3为本发明雾化加液机构侧视的结构示意图；
图4为本发明支撑框架侧视的结构示意图；
图5为本发明滚刷机构侧视的结构示意图；
图6为本发明晶圆放置平台侧视的结构示意图；
图7为本发明放置板与缓冲弹簧仰视的结构示意图。
图中：涂抹机构-1、晶圆放置平台-2、机座-3、支撑块-4、控制按钮-5、控制面板-6、雾化加液机构-11、支撑框架-12、滚刷机构-13、旋转电机-111、储液腔-112、输液管-113、小型抽液泵-114、外罩壳-115、雾化喷雾器-116、支撑架-121、轴承-122、限位槽-123、螺纹槽座-124、导向环-125、齿轮转杆-13A、皮带-13B、外刷-13C、滚筒-13D、连接轴杆-13E、缓冲弹簧-21、放置板-22、支撑板-23、滑轨-24。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-图7所示，本发明实施例提供一种晶圆加工设备，其结构包括涂抹机构1、晶圆放置平台2、机座3、支撑块4、控制按钮5、控制面板6，所述晶圆放置平台2贯穿于涂抹机构1下端，所述晶圆放置平台2嵌入安装于机座3上方，所述涂抹机构1贯穿于机座3上端面，所述控制面板6安装于机座3前端面，所述控制按钮5与控制面板6电连接，所述支撑块4共设有四块，且分别在机座3下四角通过螺栓固定，所述涂抹机构1包括雾化加液机构11、支撑框架12、滚刷机构13，所述雾化加液机构11下端与支撑框架12上端，所述滚刷机构13嵌入安装于支撑框架12之间。
其中，所述雾化加液机构11包括旋转电机111、储液腔112、输液管113、小型抽液泵114、外罩壳115、雾化喷雾器116，所述旋转电机111安装于外罩壳115左侧，所述储液腔112与外罩壳115呈一体浇铸成型，所述储液腔112通过输液管113与小型抽液泵114连接，所述小型抽液泵114通过输液管113与雾化喷雾器116连接，所述外罩壳115呈镂空的长方体结构，将涂液从储液腔112上方的进料孔导入到储液腔112内，然后启动小型抽液泵114，使得小型抽液泵114运转带动输液管113从储液腔112内抽取液体，在将液体导入到雾化喷雾器116内部，通过雾化喷雾器116上的喷头将溶液喷出。
其中，所述支撑框架12包括支撑架121、轴承122、限位槽123、螺纹槽座124、导向环125，所述支撑架121右侧设有轴承122，所述限位槽123共设有两个，且与支撑架121为一体化结构，所述导向环125呈圆环结构，且嵌入安装于支撑架121左内侧，所述螺纹槽座124上端与支撑架121下端相焊接，当在对晶圆进行涂抹加工时，启动机座3内侧的移动器，使其带动螺纹槽座124进行移动，从而让支撑架121随其进行移动。
其中，所述滚刷机构13包括齿轮转杆13A、皮带13B、外刷13C、滚筒13D、连接轴杆13E，所述皮带13B包裹在齿轮转杆13A外侧，所述齿轮转杆13A右侧与滚筒13D左侧相焊接，所述外刷13C包裹在滚筒13D外侧，所述滚筒13D右侧与连接轴杆13E左侧相焊接，所述齿轮转杆13A左三分二为齿轮杆，右三分之一为圆杆，当上端的旋转电机111在进行运转时，将会带动与其连接的皮带13B转动，从而使其连接的齿轮转杆13A进行旋转，通过齿轮转杆13A带动滚筒13D转动，让滚筒13D外侧的外刷13C对晶圆进行刷动。
其中，所述晶圆放置平台2包括缓冲弹簧21、放置板22、支撑板23、滑轨24，所述放置板22嵌入安装于支撑板23内侧，所述缓冲弹簧21共设有三个，且呈三角分布在放置板22下方通过电焊相连接，所述滑轨24共设有两条，且焊接于支撑板23下两侧，所述缓冲弹簧21下方与支撑板23中部内上方相焊接，当在对晶圆进行涂抹时，先将晶圆放置到放置板22上，晶圆上端的平面会高出支撑板23上端的平面，当滚刷机构13从上面经过从而对其进行涂抹时，将会对晶圆进行挤压，从而使放置板22下方的缓冲弹簧21被压缩，致使晶圆会紧贴在滚筒13D外侧的外刷13C上，通过外刷13C对晶圆进行全面的刷动。
具体工作流程如下：
当在对晶圆进行涂抹加工时，先将需要加工的晶圆放置到晶圆放置平台2上方的放置板22上，然后在通过控制面板6启动机座3内的移动器、旋转电机111及小型抽液泵114进行运转，通过移动器旋转致使内侧的螺纹杆进行转动，从而带动螺纹槽座124在机座3上方进行移动，通过限位槽123与滑轨24相互配合，从而能够保证支撑架121能够在同一轨迹上进行移动，而在支撑架121移动的同时，将会带动滚筒13D也随其移动移动，且皮带13B在旋转电机111的控制下进行转动，从而带动齿轮转杆13A旋转，与其连接的滚筒13D也会随其进行转动，且连接轴杆13E安装于轴承122内侧，从而能够减小滚筒13D旋转时的摩擦力，滚筒13D滚动的同时外侧的外刷13C也会随之进行旋转，当到达晶圆上方时，由于晶圆在缓冲弹簧21的作用下，顶面的高度会比晶圆放置平台2上去0.5-1厘米高度，而当滚筒13D达到晶圆的上方时，将会对其进行挤压，使得外刷13C能够紧贴在晶圆上方，在移动器的带动下，缓慢的往右进行移动，对晶圆的上表面进行刷动，同时支撑架121上方小型抽液泵114在控制面板6控制下进行运转，带动输液管113从储液腔112内抽取液体，然后在将防氧化液体输送到雾化喷雾器116内部，通过雾化喷雾器116将液体转化成雾化的形式喷向外刷13C上，使得外刷13C能够时刻保持在湿润的状态下对晶圆进行涂抹，从而保证能够有效的对晶圆的表面进行涂抹，使得晶圆的表面能够形成一层防氧化的保护膜，而当涂抹结束后，晶圆在缓冲弹簧21的作用下将会在往上弹动，将会高出支撑板230.5-1厘米左右，从而方便对晶圆进行提取。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (3)

1.一种晶圆加工设备，其特征在于：其结构包括涂抹机构(1)、晶圆放置平台(2)、机座(3)、支撑块(4)、控制按钮(5)、控制面板(6)，所述晶圆放置平台(2)贯穿于涂抹机构(1)下端，所述晶圆放置平台(2)嵌入安装于机座(3)上方，所述涂抹机构(1)贯穿于机座(3)上端面，所述控制面板(6)安装于机座(3)前端面，所述控制按钮(5)与控制面板(6)电连接，所述支撑块(4)共设有四块，且分别在机座(3)下四角通过螺栓固定。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工设备，其特征在于：所述涂抹机构(1)包括雾化加液机构(11)、支撑框架(12)、滚刷机构(13)，所述雾化加液机构(11)下端与支撑框架(12)上端，所述滚刷机构(13)嵌入安装于支撑框架(12)之间，所述雾化加液机构(11)包括旋转电机(111)、储液腔(112)、输液管(113)、小型抽液泵(114)、外罩壳(115)、雾化喷雾器(116)，所述旋转电机(111)安装于外罩壳(115)左侧，所述储液腔(112)与外罩壳(115)呈一体浇铸成型，所述储液腔(112)通过输液管(113)与小型抽液泵(114)连接，所述小型抽液泵(114)通过输液管(113)与雾化喷雾器(116)连接。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆加工设备，其特征在于：所述支撑框架(12)包括支撑架(121)、轴承(122)、限位槽(123)、螺纹槽座(124)、导向环(125)，所述支撑架(121)右侧设有轴承(122)，所述限位槽(123)与支撑架(121)为一体化结构，所述导向环(125)嵌入安装于支撑架(121)左内侧，所述螺纹槽座(124)上端与支撑架(121)下端相焊接。
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