CN110541927A - 一种用于硅片切割的主轴箱 - Google Patents

一种用于硅片切割的主轴箱 Download PDF

Info

Publication number
CN110541927A
CN110541927A CN201910946780.1A CN201910946780A CN110541927A CN 110541927 A CN110541927 A CN 110541927A CN 201910946780 A CN201910946780 A CN 201910946780A CN 110541927 A CN110541927 A CN 110541927A
Authority
CN
China
Prior art keywords
gland
bearing
sleeve
ring
rear bearing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201910946780.1A
Other languages
English (en)
Inventor
吴锋
伊少春
张玉雯
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Wuxi Sunshine Precision Machine Co Ltd
Original Assignee
Wuxi Sunshine Precision Machine Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Wuxi Sunshine Precision Machine Co Ltd filed Critical Wuxi Sunshine Precision Machine Co Ltd
Priority to CN201910946780.1A priority Critical patent/CN110541927A/zh
Publication of CN110541927A publication Critical patent/CN110541927A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16HGEARING
    • F16H57/00General details of gearing
    • F16H57/02Gearboxes; Mounting gearing therein
    • F16H57/021Shaft support structures, e.g. partition walls, bearing eyes, casing walls or covers with bearings
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16HGEARING
    • F16H57/00General details of gearing
    • F16H57/02Gearboxes; Mounting gearing therein
    • F16H57/029Gearboxes; Mounting gearing therein characterised by means for sealing the gearboxes, e.g. to improve airtightness
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16HGEARING
    • F16H57/00General details of gearing
    • F16H57/04Features relating to lubrication or cooling or heating
    • F16H57/0412Cooling or heating; Control of temperature

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Turning (AREA)

Abstract

一种用于硅片切割的主轴箱,包括轴芯,其特征在于:所述轴芯中部由内向外依次套装有轴承内隔圈、轴承外隔圈、套筒,套筒内部设有套筒压缩空气气路、多条套筒冷却水路,轴芯上部表面轴向依次套装有后轴承、后轴承垫圈、锁紧螺母,后轴承由锁紧螺母锁紧,后轴承垫圈、锁紧螺母的外圈套装有后轴承压环、后压盖,后轴承压环与后轴承端面接触,后轴承压环外圈套装套筒,后压盖固定在套筒末端。本发明采用水冷的方式对套筒冷却,有效的降低了主轴箱的工作温度;通过密封结构,挡住可能进入轴芯的杂质,具有防尘性能良好,轴承使用寿命长,稳定性好的特点。主轴箱最高线速度可达到40米/秒,最高转速4500转/分,发热量低,装拆方便。

Description

一种用于硅片切割的主轴箱
技术领域
本发明涉及太阳能硅片切割技术领域,具体为一种用于硅片切割的主轴箱。
背景技术
目前,太阳能级电池硅片是将方形单晶硅棒切成薄片而成,国内的硅晶材料稀缺、价格昂贵,随着可再生能源的广泛应用,太阳能级硅片的市场需求量越来越大。所以如何提高生产效率,即单位时间内硅材料的出品率得到提升,缩短切割的时间,提高效率,已经成为每个企业追求的模式。
提高线速度是提高效率的关键,主轴箱的高转速保证了高线速度。目前市场上,主轴箱线速度大多在25-30米/秒,难有提升。因内部结构问题,提高线速度导致轴承发热严重,烧毁主轴箱。结构上装配困难,调试复杂,维护不便。
发明内容
本发明的目的在于克服上述不足之处,从而提供一种用于硅片切割的主轴箱,采用水冷的方式对套筒冷却,有效的降低了主轴箱的工作温度;通过密封结构,挡住可能进入轴芯的杂质,具有防尘性能良好,轴承使用寿命长,稳定性好的特点。主轴箱最高线速度可达到40米/秒,最高转速4500转/分,发热量低,装拆方便。
本发明的技术方案是:一种用于硅片切割的主轴箱,包括轴芯,其特征在于:所述轴芯中部由内向外依次套装有轴承内隔圈、轴承外隔圈、套筒,套筒内部设有套筒压缩空气气路、多条套筒冷却水路,轴芯上部表面轴向依次套装有后轴承、后轴承垫圈、锁紧螺母,后轴承由锁紧螺母锁紧,后轴承垫圈、锁紧螺母的外圈套装有后轴承压环、后压盖,后轴承压环与后轴承端面接触,后轴承压环外圈套装套筒,后压盖固定在套筒末端,后压盖上设有多个螺钉孔,通过螺钉将后轴承压环与后压盖固定,压紧轴承外圈,保证后轴承不会窜动,后压盖内部设置有后压盖压缩空气气路、后压盖冷却水路,后压盖上设置有压缩空气进口,压缩空气进口连通后压盖压缩空气气路、套筒压缩空气气路,后压盖上设置有冷却水进口,冷却水进口连通后压盖冷却水路、套筒冷却水路,所述轴芯下部为阶梯结构,设有第一阶梯、第二阶梯、第三阶梯,在轴芯的第一阶梯上由内向外依次套装有前轴承、套筒,在轴芯的第二阶梯上套装有密封盖、密封圈,密封盖、密封圈的外圈依次套装有前轴承压环、套筒,密封盖、密封圈分别镶嵌在前轴承压环的两侧,密封盖端面与轴芯的第二阶梯垂直端面之间设有循环腔,在轴芯的第三阶梯外圈上依次设有前外挡盖、前压盖,前压盖固定在套筒上,前外挡盖固定在前压盖上,罩住前内挡盖,前内挡盖切割成两半,内嵌在轴芯中,前压盖下压前轴承压环,保证前轴承不会窜动,前压盖内圈与轴芯的第三阶梯表面形成储气槽、出气槽,前压盖的径向设有前压盖压缩空气气路,前压盖压缩空气气路与套筒压缩空气气路连通,前外挡盖正下位置设有前外挡盖排泄槽,前内挡盖设有前内挡盖排泄槽,前压盖下方设有从内部往外排泄的前压盖内部排泄孔,下端面有前压盖排泄槽,前外挡盖排泄槽、前内挡盖排泄槽与前压盖内部排泄孔、前压盖排泄槽位于同一位置,且都向下。
进一步的,所述前轴承由多个轴承配对组成。
进一步的,所述后轴承由多个轴承配对组成。
本发明的有益效果是:本发明提供的一种用于硅片切割的主轴箱,采用水冷的方式对套筒冷却,有效的降低了主轴箱的工作温度;通过密封结构,挡住可能进入轴芯的杂质,具有防尘性能良好,轴承使用寿命长,稳定性好的特点。主轴箱最高线速度可达到40米/秒,最高转速4500转/分,发热量低,装拆方便。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图1中,1-轴芯,101-第一阶梯,102-第二阶梯,103-第三阶梯,2-循环腔,3-前外挡盖,4-前内挡盖,5-前压盖,6-套筒,7-前轴承压环,8-密封盖,9-密封圈,10-前轴承,11-轴承外隔圈,12-轴承内隔圈,13-后轴承,14-后轴承压环,15-后压盖,151-后压盖压缩空气气路,152-压缩空气进口,153-后压盖冷却水路,154-冷却水进口,16-后轴承垫圈,17-后挡盖,18-锁紧螺母,19-螺钉孔,20-储气槽,21-出气槽,31-前外挡盖排泄槽,41-前内挡盖排泄槽,51-前压盖内部排泄孔,52-前压盖排泄槽,53-前压盖压缩空气气路,61-套筒压缩空气气路,62-套筒冷却水路。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步的说明。
如图1所示,本发明是一种用于硅片切割的主轴箱,包括轴芯1,其特征在于:所述轴芯1中部由内向外依次套装有轴承内隔圈12、轴承外隔圈11、套筒6,套筒6内部设有套筒压缩空气气路61、多条套筒冷却水路62;
轴芯1上部表面轴向依次套装有后轴承13、后轴承垫圈16、锁紧螺母18,后轴承13由锁紧螺母18锁紧,后轴承垫圈16、锁紧螺母18的外圈套装有后轴承压环14、后压盖15,后轴承压环14与后轴承13端面接触,后轴承压环14外圈套装套筒6,后压盖15固定在套筒6末端,后压盖15上设有多个螺钉孔19,通过螺钉将后轴承压环14与后压盖15固定,压紧轴承外圈,保证后轴承13不会窜动,后压盖15内部设置有后压盖压缩空气气路151、后压盖冷却水路153,后压盖15上设置有压缩空气进口152,压缩空气进口152连通后压盖压缩空气气路151、套筒压缩空气气路61,后压盖15上设置有冷却水进口154,冷却水进口154连通后压盖冷却水路153、套筒冷却水路62,冷却水从冷却水进口154进入,流经后压盖冷却水路153,进入若干条连续循环的套筒冷却水路62,再从后压盖冷却水路153流出,形成一个回路,持续不断的对套筒6进行冷却,有效的降低了主轴箱的工作温度;
所述轴芯1下部为阶梯结构,设有第一阶梯101、第二阶梯102、第三阶梯103,在轴芯1的第一阶梯101上由内向外依次套装有前轴承10、套筒6,在轴芯1的第二阶梯102上套装有密封盖8、密封圈9,密封盖8、密封圈9的外圈依次套装有前轴承压环7、套筒6,密封盖8、密封圈9分别镶嵌在前轴承压环7的两侧,内部涂抹油脂,前轴承压环7压紧轴承外圈,保证前轴承10不会窜动,密封盖8端面与轴芯1的第二阶梯11垂直端面之间设有循环腔2,在轴芯1的第一阶梯103外圈上依次设有前外挡盖3、前压盖5,前压盖5固定在套筒6上,前外挡盖3固定在前压盖5上,罩住前内挡盖4,前内挡盖4切割成两半,内嵌在轴芯1中,前压盖5下压前轴承压环7,保证前轴承10不会窜动,前压盖5内圈与轴芯1的第三阶梯103表面形成储气槽20、出气槽21,前压盖5的径向设有前压盖压缩空气气路53,前压盖压缩空气气路53与套筒压缩空气气路61连通,前外挡盖3正下位置设有前外挡盖排泄槽31,前内挡盖4设有前内挡盖排泄槽41,前压盖5下方设有从内部往外排泄的前压盖内部排泄孔51,下端面有前压盖排泄槽52,前外挡盖排泄槽31、前内挡盖排泄槽41与前压盖内部排泄孔51、前压盖排泄槽52位于同一位置,且都向下。
所述前轴承10由多个轴承配对组成,而且是同类型的轴承,为主轴箱提供了超大的径向承载力。
所述后轴承13由多个轴承配对组成,而且是同类型的轴承,为主轴箱提供了超大的径向承载力。
本发明的工作原理为:
压缩空气从压缩空气进口152,进入后压盖压缩空气气路151、套筒压缩空气气路61、前压盖压缩空气气路53,进入储气槽20,大部分气体布满储气槽20从前压盖5与轴芯1的间隙进入出气槽21,气体充满出气槽21,一部分从前内挡盖4与轴芯1的间隙流出,对外形成正压,阻止杂质进入;一部分从前外挡盖排泄槽31、前内挡盖排泄槽41、前压盖排泄槽52流出,带走进入前压盖5端面的杂质,小部分气体进入循环气腔2,从前压盖内部排泄孔51流出,再从前外挡盖排泄槽31、前内挡盖排泄槽41、前压盖排泄槽52流出,带走进入前压盖5端面的杂质,具有防尘性能良好,轴承使用寿命长,稳定性好的特点;
冷却水从冷却水进口154进入,流经后压盖冷却水路153、套筒冷却水路62,进入若干条连续循环的套筒冷却水路62,再从后压盖冷却水路153流出,形成一个回路,持续不断的对套筒6进行冷却,有效的降低了主轴箱的工作温度。
由此可知,本发明提供一种用于硅片切割的主轴箱,采用水冷的方式对套筒冷却,有效的降低了主轴箱的工作温度;通过密封结构,挡住可能进入轴芯的杂质,具有防尘性能良好,轴承使用寿命长,稳定性好的特点。主轴箱最高线速度可达到40米/秒,最高转速4500转/分,发热量低,装拆方便。

Claims (3)

1.一种用于硅片切割的主轴箱,包括轴芯(1),其特征在于:所述轴芯(1)中部由内向外依次套装有轴承内隔圈(12)、轴承外隔圈(11)、套筒(6),套筒(6)内部设有套筒压缩空气气路(61)、多条套筒冷却水路(62),轴芯(1)上部表面轴向依次套装有后轴承(13)、后轴承垫圈(16)、锁紧螺母(18),后轴承(13)由锁紧螺母(18)锁紧,后轴承垫圈(16)、锁紧螺母(18)的外圈套装有后轴承压环(14)、后压盖(15),后轴承压环(14)与后轴承(13)端面接触,后轴承压环(14)外圈套装套筒(6),后压盖(15)固定在套筒(6)末端,后压盖(15)上设有多个螺钉孔(19),通过螺钉将后轴承压环(14)与后压盖(15)固定,压紧轴承外圈,保证后轴承(13)不会窜动,后压盖(15)内部设置有后压盖压缩空气气路(151)、后压盖冷却水路(153),后压盖(15)上设置有压缩空气进口(152),压缩空气进口(152)连通后压盖压缩空气气路(151)、套筒压缩空气气路(61),后压盖(15)上设置有冷却水进口(154),冷却水进口(154)连通后压盖冷却水路(153)、套筒冷却水路(62),所述轴芯(1)下部为阶梯结构,设有第一阶梯(101)、第二阶梯(102)、第三阶梯(103),在轴芯(1)的第一阶梯(101)上由内向外依次套装有前轴承(10)、套筒(6),在轴芯(1)的第二阶梯(102)上套装有密封盖(8)、密封圈(9),密封盖(8)、密封圈(9)的外圈依次套装有前轴承压环(7)、套筒(6),密封盖(8)、密封圈(9)分别镶嵌在前轴承压环(7)的两侧,密封盖(8)端面与轴芯(1)的第二阶梯(102)垂直端面之间设有循环腔(2),在轴芯(1)的第三阶梯(103)外圈上依次设有前外挡盖(3)、前压盖(5),前压盖(5)固定在套筒(6)上,前外挡盖(3)固定在前压盖(5)上,罩住前内挡盖(4),前内挡盖(4)切割成两半,内嵌在轴芯(1)中,前压盖(5)下压前轴承压环(7),保证前轴承(10)不会窜动,前压盖(5)内圈与轴芯(1)的第三阶梯(103)表面形成储气槽(20)、出气槽(21),前压盖(5)的径向设有前压盖压缩空气气路(53),前压盖压缩空气气路(53)与套筒压缩空气气路(61)连通,前外挡盖(3)正下位置设有前外挡盖排泄槽(31),前内挡盖(4)设有前内挡盖排泄槽(41),前压盖(5)下方设有从内部往外排泄的前压盖内部排泄孔(51),下端面有前压盖排泄槽(52),前外挡盖排泄槽(31)、前内挡盖排泄槽(41)与前压盖内部排泄孔(51)、前压盖排泄槽(52)位于同一位置,且都向下。
2.根据权利要求1所述的一种用于硅片切割的主轴箱,其特征在于:所述前轴承(10)由多个轴承配对组成。
3.根据权利要求1所述的一种用于硅片切割的主轴箱,其特征在于:所述后轴承(13)由多个轴承配对组成。
CN201910946780.1A 2019-10-07 2019-10-07 一种用于硅片切割的主轴箱 Pending CN110541927A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910946780.1A CN110541927A (zh) 2019-10-07 2019-10-07 一种用于硅片切割的主轴箱

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910946780.1A CN110541927A (zh) 2019-10-07 2019-10-07 一种用于硅片切割的主轴箱

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN110541927A true CN110541927A (zh) 2019-12-06

Family

ID=68715274

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910946780.1A Pending CN110541927A (zh) 2019-10-07 2019-10-07 一种用于硅片切割的主轴箱

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110541927A (zh)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111843044A (zh) * 2020-06-05 2020-10-30 泉州市海恩德机电科技发展有限公司 一种高效散热的切割机
CN114227963A (zh) * 2022-01-27 2022-03-25 无锡阳光精机有限公司 一种高端装备制造用高转速偏心式切片机电主轴设备
CN114474438A (zh) * 2022-02-10 2022-05-13 无锡阳光精机股份有限公司 一种高承载高转速磁材切割主轴箱
CN114593350A (zh) * 2022-02-11 2022-06-07 无锡阳光精机股份有限公司 一种用于切片机的大扭矩高转速自驱动轴承箱
CN115847640A (zh) * 2023-01-07 2023-03-28 唐山万士和电子有限公司 一种晶棒切割设备

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB736022A (en) * 1952-10-23 1955-08-31 British Insulated Callenders Improvements in or relating to screw extrusion machines
GB806986A (en) * 1956-08-24 1959-01-07 E B Wiggins Oil Tool Company I Valved couplings for conduits
CN201071902Y (zh) * 2007-08-22 2008-06-11 重庆齿轮箱有限责任公司 水下绞刀齿轮箱
CN102319690A (zh) * 2011-07-07 2012-01-18 苏州赤诚洗净科技有限公司 能使太阳能碎硅片的清洗篮转动的驱动装置
CN204340008U (zh) * 2014-11-24 2015-05-20 陈立军 一种墙锯切割机及其变速箱
CN206092912U (zh) * 2016-09-30 2017-04-12 昆山奥迪尔智能科技有限公司 一种带有冷却功能的传动装置
CN208879715U (zh) * 2018-10-24 2019-05-21 威海博世特精密机械有限公司 一种纵切车铣复合机床用电主轴装置
CN210799987U (zh) * 2019-10-07 2020-06-19 无锡阳光精机有限公司 一种用于硅片切割的主轴箱

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB736022A (en) * 1952-10-23 1955-08-31 British Insulated Callenders Improvements in or relating to screw extrusion machines
GB806986A (en) * 1956-08-24 1959-01-07 E B Wiggins Oil Tool Company I Valved couplings for conduits
CN201071902Y (zh) * 2007-08-22 2008-06-11 重庆齿轮箱有限责任公司 水下绞刀齿轮箱
CN102319690A (zh) * 2011-07-07 2012-01-18 苏州赤诚洗净科技有限公司 能使太阳能碎硅片的清洗篮转动的驱动装置
CN204340008U (zh) * 2014-11-24 2015-05-20 陈立军 一种墙锯切割机及其变速箱
CN206092912U (zh) * 2016-09-30 2017-04-12 昆山奥迪尔智能科技有限公司 一种带有冷却功能的传动装置
CN208879715U (zh) * 2018-10-24 2019-05-21 威海博世特精密机械有限公司 一种纵切车铣复合机床用电主轴装置
CN210799987U (zh) * 2019-10-07 2020-06-19 无锡阳光精机有限公司 一种用于硅片切割的主轴箱

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111843044A (zh) * 2020-06-05 2020-10-30 泉州市海恩德机电科技发展有限公司 一种高效散热的切割机
CN114227963A (zh) * 2022-01-27 2022-03-25 无锡阳光精机有限公司 一种高端装备制造用高转速偏心式切片机电主轴设备
CN114474438A (zh) * 2022-02-10 2022-05-13 无锡阳光精机股份有限公司 一种高承载高转速磁材切割主轴箱
CN114593350A (zh) * 2022-02-11 2022-06-07 无锡阳光精机股份有限公司 一种用于切片机的大扭矩高转速自驱动轴承箱
CN114593350B (zh) * 2022-02-11 2024-03-19 无锡阳光精机股份有限公司 一种用于切片机的大扭矩高转速自驱动轴承箱
CN115847640A (zh) * 2023-01-07 2023-03-28 唐山万士和电子有限公司 一种晶棒切割设备
CN115847640B (zh) * 2023-01-07 2023-08-04 唐山万士和电子有限公司 一种晶棒切割设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110541927A (zh) 一种用于硅片切割的主轴箱
CN210799987U (zh) 一种用于硅片切割的主轴箱
GB1125920A (en) Turbomachine rotors
CN209363624U (zh) 数控车床用高速电主轴气体密封结构
CN208409334U (zh) 一种动力头的防水结构
CN212318353U (zh) 一种改进型潜水泵用快速定位止推轴承
CN203599538U (zh) 一种高速气浮电主轴
CN109571063B (zh) 一种内藏式中心出水气缸换刀电主轴
CN111810438A (zh) 一种改进型潜水泵用快速定位止推轴承
CN112024913A (zh) 多功能伸缩式伺服水车电主轴
CN210968416U (zh) 全密封石材磨削主轴
CN216768660U (zh) 一种真空炉的水冷法兰结构
CN209743245U (zh) 一种高效循环冷却机械密封装置
CN103115072A (zh) 一种油润滑轴承的密封结构
CN210566259U (zh) 一种锚形干气密封机构
CN214644914U (zh) 一种高承载高转速的机床偏心式主轴
CN201042767Y (zh) 机床主轴液体滑动轴承的环形槽式冷却结构
CN218633504U (zh) 一种中冷式高速电机轴
CN111069292A (zh) 一种可冷却的轧辊结构
CN220622525U (zh) 一种具有水冷降温的轴承座
CN219704629U (zh) 一种磨削皮带主轴前后防尘结构
CN211343358U (zh) 涡旋压缩机密封结构
CN115122133B (zh) 一种应用于五轴联动机床的电主轴
CN211304794U (zh) 一种主轴中心出气转子风冷结构
CN217950735U (zh) 一种大型工业节能风机转子组

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination