CN114227963A - 一种高端装备制造用高转速偏心式切片机电主轴设备 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种高端装备制造用高转速偏心式切片机电主轴设备，属于高端装备制造领域，一体化集成高，结构简单，成本低，空间占用小，替代原机台的主轴箱、进口伺服电机、电机固定座等一系列零部件，且不改变整个机台零件和操作系统，并且主轴箱旋转的轴芯与套筒存在偏心，减小了切割中心距，扩大了切割单晶硅片的尺寸到210，从而有效提高了切割效率，另外，通过轴芯上设置的气封，配合多层端面密封结构，有效阻止硅粉固液混合物进入主轴内部，提高使用寿命，同时在气封作用过程中，在内压封圈作用下，气体能够从内压封圈内部向外挤压，进而大幅度提高相邻起到口部之间的密封性，使对硅粉固液混合物的阻止效果更好。

Description

一种高端装备制造用高转速偏心式切片机电主轴设备
技术领域
本发明涉及高端装备制造领域，更具体地说，涉及一种高端装备制造用高转速偏心式切片机电主轴设备。
背景技术
高端装备制造产业中，光伏制造发展良好，产品质量稳步提升，品类逐渐大尺寸化。大尺寸硅片在成本和效率上具备明显优势，可以帮助下游配套厂商实现增效降本。大尺寸硅片210/182是当前行业的新趋势。砂浆线切割机存量大，最大加工尺寸M6(166)。
砂浆线切割机虽然成本低，但缺点明显。一方面，砂浆切割机因为砂浆盒和辊筒外径过大的原因，使主轴安装孔距C远远大于了切割210硅片需要的切割中心距，空间占用大，造成了机台空间的极大浪费，并且切割速度慢，能耗比低下，砂浆存在严重浪费；另一方面，喷砂装置的存在，导致砂浆管路极易堵塞。
发明内容
1.要解决的技术问题
针对现有技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种高端装备制造用高转速偏心式切片机电主轴设备，一体化集成高，结构简单，成本低，空间占用小，替代原机台的主轴箱、进口伺服电机、电机固定座等一系列零部件，且不改变整个机台零件和操作系统，并且主轴箱旋转的轴芯与套筒存在偏心，减小了切割中心距，扩大了切割单晶硅片的尺寸到210，从而有效提高了切割效率，另外，通过轴芯上设置的气封，配合多层端面密封结构，有效阻止硅粉固液混合物进入主轴内部，提高使用寿命，同时在气封作用过程中，在内压封圈作用下，气体能够从内压封圈内部向外挤压，进而大幅度提高相邻起到口部之间的密封性，使对硅粉固液混合物的阻止效果更好。
2.技术方案
为解决上述问题，本发明采用如下的技术方案。
一种高端装备制造用高转速偏心式切片机电主轴设备，包括轴芯以及套设在轴芯外的套筒，所述套筒外安装有套筒法兰，所述套筒法兰上开凿有多个沉孔，通过螺钉与沉孔将套筒法兰连接在机台端面上，所述套筒包括套筒外圆以及开凿在套筒外圆内的套筒内孔，所述轴芯上从右向左依次套设有前内垫圈、第一轴承、第二轴承、第三轴承、外隔圈、内隔圈、第四轴承、第五轴承、后外垫圈和后轴承垫圈，所述第一轴承、第二轴承、第三轴承、第四轴承和第五轴承通过轴承锁紧螺母螺纹固定在轴芯上，所述轴芯以及轴芯上的各零件均放置在套筒内孔内，所述后外垫圈与第五轴承相互接触，所述后外垫圈远离第五轴承的端部盖设有后盖，所述后盖通过螺钉与套筒固定，所述轴芯右端通过螺钉固定套设有轴芯压盖，所述轴芯压盖外端固定连接有多个均匀分布的安全销，所述轴芯压盖外端盖设有前外挡盖，所述前外挡盖外端固定连接有前压盖，所述前压盖通过螺钉连接在套筒上，所述前压盖上嵌设有密封圈，所述轴芯压盖、前外挡盖、前压盖以及密封圈之间形成储气槽；
所述后盖外端套设有电机座法兰，所述电机座法兰外端面与机台端面接触，且电机座法兰通过螺钉连接有水套法兰，所述水套法兰内孔与电机座法兰配合，且水套法兰与后盖螺纹连接，所述水套法兰左端连接有水套，所述水套内开凿有多道水套水道，所述水套内安装有定子，所述轴芯左端螺纹连接有转子轴芯，所述转子轴芯外配合有转子，所述转子与转子轴芯之间通过转子锁紧螺母紧固，所述定子连接在转子轴芯外侧；
所述水套左端内配合有后轴承座，所述后轴承座右端面安装有后轴承挡圈，且后轴承座通过螺钉与水套紧固，所述后轴承座的内孔内放置有第六轴承和后调整垫圈，且第六轴承和后调整垫圈之间连接有波形弹簧，所述后轴承座的左端面上安装有编码器安装座，所述转子轴芯外套设有编码器，所述编码器的外端固定在编码器安装座上，所述后轴承座上安装有编码器挡盖，所述编码器挡盖罩设在编码器安装座外侧，安装时，使编码器安装座压紧第六轴承，使波形弹簧处于预压长度状态。
进一步的，所述电主轴设备安装方式为两台电主轴并列安装，相对安装尺寸为C。电主轴偏心的部分向内，偏心尺寸为A，主轴的切割中心距离是B，B的尺寸等于C-2A.
进一步的，所述套筒法兰包括法兰外圆以及开凿在法兰外圆上的法兰内孔，法兰内孔法兰内孔与轴芯轴芯同心，法兰外圆法兰外圆与套筒外圆套筒外圆同心。
进一步的，所述前外挡盖内孔与轴芯压盖外圆配合，并形成多个迷宫式气隙。
进一步的，所述水套内还开凿有多个水套气道，所述后轴承座上开凿有多个均匀分布的冷却液口以及进气口，所述冷却液口与水套水道相通，冷却液从冷却液口进入后，圆周上循环冷却，有效带走定子上产生的热量，达到热的循环冷却；所述进气口与水套气道相通，所述水套法兰、后盖、套筒以及前压盖上分别开凿有与多个水套气道相对应的多个水套法兰气道、后盖气道、套筒气道、前压盖气道，且进气口、水套法兰气道、后盖气道、套筒气道、前压盖气道以及储气槽依次相互连通，压缩空气从进气口，进入主轴内部，途经水套气道、水套法兰气道、后盖气道、套筒气道、前压盖气道，进入储气槽内，形成多层气封结构。
进一步的，所述密封圈由耐磨耐高温的韧性材料制成，且密封圈右端面与轴芯压盖紧密贴合，旋转摩擦，配合上述多层端面密封结构，有效阻止杂质进入主轴内部，极少数进入前端的杂质存附在前压盖前压盖面上，压缩空气充满储气槽储气槽后，从前外挡盖前外挡盖内孔与轴芯压盖轴芯压盖的迷宫式气隙中溢出，带走前压盖前压盖面上杂质，有效阻止其进入主轴内部。
进一步的，所述进气口、水套法兰气道、后盖气道、套筒气道、前压盖气道相互靠近的口部处均放置有内压封圈，通过内压封圈有效提高相邻两个气道连接处的密封性，有效保证上述气封结构中压缩气体的顺利运行，进而使对硅粉固液混合物等杂质的阻止拦截效果更好，有效保证电主轴的高速转动，沿着气流的流通方向，所述内压封圈距离气源更远的一侧内壁固定连接有鼓风片，所述内压封圈内部开凿有内压封腔以及预开闭口槽，且二者相互连通，所述鼓风片位于预开闭口槽远离气源的一侧。
进一步的，所述鼓风片包括多个鼓风层和外延片，多个所述鼓风层和外延片相互间隔固定。
进一步的，所述鼓风层为柔性密封结构，使其在气体挤压作用下能够朝向右侧鼓起，便于外延片形变，且鼓风层处于松弛状态，使其不易影响外延片向外形变，所述外延片为弹性材料制成，且外延片沿着靠近内压封圈中心处的方向，厚度逐渐变小，使外延片在受到气体的推动力时，其在沿着气体流通方向形变时，有效保证其能够带动内压封圈边缘移动，便于预开闭口槽开口。
进一步的，所述预开闭口槽截面为Y形结构，且Y形下端面相互接触，另外相邻的两个风道的口部截面不同，沿着气体流通方向，右侧的口径大于左侧口径，所述预开闭口槽的径向跨度不小于两个气道之间的口径差，使在压缩空气通过时，在压缩空气挤压下，鼓风片形变后能够带动内压封圈内壁沿着气体流通方向偏移，使Y形的预开闭口槽开口，便于压缩气体进入到其内压封腔内，从而在内压封腔内向外挤压，大幅度提高内压封圈与两侧气道口部的密封强度，有效避免气体外溢，提高对硅粉固液混合物的阻止效果。
3.有益效果
相比于现有技术，本发明的优点在于：
(1)本方案一体化集成高，结构简单，成本低，空间占用小，替代原机台的主轴箱、进口伺服电机、电机固定座等一系列零部件，且不改变整个机台零件和操作系统，并且主轴箱旋转的轴芯与套筒存在偏心，减小了切割中心距，扩大了切割单晶硅片的尺寸到210，从而有效提高了切割效率，另外，通过轴芯上设置的气封，配合多层端面密封结构，有效阻止硅粉固液混合物进入主轴内部，提高使用寿命，同时在气封作用过程中，在内压封圈作用下，气体能够从内压封圈内部向外挤压，进而大幅度提高相邻起到口部之间的密封性，使对硅粉固液混合物的阻止效果更好。
附图说明
图1为本发明的正面的结构示意图；
图2为图1中D处的结构示意图；
图3为图1中E处的结构示意图；
图4为本发明的电主轴轴头部分的结构示意图；
图5为本发明的套筒截面的结构示意图；
图6为本发明的套筒法兰的俯视的结构示意图；
图7为本发明在安装配对时的简易结构示意图；
图8为本发明的内压封圈截面的结构示意图；
图9为本发明的内压封圈径向的结构示意图；
图10为本发明的内压封圈在压缩空气经过时部分截面的结构示意图。
图中标号说明：
1轴芯、2安全销、3轴芯压盖、4前外挡盖、5前压盖、6套筒法兰、601法兰内孔、602法兰外圆、7前内垫圈、8第一轴承、9第二轴承、10第三轴承、11外隔圈、12内隔圈、13第四轴承、14第五轴承15后外垫圈、16后轴承垫圈、17轴承锁紧螺母、18电机座法兰、19水套法兰、20水套、21定子、22转子、23转子轴芯、24转子锁紧螺母、25后轴承座、26后轴承挡圈、27第六轴承、28后调整垫圈、29编码器安装座、30编码器、31编码器挡盖、32套筒、3210套筒内孔、3220套筒外圆、33后盖、34波形弹簧、35密封圈、36内压封圈、361鼓风层、362外延片、3601预开闭口槽、3602内压封腔；
501前压盖气道、3201套筒气道、3301后盖气道、1901水套法兰气道、2001水套气道、2002水套水道、Q00进气口、Q01储气槽、W01冷却液口。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图；对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然；所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例；而不是全部的实施例，基于本发明中的实施例；本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例；都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
实施例1：
请参阅图1和图4，一种高端装备制造用高转速偏心式切片机电主轴设备，包括轴芯1以及套设在轴芯1外的套筒32，套筒法兰6和套筒32的内孔和外圆存在偏心，偏心距离为A，如图7，电主轴设备安装方式为两台电主轴并列安装，相对安装尺寸为C，电主轴偏心的部分向内，偏心尺寸为A，此处偏心尺寸A即为上述套筒法兰6和套筒32的之间的偏心距离，主轴的切割中心距离是B，B的尺寸等于C-2A。
轴芯1上从右向左依次套设有前内垫圈7、第一轴承8、第二轴承9、第三轴承10、外隔圈11、内隔圈12、第四轴承13、第五轴承14、后外垫圈15和后轴承垫圈16，第一轴承8、第二轴承9、第三轴承10、第四轴承13和第五轴承14通过轴承锁紧螺母17螺纹固定在轴芯1上，轴芯1以及轴芯1上的各零件均放置在套筒内孔3210内，后外垫圈15与第五轴承14相互接触，后外垫圈15远离第五轴承14的端部盖设有后盖33，后盖33通过螺钉与套筒32固定，轴芯1右端通过螺钉固定套设有轴芯压盖3，轴芯压盖3外端固定连接有多个均匀分布的安全销2，轴芯压盖3外端盖设有前外挡盖4，前外挡盖4外端固定连接有前压盖5，前压盖5通过螺钉连接在套筒32上，前压盖5上嵌设有密封圈35，如图2，轴芯压盖3、前外挡盖4、前压盖5以及密封圈35之间形成储气槽Q01，前外挡盖4内孔与轴芯压盖3外圆配合，并形成多个迷宫式气隙，气隙与储气槽Q01相通。
套筒32外安装有套筒法兰6，如图6，套筒法兰6包括法兰外圆602以及开凿在法兰外圆602上的法兰内孔601，法兰内孔601法兰内孔与轴芯1轴芯同心，法兰外圆602法兰外圆与套筒外圆3220套筒外圆同心，套筒法兰6上开凿有多个沉孔，通过螺钉与沉孔将套筒法兰6连接在机台端面上，如图5，套筒32包括套筒外圆3220以及开凿在套筒外圆3220内的套筒内孔3210；
特殊的轴承配置，使得主轴相对于原轴箱有转速高、承载高、噪音低的特点。
后盖33外端套设有电机座法兰18，电机座法兰18外端面与机台端面接触，且电机座法兰18通过螺钉连接有水套法兰19，水套法兰19内孔与电机座法兰18配合，且水套法兰19与后盖33螺纹连接，水套法兰19左端连接有水套20，水套20内开凿有多道水套水道2002，水套20内安装有定子21，轴芯1左端螺纹连接有转子轴芯23，转子轴芯23侧面设有多个顶丝紧固，有效保证主轴正反转时转子轴芯23不松脱，转子轴芯23外配合有转子22，转子22与转子轴芯23之间通过转子锁紧螺母24紧固，定子21连接在转子轴芯23外侧。
定子21定子和转子22转子组成与系统兼容的永磁同步电机，并与编码器30编码器形成闭环控制。能够在保持原系统不变的情况，无需采购高价的进口伺服电机，大大的降低了成本。
水套20左端内配合有后轴承座25，后轴承座25右端面安装有后轴承挡圈26，且后轴承座25通过螺钉与水套20紧固，后轴承座25的内孔内放置有第六轴承27和后调整垫圈28，且第六轴承27和后调整垫圈28之间连接有波形弹簧34，后轴承座25的左端面上安装有编码器安装座29，转子轴芯23外套设有编码器30，编码器30的外端固定在编码器安装座29上，后轴承座25上安装有编码器挡盖31，编码器挡盖31罩设在编码器安装座29外侧，安装时，使编码器安装座29压紧第六轴承27，使波形弹簧34处于预压长度状态。
水套20内还开凿有多个水套气道2001，后轴承座25上开凿有多个均匀分布的冷却液口W01以及进气口Q00，冷却液口W01与水套水道2002相通，冷却液从冷却液口W01进入后，圆周上循环冷却，有效带走定子21上产生的热量，达到热的循环冷却；进气口Q00与水套气道2001相通，水套法兰19、后盖33、套筒32以及前压盖5上分别开凿有与多个水套气道2001相对应的多个水套法兰气道1901、后盖气道3301、套筒气道3201、前压盖气道501，且进气口Q00、水套法兰气道1901、后盖气道3301、套筒气道3201、前压盖气道501以及储气槽Q01依次相互连通，压缩空气从进气口Q00，进入主轴内部，途经水套气道2001、水套法兰气道1901、后盖气道3301、套筒气道3201、前压盖气道501，进入储气槽Q01内，形成多层气封结构。
密封圈35由耐磨耐高温的韧性材料制成，且密封圈35右端面与轴芯压盖3紧密贴合，旋转摩擦，配合上述多层端面密封结构，有效阻止杂质进入主轴内部，极少数进入前端的杂质存附在前压盖5前压盖面上，压缩空气充满储气槽Q01储气槽后，从前外挡盖4前外挡盖内孔与轴芯压盖3轴芯压盖的迷宫式气隙中溢出，带走前压盖5前压盖面上杂质，有效阻止其进入主轴内部。
请参阅图3和图8，进气口Q00、水套法兰气道1901、后盖气道3301、套筒气道3201、前压盖气道501相互靠近的口部处均放置有内压封圈36，通过内压封圈36有效提高相邻两个气道连接处的密封性，有效保证上述气封结构中压缩气体的顺利运行，进而使对硅粉固液混合物等杂质的阻止拦截效果更好，有效保证电主轴的高速转动，沿着气流的流通方向，内压封圈36距离气源更远的一侧内壁固定连接有鼓风片，内压封圈36内部开凿有内压封腔3602以及预开闭口槽3601，且二者相互连通，鼓风片位于预开闭口槽3601远离气源的一侧。
如图9，鼓风片包括多个鼓风层361和外延片362，多个鼓风层361和外延片362相互间隔固定，鼓风层361为柔性密封结构，使其在气体挤压作用下能够朝向右侧鼓起，便于外延片362形变，且鼓风层361处于松弛状态，使其不易影响外延片362向外形变，外延片362为弹性材料制成，且外延片362沿着靠近内压封圈36中心处的方向，厚度逐渐变小，使外延片362在受到气体的推动力时，其在沿着气体流通方向形变时，有效保证其能够带动内压封圈36边缘移动，便于预开闭口槽3601开口。
预开闭口槽3601截面为Y形结构，且Y形下端面相互接触，另外相邻的两个风道的口部截面不同，沿着气体流通方向，右侧的口径大于左侧口径，预开闭口槽3601的径向跨度不小于两个气道之间的口径差，如图10，使在压缩空气通过时，在压缩空气挤压下，鼓风片形变后能够带动内压封圈36内壁沿着气体流通方向偏移，使Y形的预开闭口槽3601开口，便于压缩气体进入到其内压封腔3602内，从而在内压封腔3602内向外挤压，大幅度提高内压封圈36与两侧气道口部的密封强度，有效避免气体外溢，提高对硅粉固液混合物的阻止效果。
另外，经测试，本电主轴最高线速度可以达到40m/s，最高转速4500RPM，且主轴箱旋转的轴芯1轴芯与套筒32套筒存在偏心，减小了切割中心距，扩大了切割单晶硅片的尺寸到210。
本方案一体化集成高，结构简单，成本低，空间占用小，替代原机台的主轴箱、进口伺服电机、电机固定座等一系列零部件，且不改变整个机台零件和操作系统，并且主轴箱旋转的轴芯1与套筒32存在偏心，减小了切割中心距，扩大了切割单晶硅片的尺寸到210，从而有效提高了切割效率，另外，通过轴芯1上设置的气封，配合多层端面密封结构，有效阻止硅粉固液混合物进入主轴内部，提高使用寿命，同时在气封作用过程中，在内压封圈36作用下，气体能够从内压封圈36内部向外挤压，进而大幅度提高相邻起到口部之间的密封性，使对硅粉固液混合物的阻止效果更好。
以上所述；仅为本发明较佳的具体实施方式；但本发明的保护范围并不局限于此；任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内；根据本发明的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变；都应涵盖在本发明的保护范围内。

Claims (10)

1.一种高端装备制造用高转速偏心式切片机电主轴设备，包括轴芯(1)以及套设在轴芯(1)外的套筒(32)，其特征在于：所述套筒(32)外安装有套筒法兰(6)，所述套筒法兰(6)上开凿有多个沉孔，通过螺钉与沉孔将套筒法兰(6)连接在机台端面上，所述套筒(32)包括套筒外圆(3220)以及开凿在套筒外圆(3220)内的套筒内孔(3210)，所述轴芯(1)上从右向左依次套设有前内垫圈(7)、第一轴承(8)、第二轴承(9)、第三轴承(10)、外隔圈(11)、内隔圈(12)、第四轴承(13)、第五轴承(14)、后外垫圈(15)和后轴承垫圈(16)，所述第一轴承(8)、第二轴承(9)、第三轴承(10)、第四轴承(13)和第五轴承(14)通过轴承锁紧螺母(17)螺纹固定在轴芯(1)上，所述轴芯(1)以及轴芯(1)上的各零件均放置在套筒内孔(3210)内，所述后外垫圈(15)与第五轴承(14)相互接触，所述后外垫圈(15)远离第五轴承(14)的端部盖设有后盖(33)，所述后盖(33)通过螺钉与套筒(32)固定，所述轴芯(1)右端通过螺钉固定套设有轴芯压盖(3)，所述轴芯压盖(3)外端固定连接有多个均匀分布的安全销(2)，所述轴芯压盖(3)外端盖设有前外挡盖(4)，所述前外挡盖(4)外端固定连接有前压盖(5)，所述前压盖(5)通过螺钉连接在套筒(32)上，所述前压盖(5)上嵌设有密封圈(35)，所述轴芯压盖(3)、前外挡盖(4)、前压盖(5)以及密封圈(35)之间形成储气槽(Q01)；
所述后盖(33)外端套设有电机座法兰(18)，所述电机座法兰(18)外端面与机台端面接触，且电机座法兰(18)通过螺钉连接有水套法兰(19)，所述水套法兰(19)内孔与电机座法兰(18)配合，且水套法兰(19)与后盖(33)螺纹连接，所述水套法兰(19)左端连接有水套(20)，所述水套(20)内开凿有多道水套水道(2002)，所述水套(20)内安装有定子(21)，所述轴芯(1)左端螺纹连接有转子轴芯(23)，所述转子轴芯(23)外配合有转子(22)，所述转子(22)与转子轴芯(23)之间通过转子锁紧螺母(24)紧固，所述定子(21)连接在转子轴芯(23)外侧；
所述水套(20)左端内配合有后轴承座(25)，所述后轴承座(25)右端面安装有后轴承挡圈(26)，且后轴承座(25)通过螺钉与水套(20)紧固，所述后轴承座(25)的内孔内放置有第六轴承(27)和后调整垫圈(28)，且第六轴承(27)和后调整垫圈(28)之间连接有波形弹簧(34)，所述后轴承座(25)的左端面上安装有编码器安装座(29)，所述转子轴芯(23)外套设有编码器(30)，所述编码器(30)的外端固定在编码器安装座(29)上，所述后轴承座(25)上安装有编码器挡盖(31)，所述编码器挡盖(31)罩设在编码器安装座(29)外侧。
2.根据权利要求1所述的一种高端装备制造用高转速偏心式切片机电主轴设备，其特征在于：所述电主轴设备安装方式为两台电主轴并列安装，相对安装尺寸为C，电主轴偏心的部分向内，偏心尺寸为A，主轴的切割中心距离是B，B的尺寸等于C-2A。
3.根据权利要求2所述的一种高端装备制造用高转速偏心式切片机电主轴设备，其特征在于：所述套筒法兰(6)包括法兰外圆(602)以及开凿在法兰外圆(602)上的法兰内孔(601)，法兰内孔(601)法兰内孔与轴芯(1)轴芯同心，法兰外圆(602)法兰外圆与套筒外圆(3220)套筒外圆同心。
4.根据权利要求1所述的一种高端装备制造用高转速偏心式切片机电主轴设备，其特征在于：所述前外挡盖(4)内孔与轴芯压盖(3)外圆配合，并形成多个迷宫式气隙。
5.根据权利要求1所述的一种高端装备制造用高转速偏心式切片机电主轴设备，其特征在于：所述水套(20)内还开凿有多个水套气道(2001)，所述后轴承座(25)上开凿有多个均匀分布的冷却液口(W01)以及进气口(Q00)，所述冷却液口(W01)与水套水道(2002)相通，所述进气口(Q00)与水套气道(2001)相通，所述水套法兰(19)、后盖(33)、套筒(32)以及前压盖(5)上分别开凿有与多个水套气道(2001)相对应的多个水套法兰气道(1901)、后盖气道(3301)、套筒气道(3201)、前压盖气道(501)，且进气口(Q00)、水套法兰气道(1901)、后盖气道(3301)、套筒气道(3201)、前压盖气道(501)以及储气槽(Q01)依次相互连通。
6.根据权利要求1所述的一种高端装备制造用高转速偏心式切片机电主轴设备，其特征在于：所述密封圈(35)由耐磨耐高温的韧性材料制成，且密封圈(35)右端面与轴芯压盖(3)紧密贴合。
7.根据权利要求5所述的一种高端装备制造用高转速偏心式切片机电主轴设备，其特征在于：所述进气口(Q00)、水套法兰气道(1901)、后盖气道(3301)、套筒气道(3201)、前压盖气道(501)相互靠近的口部处均放置有内压封圈(36)，沿着气流的流通方向，所述内压封圈(36)距离气源更远的一侧内壁固定连接有鼓风片，所述内压封圈(36)内部开凿有内压封腔(3602)以及预开闭口槽(3601)，且二者相互连通，所述鼓风片位于预开闭口槽(3601)远离气源的一侧。
8.根据权利要求7所述的一种高端装备制造用高转速偏心式切片机电主轴设备，其特征在于：所述鼓风片包括多个鼓风层(361)和外延片(362)，多个所述鼓风层(361)和外延片(362)相互间隔固定。
9.根据权利要求8所述的一种高端装备制造用高转速偏心式切片机电主轴设备，其特征在于：所述鼓风层(361)为柔性密封结构，且鼓风层(361)处于松弛状态，所述外延片(362)为弹性材料制成，且外延片(362)沿着靠近内压封圈(36)中心处的方向，厚度逐渐变小。
10.根据权利要求9所述的一种高端装备制造用高转速偏心式切片机电主轴设备，其特征在于：所述预开闭口槽(3601)截面为Y形结构，且Y形下端面相互接触，另外相邻的两个风道的口部截面不同，右侧的口径大于左侧口径，所述预开闭口槽(3601)的径向跨度不小于两个气道之间的口径差。
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