CN220505308U - 一种螺杆真空泵 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种螺杆真空泵，包括泵壳、螺杆转子和轴承组件，螺杆转子设置在泵壳内；轴承组件设置于螺杆转子和泵壳之间，轴承组件包括固定设置在泵壳内的轴承座；轴承座的内周和/或螺杆转子的外周沿轴向间隔设有若干环形密封槽，若干环形密封槽适于在轴承座和螺杆转子装配后在二者之间形成若干用于阻挡气流的环形扰流腔，以实现轴承座与螺杆转子的转动密封。通过上述设计，气体在流经轴承座和螺杆转子之间的间隙时会在扰流腔内产生涡流，从而对气体的流动产生阻碍，形成有效的密封，避免了传统的密封圈密封在高温高速转动下磨损严重，导致密封性降低或失效的问题，有效地防止油雾进入真空腔内，提高了泵内真空环境的稳定性和抽真空效果。

Description

一种螺杆真空泵

技术领域

本实用新型涉及真空泵技术领域，具体涉及一种螺杆真空泵。

背景技术

随着现代工业技术的发展，越来越多的产业需要使用真空技术。例如，半导体生产、太阳能技术、航空航天工业、电子器件制造、高科技医疗等领域都需要高质量的真空设备。螺杆真空泵是一种常见的真空泵，与其他类型的真空泵相比，其最大特点是能够实现非常高的真空度，并且广泛用于各种真空元件的制造和工业生产中。

干式螺杆真空泵是一种容积式无油真空泵，现有结构的干式螺杆真空泵在使用过程中由于转速较高，端盖内的润滑油在高转速驱动下会产生油雾气体，油雾气体会沿转子与端盖之间的缝隙进入真空腔内。传统的干式双螺杆真空泵轴封通常采用轴套和密封圈对上述间隙进行密封，然而在高温和高转速的工况下，密封圈在运行过程中会有相对旋转运动，与端盖或轴套间产生相对摩擦，长时间运行会影响密封圈使用寿命，进而导致螺杆真空泵的密封性能和使用寿命降低。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于现有真空泵的密封结构在运行过程相对摩擦，影响密封性能和使用寿命。

本实用新型提供了一种螺杆真空泵，包括泵壳、螺杆转子和轴承组件，所述螺杆转子可转动地设置在所述泵壳内；所述轴承组件设置于所述螺杆转子和所述泵壳之间，所述轴承组件包括固定设置在泵壳内的轴承座；所述轴承座的内周和/或所述螺杆转子的外周沿轴向间隔设有若干环形密封槽，若干所述环形密封槽适于在所述轴承座和螺杆转子装配后在二者之间形成若干用于阻挡气流的环形扰流腔，以实现所述轴承座与所述螺杆转子的转动密封。

可选地，上述的螺杆真空泵，所述环形密封槽包括沿轴向间隔设置在所述轴承座的内周若干第一环形密封槽，所述第一环形密封槽适于在所述轴承座和螺杆转子装配后与所述螺杆转子的外周面配合形成所述环形扰流腔；

或者，所述环形密封槽包括沿轴向间隔设置在所述螺杆转子的外周若干第二环形密封槽，所述第二环形密封槽适于在所述轴承座和螺杆转子装配后与所述轴承座的内周面配合形成所述环形扰流腔；

或者，所述环形密封槽包括沿轴向间隔设置在所述轴承座的内周若干第一环形密封槽以及对应设置在所述螺杆转子的外周的若干第二环形密封槽，若干所述第一环形密封槽和若干所述第二环形密封槽一一对应配合，以在所述轴承座和所述螺杆转子之间形成所述环形扰流腔。

可选地，上述的螺杆真空泵，所述螺杆转子包括：螺杆主体和密封轴套，所述密封轴套套设固定于所述螺杆主体上，所述环形密封槽包括成型于所述密封轴套的外周的第二环形密封槽。

可选地，上述的螺杆真空泵，所述轴承组件包括设置在所述螺杆转子两端的第一轴承结构和第二轴承结构；所述环形密封槽包括沿轴向间隔设置在第一轴承座和第二轴承座的内周的若干第一环形密封槽以及对应设置在所述螺杆转子两端的若干第二环形密封槽，若干所述第一环形密封槽和若干所述第二环形密封槽一一对应配合，以在所述螺杆转子两端分别形成若干环形扰流腔。

可选地，上述的螺杆真空泵，所述螺杆真空泵还包括驱动组件，所述驱动组件设置在所述泵壳的一端，适于驱动所述螺杆转子转动，以抽取待抽真空对象内的介质；所述第一轴承结构设置在远离所述驱动组件的一端，所述第一轴承结构还包括设置在第一轴承座内的第一轴承和第二轴承，所述第一轴承和第二轴承沿轴向依次转动配合于所述螺杆转子远离驱动组件的一端外周；所述第二轴承结构设置在靠近所述驱动组件的一端，所述第二轴承结构还包括设置在第二轴承座内的第三轴承，所述第三轴承转动配合于所述螺杆转子靠近所述驱动组件的一端外周。

可选地，上述的螺杆真空泵，所述第一轴承结构还包括分隔件，所述分隔件挤压设置在第一轴承与所述第二轴承之间，所述分隔件上设有连通部，所述连通部适于供润滑介质在第一轴承与所述第二轴承之间流通；所述分隔件的外周与所述轴承座的内周抵靠，且所述分隔件的外周设有定位部，所述分隔件适于通过所述定位部与所述轴承座在圆周方向上形成限位。

可选地，上述的螺杆真空泵，所述螺杆真空泵还包括冷却组件，所述冷却组件设置在所述泵壳和/或驱动组件上，用于对所述螺杆真空泵进行降温冷却。

可选地，上述的螺杆真空泵，所述驱动组件包括驱动电机和变频器，所述冷却组件包括第一冷却结构和第二冷却结构，所述第一冷却结构设置在所述驱动电机内，所述第一冷却结构具有与外接冷却设备连通的冷却腔，适于通过所述外接冷却设备向第一冷却结构通入冷却液对驱动电机进行降温；所述第二冷却结构包括设置在所述变频器外侧的吸热件以及设置在所述吸热件内的冷却管，所述吸热件与所述变频器贴合以吸收所述变频器的热量，所述冷却管适于外接冷却介质以对所述吸热件和所述变频器进行降温。

可选地，上述的螺杆真空泵，所述泵壳包括壳主体和端盖，所述端盖位于所述壳主体远离所述驱动组件的一端，所述端盖内设有适于向第一轴承结构提供润滑介质的第一导流机构，所述冷却组件还包括第三冷却结构和第四冷却结构，所述第三冷却结构设置在所述端盖内，所述第三冷却结构具有与外接冷却设备连通的冷却腔，所述第三冷却结构适于通过对所述端盖内的导流机构进行降温，实现对第一轴承结构进行降温冷却；所述第四冷却结构设置在所述壳主体与所述驱动电机之间，所述第四冷却结构内设有适于向第二轴承结构提供润滑介质的第二导流机构，以及适于向所述驱动电机提供润滑介质的通油孔。

可选地，上述的螺杆真空泵，所述壳主体包括位于中间的主体部和设置在主体部两侧的第一安装部和第二安装部，其中第一安装部适于容置安装所述第一轴承结构，第二安装部适于容置安装所述第二轴承结构；所述第一安装部和第二安装部上分别设有适于通入氮气的吹扫孔；所述螺杆真空泵还包括设置在所述端盖和第四冷却结构内的液位检测机构，所述液位检测机构适于检测所述端盖内和所述第四冷却结构内腔内的润滑介质液位。

可选地，上述的螺杆真空泵，所述螺杆转子具有两个，所述驱动电机为双驱电机；所述驱动组件还包括两个传动件，两个传动件对应固设在两个螺杆转子远离所述驱动电机的一端，且两个所述传动件相互啮合以同步两个所述螺杆转子的运动。

本实用新型提供的技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供的螺杆真空泵，包括泵壳、螺杆转子和轴承组件，螺杆转子设置在泵壳内；轴承组件设置于螺杆转子和泵壳之间，轴承组件包括固定设置在泵壳内的轴承座；轴承座的内周沿轴向间隔设有若干第一环形密封槽，螺杆转子的外周对应设置有若干第二环形密封槽，若干第一环形密封槽和若干第二环形密封槽一一对应配合，以实现轴承座与螺杆转子的转动密封。

此结构的螺杆真空泵，螺杆真空泵通过螺杆转子的转动来产生真空效果，其中的密封系统能够有效地防止气体泄漏，从而提高泵的效率和性能。该泵壳和轴承组件的设计使得螺杆转子能够稳定地运行，并且能够承受较大的压力和负荷。轴承座与螺杆转子的密封配合设计能够有效地减少泵内部的磨损和故障，提高泵的可靠性和寿命。通过使用了第一环形密封槽与第二环形密封槽的配合设计，密封槽内不设密封圈，通过上述设计，气体在流经轴承座和螺杆转子之间的间隙时会在扰流腔内产生涡流，从而对气体的流动产生阻碍，形成有效的密封，避免了传统的密封圈密封在高温高速转动下磨损严重，导致密封性降低或失效的问题，有效地防止油雾进入真空腔内，提高了泵内真空环境的稳定性和抽真空效果。螺杆真空泵的设计相对简单并且体积较小，使其能够轻松地集成到各种设备和系统中。结构紧凑的设计也使得泵的安装和维护变得更加方便和容易。

2.本实用新型提供的螺杆真空泵，螺杆转子包括：螺杆主体和密封轴套，密封轴套套设固定于螺杆主体上，若干第二环形密封槽成型于密封轴套的外周。

此结构的螺杆真空泵，密封轴套与转子固定连接并保持同步旋转，与轴承座实现相对转动，能够有效地防止气体泄漏，确保真空泵的高效运行。若干第二环形密封槽成型于密封轴套的外周，进一步增强了密封效果，降低了泄漏风险。螺杆转子的密封轴套设计提供了稳定的支撑和固定，使得螺杆主体和密封轴套之间的连接更加牢固和可靠。这有助于减少泵内部的摩擦和磨损，并且能够承受较大的压力和负荷，提高泵的稳定性和可靠性。密封轴套的套设固定于螺杆主体上，使得整个螺杆转子作为一个完整的系统。这种结构使得螺杆主体和密封轴套之间的配合更加紧密，减少了振动和松动的可能性，增强了整个系统的可靠性和稳定性。由于密封轴套的设计，螺杆转子的维护变得更加方便。如果需要更换或修理密封轴套，可以直接拆卸并替换，减少了维护时间和成本。

3.本实用新型提供的螺杆真空泵，驱动组件包括驱动电机和变频器，冷却结构包括第一冷却结构和第二冷却结构，第一冷却结构设置在驱动电机内，第一冷却结构具有与外接冷却设备连通的冷却腔，适于通过外接冷却设备向第一冷却结构通入冷却液对驱动电机进行降温；第二冷却结构包括设置在变频器外侧的吸热件以及设置在吸热件内的冷却管，吸热件与变频器贴合以吸收变频器的热量，冷却管适于外接冷却介质以对吸热件和变频器进行降温。

此结构的螺杆真空泵，通过设置变频器，可实现调整电机转速，通过转速调整可实现抽气速率改变，可达到节能效果。变频器可以在零转速零电压环境下启动，减少热量产生，提高使用寿命。变频器通过螺栓与第二冷却结构进行固定连接，然后再通过螺栓固定于驱动电机上。电机外壳材料采用铝合金铸造材料，第一冷却结构为在驱动电机内部设置的冷却水管，通过冷却水冷却电机，降低电机使用温度，提高电机使用寿命。第二冷却结构为设置在变频器底部的冷却排，冷却排采用铝合金铸造材料，并在内部设有冷却水管，通过冷却水冷却变频器，降低使用温度，提高变频器使用寿命。

4.本实用新型提供的螺杆真空泵，泵壳包括壳主体和端盖，端盖位于壳主体远离驱动组件的一端，端盖内设有适于向第一轴承结构提供润滑介质的第一导流机构，冷却组件还包括第三冷却结构和第四冷却结构，第三冷却结构设置在端盖内，第三冷却结构具有与外接冷却设备连通的冷却腔，第三冷却结构适于通过对端盖内的导流机构进行降温，实现对第一轴承结构进行降温冷却；第四冷却结构设置在壳主体与驱动电机之间，第四冷却结构内设有适于向第二轴承结构提供润滑介质的第二导流机构，以及适于向驱动电机提供润滑介质的通油孔。

此结构的螺杆真空泵，端盖采用铝合金铸造材料，具有良好的导热性，热传导能力极强，散热速度快。第三冷却结构为端盖内部预设的冷却水管，通过冷却水不断冷却端盖内部润滑油，第一导流机构将冷却后的润滑油不断输入到齿轮和轴承上，以达到冷却和润滑齿轮与轴承作用。第四冷却结构为冷却箱，同样采用具有良好的导热性的铝合金铸造材料，第二导流机构将冷却后的润滑油不断输入到轴承上，以达到润滑冷却轴承作用。冷却箱体的润滑油可通过通油孔进入到驱动电机的定子与转子之间，可达到冷却电机的作用。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的实施例中提供的螺杆真空泵的整体结构示意图；

图2为本实用新型的实施例中提供的螺杆真空泵的第一轴承座的结构示意图；

图3为本实用新型的实施例中提供的螺杆真空泵的端盖一侧的局部结构示意图；

图4为本实用新型的实施例中提供的螺杆真空泵的驱动侧的局部结构示意图；

图5为本实用新型的实施例中提供的螺杆真空泵的外部结构示意图；

图6为本实用新型的实施例中提供的螺杆真空泵的分隔件的结构示意图；

图7为本实用新型的实施例中提供的螺杆真空泵的第一冷却结构的结构示意图；

图8为本实用新型的实施例中提供的螺杆真空泵的第二冷却结构的结构示意图；

图9为本实用新型的实施例中提供的螺杆真空泵的第三冷却结构的结构示意图；

图10为本实用新型的实施例中提供的螺杆真空泵的第四冷却结构的结构示意图；

图11为本实用新型的实施例中提供的螺杆真空泵的第一安装部的结构示意图；

图12为本实用新型的实施例中提供的螺杆真空泵的主体部的结构示意图；

附图标记说明：

1-泵壳；11-壳主体；111-主体部；112-第一安装部；113-第二安装部；114-吹扫孔；115-排气孔；116-进气口；12-端盖；121-第一导流机构；

2-螺杆转子；21-螺杆主体；22-密封轴套；23-第二环形密封槽；

3-轴承组件；31-第一轴承结构；311-第一轴承座；312-第一轴承；313-第二轴承；314-分隔件；3141-连通部；3142-定位部；32-第二轴承结构；321-第二轴承座；322-第三轴承；33-第一环形密封槽；

4-驱动组件；41-驱动电机；42-变频器；43-传动件；

5-冷却组件；51-第一冷却结构；52-第二冷却结构；521-吸热件；522-冷却管；53-第三冷却结构；54-第四冷却结构；541-第二导流机构；542-通油孔；

6-液位检测机构。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例

如图1和图2所示，本实施例提供了一种螺杆真空泵，包括泵壳1、螺杆转子2和轴承组件3，螺杆转子2可转动地设置在泵壳1内；轴承组件3设置于螺杆转子2和泵壳1之间，轴承组件3包括固定设置在泵壳1内的轴承座；轴承座的内周和/或螺杆转子2的外周沿轴向间隔设有若干环形密封槽，若干环形密封槽适于在轴承座和螺杆转子2装配后在二者之间形成若干用于阻挡气流的环形扰流腔，以实现轴承座与螺杆转子2的转动密封。

具体在本实施例中，螺杆真空泵通过螺杆转子2的转动来产生真空效果，其中的密封系统能够有效地防止气体泄漏，从而提高泵的效率和性能。该泵壳1和轴承组件3的设计使得螺杆转子2能够稳定地运行，并且能够承受较大的压力和负荷。轴承座与螺杆转子2的密封配合设计能够有效地减少泵内部的磨损和故障，提高泵的可靠性和寿命。螺杆真空泵的设计相对简单并且体积较小，使其能够轻松地集成到各种设备和系统中。结构紧凑的设计也使得泵的安装和维护变得更加方便和容易。

进一步地，该泵采用在轴承座内周或螺杆转子2外周设置环形密封槽的配合设计，能够实现轴承座与螺杆转子2的转动密封。这种密封结构设计相比传统结构中唇封轴套的密封结构设计方案，密封槽内不设密封圈，减少了高温高速运转工况下密封圈磨损导致的密封性能下降或失效的可能性。真空泵运转时转速较高，通过上述设计，气体在流经轴承座和螺杆转子之间的间隙时会在扰流腔内产生涡流，从而对气体的流动产生阻碍，形成有效的密封，避免了传统的密封圈密封在高温高速转动下磨损严重，导致密封性降低或失效的问题，有效地防止油雾进入真空腔内，提高了泵内真空环境的稳定性和抽真空效果。

如图2和图3所示，本实施例提供的螺杆真空泵，环形密封槽包括沿轴向间隔设置在轴承座的内周若干第一环形密封槽33，第一环形密封槽33适于在轴承座和螺杆转子2装配后与螺杆转子2的外周面配合形成环形扰流腔；或者，环形密封槽包括沿轴向间隔设置在螺杆转子2的外周若干第二环形密封槽23，第二环形密封槽23适于在轴承座和螺杆转子2装配后与轴承座的内周面配合形成环形扰流腔；或者，环形密封槽包括沿轴向间隔设置在轴承座的内周若干第一环形密封槽33以及对应设置在螺杆转子2的外周的若干第二环形密封槽23，若干第一环形密封槽33和若干第二环形密封槽23一一对应配合，以在轴承座和螺杆转子2之间形成环形扰流腔。

具体在本实施例中，轴承座的内周与螺杆转子2的外周均沿轴向设有若干环形密封槽，轴承座内周的环形密封槽为第一环形密封槽33，螺杆转子2外周的环形密封槽为第二环形密封槽23。需要说明的是，仅在轴承座内周设置第一环形密封槽33或仅在螺杆转子2外周设置第二环形密封槽，通过环形密封槽与曲面接触面的配合同样能够实现部分密封效果，本实施例对此不做具体限定。

如图3所示，本实施例提供的螺杆真空泵，螺杆转子2包括：螺杆主体21和密封轴套22，密封轴套22套设固定于螺杆主体21上，环形密封槽包括成型于密封轴套的外周的第二环形密封槽23。

具体在本实施例中，密封轴套22与转子固定连接并保持同步旋转，与轴承座实现相对转动，能够有效地防止气体泄漏，确保真空泵的高效运行。若干第二环形密封槽23成型于密封轴套22的外周，进一步增强了密封效果，降低了泄漏风险。螺杆转子2的密封轴套22设计提供了稳定的支撑和固定，使得螺杆主体21和密封轴套22之间的连接更加牢固和可靠。这有助于减少泵内部的摩擦和磨损，并且能够承受较大的压力和负荷，提高泵的稳定性和可靠性。密封轴套22的套设固定于螺杆主体21上，使得整个螺杆转子2作为一个完整的系统。这种结构使得螺杆主体21和密封轴套22之间的配合更加紧密，减少了振动和松动的可能性，增强了整个系统的可靠性和稳定性。由于密封轴套22的设计，螺杆转子2的维护变得更加方便。如果需要更换或修理密封轴套22，可以直接拆卸并替换，减少了维护时间和成本。

如图1至图3所示，本实施例提供的螺杆真空泵，轴承组件3包括设置在螺杆转子2两端的第一轴承结构31和第二轴承结构32；第一轴承结构31包括第一轴承座311，第二轴承结构32包括第二轴承座321，环形密封槽包括沿轴向间隔设置在第一轴承座311和第二轴承座321的内周的若干第一环形密封槽33，以及对应设置在螺杆转子2两端的若干第二环形密封槽23，若干第一环形密封槽33和若干第二环形密封槽23一一对应配合，以在螺杆转子2两端分别形成若干环形扰流腔。

如图1至图5所示，本实施例提供的螺杆真空泵，螺杆真空泵还包括驱动组件4，驱动组件4设置在泵壳1的一端，适于驱动螺杆转子2转动，以抽取待抽真空对象内的介质；第一轴承结构31设置在远离驱动组件4的一端，第一轴承结构31还包括设置在第一轴承座311内的第一轴承312和第二轴承313，第一轴承312和第二轴承313沿轴向依次转动配合于螺杆转子2远离驱动组件4的一端外周；第二轴承结构32设置在靠近驱动组件4的一端，第二轴承结构32还包括设置在第二轴承座321内的第三轴承322，第三轴承322转动配合于螺杆转子2靠近驱动组件4的一侧外周。具体在本实施例中，第一轴承312和第二轴承313共同构成DB组合轴承，DB组合轴承可承受径向负荷和两个方向轴向负荷，进而提高螺杆真空泵远离驱动侧的各结构之间配合的稳定性。

如图6所示，本实施例提供的螺杆真空泵，第一轴承结构31还包括分隔件314，分隔件314挤压设置在第一轴承312与第二轴承313之间，分隔件314上设有连通部3141，连通部3141适于供润滑介质在第一轴承312与第二轴承313之间流通；分隔件314的外周与轴承座的内周抵靠，且分隔件314的外周设有定位部3142，分隔件314适于通过定位部3142与轴承座在圆周方向上形成限位。

具体在本实施例中，第一轴承312和第二轴承313中间采用分隔件314隔开，分隔件314设置有连通部3141和定位部3142。第一轴承312和第二轴承313内圈与转子采用过盈配合，并用锁紧螺母进行固定，第一轴承312和第二轴承313外圈与第一轴承座311采用间隙配合，并采用压板进行固定。分隔件314的主要作用是通过变径的截面适配第一轴承312和第二轴承313，进而调整轴承内、外圈厚度差，以达到预期预紧力，在第一轴承312和第二轴承313压紧后起到间隙补偿的作用，减小轴承震动和噪音。连通部3141主要使润滑油能够充分快速到达两轴承内圈，使轴承得到充分润滑，降低轴承运行温度，提高轴承使用寿命。具体地，定位部3142为安装于第一轴承座311的凹槽内的定位销，通过定位销连接分隔件314和轴承座，以防止分隔件314与轴承外圈旋转。

如图1所示，本实施例提供的螺杆真空泵，螺杆真空泵还包括冷却组件5，冷却组件5设置在泵壳1和/或驱动组件4上，用于对螺杆真空泵进行降温冷却。具体在本实施例中，泵壳1上和驱动组件4上均设有冷却组件5。

如图5、图7和图8所示，本实施例提供的螺杆真空泵，驱动组件4包括驱动电机41和变频器42，冷却结构包括第一冷却结构51和第二冷却结构52，第一冷却结构51设置在驱动电机41内，第一冷却结构51具有与外接冷却设备连通的冷却腔，适于通过外接冷却设备向第一冷却结构51通入冷却液对驱动电机41进行降温；第二冷却结构52包括设置在变频器42外侧的吸热件521以及设置在吸热件521内的冷却管522，吸热件521与变频器42贴合以吸收变频器42的热量，冷却管522适于外接冷却介质以对吸热件521和变频器42进行降温。

具体在本实施例中，通过设置变频器42，可实现调整电机转速，通过转速调整可实现抽气速率改变，可达到节能效果。变频器42可以在零转速零电压环境下启动，减少热量产生，提高使用寿命。变频器42通过螺栓与第二冷却结构52进行固定连接，然后再通过螺栓固定于驱动电机41上。电机外壳材料采用铝合金铸造材料，第一冷却结构51为在驱动电机41内部设置的冷却水管，通过冷却水冷却电机，降低电机使用温度，提高电机使用寿命。第二冷却结构52为设置在变频器42底部的冷却排，冷却排采用铝合金铸造材料，并在内部设有冷却水管，通过冷却水冷却变频器42，降低使用温度，提高变频器42使用寿命。

如图9和图10所示，本实施例提供的螺杆真空泵，泵壳1包括壳主体11和端盖12，端盖12位于壳主体11远离驱动组件4的一端，端盖12内设有适于向第一轴承结构31提供润滑介质的第一导流机构121，冷却组件5还包括第三冷却结构53和第四冷却结构54，第三冷却结构53设置在端盖12内，第三冷却结构53具有与外接冷却设备连通的冷却腔，第三冷却结构53适于通过对端盖12内的导流机构进行降温，实现对第一轴承结构31进行降温冷却；第四冷却结构54设置在壳主体11与驱动电机41之间，第四冷却结构54内设有适于向第二轴承结构32提供润滑介质的第二导流机构541，以及适于向驱动电机41提供润滑介质的通油孔542。

具体在本实施例中，端盖12采用铝合金铸造材料，具有良好的导热性，热传导能力极强，散热速度快。第三冷却结构53为端盖12内部预设的冷却水管，通过冷却水不断冷却端盖12内部润滑油，第一导流机构121将冷却后的润滑油不断输入到齿轮和轴承上，以达到冷却和润滑齿轮与轴承作用。第四冷却结构54为冷却箱，同样采用具有良好的导热性的铝合金铸造材料，第二导流机构541将冷却后的润滑油不断输入到轴承上，以达到润滑冷却轴承作用。冷却箱体的润滑油可通过通油孔542进入到驱动电机41的定子与转子之间，可达到冷却电机的作用。

如图5、图11和图12所示，本实施例提供的螺杆真空泵，壳主体11包括位于中间的主体部111和设置在主体部111两侧的第一安装部112和第二安装部113，其中第一安装部112适于容置安装第一轴承结构31，第二安装部113适于容置安装第二轴承结构32；第一安装部112和第二安装部113上分别设有适于通入氮气的吹扫孔114；螺杆真空泵还包括设置在端盖12和第四冷却结构54内的液位检测机构6，液位检测机构6适于检测端盖12内和第四冷却结构54内腔内的润滑介质液位。

具体在本实施例中，第一安装部112和第二安装部113以及主体部111采用镍合金铸造材料，具有良好的抗腐蚀能力和抗热变形能力，提高装机精度，简化泵壳1体加工制造工艺。第一安装部112和第二安装部113上分别设有适于通入氮气的吹扫孔114，运行过程中可以输入适量的氮气，一方面可以防止油污进入泵壳1体内，另一方面可以起到一定的冷却作用。主体部111底部同样设置有氮气吹扫孔114，运行过程中可以输入适量的氮气，可以吹扫泵壳1体内部微小粉尘颗粒和有毒气体，主体部111底部还设置有一排气孔115，背面设置有一进气口116，被抽气体通过进气口116吸入通过内部压缩后从排气孔115排除。第一安装部112和第二安装部113通过螺栓与主体部111固定连接。端盖12通过螺栓与第一安装部112进行固定连接，第四冷却结构54通过螺栓与第二安装部113进行固定连接。液位检测机构6为液位传感器，采用螺栓进行固定连接，液位传感器采用PPSU聚苯砜材料制作，可耐高温200℃，不会产生有毒有害物质，结构采用梅花角安装结构，散热效果好。液位传感器采用磁性开关，通过PLC控制保证设备正常运转。

本实施例提供的螺杆真空泵，螺杆转子2具有两个，驱动电机41为双驱电机；驱动组件4还包括两个传动件43，两个传动件43对应固设在两个螺杆转子2远离驱动电机41的一端，且两个传动件43相互啮合以同步两个螺杆转子2的运动。具体在本实施例中，螺杆转子2为大小相同旋向完全相反的一对转子，转子材料采用镍合金铸造材料，其热膨胀系数仅为普通球磨铸铁材料的1/2，材料腐蚀速率小于30g/m2*h，转子采用两段式等螺距、变直径结构。转子通过齿轮、轴承、安装部等安装于泵壳1内，可实现方向相反的同步旋转运动，由于转子特殊的材料特性和结构特性，既满足了稳定的抽气能力，又达到了内部压缩功能，减小了安装间歇，提高产品抗腐蚀能力，减小产品热膨胀变形，提高螺杆泵抽气速率，减小螺杆泵达到极限真空度的抽空时间，延长螺杆泵使用寿命，简化螺杆转子2加工制造工艺。

驱动电机41采用双驱动永磁同步电机结构，电机内部设置有2个定子和2个转子，2个转子能够在相同的速度朝不同的方向旋转，该结构抗过载能力强，对齿轮要求精度较低，工作状态下的震动和噪音更低，且在较小的安装空间实现了高转速、高抽速和高真空度的优点，相比现有的真空泵更节能。两个传动件43为一对大小结构完全相同的同步圆柱直齿轮，采用机械胀紧套结构将齿轮分别与右转子和左转子进行连接，安装时保证一定的啮合间隙，用于齿轮充分润滑降温，提高齿轮使用寿命，工作时两齿轮旋转方向完全相反，并达到完全同步作用。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (11)

1.一种螺杆真空泵，其特征在于，包括：

泵壳(1)；

螺杆转子(2)，所述螺杆转子(2)设置在所述泵壳(1)内；

轴承组件(3)，设置于所述螺杆转子(2)和所述泵壳(1)之间，所述轴承组件(3)包括固定设置在泵壳(1)内的轴承座，所述螺杆转子(2)可转动地设置在所述轴承座内；

所述轴承座的内周和/或所述螺杆转子(2)外周沿轴向间隔设置有若干环形密封槽，若干所述环形密封槽适于在所述轴承座和螺杆转子(2)装配后在二者之间形成若干用于阻挡气流的环形扰流腔，以实现所述轴承组件(3)与所述螺杆转子(2)的转动密封。

2.根据权利要求1所述的螺杆真空泵，其特征在于，所述环形密封槽包括沿轴向间隔设置在所述轴承座的内周若干第一环形密封槽(33)，所述第一环形密封槽(33)适于在所述轴承座和螺杆转子(2)装配后与所述螺杆转子(2)的外周面配合形成所述环形扰流腔；

或者，所述环形密封槽包括沿轴向间隔设置在所述螺杆转子(2)的外周若干第二环形密封槽(23)，所述第二环形密封槽(23)适于在所述轴承座和螺杆转子(2)装配后与所述轴承座的内周面配合形成所述环形扰流腔；

或者，所述环形密封槽包括沿轴向间隔设置在所述轴承座的内周若干第一环形密封槽(33)以及对应设置在所述螺杆转子(2)的外周的若干第二环形密封槽(23)，若干所述第一环形密封槽(33)和若干所述第二环形密封槽(23)一一对应配合，以在所述轴承座和所述螺杆转子(2)之间形成所述环形扰流腔。

3.根据权利要求1所述的螺杆真空泵，其特征在于，所述螺杆转子(2)包括：

螺杆主体(21)；

密封轴套(22)，套设固定于所述螺杆主体(21)上，所述环形密封槽包括成型于所述密封轴套的外周的第二环形密封槽(23)。

4.根据权利要求1至3任一项所述的螺杆真空泵，其特征在于，所述轴承组件(3)包括设置在所述螺杆转子(2)两端的第一轴承结构(31)和第二轴承结构(32)；

所述第一轴承结构(31)包括第一轴承座(311)，所述第二轴承结构(32)包括第二轴承座(321)，所述环形密封槽包括沿轴向间隔设置在第一轴承座(311)和第二轴承座(321)的内周的若干第一环形密封槽(33)以及对应设置在所述螺杆转子(2)两端的若干第二环形密封槽(23)，若干所述第一环形密封槽(33)和若干所述第二环形密封槽(23)一一对应配合，以在所述螺杆转子(2)两端分别形成若干环形扰流腔。

5.根据权利要求4所述的螺杆真空泵，其特征在于，所述螺杆真空泵还包括驱动组件(4)，所述驱动组件(4)设置在所述泵壳(1)的一端，适于驱动所述螺杆转子(2)转动，以抽取待抽真空对象内的介质；

所述第一轴承结构(31)设置在远离所述驱动组件(4)的一端，所述第一轴承结构(31)还包括设置在第一轴承座(311)内的第一轴承(312)和第二轴承(313)，所述第一轴承(312)和第二轴承(313)沿轴向依次转动配合于所述螺杆转子(2)远离驱动组件(4)的一端外周；

所述第二轴承结构(32)设置在靠近所述驱动组件(4)的一端，所述第二轴承结构(32)还包括设置在第二轴承座(321)内的第三轴承(322)，所述第三轴承(322)转动配合于所述螺杆转子(2)靠近所述驱动组件(4)的一端外周。

6.根据权利要求5所述的螺杆真空泵，其特征在于，所述第一轴承结构(31)还包括：

分隔件(314)，挤压设置在第一轴承(312)与所述第二轴承(313)之间，所述分隔件(314)上设有连通部(3141)，所述连通部(3141)适于供润滑介质在第一轴承(312)与所述第二轴承(313)之间流通；

所述分隔件(314)的外周与所述轴承座的内周抵靠，且所述分隔件(314)的外周设有定位部(3142)，所述分隔件(314)适于通过所述定位部(3142)与所述轴承座在圆周方向上形成限位。

7.根据权利要求5所述的螺杆真空泵，其特征在于，所述螺杆真空泵还包括：

冷却组件(5)，设置在所述泵壳(1)和/或驱动组件(4)上，用于对所述螺杆真空泵进行降温冷却。

8.根据权利要求7所述的螺杆真空泵，其特征在于，所述驱动组件(4)包括驱动电机(41)和变频器(42)，所述冷却组件(5)包括：

第一冷却结构(51)，设置在所述驱动电机(41)内，所述第一冷却结构(51)具有与外接冷却设备连通的冷却腔，适于通过所述外接冷却设备向第一冷却结构(51)通入冷却液对驱动电机(41)进行降温；

第二冷却结构(52)，包括设置在所述变频器(42)外侧的吸热件(521)以及设置在所述吸热件(521)内的冷却管(522)，所述吸热件(521)与所述变频器(42)贴合以吸收所述变频器(42)的热量，所述冷却管(522)适于外接冷却介质以对所述吸热件(521)和所述变频器(42)进行降温。

9.根据权利要求8所述的螺杆真空泵，其特征在于，所述泵壳(1)包括壳主体(11)和端盖(12)，所述端盖(12)位于所述壳主体(11)远离所述驱动组件(4)的一端，所述端盖(12)内设有适于向第一轴承结构(31)提供润滑介质的第一导流机构(121)，所述冷却组件(5)还包括：

第三冷却结构(53)，设置在所述端盖(12)内，所述第三冷却结构(53)具有与外接冷却设备连通的冷却腔，所述第三冷却结构(53)适于通过对所述端盖(12)内的导流机构进行降温，实现对第一轴承结构(31)进行降温冷却；

第四冷却结构(54)，设置在所述壳主体(11)与所述驱动电机(41)之间，所述第四冷却结构(54)内设有适于向第二轴承结构(32)提供润滑介质的第二导流机构(541)，以及适于向所述驱动电机(41)提供润滑介质的通油孔(542)。

10.根据权利要求9所述的螺杆真空泵，其特征在于，所述壳主体(11)包括位于中间的主体部(111)和设置在主体部(111)两侧的第一安装部(112)和第二安装部(113)，其中第一安装部(112)适于容置安装所述第一轴承结构(31)，第二安装部(113)适于容置安装所述第二轴承结构(32)；

所述第一安装部(112)和第二安装部(113)上分别设有适于通入氮气的吹扫孔(114)；和/或，

所述螺杆真空泵还包括设置在所述端盖(12)和第四冷却结构(54)内的液位检测机构(6)，所述液位检测机构(6)适于检测所述端盖(12)内和所述第四冷却结构(54)内腔内的润滑介质液位。

11.根据权利要求8至10任一项所述的螺杆真空泵，其特征在于，所述螺杆转子(2)具有两个，所述驱动电机(41)为双驱电机；

所述驱动组件(4)还包括两个传动件(43)，两个传动件(43)对应固设在两个螺杆转子(2)远离所述驱动电机(41)的一端，且两个所述传动件(43)相互啮合以同步两个所述螺杆转子(2)的运动。