CN201525091U - 多线切割机线轮主轴气密封装置 - Google Patents

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Abstract

本实用新型涉及一种多线切割机线轮主轴气密封装置，本实用新型包括轴、轴承座、设于轴与轴承座之间的轴承、与轴承座固定的轴承压盖和固定于轴端的线轮，所说轴承压盖与轴间相配合的内圆上设有内气封环，轴承座的侧壁上设有与内气封环连通的压缩空气通道，压缩空气通道的进气端设有与轴承座固定的压缩空气管接头。由于本实用新型采用了气密封结构，使得主轴箱体内的空气压力大于外界压力，这样可有效阻止沙粒及杂质等污物进入到主轴轴承内，从而使得本装置的密封性能明显提高，并确保本装置工作可靠，使用寿命长，还可明显降低设备的维修工时和费用，降低设备的使用成本。

Description

多线切割机线轮主轴气密封装置
技术领域
本实用新型涉及一种多线切割机线轮主轴气密封装置，特别是一种半导体行业专用的多线切割机线轮主轴气密封装置。
背景技术
在半导体加工业中，多借助于多线切割机专用设备对单晶、多晶及太阳能材料等进行切割加工。在多线切割机线轮主轴的构成中包括轴、轴承座、轴承、轴承压盖和与轴端固定的线轮。为了防尘，多在轴承座与线轮间采用迷宫式密封结构，其不足之处是采用这种结构的主轴内部与外界的空气压力是一样的，这样就难免在工作过程中有粉尘进入主轴，造成轴承磨损，降低主轴的使用寿命，尤其是在用沙粒磨料的切割过程中，更易造成主轴损坏。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种密封性能好、工作可靠、使用寿命长的多线切割机线轮主轴气密封装置。
本实用新型采用如下技术方案：
本实用新型包括轴、轴承座、设于轴与轴承座之间的轴承、与轴承座固定的轴承压盖和固定于轴端的线轮，所说轴承压盖与轴间相配合的内圆上设有内气封环，轴承座的侧壁上设有与内气封环连通的压缩空气通道，压缩空气通道的进气端设有与轴承座固定的压缩空气管接头。
本实用新型所说轴承压盖的外端面与线轮的内壁间所形成的空腔为外气封环。
本实用新型所说轴承压盖的内圆上所设的内气封环为多道迷宫式结构。
本实用新型的有益效果：由于本实用新型采用了气密封结构，使得主轴箱体内的空气压力大于外界压力，这样可有效阻止沙粒及杂质等污物进入到主轴轴承内，从而使得本装置的密封性能明显提高，并确保本装置工作可靠，使用寿命长，还可明显降低设备的维修工时和费用，降低设备的使用成本。
附图说明
附图1是本实用新型一种实施例的局部剖视结构示意图；
附图2是图1所示轴承压盖剖视结构示意图。
在附图中：1轴、2轴承、3压缩空气管接头、4密封圈、5堵、6内气封环、7堵、8外气封环、9轴承压盖、10调整垫、11轴承、12轴承座、13隔圈、14线轮、15压缩空气通道。
具体实施方式
下面将结合实施例附图对本实用新型作进一步详述：
参见附图，图1所示两组轴承2、11间设有轴承内套隔圈13.轴承压盖9压在轴承11的外套上，并用螺钉固定在轴承座12上，其与轴1间配合的内圆上所设的内气封环6采用多道迷宫式结构，即采用五道内气封环6，如图中所示，轴承座12的侧壁上设有与内气封环6连通的压缩空气通道15，压缩空气通道15的进气端设有与轴承座12螺纹连接的压缩空气管接头3.压缩空气通道15为钻孔，故其工艺孔需借助于堵5、7封堵，当轴承压盖9与轴承座12相对的端面间需加调整垫10和密封圈4时，则调整垫10和密封圈4与轴承座12上所设的压缩空气通道15的对应部位应设通孔，以便压缩空气能顺利通到轴承压盖9的内气封环6内。
轴承压盖9的外端面与线轮14的内壁间所构成的外气封环8内的气体是由轴承压盖9和轴1之间的配合间隙泄漏过来的。

Claims (3)

1.一种多线切割机线轮主轴气密封装置，它包括轴、轴承座、设于轴与轴承座之间的轴承、与轴承座固定的轴承压盖和固定于轴端的线轮，其特征是所说轴承压盖(9)与轴(1)间相配合的内圆上设有内气封环(6)，轴承座(12)的侧壁上设有与内气封环(6)连通的压缩空气通道(15)，压缩空气通道(15)的进气端设有与轴承座(12)固定的压缩空气管接头(3)。
2.根据权利要求1所述的多线切割机线轮主轴气密封装置，其特征是所说轴承压盖(9)的外端面与线轮(14)的内壁间所形成的空腔为外气封环(8)。
3.根据权利要求1或2所述的多线切割机线轮主轴气密封装置，其特征是所说轴承压盖(9)的内圆上所设的内气封环(6)为多道迷宫式结构。
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