CN110376775B - 显示面板及显示面板的印刷线路精度监控的方法 - Google Patents

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Abstract

本揭示提供一种显示面板及显示面板的印刷线路精度监控的方法，显示面板包括彩色滤光片基板、薄膜晶体管基板、金属图案以及印刷线路，薄膜晶体管基板与彩色滤光片基板相对设置，金属图案设置在薄膜晶体管基板上，印刷线路设置在柔性电路板侧边，且所述印刷线路与所述金属图案对位设置，还包括对位标尺，对位标尺设置在印刷线路的边缘区域，对位标尺包括多个平行排布的对位刻度。监控时，对位标尺上的主刻度与分刻度组合成游标尺，通过金属层与分刻度的对齐方式，直接从分刻度上读取印刷精度，操作简单。

Description

显示面板及显示面板的印刷线路精度监控的方法
技术领域
本揭示涉及显示技术领域，尤其涉及一种显示面板及显示面板的印刷线路精度监控的方法。
背景技术
液晶显示面板是各种显示装置中的重要元件，显示面板的主要组成元件中通常包括有两块玻璃基板以及设置在玻璃基板中的液晶分子层、胶框及印刷电路等。在上述两块基板中，一个基板具有像素电极，用以控制液晶分子的旋转角度，另一块基板上设置有彩色滤光片，以使液晶面板呈现彩色图像。
在现有的显示面板制造技术中，显示面板内的印刷电路存在着印刷精度不高，各印刷电路的线宽不一致等问题，在进行线路连接时，往往不能与之相匹配。同时，在显示面板的制造工艺中，还需要对显示面板的良率进行监控，防止不合格的产品流入市场，在监控时，由于印刷电路层较细小精密，其监控难度也较大，因此，无法快速的找出印刷电路印刷精度差的显示面板，从而增加了成本。
因此，现有的显示面板内的印刷电路在印刷时，其印刷精度无法保证，同时，在对显示面板进行监控时，无法快速的对印刷电路的精度进行监控，找出不良品。针对上述问题，亟需找出进一步的完善和解决方法。
发明内容
本揭示提供一种显示面板及显示面板的印刷线路精度监控的方法，以解决现有的显示面板内的印刷电路的印刷精度无法保证的问题，同时，在对显示面板进行监控时，无法快速的对印刷电路的精度进行监控，找出不良品。
为解决上述技术问题，本揭示实施例提供的技术方案如下：
根据本揭示实施例的第一方面，提供了一种显示面板，包括：
彩色滤光片基板；
薄膜晶体管基板，所述薄膜晶体管基板与所述彩色滤光片基板相对设置；
金属图案，所述金属图案设置在所述薄膜晶体管基板上；以及
印刷线路，所述印刷线路设置在柔性电路板侧边，且所述印刷线路与所述金属图案对位设置；以及
对位标尺，所述对位标尺设置在所述柔性电路板的所述印刷线路的边缘区域，所述对位标尺包括多个平行排布的对位刻度，通过比对所述金属图案与所述对位标尺的吻合程度来判断所述印刷线路的生产精度。
根据本揭示一实施例，所述金属图案的间隔距离小于所述印刷线路的间隔距离。
根据本揭示一实施例，每两个相邻所述对位刻度的偏差介于1um和4um之间。
根据本揭示一实施例，所述金属图案包括第一金属图案层和第二金属图案层，所述第二金属图案层设置在所述第一金属图案层上。
根据本揭示一实施例，所述对位标尺的中心为刻度零点，多个所述对位刻度对称分布在所述刻度零点的两侧。
根据本揭示一实施例，所述刻度零点两侧的刻度值依次增大。
根据本揭示一实施例，还包括黑矩阵，所述黑矩阵设置在所述彩色滤光片基板与所述薄膜晶体管基板之间，所述黑矩阵与所述金属图案对应的区域上设置有开口。
本揭示实施例的第二方面，还提供一种显示面板的印刷线路精度监控的方法，包括如下步骤：
S100：提供待监控的显示面板以及具有对位标尺的掩膜板；
S101：将所述掩膜板的主刻度与所述显示面板的印刷线路对齐；
S102：观察所述掩膜板的分刻度与所述显示面板的金属图案，找出所述金属图案与所述分刻度对齐的刻度值，并标记；
S103：根据所述步骤S102的读数，监控所述印刷线路的精度。
根据本揭示一实施例，所述掩膜板还包括对位标记区，所述对位标记区设置在所述主刻度与所述分刻度之间。
根据本揭示一实施例，所述分刻度至少设置为5级。
综上所述，本揭示实施例的有益效果为：
本揭示提供一种显示面板及显示面板的印刷线路精度监控的方法，通过在显示面板基板之间设置金属层，并在印刷线路的边缘区域设置对位刻度，在进行监控时，通过掩膜板来主刻度与分刻度进行精度监控，金属图案与分刻度对齐的位置处就为该印刷线路的印刷精度等级。在进行监控时，工艺流程简单。
附图说明
为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是揭示的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本揭示实施例的显示面板结构示意图；
图2为本揭示另一实施例的显示面板结构示意图；
图3为本揭示又一实施例提供的显示面板的结构示意图；
图4为本揭示实施例提供的对位标尺示意图；
图5为本揭示实施例提供的显示面板的印刷线路精度监控流程图。
具体实施方式
下面将结合本揭示实施例中的附图，对本揭示实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本揭示一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本揭示中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本揭示保护的范围。
在本揭示的实施例中，如图1所示，图1为本揭示实施例的显示面板结构示意图。所述显示面板包括：薄膜晶体管基板100、彩色滤光片基板101、第一金属图案102以及第二金属图案103，薄膜晶体管基板100与彩色滤光片基板101相对设置，第一金属图案102与第二金属图案103设置在所述薄膜晶体管基板100上，同时，所述显示面板还包括第一区域104、第二区域105以及第三区域106，第一区域104与第二区域105相邻，第二区域105与第三区域106相邻。具体的，在第一区域104内，为印刷线路区，在所述区域内，薄膜晶体管基板100与侧边的柔性电路板相连接，柔性电路板上设置有侧边印刷线路，柔性电路板上的侧边印刷线路与薄膜晶体管基板100上的第二金属图案相匹配，以实现显示面板的显示功能，同时，在显示面板的边缘区域内还设置有对位标尺，所述对位标尺包括有多个平行排布的对位刻度。第二区域105为标记对位区，具有定位的作用，第三区域106为精度监控区，在具体监控时，通过比对金属图案与对位标尺的吻合程度来判断所述印刷线路的生产精度。
实际生产监控过程中，由于印刷线路层细小精密，其制造精度难以监控，进而影响显示面板的显示性能。在本揭示实施例中，通过在显示面板的第三区域106内设置第一金属图案102，若干第一金属图案102间隔设置，每相邻两条第一金属图案102之间的距离相同，所述第一金属图案102为条状金属图案，以方便与标记刻度进行比对，提高辨识率。第二金属图案103设置在薄膜晶体管100上，每相邻两条第二金属图案103之间的距离相同，第二金属图案103与柔性电路板上的印刷线路匹配。
具体的，在进行精度监控时，第二金属图案103为主刻度，第一金属图案102为分刻度，其中，第二金属图案103的宽度大于第一金属图案102的宽度，第一金属图案102与第二金属图案103相结合，形成一种游标卡尺，其中，第一金属图案102为游标卡尺上的分刻度，第二金属图案103为游标卡尺上的主刻度。监控时，首先将印刷线路区内的一条印刷线路与对位标尺的主刻度对齐，对齐后，再比对第三区域106内的第一金属图案102中的金属图案，找出与标准刻度对齐情况最一致的金属图案，然后直接从标准刻度上读出该条金属图案所对应的精度，从而监控得到所述印刷线路的制造精度。
如图2所示，图2为本揭示另一实施例的显示面板结构示意图。所述显示面板包括：薄膜晶体管基板200、彩色滤光片基板201、第一金属图案202、第二金属图案203以及金属层204。薄膜晶体管基板200与彩色滤光片基板201相对设置，第一金属图案202与第二金属图案203设置在薄膜晶体管基板200上，并设置在第二区域206内，第二金属图案203设置在第一金属图案202上，金属层204设置在第一区域205内，并与侧边印刷线路连接。
第一金属图案202的金属层较薄，正常情况下不容易辨识，在精度监控时，难以区分，因此，在第一金属图案202上再设置第二金属图案203，使分刻度为双层金属图案，以提升识别度，防止在比对时，读数错误。第二金属图案203的厚度与第一金属图案202的厚度相同，并与第一金属图案202一一对应，同时，第一金属图案202和第二金属图案203的总厚度小于薄膜晶体管基板200与彩色滤光片基板201之间的距离。
如图3所示，图3为本揭示又一实施例提供的显示面板的结构示意图。所示显示面板包括：薄膜晶体管基板300、彩色滤光片基板301、第一金属图案302、黑矩阵303、开口304以及第二金属图案305，同时，还包括相邻设置的第一区域306与第二区域307。薄膜晶体管基板300与彩色滤光片基板301相对设置，第一金属图案302与第二金属图案305设置在薄膜晶体管基板300上，黑矩阵303设置在薄膜晶体管基板300与彩色滤光片基板301之间。
为了提高精度监控时的刻度识别度，本实施例中，在黑矩阵303上开设若干开口304，所述开口304与第一金属图案302相对，这样，当从侧边进行监控时，容易对第一金属图案302和标准刻度进行比对，从而提高了金属层的识别度。同时，还可在开口304的区域上设置支撑柱，以进一步的提高辨识度。
具体的，在进行精度监控时，如图4所示，图4为本揭示实施例提供的对位标尺示意图。对位标尺包括第一区域400、第二区域401以及第三区域402，上述区域依次相邻设置，同时，在第一区域400内还包括主刻度403，在第三区域402内设置有分刻度404。对位刻度的精度等级设置在分刻度404上，每两个相邻分刻度的偏差介于1um~4um之间，并且，分刻度404设置有刻度零点，多个对位刻度对称分布在所述刻度零点的两侧，沿所述刻度零点向其两侧，刻度值依次增大。
优选的，分刻度404的精度等级设置为5级，在精度监控时，比对金属图案层与分刻度的对齐情况，金属图案层与哪一条分刻度相对齐，该条分刻度代表的精度等级即为印刷线路的印刷精度。同时，根据具体的印刷线路产品，分刻度404的精度等级还可设置更多等级。
如图5所示，图5为本揭示实施例提供的显示面板的印刷线路精度监控流程图。具体的，包括如下步骤：
S100：提供一待监控的显示面板以及具有对位标尺的掩膜板。
显示面板内的金属图案及印刷线路印刷完成后，对其精度进行监控，所述掩膜板上设置有对位标尺，所述对位标尺包括主刻度以及分刻度。在进行精度监控时，将不同的刻度与显示面板上的金属图案相对齐。
S101：将所述掩膜板的主刻度与所述显示面板的印刷线路对齐；
首先将掩膜板的主刻度与显示面板侧边的印刷线路金属层相对齐，主刻度相当于游标卡尺的主刻度。
S102：观察所述掩膜板的分刻度与所述显示面板的金属图案，找出所述金属图案与所述分刻度对齐的刻度值，并标记。
分刻度设置在精度监控区内，分刻度代表了印刷线路的印刷等级，在精度监控时，从金属图案中找出一条金属图案，所述金属图案与分刻度对齐程度最高，其对齐的该分刻度等级即为印刷线路的印刷精度等级。
S103：根据所述步骤S102的读数，监控所述印刷线路的精度。
综上所述，整个流程可通过显微镜从显示面板的侧面印刷线路区进行观察，直接从分刻度上读取印刷线路的印刷等级，操作流程简单。
以上对本揭示实施例所提供的一种显示面板及显示面板的印刷线路的精度监控的方法进行了详细介绍，以上实施例的说明只是用于帮助理解本揭示的技术方案及其核心思想；本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本揭示各实施例的技术方案的范围。

Claims (6)

1.一种显示面板，其特征在于，包括：
彩色滤光片基板；
薄膜晶体管基板，所述薄膜晶体管基板与所述彩色滤光片基板相对设置；
金属图案，所述金属图案设置在所述薄膜晶体管基板上；
印刷线路，所述印刷线路设置在柔性电路板侧边，且所述印刷线路与所述金属图案对位设置；以及
对位标尺，所述对位标尺设置在所述柔性电路板的所述印刷线路的边缘区域，所述对位标尺包括多个平行排布的对位刻度，通过比对所述金属图案与所述对位标尺的吻合程度来判断所述印刷线路的生产精度。
2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，每两个相邻所述对位刻度的偏差介于1um和4um之间。
3.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述金属图案包括第一金属图案层和第二金属图案层，所述第二金属图案层设置在所述第一金属图案层上。
4.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述对位标尺的中心为刻度零点，多个所述对位刻度对称分布在所述刻度零点的两侧。
5.根据权利要求4所述的显示面板，其特征在于，所述刻度零点两侧的刻度值依次增大。
6.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，还包括黑矩阵，所述黑矩阵设置在所述彩色滤光片基板与所述薄膜晶体管基板之间，所述黑矩阵与所述金属图案对应的区域上设置有开口。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114111494A (zh) * 2021-10-20 2022-03-01 江苏正伟印刷有限公司 一种印刷套印精度的测量方法

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02273914A (ja) * 1989-04-17 1990-11-08 Sumitomo Metal Ind Ltd フォトリソグラフィにおけるマスク合わせ方法
JP4214357B2 (ja) * 2002-02-28 2009-01-28 セイコーエプソン株式会社 電子デバイスの製造方法
KR100960453B1 (ko) * 2003-11-06 2010-05-28 엘지디스플레이 주식회사 액정패널
CN100498458C (zh) * 2006-05-24 2009-06-10 群康科技(深圳)有限公司 液晶显示面板
KR20080046352A (ko) * 2006-11-22 2008-05-27 엘지디스플레이 주식회사 표시장치
CN101354530B (zh) * 2008-09-11 2012-02-29 友达光电股份有限公司 掩膜上的对位标尺及应用对位标尺的屏蔽件位置确认方法
CN102445124B (zh) * 2011-08-29 2013-10-02 上海华力微电子有限公司 测量掩模板保护膜的工具及方法
CN103175456B (zh) * 2011-12-21 2016-03-30 北大方正集团有限公司 检测对位偏移的方法和pcb在制板
CN103529659A (zh) * 2013-10-29 2014-01-22 天津芯硕精密机械有限公司 一种对位精度检测方法及系统
CN103698934B (zh) * 2013-12-31 2016-11-02 友达光电(厦门)有限公司 显示面板
KR102237751B1 (ko) * 2014-12-08 2021-04-12 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
CN104597642B (zh) * 2015-02-16 2017-09-22 合肥京东方光电科技有限公司 一种液晶显示装置及其制备方法
CN204790929U (zh) * 2015-06-03 2015-11-18 上海天马微电子有限公司 彩膜基板及触控显示装置
CN205027998U (zh) * 2015-10-21 2016-02-10 昆山龙腾光电有限公司 一种液晶显示面板
CN106094311B (zh) * 2016-08-22 2019-09-06 武汉华星光电技术有限公司 一种窄边框液晶面板及其组立标尺的制作方法
CN106773525B (zh) * 2017-03-01 2020-06-16 合肥京东方光电科技有限公司 掩模板、对位方法、显示面板、显示装置及其对盒方法
CN106873223A (zh) * 2017-04-20 2017-06-20 武汉华星光电技术有限公司 一种液晶面板组件
CN207164403U (zh) * 2017-09-15 2018-03-30 京东方科技集团股份有限公司 显示模组及显示装置

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