CN110356828A - 一种可双向调节的晶圆移片装置 - Google Patents

一种可双向调节的晶圆移片装置 Download PDF

Info

Publication number
CN110356828A
CN110356828A CN201811232006.6A CN201811232006A CN110356828A CN 110356828 A CN110356828 A CN 110356828A CN 201811232006 A CN201811232006 A CN 201811232006A CN 110356828 A CN110356828 A CN 110356828A
Authority
CN
China
Prior art keywords
wafer
moves
piece
casket
plate base
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201811232006.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN110356828B (zh
Inventor
王浩
王刚
张陈涛
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JIANGSU ACETEC SEMICO-NDUCTOR Co Ltd
Original Assignee
JIANGSU ACETEC SEMICO-NDUCTOR Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by JIANGSU ACETEC SEMICO-NDUCTOR Co Ltd filed Critical JIANGSU ACETEC SEMICO-NDUCTOR Co Ltd
Priority to CN201811232006.6A priority Critical patent/CN110356828B/zh
Publication of CN110356828A publication Critical patent/CN110356828A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN110356828B publication Critical patent/CN110356828B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/82—Rotary or reciprocating members for direct action on articles or materials, e.g. pushers, rakes, shovels
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2601—Apparatus or methods therefor

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)

Abstract

本发明公开一种可双向调节的晶圆移片装置；包括工具移片机以及放置在工具移片机上满载的晶圆匣以及空载的晶圆匣，并且这两个晶圆匣相对应放置；所述的工具移片机的下端面安装有一可往复推动的推动装置。本装置中在工具移片机的下方设置一个推动装置可带动移片套筒以及移片套筒内部安装的晶圆移片基板往复移动；而晶圆移片基板上设置的晶圆移片推杆设置为间隔式结构，上下相邻的晶圆移片推杆之间设置有间隔，并且该间隔与晶圆匣中的一个晶圆的厚度相匹配，这样在推动装置带动晶圆移片推杆向内侧移动的时候，可将满载的晶圆匣中一半的晶圆相应移动到另一侧空载的晶圆匣中；从而实现移动部分晶圆的目的，结构合理，设计巧妙，具备很强的实用性。

Description

一种可双向调节的晶圆移片装置
技术领域
本发明涉及半导体测试领域，具体说是一种可双向调节的晶圆移片装置。
背景技术
在半导体测试中，晶圆测试占据了很大的比重。晶圆本身具备昂贵、易碎的特点，所以在搬运和移动晶元时需要格外注意。目前现有技术中测试完成后的晶圆是摆放在晶圆匣制具中的，晶圆匣中从上而下设置有一排匣槽，如图2所示，其中21为匣槽，通常满载的晶圆匣中可以摆放25片晶圆。通过使用市场上现有的工具移片机来实现不同晶圆匣中晶圆的转移，为下一阶段的测试做准备。
现有技术中在使用移片机对晶圆进行转移的时候，只能一次性将满载的晶圆槽中所有的晶圆转移到一个空载的晶圆匣中，但是确不能实现分批转移或者是部分转移的功能；一般情况下晶圆匣中的晶圆都是满载，而在某些情况下需要将满载的晶圆匣中一半数量的晶圆转移到另一个空载的晶圆匣中，而使用现有的移片装置则难以实现上述功能。
发明内容
发明目的：针对上述现有技术存在的不足，提供一种可双向调节的晶圆移片装置。
技术方案：为了实现上述发明目的，本发明采用的技术方案如下：一种可双向调节的晶圆移片装置；包括工具移片机以及放置在工具移片机上满载的晶圆匣以及空载的晶圆匣，并且这两个晶圆匣相对应放置；所述的工具移片机的下端面安装有一可往复推动的推动装置，且该推动装置上安装有联动杆，该联动杆从工具移片机的下方向满载的晶圆匣的位置延伸并且在杆端部还安装有竖直放置的移片套筒，该所述的移片套筒内还安装有晶圆移片基板，所述的晶圆移片基板向上延伸设置，并且其板面一侧设置有横向伸出的晶圆移片推杆，所述的晶圆移片推杆从上而下间隔均匀设置；该所述的晶圆移片推杆与满载的晶圆匣的位置对应；并且上下两相邻晶圆移片推杆之间的间距与晶圆匣内晶圆的厚度相对应；使晶圆移片推杆7可间隔式的对准晶圆匣内的晶圆。
作为优选，所述的晶圆移片基板的下端开设有一台阶槽；而在该台阶槽内放置有一分离式安装的奇偶滑块，该奇偶滑块与晶圆移片基板一同放置在移片套筒内；并且该奇偶滑块的高度设置为与晶圆的厚度相对应；并且奇偶滑块上还安装有一拨杆；而移片套筒上则设置有滑槽，所述拨杆从滑槽内伸出。
作为优选，所述的晶圆移片基板和移片套筒上还设置有上下两个相对应的螺纹孔，该螺纹孔内安装有可分离固定的波珠螺丝。
作为优选，所述移片套筒的前端还设置有限位槽；而所述的晶圆移片基板上则设置有相对应的限位块，该限位块设置在限位槽中，所述的晶圆移片基板可带动限位块抬升，而此时奇偶滑块则可从台阶槽处移动到晶圆移片基板的下端。
作为优选，所述的推动装置上还设置有移动控制把手。
有益效果：本发明与现有技术相比，具有以下优点：
(1)本装置中在工具移片机的下方设置一个推动装置可带动移片套筒以及移片套筒内部安装的晶圆移片基板往复移动；而晶圆移片基板上设置的晶圆移片推杆设置为间隔式结构，上下相邻的晶圆移片推杆之间设置有间隔，并且该间隔与晶圆匣中的一个晶圆的厚度相匹配，这样在推动装置带动晶圆移片推杆向内侧移动的时候，可将满载的晶圆匣中一半的晶圆相应移动到另一侧空载的晶圆匣中；从而实现移动部分晶圆的目的，结构合理，设计巧妙，具备很强的实用性；
(2)本装置中晶圆移动基板的下端设置一个台阶槽，而该台阶槽中放置一个分离式的奇偶滑块，该奇偶滑块是分离式的，当奇偶滑块是设置在台阶槽中的时候，晶圆移动基板上晶圆移动推杆的位置对应晶圆匣中奇数行的晶圆，此时控制推动装置带动移片套筒向内侧移动可将奇数行的晶圆移动到空载的另一晶圆匣中；而将晶圆移动基板上抬一端距离后，将奇偶滑块从台阶槽的位置处向左侧移动到晶圆移动基板的下方后，再将晶圆移动基板固定后，晶圆移动基板的位置就上升了一个晶圆厚度的高度，再将晶圆移动基板固定后，就可移动晶圆匣内偶数行的晶圆；因此本装置通过调整转换，可以完成晶圆匣内奇数行和偶数行不同晶圆的转移工作，设计巧妙，使用方便。
附图说明
图1为本发明结构示意图；
图2为本发明中晶圆匣结构图；
图3为本发明中晶圆移片基板结构图；
图4为本发明中移片套筒结构图；
图5为晶圆移片基板何移片套筒装配安装结构图；
图6为移动偶数行晶圆时晶圆移片基板位置图；
图7为移动奇数行晶圆时晶圆移片基板位置图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本发明，本实施例在以本发明技术方案为前提下进行实施，应理解这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。
如图1至图7所示，一种可双向调节的晶圆移片装置；包括工具移片机1以及放置在工具移片机1上满载的晶圆匣2以及空载的晶圆匣2，并且这两个晶圆匣2相对应放置；所述的工具移片机1的下端面安装有一可往复推动的推动装置3，且该推动装置3上安装有联动杆4，该联动杆4从工具移片机1的下方向满载的晶圆匣2的位置延伸并且在杆端部还安装有竖直放置的移片套筒5，该所述的移片套筒5内还安装有晶圆移片基板6，所述的晶圆移片基板6向上延伸设置，并且其板面一侧设置有横向伸出的晶圆移片推杆7，所述的晶圆移片推杆7从上而下间隔均匀设置；该所述的晶圆移片推杆7与满载的晶圆匣2的位置对应；并且上下两相邻晶圆移片推杆7之间的间距与晶圆匣2内晶圆8的厚度相对应；使晶圆移片推杆7可间隔式的对准晶圆匣2内的晶圆8。
所述的晶圆移片基板6的下端开设有一台阶槽9；而在该台阶槽9内放置有一分离式安装的奇偶滑块10，该奇偶滑块10与晶圆移片基板6一同放置在移片套筒5内；并且该奇偶滑块10的高度设置为与晶圆8的厚度相对应；并且奇偶滑块10上还安装有一拨杆11；而移片套筒5上则设置有滑槽12，所述拨杆11从滑槽12内伸出。
所述的晶圆移片基板6和移片套筒5上还设置有上下两个相对应的螺纹孔13，该螺纹孔13内安装有可分离固定的波珠螺丝14。
所述移片套筒5的前端还设置有限位槽15；而所述的晶圆移片基板6上则设置有相对应的限位块16，该限位块16设置在限位槽15中，所述的晶圆移片基板6可带动限位块16抬升，而此时奇偶滑块10则可从台阶槽9处移动到晶圆移片基板6的下端；所述的推动装置3上还设置有移动控制把手17。
本装置中在工具移片机的下方设置一个推动装置可带动移片套筒以及移片套筒内部安装的晶圆移片基板往复移动；而晶圆移片基板上设置的晶圆移片推杆设置为间隔式结构，上下相邻的晶圆移片推杆之间设置有间隔，并且该间隔与晶圆匣中的一个晶圆的厚度相匹配，这样在推动装置带动晶圆移片推杆向内侧移动的时候，可将满载的晶圆匣中一半的晶圆相应移动到另一侧空载的晶圆匣中；从而实现移动部分晶圆的目的，结构合理，设计巧妙，具备很强的实用性。
本装置中晶圆移动基板的下端设置一个台阶槽，而该台阶槽中放置一个分离式的奇偶滑块，该奇偶滑块是分离式的，如图6所示，当奇偶滑块是设置在台阶槽中的时候，晶圆移动基板上晶圆移动推杆的位置对应晶圆匣中奇数行的晶圆，此时控制推动装置带动移片套筒向内侧移动可将奇数行的晶圆移动到空载的另一晶圆匣中。
如图7所示，将晶圆移动基板上抬一端距离后，将奇偶滑块从台阶槽的位置处向左侧移动到晶圆移动基板的下方后，再将晶圆移动基板固定后，晶圆移动基板的位置就上升了一个晶圆厚度的高度，再将晶圆移动基板固定后，就可移动晶圆匣内偶数行的晶圆；因此本装置通过调整转换，可以完成晶圆匣内奇数行和偶数行不同晶圆的转移工作，设计巧妙，使用方便。
具体实施方式只是本发明的一个优选实施例，并不是用来限制本发明的实施与权利要求范围的，凡依据本发明申请专利保护范围所述的内容做出的等效变化和修饰，均应包括于本发明专利申请范围内。

Claims (5)

1.一种可双向调节的晶圆移片装置；包括工具移片机(1)以及放置在工具移片机(1)上满载的晶圆匣(2)以及空载的晶圆匣(2)，并且这两个晶圆匣(2)相对应放置；其特征在于:所述的工具移片机(1)的下端面安装有一可往复推动的推动装置(3)，且该推动装置(3)上安装有联动杆(4)，该联动杆(4)从工具移片机(1)的下方向满载的晶圆匣(2)的位置延伸并且在杆端部还安装有竖直放置的移片套筒(5)，该所述的移片套筒(5)内还安装有晶圆移片基板(6)，所述的晶圆移片基板(6)向上延伸设置，并且其板面一侧设置有横向伸出的晶圆移片推杆(7)，所述的晶圆移片推杆(7)从上而下间隔均匀设置；该所述的晶圆移片推杆(7)与满载的晶圆匣(2)的位置对应；并且上下两相邻晶圆移片推杆(7)之间的间距与晶圆匣(2)内晶圆(8)的厚度相对应；使晶圆移片推杆(7)可间隔式的对准晶圆匣(2)内的晶圆(8)。
2.根据权利要求1所述的一种可双向调节的晶圆移片装置，其特征在于：所述的晶圆移片基板(6)的下端开设有一台阶槽(9)；而在该台阶槽(9)内放置有一分离式安装的奇偶滑块(10)，该奇偶滑块(10)与晶圆移片基板(6)一同放置在移片套筒(5)内；并且该奇偶滑块(10)的高度设置为与晶圆(8)的厚度相对应；并且奇偶滑块(10)上还安装有一拨杆(11)；而移片套筒(5)上则设置有滑槽(12)，所述拨杆(11)从滑槽(12)内伸出。
3.根据权利要求2所述的一种可双向调节的晶圆移片装置，其特征在于：所述的晶圆移片基板(6)和移片套筒(5)上还设置有上下两个相对应的螺纹孔(13)，该螺纹孔(13)内安装有可分离固定的波珠螺丝(14)。
4.根据权利要求2所述的一种可双向调节的晶圆移片装置，其特征在于：所述移片套筒(5)的前端还设置有限位槽(15)；而所述的晶圆移片基板(6)上则设置有相对应的限位块(16)，该限位块(16)设置在限位槽(15)中，所述的晶圆移片基板(6)可带动限位块(16)抬升，而此时奇偶滑块(10)则可从台阶槽(9)处移动到晶圆移片基板(6)的下端。
5.根据权利要求1所述的一种可双向调节的晶圆移片装置，其特征在于：所述的推动装置(3)上还设置有移动控制把手(17)。
CN201811232006.6A 2018-10-22 2018-10-22 一种可双向调节的晶圆移片装置 Active CN110356828B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811232006.6A CN110356828B (zh) 2018-10-22 2018-10-22 一种可双向调节的晶圆移片装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811232006.6A CN110356828B (zh) 2018-10-22 2018-10-22 一种可双向调节的晶圆移片装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN110356828A true CN110356828A (zh) 2019-10-22
CN110356828B CN110356828B (zh) 2024-04-23

Family

ID=68214851

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201811232006.6A Active CN110356828B (zh) 2018-10-22 2018-10-22 一种可双向调节的晶圆移片装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110356828B (zh)

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000038217A (ja) * 1998-07-23 2000-02-08 Sony Corp ウェーハ移送装置
CN202092919U (zh) * 2011-05-16 2011-12-28 南京工程学院 金属线材扭转试验机
CN202839564U (zh) * 2012-08-06 2013-03-27 京隆科技(苏州)有限公司 晶舟的抽片移转治具
CN104078393A (zh) * 2014-07-02 2014-10-01 常州信息职业技术学院 二极管自动分离机构及其分离方法
CN104418080A (zh) * 2013-08-19 2015-03-18 朴兴濬 自动基板推动装置
CN106098603A (zh) * 2015-04-30 2016-11-09 环球晶圆股份有限公司 晶圆转换装置及其晶圆转换方法
CN107217552A (zh) * 2017-05-31 2017-09-29 华东交通大学 用于易沉降地段的自动补偿型钢枕
CN206665664U (zh) * 2017-04-06 2017-11-24 苏州同贸电子科技有限公司 一种弹性推料机构
CN107681019A (zh) * 2017-09-19 2018-02-09 中建材浚鑫科技有限公司 用于太阳能电池扩散或退火的上料及下料装置
CN209193020U (zh) * 2018-10-22 2019-08-02 江苏艾科半导体有限公司 一种晶圆移片装置

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000038217A (ja) * 1998-07-23 2000-02-08 Sony Corp ウェーハ移送装置
CN202092919U (zh) * 2011-05-16 2011-12-28 南京工程学院 金属线材扭转试验机
CN202839564U (zh) * 2012-08-06 2013-03-27 京隆科技(苏州)有限公司 晶舟的抽片移转治具
CN104418080A (zh) * 2013-08-19 2015-03-18 朴兴濬 自动基板推动装置
CN104078393A (zh) * 2014-07-02 2014-10-01 常州信息职业技术学院 二极管自动分离机构及其分离方法
CN106098603A (zh) * 2015-04-30 2016-11-09 环球晶圆股份有限公司 晶圆转换装置及其晶圆转换方法
CN206665664U (zh) * 2017-04-06 2017-11-24 苏州同贸电子科技有限公司 一种弹性推料机构
CN107217552A (zh) * 2017-05-31 2017-09-29 华东交通大学 用于易沉降地段的自动补偿型钢枕
CN107681019A (zh) * 2017-09-19 2018-02-09 中建材浚鑫科技有限公司 用于太阳能电池扩散或退火的上料及下料装置
CN209193020U (zh) * 2018-10-22 2019-08-02 江苏艾科半导体有限公司 一种晶圆移片装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN110356828B (zh) 2024-04-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109273750A (zh) 一种燃料电池自动化装堆装置
CN202807863U (zh) 自动上片机
CN107758329A (zh) 一种光伏接线盒用导电片的传送取料装置
CN206108367U (zh) 一种取放料间距不同的下料错分机构
CN209193020U (zh) 一种晶圆移片装置
CN206606773U (zh) 一种异形类钣金产品不间断上料设备
CN110356828A (zh) 一种可双向调节的晶圆移片装置
CN204407346U (zh) 光伏扩散工序中的硅片自动装卸机
CN206825384U (zh) 一种mve生产设备的检修工具箱
CN207431696U (zh) 一种用于键盘的自动螺钉安装设备
CN209239348U (zh) 一种镍片定位治具
CN210550595U (zh) 一种浮动定位结构及转盘装置
CN207735538U (zh) 一种铆接板可升降的竖条式铆接模条机构
CN108238437A (zh) 自动化成型设备的周转板提升平移装置
CN206382403U (zh) 一种配件精密冲孔机
CN208555763U (zh) 片材多工序冲床冲压自动传输装置
CN207827332U (zh) 电芯下钢带上料机构
CN207001745U (zh) 卡板夹持装置及卡板自动上下料设备
CN207564085U (zh) 一种光伏接线盒装配检测装置
CN203250773U (zh) 一种太阳能电池片的导片装置
CN208385381U (zh) 硅片归正机构及硅片归正系统
CN109748078A (zh) 自动化流水线收取料料仓
CN216889066U (zh) 一种码坯机空间坐标式码坯装置
CN207087835U (zh) 太阳能板性能检测用标准板暂存装置
CN209113043U (zh) 一种电芯托盘转移机构

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant